JPS62257759A - ハイブリツド集積回路高電圧絶縁増幅器用パツケ−ジ及び製造方法 - Google Patents
ハイブリツド集積回路高電圧絶縁増幅器用パツケ−ジ及び製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
分野
本発明は、高電圧半導体パッケージに関し、詳細には、
高電圧絶縁増幅器を含むのに特に適した高電圧半導体パ
ッケージに関し、特にフリンジコンデンサを絶縁増幅器
の入力部分と出力部分との間の小信号絶縁バリヤとして
用いている斯かるパッケージに関する。
高電圧絶縁増幅器を含むのに特に適した高電圧半導体パ
ッケージに関し、特にフリンジコンデンサを絶縁増幅器
の入力部分と出力部分との間の小信号絶縁バリヤとして
用いている斯かるパッケージに関する。
背景
当業者から「絶縁増幅器」と呼ばれている型の増幅器回
路には多くの応用が存在する。絶縁増幅器回路は、少な
くとも数百ボルト、ある場合には数千ボルトの電圧差に
耐えることができる「絶縁バリヤ」によって分離された
電気絶縁入力及び出力段を有しており、そして入力端子
と出力端子との間の大きなりC又はコモンモード電圧差
にも拘わらず、小さなAC入力信号を増幅して大きなA
C出力信号を生成することができる。絶縁増幅器に対す
る典型的な応用例には、工業針側システム、医療用電子
装置、電子テスト装置、及び高度に絶縁された信号伝送
が必要とされる他の多くの応用例が挙げられる。?!縁
増幅器は一般的に、高価な部品であるとみなされている
。この型の低コストのデバイスが製造できれば、電子業
界における絶縁増幅器の使用の程度はもつと太きいもの
となろう。しかしながら、現在に至るまで、低コスト電
子製品で斯かるデバイスを広範囲に使用するため、「市
場を大きくする」のに十分安価に、特に気密的に封止さ
れた高精密高電圧絶縁増幅器を製作することができなか
った。
路には多くの応用が存在する。絶縁増幅器回路は、少な
くとも数百ボルト、ある場合には数千ボルトの電圧差に
耐えることができる「絶縁バリヤ」によって分離された
電気絶縁入力及び出力段を有しており、そして入力端子
と出力端子との間の大きなりC又はコモンモード電圧差
にも拘わらず、小さなAC入力信号を増幅して大きなA
C出力信号を生成することができる。絶縁増幅器に対す
る典型的な応用例には、工業針側システム、医療用電子
装置、電子テスト装置、及び高度に絶縁された信号伝送
が必要とされる他の多くの応用例が挙げられる。?!縁
増幅器は一般的に、高価な部品であるとみなされている
。この型の低コストのデバイスが製造できれば、電子業
界における絶縁増幅器の使用の程度はもつと太きいもの
となろう。しかしながら、現在に至るまで、低コスト電
子製品で斯かるデバイスを広範囲に使用するため、「市
場を大きくする」のに十分安価に、特に気密的に封止さ
れた高精密高電圧絶縁増幅器を製作することができなか
った。
過去において、大抵の絶縁増幅器は、絶縁バリヤとして
トロイド状変圧器を用いるかあるいは絶縁バリヤとして
光電デバイスを用いてきた。現在の技術の光電デバイス
は、その入力段と出力段との間に高置の電気絶縁を与え
るが、多くの応用例にとってはあまりにも高価であり、
あるいはその速度が遅すぎる。絶縁バリヤとしてフェラ
イトトロイド変圧器を用いている絶縁増幅器は、寸法が
大きく、ハイブリッド集積回路パンケージに集積するの
が困難であり、しかも非常に高価である。
トロイド状変圧器を用いるかあるいは絶縁バリヤとして
光電デバイスを用いてきた。現在の技術の光電デバイス
は、その入力段と出力段との間に高置の電気絶縁を与え
るが、多くの応用例にとってはあまりにも高価であり、
あるいはその速度が遅すぎる。絶縁バリヤとしてフェラ
イトトロイド変圧器を用いている絶縁増幅器は、寸法が
大きく、ハイブリッド集積回路パンケージに集積するの
が困難であり、しかも非常に高価である。
この型式の気密封止ハイブリッド集積回路絶縁増幅器は
まだ市販されていない。
まだ市販されていない。
米国特許第4,292,595号〔スミス(Smith
)]は、高電圧絶縁増幅器のための絶縁バリヤとしてコ
ンデンサを用いる概念を導入している。この特許に述べ
られている技術は、ハイブリッド集積回路基板上の大き
な面積を占めるであろう大容量(50ピコファラッド)
コンデンサの使用を必要としており、従って実用的では
なかった。
)]は、高電圧絶縁増幅器のための絶縁バリヤとしてコ
ンデンサを用いる概念を導入している。この特許に述べ
られている技術は、ハイブリッド集積回路基板上の大き
な面積を占めるであろう大容量(50ピコファラッド)
コンデンサの使用を必要としており、従って実用的では
なかった。
従来の絶縁増幅器には、絶縁バリヤに渡って小さなAC
信号を結合し且つこれと同時に同一の入力段と出力段と
の間の絶縁バリヤに渡って大きな高電力DC信号を結合
するために別々のトロイド状変圧器を用いた絶縁増幅器
が知られている。このような回路は高価である。
信号を結合し且つこれと同時に同一の入力段と出力段と
の間の絶縁バリヤに渡って大きな高電力DC信号を結合
するために別々のトロイド状変圧器を用いた絶縁増幅器
が知られている。このような回路は高価である。
先行技術において、フリンジコンデンサが述べられてい
る。例えば、米国特許第4.188,651号〔トーン
フェルト(Dorxfeld)外〕、第3.764,9
38号〔バーンス(Barnes ) )、第3.67
5,095号〔レーマン(Le hma?Ln ) ]
、及び第3,104,377号〔アレクサンダー(A1
.zan−dgr)外〕は、互いにかみ合わされた共面
コンデンサ構造体を開示している。しかしながら、この
中のどれも、高電圧素子として開示されておらずまた、
絶縁増幅器のための高電圧(即ち、1500ボルト以上
)の絶縁バリヤ構造体に有用ではない。
る。例えば、米国特許第4.188,651号〔トーン
フェルト(Dorxfeld)外〕、第3.764,9
38号〔バーンス(Barnes ) )、第3.67
5,095号〔レーマン(Le hma?Ln ) ]
、及び第3,104,377号〔アレクサンダー(A1
.zan−dgr)外〕は、互いにかみ合わされた共面
コンデンサ構造体を開示している。しかしながら、この
中のどれも、高電圧素子として開示されておらずまた、
絶縁増幅器のための高電圧(即ち、1500ボルト以上
)の絶縁バリヤ構造体に有用ではない。
更に、この中のどれも、従来のハイブリッド集積回路製
造工程と適合していない。
造工程と適合していない。
種々の多数キャビティ集積回路パッケージが、例えば、
米国特許第4,038,488号〔リン(Lin))に
示されているような技術において公知である。この参考
文献に開示されている構造体は、2つのキャビティの間
に絶縁バリヤが存在しないため、絶縁増幅器としては有
用ではない。この構造体についての記述された目的は、
この2つのキャビティの間の電気的結合を回避すること
である。
米国特許第4,038,488号〔リン(Lin))に
示されているような技術において公知である。この参考
文献に開示されている構造体は、2つのキャビティの間
に絶縁バリヤが存在しないため、絶縁増幅器としては有
用ではない。この構造体についての記述された目的は、
この2つのキャビティの間の電気的結合を回避すること
である。
要約
従って、本発明の目的は、絶縁バリヤとして共面フリン
ジコンデンサを用いた高電圧絶縁増幅器用の改良された
低コスト半導体パッケージを提供することにある。
ジコンデンサを用いた高電圧絶縁増幅器用の改良された
低コスト半導体パッケージを提供することにある。
本発明の別の目的は、低コスト高電圧絶縁増幅器用の気
密封止半導体パッケージを提供することにちる。
密封止半導体パッケージを提供することにちる。
本発明の別の目的は、従来のハイブリッド集積回路製造
工程と適合した製造工程を用いる低コスト高電圧絶縁増
幅器を提供することにある。
工程と適合した製造工程を用いる低コスト高電圧絶縁増
幅器を提供することにある。
本発明の別の目的は、同一の回路内に高電圧小信号の容
量性絶縁バリヤと高電力絶縁バリヤとを含む改良された
半導体パッケージ構造体を提供することにある。
量性絶縁バリヤと高電力絶縁バリヤとを含む改良された
半導体パッケージ構造体を提供することにある。
簡単に述べると、本発明の1つの実施例してよれば、本
発明が提供するハイブリッド集積回路パッケージ構造体
は、絶縁基板の上に配設された平面コンデンサを含み、
該平面コンデンサが、上記基板上に配設された第1及び
第2金属フィルム導体であってそれらの間に容量性結合
を持つ精密に離間された平行部分を有する第1及び第2
金属フィルム導体、及び上記平行部分の上に且つ上記平
行部分の別々のセクションの間に配設された誘電体層、
を含んでおり、上記第1及び第2金属フィルム縛体の露
出した部分は、上記誘電体層を越えて延在しており、そ
して上記平面コンデンサの第1及び第2端子を形成して
いる。本発明の1つの記述実施例によると、上記第1及
び第2金属フィルム導体は、耐火性金属から成っており
、上記基板はセラミックであり、そして上記誘電体層は
、上記基板と共焼、成されたセラミック層を含み、これ
によってセラミック材料が上記第1及び第2金属フィル
ム導体間のスペースを充填して上記コンデンサの端子間
の高電圧でのアークを防止するようにしである。このセ
ラミック層は、第1及び第2キャビティを定める第1及
び第2開口部を含んでおり、これらの第1及び第2キャ
ビティの中に、高電圧絶縁増幅器の入力回路及び出力回
路が配設されている。これらの第1及び第2キャビティ
は、絶縁増幅器の絶縁バリヤを形成するコンデンサの両
側に配置されている。第1のコンデンサと共に、第2の
整合されたコンデンサが形成されている。
発明が提供するハイブリッド集積回路パッケージ構造体
は、絶縁基板の上に配設された平面コンデンサを含み、
該平面コンデンサが、上記基板上に配設された第1及び
第2金属フィルム導体であってそれらの間に容量性結合
を持つ精密に離間された平行部分を有する第1及び第2
金属フィルム導体、及び上記平行部分の上に且つ上記平
行部分の別々のセクションの間に配設された誘電体層、
を含んでおり、上記第1及び第2金属フィルム縛体の露
出した部分は、上記誘電体層を越えて延在しており、そ
して上記平面コンデンサの第1及び第2端子を形成して
いる。本発明の1つの記述実施例によると、上記第1及
び第2金属フィルム導体は、耐火性金属から成っており
、上記基板はセラミックであり、そして上記誘電体層は
、上記基板と共焼、成されたセラミック層を含み、これ
によってセラミック材料が上記第1及び第2金属フィル
ム導体間のスペースを充填して上記コンデンサの端子間
の高電圧でのアークを防止するようにしである。このセ
ラミック層は、第1及び第2キャビティを定める第1及
び第2開口部を含んでおり、これらの第1及び第2キャ
ビティの中に、高電圧絶縁増幅器の入力回路及び出力回
路が配設されている。これらの第1及び第2キャビティ
は、絶縁増幅器の絶縁バリヤを形成するコンデンサの両
側に配置されている。第1のコンデンサと共に、第2の
整合されたコンデンサが形成されている。
これら両方のコンデンサの端子は、上記第1及び第2キ
ャビティ内へ延在しており、そして絶縁増幅器の入力段
及び出力段にそれぞれ電気的に接続されている。各コン
デンサの第1及び第2金属フィルム導体の端部は、一対
の概して螺旋状のトレースを定めており、これらトレー
スの端部は、そこに生じる電界を減少せしめ且つこれに
より電気的アークを防ぐたぬに丸くなっている。本発明
の別の実施例によると、絶縁増幅器のための絶縁バリヤ
を形成する第1及び第2コンデンサは、平行板コンデン
サである。本発明の別の実施例によると、絶縁増幅器の
入力段及び出力段は、1つの犬きなキャピテイの中に配
設されており、正方形トロイド変圧器が第1及び第2領
域間のキャビティ内に配設されている。この正方形トロ
イドは、複数の一次巻線を含んでおり、各々の一次巻線
の底部は、セラミック基板の上に配設された金属化スト
リップによって形成され、各々の巻線の残りの部分は、
トロイド上をループしそして隣接の金属化ストリップの
反対側の端部にワイヤボンディングされたワイヤボンデ
ィング導体によって形成され、これにより連続した一次
巻線を形成している。
ャビティ内へ延在しており、そして絶縁増幅器の入力段
及び出力段にそれぞれ電気的に接続されている。各コン
デンサの第1及び第2金属フィルム導体の端部は、一対
の概して螺旋状のトレースを定めており、これらトレー
スの端部は、そこに生じる電界を減少せしめ且つこれに
より電気的アークを防ぐたぬに丸くなっている。本発明
の別の実施例によると、絶縁増幅器のための絶縁バリヤ
を形成する第1及び第2コンデンサは、平行板コンデン
サである。本発明の別の実施例によると、絶縁増幅器の
入力段及び出力段は、1つの犬きなキャピテイの中に配
設されており、正方形トロイド変圧器が第1及び第2領
域間のキャビティ内に配設されている。この正方形トロ
イドは、複数の一次巻線を含んでおり、各々の一次巻線
の底部は、セラミック基板の上に配設された金属化スト
リップによって形成され、各々の巻線の残りの部分は、
トロイド上をループしそして隣接の金属化ストリップの
反対側の端部にワイヤボンディングされたワイヤボンデ
ィング導体によって形成され、これにより連続した一次
巻線を形成している。
この変圧器の二次巻側は、正方形トロイドの平行の反対
側のレッグの回りに同様の状態でもって形成されている
。この正方形トロイドの中心内には、一対の共面フリン
ジコンデンサが、絶縁層の下に形成されている。この構
造によって、フリンジコンデンサ絶縁バリヤに渡る小さ
なAC信号の結合と及びトロイド状変圧器に渡る高電力
DC信号の結合とが可能になる。この正方形トロイド構
造によって、多数の一次巻線及び多数の二次巻線が与え
られ、これらの巻線は全て十分遠く離間されて−次巻線
と二次巻線との間の電気アークを防ぎ、これにより低コ
スト・ドライバ回路に至る非常に大きな絶縁電圧及び高
巻線インダクタンスを提供する。本発明の別の実施例に
よると、リードフレームには、絶縁増幅器の入力回路及
び絶縁増幅器の出力回路を支持するための別々のセクシ
ョンが配設されている。このリードフレームの2つのセ
クションの間には、一対の整合されたフリンジコンデン
サをその上に有する基板が懸架されている。
側のレッグの回りに同様の状態でもって形成されている
。この正方形トロイドの中心内には、一対の共面フリン
ジコンデンサが、絶縁層の下に形成されている。この構
造によって、フリンジコンデンサ絶縁バリヤに渡る小さ
なAC信号の結合と及びトロイド状変圧器に渡る高電力
DC信号の結合とが可能になる。この正方形トロイド構
造によって、多数の一次巻線及び多数の二次巻線が与え
られ、これらの巻線は全て十分遠く離間されて−次巻線
と二次巻線との間の電気アークを防ぎ、これにより低コ
スト・ドライバ回路に至る非常に大きな絶縁電圧及び高
巻線インダクタンスを提供する。本発明の別の実施例に
よると、リードフレームには、絶縁増幅器の入力回路及
び絶縁増幅器の出力回路を支持するための別々のセクシ
ョンが配設されている。このリードフレームの2つのセ
クションの間には、一対の整合されたフリンジコンデン
サをその上に有する基板が懸架されている。
これらフリンジコンデンサの端子を適当な入力及び出力
回路へワイヤボンディングした後、この回路及びリード
フレームの支持部分は、プラスチックの中に封入される
。
回路へワイヤボンディングした後、この回路及びリード
フレームの支持部分は、プラスチックの中に封入される
。
実施例
図面について特に第1図及び第2図について説明する。
絶縁増幅器パッケージ1は、その両端に第1キャビティ
3及び第2キャビティ4を有するセラミック体2を含ん
でいる。セラミック体2の中間領域16がキャピテイ3
及び4を分離している。
3及び第2キャビティ4を有するセラミック体2を含ん
でいる。セラミック体2の中間領域16がキャピテイ3
及び4を分離している。
セラミック体2は、第1A図に最もよく示されているラ
ミネート構造から成っている。より詳細には、セラミッ
ク体2は、参照数字2A、2B。
ミネート構造から成っている。より詳細には、セラミッ
ク体2は、参照数字2A、2B。
2C1及び2Dによって指示されたアルミナのラミネー
トされた4層を含んでいる。上の2層2C及び2Dの開
口は、キャピテイ3及び4を定めている。層2A及び2
Cの中間部の間には、第1及び第2フリンジコンデンサ
10及び13がサンドイッチ状にはさまっている。
トされた4層を含んでいる。上の2層2C及び2Dの開
口は、キャピテイ3及び4を定めている。層2A及び2
Cの中間部の間には、第1及び第2フリンジコンデンサ
10及び13がサンドイッチ状にはさまっている。
キャピテイ3の中には、第6図に全てが示されている、
エンコーダ75(第6図参照)及びエンコーダ75の出
力に接続された入力を有する差動ドライバ回路76が配
設されている。差動ドライバ76の一方の出力は、フリ
ンジコンデンサ10の端子11に接続されている。差動
ドライバ76の相補出力は、フリンジコンデンサ13の
端子14に接続されている。フリンジコンデンサ10の
第2端子12は、差動増幅器77の正の入力に接続され
ている。フリンジコンデンサ13の第2端子は、差動増
幅器77の負の入力に接続された端子15を有している
。第2キャビティ4の中には、差動増幅器77.2つの
比較器78及び79、及びデコーダ80が配設されてい
る。第6図に示されている回路の詳細な構造及び詳細な
動作原理については、ンンマービル(Sommgr v
i l l g )の特許出願に述べられている。
エンコーダ75(第6図参照)及びエンコーダ75の出
力に接続された入力を有する差動ドライバ回路76が配
設されている。差動ドライバ76の一方の出力は、フリ
ンジコンデンサ10の端子11に接続されている。差動
ドライバ76の相補出力は、フリンジコンデンサ13の
端子14に接続されている。フリンジコンデンサ10の
第2端子12は、差動増幅器77の正の入力に接続され
ている。フリンジコンデンサ13の第2端子は、差動増
幅器77の負の入力に接続された端子15を有している
。第2キャビティ4の中には、差動増幅器77.2つの
比較器78及び79、及びデコーダ80が配設されてい
る。第6図に示されている回路の詳細な構造及び詳細な
動作原理については、ンンマービル(Sommgr v
i l l g )の特許出願に述べられている。
フリンジコンデンサ10の構成は、第2図に最もよく示
されている。フリンジコンデンサ10は、2つの概して
細長く延びた螺旋状の等間隔に離間されている金属導体
18及び20を含んでいる。
されている。フリンジコンデンサ10は、2つの概して
細長く延びた螺旋状の等間隔に離間されている金属導体
18及び20を含んでいる。
各々の導体は、アルミナ層2Aの上面に配設されており
、この層とアルミナ層2Cの中間部16の間にサンドイ
ッチ状にはさまれている。導体18は、層2Cの部分1
6によって被覆されている部分18Aと、及びセクショ
ン16を越えてキャピテイ3内に延在しフリンジコンデ
ンサ10の端子11を形成している部分と、を有してい
る。導体18はまた、拡大円形端部19を有しており、
これによりそこに生じる電界を減少させている。
、この層とアルミナ層2Cの中間部16の間にサンドイ
ッチ状にはさまれている。導体18は、層2Cの部分1
6によって被覆されている部分18Aと、及びセクショ
ン16を越えてキャピテイ3内に延在しフリンジコンデ
ンサ10の端子11を形成している部分と、を有してい
る。導体18はまた、拡大円形端部19を有しており、
これによりそこに生じる電界を減少させている。
フリンジコンデンサ10はまた、導体18と平行な部分
を有する第2の延びた導体20を含んでいる。導体20
は、拡大円形端部21を有しており、この端部もまた、
そこに生じる電界を減少させるために丸くなっている。
を有する第2の延びた導体20を含んでいる。導体20
は、拡大円形端部21を有しており、この端部もまた、
そこに生じる電界を減少させるために丸くなっている。
導体20の部分20Aは、層2Cの部分16を越えてキ
ャピテイ4内に延在しており、これによりフリンジコン
デンサ10の端子12を形成している。
ャピテイ4内に延在しており、これによりフリンジコン
デンサ10の端子12を形成している。
同様にして、第2フリンジコンデンサ13は、第1共面
金属導体21及び第2共面金属導体22を有しており、
これらの導体の各々は、平行部分を有しており、そして
拡大円形端部で終端して、これによりそこに生じる電界
を減少している。導体21は、層2Aの部分16の下を
延びてキャビティ3内に達し、端子14を形成している
。導体22は、キャビティ4内へ延在しており、これに
よりフリンジコンデンサ13の端子15を形成している
。
金属導体21及び第2共面金属導体22を有しており、
これらの導体の各々は、平行部分を有しており、そして
拡大円形端部で終端して、これによりそこに生じる電界
を減少している。導体21は、層2Aの部分16の下を
延びてキャビティ3内に達し、端子14を形成している
。導体22は、キャビティ4内へ延在しており、これに
よりフリンジコンデンサ13の端子15を形成している
。
ハイブリッド集積回路においては通常のことではあるが
、セラミック層2Aの上面には多数の他の金属導体が形
成されており、これによりその中の種々のチップの間の
相互接続を行なっている。
、セラミック層2Aの上面には多数の他の金属導体が形
成されており、これによりその中の種々のチップの間の
相互接続を行なっている。
例えば、導体24は、セラミック体2の側部にろう付け
されたリード5(第1図)等のパッケージリードへの導
電経路を形成している。正方形リング25.26、及び
27は、3つの集積回路ダイをセラミックIJ 2 A
の表面に接着するための場所である。導体23等のエツ
ジ導体によってリード5への電気的接続が容易になる。
されたリード5(第1図)等のパッケージリードへの導
電経路を形成している。正方形リング25.26、及び
27は、3つの集積回路ダイをセラミックIJ 2 A
の表面に接着するための場所である。導体23等のエツ
ジ導体によってリード5への電気的接続が容易になる。
第1図、第1A図、第2図、及び第6図に示されている
絶縁増幅器集積回路を製作する方法は、アルミナ層2A
の上面に第2図に示さり、たタングステン金属化パター
ンを印刷することである。また、キャビティ開口部3及
び4が層2C及び2Dに穿孔された後、第1図に示され
るような2つのカバーシールリング71及び72がアル
ミナ層2Dの]JI部に形成される。その金属化パター
ンが層2A及び2Dの上にスクリーンされた後、これら
4つの層2A−2Dが互いにプレスされる。
絶縁増幅器集積回路を製作する方法は、アルミナ層2A
の上面に第2図に示さり、たタングステン金属化パター
ンを印刷することである。また、キャビティ開口部3及
び4が層2C及び2Dに穿孔された後、第1図に示され
るような2つのカバーシールリング71及び72がアル
ミナ層2Dの]JI部に形成される。その金属化パター
ンが層2A及び2Dの上にスクリーンされた後、これら
4つの層2A−2Dが互いにプレスされる。
この金属化パターンは、タングステン又は他の高温耐火
金属から形成される。実際には、これらのセラミック層
は、約20ミル(約0.51m1)の厚さしか有してい
ない。
金属から形成される。実際には、これらのセラミック層
は、約20ミル(約0.51m1)の厚さしか有してい
ない。
タングステン金属化パターンが上にスクリーンされたこ
れら4つの層が、整合されて共にプレスされた後、これ
らの層は、当業者には公知のプロセスによって約200
0℃において「共焼成コされる。
れら4つの層が、整合されて共にプレスされた後、これ
らの層は、当業者には公知のプロセスによって約200
0℃において「共焼成コされる。
タングステン金属化パターンは、無電解金属メッキ法を
用いてニッケルメッキされる。この無電解金属メッキ法
については公知であるため、本明細書では詳細には触れ
ない。ニッケルメッキはまた、セラミック体2のエツジ
において第1図の参照数字8によって指示された矩形領
域にも行なわれ、これによりこの後リード5をそこにろ
う付けできるようにする。
用いてニッケルメッキされる。この無電解金属メッキ法
については公知であるため、本明細書では詳細には触れ
ない。ニッケルメッキはまた、セラミック体2のエツジ
において第1図の参照数字8によって指示された矩形領
域にも行なわれ、これによりこの後リード5をそこにろ
う付けできるようにする。
この手順における次の工程は、適当なリードフレームに
接続されている諸リード5をニッケル取付は領域8に整
合することである。ここで銘記すヘキことは、各リード
フレームは、キャビティ3とキャビティ4に整合される
リードの2つのグループを含んでいるが、中間領域16
にはリード線が何も付けられないことである。この離間
は、エンコーダ75及び差動ドライバ76を含む入力段
と差動増幅器77、比較器78及び79、及びデコーダ
80を含む出力段との間の電気的アークを防ぐのに必要
である。
接続されている諸リード5をニッケル取付は領域8に整
合することである。ここで銘記すヘキことは、各リード
フレームは、キャビティ3とキャビティ4に整合される
リードの2つのグループを含んでいるが、中間領域16
にはリード線が何も付けられないことである。この離間
は、エンコーダ75及び差動ドライバ76を含む入力段
と差動増幅器77、比較器78及び79、及びデコーダ
80を含む出力段との間の電気的アークを防ぐのに必要
である。
この製造プロセスにおける次の工程は、リード5の拡大
ヘッド7をセラミック体20両[Sのニッケルメッキ取
付領域8にろう付けすることである。第1A図の参照数
字82は、ろう付は点を示す。
ヘッド7をセラミック体20両[Sのニッケルメッキ取
付領域8にろう付けすることである。第1A図の参照数
字82は、ろう付は点を示す。
次の工程は、露出しているニッケル及びリード金属化部
の全てに金メッキすることである。2つのリードフレー
ムの1つに接続されていない金属化領域がどちらかのキ
ャビティの中に存在する場合は、1つが電解で且つ1つ
が無電解である金メツキ工程が必要となる。電解金メッ
キ手順及び無電解金メツキ手順は両方共、当業者にとっ
ては公知であるため、本明細書では詳細には触れない。
の全てに金メッキすることである。2つのリードフレー
ムの1つに接続されていない金属化領域がどちらかのキ
ャビティの中に存在する場合は、1つが電解で且つ1つ
が無電解である金メツキ工程が必要となる。電解金メッ
キ手順及び無電解金メツキ手順は両方共、当業者にとっ
ては公知であるため、本明細書では詳細には触れない。
しかしながら、電解金メッキの方が優れており、できる
だけ多くの金属化部分をこれでメッキするのに用いる。
だけ多くの金属化部分をこれでメッキするのに用いる。
キャビティ3及び4の中の露出した金属化部分の全てが
メッキされると、第6図に示される諸素子を含む種々の
モノリシック集積回路チップが、ダイボンディング領域
25.26、及び27(第2図)にダイボンディングさ
れる。ダイボンディングが完了した後、この集積回路チ
ップのポンディングパッドが、キャビティ3及び4内の
種々の金属化導体24の内側端部にワイヤボンディング
される。
メッキされると、第6図に示される諸素子を含む種々の
モノリシック集積回路チップが、ダイボンディング領域
25.26、及び27(第2図)にダイボンディングさ
れる。ダイボンディングが完了した後、この集積回路チ
ップのポンディングパッドが、キャビティ3及び4内の
種々の金属化導体24の内側端部にワイヤボンディング
される。
次に、金属カバーが、環状ハンダ予備成形物を用いてシ
ールリング71及び72に取り付けられる。これは、本
明細書では詳細に述べる必要がない従来の工程である。
ールリング71及び72に取り付けられる。これは、本
明細書では詳細に述べる必要がない従来の工程である。
第2図に示されている金属化ラインの幅は、10ミルM
、25罰)であり得る。この絶縁増幅器の入力段と出力
段との間に約1500ボルトの絶縁が望ましい場合は、
フリンジコンデンサ10を形成するこれらの導体間の分
離即ち離間の量は、20ミル鳥、 51 ynm )で
あり得る。約3500ボルトより大きい絶縁が必要な場
合、導体18と20との間の離間の量は、約25ミル^
、64mπ)とすべきである。
、25罰)であり得る。この絶縁増幅器の入力段と出力
段との間に約1500ボルトの絶縁が望ましい場合は、
フリンジコンデンサ10を形成するこれらの導体間の分
離即ち離間の量は、20ミル鳥、 51 ynm )で
あり得る。約3500ボルトより大きい絶縁が必要な場
合、導体18と20との間の離間の量は、約25ミル^
、64mπ)とすべきである。
第2図の基板16の長さは、本発明のこの実施例におい
ては1.2インチ(約3.1 cm )であり、その幅
は0.6インチ(約1.5cm)である。キャビティ3
と4との間の中心部分の幅は、0.38インチ(約0.
97crIL)である。
ては1.2インチ(約3.1 cm )であり、その幅
は0.6インチ(約1.5cm)である。キャビティ3
と4との間の中心部分の幅は、0.38インチ(約0.
97crIL)である。
ニッケルメッキの厚さは、通常、50マイクロインチ(
約0.0013mm )であり、その上の金メッキの厚
さは、通常、30マイクロインチ(約0.00076m
5)である。金属のふたをシールリング71及び72に
気密封止するのに、金/スズ・ハンダリングが通常用い
られる。上記の構造は、他の金属化経路が形成される同
一のスクリーン工程の間に、この絶縁バリヤ・フリンジ
コンデンサ10及び13を形成することができるという
利点を有している。上記のパッケージを製作する工程と
の唯一の相違は11種々の金属化パターン及びキャビテ
ィを定めるために穿孔された穴のパターンの形状にある
ため、付加的なプロセス工程は必要とされない。これら
のフリンジコンデンサ:ま、同一容量を有する平行板コ
ンデンサよりも犬くの基板面積を必要とするが、このセ
ラミック体においてこれら2つのキャビティ3及び4を
分離することが好ましいため、いずれにしても有効に用
いられない基板面積が与えられ6゜ 20ミル(約0.51mm)の離間を有するフリンジコ
ンデンサの容量は、1インチ(2,54CIrL)当り
約3ピコファラッドである。ソンマービルの特許出願に
説明されているように、それに開示された絶縁増幅器回
路の正確な性能は、絶縁バリヤ・フリンジコンデンサ1
0及び13の約3ピコファラッドの容量によってしか得
られない。これら2つのフリンジコンデンサは、それら
の絶対値が約±20%変化することがあっても、精密に
整合される。
約0.0013mm )であり、その上の金メッキの厚
さは、通常、30マイクロインチ(約0.00076m
5)である。金属のふたをシールリング71及び72に
気密封止するのに、金/スズ・ハンダリングが通常用い
られる。上記の構造は、他の金属化経路が形成される同
一のスクリーン工程の間に、この絶縁バリヤ・フリンジ
コンデンサ10及び13を形成することができるという
利点を有している。上記のパッケージを製作する工程と
の唯一の相違は11種々の金属化パターン及びキャビテ
ィを定めるために穿孔された穴のパターンの形状にある
ため、付加的なプロセス工程は必要とされない。これら
のフリンジコンデンサ:ま、同一容量を有する平行板コ
ンデンサよりも犬くの基板面積を必要とするが、このセ
ラミック体においてこれら2つのキャビティ3及び4を
分離することが好ましいため、いずれにしても有効に用
いられない基板面積が与えられ6゜ 20ミル(約0.51mm)の離間を有するフリンジコ
ンデンサの容量は、1インチ(2,54CIrL)当り
約3ピコファラッドである。ソンマービルの特許出願に
説明されているように、それに開示された絶縁増幅器回
路の正確な性能は、絶縁バリヤ・フリンジコンデンサ1
0及び13の約3ピコファラッドの容量によってしか得
られない。これら2つのフリンジコンデンサは、それら
の絶対値が約±20%変化することがあっても、精密に
整合される。
上記の発明は、気密パッケージ構造のハイブリッドIC
プロセス適合の低コスト高電圧絶縁増幅器を提供する。
プロセス適合の低コスト高電圧絶縁増幅器を提供する。
現在に至るまで、斯かる製品は、如何なる製造業者によ
っても市販されていない。
っても市販されていない。
上記のデュアルキャビティ・フリンジコンデンサ絶縁バ
リヤ構造は、本発明の好ましい実施例ではあるが、第3
図に示すように、共面フリンジコンデンサの代わりに平
行板コンデンサを用いることも可能である。
リヤ構造は、本発明の好ましい実施例ではあるが、第3
図に示すように、共面フリンジコンデンサの代わりに平
行板コンデンサを用いることも可能である。
第3図において、図示されたタングステンパターンを3
つのセラミック層30.35、及び40にスクリーンし
、セラミック層35及び40に図示の開口部3及び4を
切開した後、これら3つのセラミック層30.35、及
び40は共焼成される。より詳細に説明すると、参照数
字31及び32は、2つの絶縁バリヤコンデンサ10及
び13(第6図)のタングステン下部板・をそれぞれ示
している。これらの薄い延長部は、キャビティ3内へ延
在している。
つのセラミック層30.35、及び40にスクリーンし
、セラミック層35及び40に図示の開口部3及び4を
切開した後、これら3つのセラミック層30.35、及
び40は共焼成される。より詳細に説明すると、参照数
字31及び32は、2つの絶縁バリヤコンデンサ10及
び13(第6図)のタングステン下部板・をそれぞれ示
している。これらの薄い延長部は、キャビティ3内へ延
在している。
中間のセラミック層35の開口部3及び4は、上記のキ
ャビティ3及び4を定めている。タングステン金属化層
36及び37は、それら2つの絶縁バリヤコンデンサの
上部板と、フィードスルー・ホール38及び39への右
方向延長部とをそれぞれ定めており、これらフィードス
ルー・ホール内にはセラミック基板30の上の点43及
び42にそれぞれ接続を行うためにタングステンフィー
ドスルーが設けられる。最上部のセラ1ミック層40は
、その中にキャビティ3及び4を定める2つの開口部3
及び4を有している。第1図の所で前述したように、セ
ラミック層40の上面には、タングステン・シールリン
グ71及び72がスクリーンされる。このタングステン
「インク」スクリーンプロセスの間、フィードスルー・
ホール38及び39は、タングステンで満たされ、これ
により、上の容量板36及び37及び下の導体42及び
43と電気的に連続する電気フィードスルーを提供する
。このアセンブリは、約2000℃でもって共焼成され
る。この後の工程は、第1図の実施例について上述した
のと全く同様に行なわれる。
ャビティ3及び4を定めている。タングステン金属化層
36及び37は、それら2つの絶縁バリヤコンデンサの
上部板と、フィードスルー・ホール38及び39への右
方向延長部とをそれぞれ定めており、これらフィードス
ルー・ホール内にはセラミック基板30の上の点43及
び42にそれぞれ接続を行うためにタングステンフィー
ドスルーが設けられる。最上部のセラ1ミック層40は
、その中にキャビティ3及び4を定める2つの開口部3
及び4を有している。第1図の所で前述したように、セ
ラミック層40の上面には、タングステン・シールリン
グ71及び72がスクリーンされる。このタングステン
「インク」スクリーンプロセスの間、フィードスルー・
ホール38及び39は、タングステンで満たされ、これ
により、上の容量板36及び37及び下の導体42及び
43と電気的に連続する電気フィードスルーを提供する
。このアセンブリは、約2000℃でもって共焼成され
る。この後の工程は、第1図の実施例について上述した
のと全く同様に行なわれる。
本発明のこの実施例は、第1図のフリンジコンデンサを
用いて達成されるより高い値の絶縁バリャコンデンサ1
0及び13が必要力場合に有用となる。
用いて達成されるより高い値の絶縁バリャコンデンサ1
0及び13が必要力場合に有用となる。
第4図及び第5図について説明する。これらの図には、
本発明の別の実施例が示されており、この実施例におい
ては、キャビティが1つしか配設されていない。そして
、このキャビティの中には、絶縁増幅器回路の入力段と
出力段が両方共封入されている。本発明のこの実施例は
、2つの絶縁バリヤ回路を含んでおり、その第一の回路
は、フリンジコンデンサ58及び59を含んでおり、こ
れらのコンデンサは上記のコンデンサと実質的に類似の
構造を有している。即ち、各々は、絶縁増幅器の入力段
の領域内に延在している1つの端子、及び絶縁増幅器出
力回路の領域内に延在している別の端子を有するように
形成されている。本発明によると、高度の電気的絶縁(
少なくとも1500ボルト)が維持された状態で、絶縁
増幅器の入力段と出力段との間には小さな信号又はAC
信号が結合される。
本発明の別の実施例が示されており、この実施例におい
ては、キャビティが1つしか配設されていない。そして
、このキャビティの中には、絶縁増幅器回路の入力段と
出力段が両方共封入されている。本発明のこの実施例は
、2つの絶縁バリヤ回路を含んでおり、その第一の回路
は、フリンジコンデンサ58及び59を含んでおり、こ
れらのコンデンサは上記のコンデンサと実質的に類似の
構造を有している。即ち、各々は、絶縁増幅器の入力段
の領域内に延在している1つの端子、及び絶縁増幅器出
力回路の領域内に延在している別の端子を有するように
形成されている。本発明によると、高度の電気的絶縁(
少なくとも1500ボルト)が維持された状態で、絶縁
増幅器の入力段と出力段との間には小さな信号又はAC
信号が結合される。
第4図及び第5図において、フリンジコンデンサ構造体
58及び59は、正方形フェライトトロイド67によっ
て囲まれている正方形領域内に形成されている。この正
方形トロイド67は、フリンジコンデンサ58及び59
を形成する螺旋状導体の間のスペースを覆い且つ充填す
る薄い層のガラス・パッシベーション60の上に載置さ
れている。このガラス・パッシベーション60はまた、
米国特許第4,103,267号〔オルシェラスキー(
Olschewski ) :lの教示によって、セラ
ミック基板46上に形成された複数の共面導電ストリッ
プ65及び66を覆っている。共面導電ストリップ65
は、正方形トロイド67を含む絶縁変圧器の二次巻線の
底部を形成している。共面導体66は、この変圧器の一
次巻線の底部を形成している。図示されている金属化パ
ターンは、第1図及び第3図のデバイスのよ5にアセン
ブリが共焼成されないため、タングステンでなく金から
形成されている。セラミツク基板460衣面に形成され
ている種々の金属化パターンは、全体的には、第1図の
所で前述した通りであるが、DC信号を一次巻線に結合
するために多数の電界効果トランジスタ57が配設され
ている。二次巻線は、共面ストリップ65及び複数のボ
ンディングワイヤ・ループ68から形成されており、ル
ープ68の各々は、導体65の少なくとも1つと接続し
且つ正方形トロイド67の頂部を輪で囲むようにワイヤ
ボンディングされている。これらの導体68の大部分は
、隣接する共面導体65の反対側の端に接続されている
。ワイヤボンディング・ループ69は同様にして、隣接
する共面導体66の反対側の端にワイヤボンディングさ
れており、これにより、トロイド670反対の平行レッ
グの回りに連続−次巻線を形成している。
58及び59は、正方形フェライトトロイド67によっ
て囲まれている正方形領域内に形成されている。この正
方形トロイド67は、フリンジコンデンサ58及び59
を形成する螺旋状導体の間のスペースを覆い且つ充填す
る薄い層のガラス・パッシベーション60の上に載置さ
れている。このガラス・パッシベーション60はまた、
米国特許第4,103,267号〔オルシェラスキー(
Olschewski ) :lの教示によって、セラ
ミック基板46上に形成された複数の共面導電ストリッ
プ65及び66を覆っている。共面導電ストリップ65
は、正方形トロイド67を含む絶縁変圧器の二次巻線の
底部を形成している。共面導体66は、この変圧器の一
次巻線の底部を形成している。図示されている金属化パ
ターンは、第1図及び第3図のデバイスのよ5にアセン
ブリが共焼成されないため、タングステンでなく金から
形成されている。セラミツク基板460衣面に形成され
ている種々の金属化パターンは、全体的には、第1図の
所で前述した通りであるが、DC信号を一次巻線に結合
するために多数の電界効果トランジスタ57が配設され
ている。二次巻線は、共面ストリップ65及び複数のボ
ンディングワイヤ・ループ68から形成されており、ル
ープ68の各々は、導体65の少なくとも1つと接続し
且つ正方形トロイド67の頂部を輪で囲むようにワイヤ
ボンディングされている。これらの導体68の大部分は
、隣接する共面導体65の反対側の端に接続されている
。ワイヤボンディング・ループ69は同様にして、隣接
する共面導体66の反対側の端にワイヤボンディングさ
れており、これにより、トロイド670反対の平行レッ
グの回りに連続−次巻線を形成している。
電界効果トランジスタ、例えば57は、上記のようにし
て形成される変圧器の一次巻線を発振器56に応答して
切り換えるのに用いられる。この電圧−周波数コンバー
タは、ンンマービルの%許出願に詳細に述べられており
、参照数字50及び55によって指示され、フェーズロ
ックループ・エンコーダ回路は、参照数字54によって
説明されている。基板46の周辺上面部には、化ラミッ
ク壁47が取り付けられている。キャビティを封入する
ために、セラミック壁47の上部エツジには、適当なセ
ラミック(図示せず)がエポキシによって接着されてい
る。
て形成される変圧器の一次巻線を発振器56に応答して
切り換えるのに用いられる。この電圧−周波数コンバー
タは、ンンマービルの%許出願に詳細に述べられており
、参照数字50及び55によって指示され、フェーズロ
ックループ・エンコーダ回路は、参照数字54によって
説明されている。基板46の周辺上面部には、化ラミッ
ク壁47が取り付けられている。キャビティを封入する
ために、セラミック壁47の上部エツジには、適当なセ
ラミック(図示せず)がエポキシによって接着されてい
る。
本明細書に引用した米国特許第4,103,267号に
述べられているように、トロイド67は、共面導体65
及び66の中心部分の上に存在しているパッシベーショ
ンの上部表面に接着されている。
述べられているように、トロイド67は、共面導体65
及び66の中心部分の上に存在しているパッシベーショ
ンの上部表面に接着されている。
このトロイドは、ボンディングループがこのトロイドと
短絡しないように絶縁コーティングによって覆われてい
る。
短絡しないように絶縁コーティングによって覆われてい
る。
第7図は、本発明の更に別の実施例を示しており、この
実施例において、リードフレーム84に、2つのセクシ
ョン85及び86が設けられている。
実施例において、リードフレーム84に、2つのセクシ
ョン85及び86が設けられている。
セクション85内には複数のリード5が延在している。
セクション86内には複数のり−ド6が延在している。
予め製造されたセラミック基板85には、任意の適当な
技術によって、上記の種類の3ピコファランド・フリン
ジコンデンサ10及び13がその上に形成されている。
技術によって、上記の種類の3ピコファランド・フリン
ジコンデンサ10及び13がその上に形成されている。
パッシベーション層(図示せず)が、端子11.12.
14、及び15を形成している端部部分を除いて、フリ
ンジコンデンサ10及び13を覆っている。セラミック
基板85が、各々のセクション85及び86の内部部材
に接着されており、これにより、その間の開口ギャップ
にまたがっている。電圧−周波数コンバータ・チップ5
0及び56並びにフェーズロツクループ回路55を含む
適当な絶縁増幅器回路が、領域85及び86における金
属部材の種々の部材にダイボンディングされている。図
示のように、種々のチップとフリンジコンデンサ端子と
の間のワイヤボンディングを含む、適当なワイヤボンデ
ィングが行なわれている。従って、回路の全ては、適当
な移送成形作業によってプラスチック内に封入され、リ
ードフレームの未使用部分が除去される。本発明のこの
実施例によって、より低コストのプラスチック封入絶縁
増幅器が提供される。しかしながら、その絶縁破壊電圧
は、本発明の先に述べた実施例よりも低い。
14、及び15を形成している端部部分を除いて、フリ
ンジコンデンサ10及び13を覆っている。セラミック
基板85が、各々のセクション85及び86の内部部材
に接着されており、これにより、その間の開口ギャップ
にまたがっている。電圧−周波数コンバータ・チップ5
0及び56並びにフェーズロツクループ回路55を含む
適当な絶縁増幅器回路が、領域85及び86における金
属部材の種々の部材にダイボンディングされている。図
示のように、種々のチップとフリンジコンデンサ端子と
の間のワイヤボンディングを含む、適当なワイヤボンデ
ィングが行なわれている。従って、回路の全ては、適当
な移送成形作業によってプラスチック内に封入され、リ
ードフレームの未使用部分が除去される。本発明のこの
実施例によって、より低コストのプラスチック封入絶縁
増幅器が提供される。しかしながら、その絶縁破壊電圧
は、本発明の先に述べた実施例よりも低い。
以上、本発明はその幾つかの特定の実施例につ℃・て述
べてきたが、指業者は、本発明の精神及び範囲から逸脱
することなく本発明のこれらの実施例に対して種々の修
正を行うことが可能であろう。
べてきたが、指業者は、本発明の精神及び範囲から逸脱
することなく本発明のこれらの実施例に対して種々の修
正を行うことが可能であろう。
同一の結果を達成するために実質的に同一の機能を実質
的に同一の方法によって実施するという点で本明細書に
述べられたパッケージと同等のパッケージは、本発明の
範囲内にあるとみなすべきであることが意図される。例
えば、本明細書に述べたもの以外の絶縁基板材料を用い
ることができる。
的に同一の方法によって実施するという点で本明細書に
述べられたパッケージと同等のパッケージは、本発明の
範囲内にあるとみなすべきであることが意図される。例
えば、本明細書に述べたもの以外の絶縁基板材料を用い
ることができる。
タングステン以外の耐火材料を、第1図及び第3図の実
施例に対して用いることができる。
施例に対して用いることができる。
第1図は、本発明に係る絶縁増幅器パッケージの斜視図
、第1A図は、第1図の切断線1−1に沿って取った断
面図。第2図は、第1図のパッケージの一部切欠平面図
。第3図は、本発明に係る代替絶縁増幅器の分解斜視図
。第4図は、正方形トロイド変圧器絶縁バリヤ及び共面
フリンジコンデンサ絶縁バリヤを含む単一キャピテイ絶
縁増幅器パッケージの斜視図。第5図は、第4図の単一
キャビティパッケージの詳細な平面図。第6図は、第1
図の高電圧パッケージに含まれる絶縁増幅器のブロック
図。第7図は、一対のフリンジコンデンサを支持する基
板が、絶縁増幅器のリードフレームの別々の部分に悪果
されている、本発明に係る代替の実施例を示す平面図。 1・・・絶縁増幅器パッケージ、2・・・セラミック体
、3・・・第1キャビティ、 4・・・第2キャビ
ティ、2A、2B12C,2D・・・アルミナ・ラミネ
ート層、5.6・・・リード、 7・・・拡大
ヘッド、訃・・ニッケルメッキ取付は領域、 10.13・・・フリンジコンデンサ、11.12.1
4.15・・・端子、 71.72・・・刀バーシールリング、75・・・エン
コーダ、 76・・・差動ドライバ回路、77・・・
差動増幅器、 78.79・・・比較器、80・・・デ
コーダ、 18.20.21.22・・・金属導体、25.26.
27・・・正方形リング、30.35.40・・・セラ
ミック層、36.37・・・タングステン金属化層、3
8.39・・・フィードスルー・ホール、58.59・
・・フリンジコンデンサ、60・・・パンシベーション
、 65.66・・・共面導電ストIJツブ、67・・・正
方形フェライトトロイド、68.69・・・ボンデイン
グワ・イヤループ(外5名)
、第1A図は、第1図の切断線1−1に沿って取った断
面図。第2図は、第1図のパッケージの一部切欠平面図
。第3図は、本発明に係る代替絶縁増幅器の分解斜視図
。第4図は、正方形トロイド変圧器絶縁バリヤ及び共面
フリンジコンデンサ絶縁バリヤを含む単一キャピテイ絶
縁増幅器パッケージの斜視図。第5図は、第4図の単一
キャビティパッケージの詳細な平面図。第6図は、第1
図の高電圧パッケージに含まれる絶縁増幅器のブロック
図。第7図は、一対のフリンジコンデンサを支持する基
板が、絶縁増幅器のリードフレームの別々の部分に悪果
されている、本発明に係る代替の実施例を示す平面図。 1・・・絶縁増幅器パッケージ、2・・・セラミック体
、3・・・第1キャビティ、 4・・・第2キャビ
ティ、2A、2B12C,2D・・・アルミナ・ラミネ
ート層、5.6・・・リード、 7・・・拡大
ヘッド、訃・・ニッケルメッキ取付は領域、 10.13・・・フリンジコンデンサ、11.12.1
4.15・・・端子、 71.72・・・刀バーシールリング、75・・・エン
コーダ、 76・・・差動ドライバ回路、77・・・
差動増幅器、 78.79・・・比較器、80・・・デ
コーダ、 18.20.21.22・・・金属導体、25.26.
27・・・正方形リング、30.35.40・・・セラ
ミック層、36.37・・・タングステン金属化層、3
8.39・・・フィードスルー・ホール、58.59・
・・フリンジコンデンサ、60・・・パンシベーション
、 65.66・・・共面導電ストIJツブ、67・・・正
方形フェライトトロイド、68.69・・・ボンデイン
グワ・イヤループ(外5名)
Claims (16)
- (1)ハイブリッド集積回路における平面コンデンサに
おいて、 (a)セラミック基板、 (b)上記基板上の第1及び第2金属フィルム導体であ
つて、各々が他方への所定の容量性結合を有する密接に
且つ精密に離間された平行部分を有する第1及び第2金
属フィルム導体、 (c)上記平行部分上の及び上記平行部分間の基板上の
誘電体層、及び (d)上記平面コンデンサの第1及び第2端子をそれぞ
れ形成する、上記誘電体層を越えて延在した上記第1及
び第2金属フィルム導体の露出部分、を組み合わせて含
むことを特徴とする平面コンデンサ。 - (2)上記誘電体層が厚膜ガラス層を含むこと、を特徴
とする特許請求の範囲第1項に記載のハイブリッド集積
回路における平面コンデンサ。 - (3)上記第1及び第2金属フィルム導体が耐火金属で
あり、上記誘電体層が、上記第1及び第2金属フィルム
導体の平行部分の間のスペースをセラミックでもつて充
填するために上記セラミック基板及び上記耐火金属と共
に共焼成されるセラミック層を含むこと、を特徴とする
特許請求の範囲第1項に記載のハイブリッド集積回路に
おける平面コンデンサ。 - (4)上記セラミック層が、上記セラミック基板の第1
及び第2領域を露出し且つ第1及び第2キャビティをそ
れぞれ定める第1及び第2開口部を含み、上記第1端子
が上記第1キャビティ内に延在し、上記第2端子が上記
第2キャビティ内に延在していること、を特徴とする特
許請求の範囲第3項に記載のハイブリツ集積回路におけ
る平面コンデンサ。 - (5)上記第1キャビティが、入力信号を上記第1端子
のパルス信号に変換するための入力回路手段をその中に
有しており、上記第2キャビティが、上記平面コンデン
サを渡つて上記第2端子に結合されたパルス信号を受け
且つ上記パルス信号に応答して出力信号を生成する出力
回路手段をその中に有していること、を特徴とする特許
請求の範囲第1項に記載のハイブリツド集積回路におけ
る平面コンデンサ。 - (6)上記所定の容量性結合が約3ピコファラッドであ
ること、を特徴とする特許請求の範囲第5項に記載のハ
イブリッド集積回路における平面コンデンサ。 - (7)上記第1及び第2金属フィルム導体の平行部分が
、それぞれ一対の離間した螺旋状トレースを定めており
、これらのトレースの端部が、電気的アークを防ぐため
に丸くなつていること、を特徴とする特許請求の範囲第
6項に記載のハイブリッド集積回路における平面コンデ
ンサ。 - (8)上記第1及び第2金属フィルム導体が約10ミル
幅であり且つ上記導体間の離間量が、少なくとも150
0ボルトの第1及び第2端子間の電気的絶縁を与えるた
めに20ミルより大きいこと、を特徴とする特許請求の
範囲第7項に記載のハイブリッド集積回路における平面
コンデンサ。 - (9)ハイブリッド集積回路において、 (a)セラミック基板、 (b)該セラミック基板上の第1及び第2金属フィルム
導体を含む第1平面コンデンサであつて、各導体が他方
に対し所定の容量性結合を有する第1の密接に且つ精密
に離間された平行部分を有すること、 (c)上記第1平行部分上の且つ上記第1及び第2金属
フィルム導体の上記第1平行部分間の基板上の誘電体層
、 (d)上記第1及び第2金属フィルム導体の露出した部
分をそれぞれ含む上記第1平面コンデンサの第1及び第
2端子であつて、上記第1平面コンデンサが、上記第1
及び第2端子間に絶縁バリヤを形成していること、 (e)入力信号に応答して上記第1端子に第1パルス信
号を生成するための入力回路手段であつて、上記第1パ
ルス信号が、上記第2端子に第2パルス信号を生成する
ために上記絶縁バリヤに渡つて結合されること、及び (f)上記第2端子の上記第2パルス信号に応答して出
力信号を生成するための出力回路手段、を組み合わせて
含むこと、を特徴とするハイブリッド集積回路。 - (10)上記セラミック基板上の第3及び第4金属フィ
ルム導体であつて他方に対して上記所定の容量性結合を
有する第2の密接に且つ精密に離間した平行部分を持つ
た第3及び第4金属フィルム導体を有する第2平面コン
デンサを含み、上記第2平面コンデンサの第3及び第4
端子が、上記第3及び第4金属フィルム導体の露出部分
をそれぞれ含んでおり、上記第2平面コンデンサが上記
絶縁バリヤ内に含まれており、上記第1及び第2、第3
及び第4端子が全て、上記誘電体層を越えて延在してい
ること、を特徴とする特許請求の範囲第9項に記載のハ
イブリッド集積回路。 - (11)上記入力回路手段が、上記入力信号に応答して
上記第3端子に第3パルス信号を生成し、上記第3パル
ス信号が、上記第4端子に第4パルス信号を生成するた
めに上記絶縁バリヤに渡つて結合され、上記出力回路手
段が、上記第4端子の上記第4パルス信号に応答して上
記出力信号を生成すること、を特徴とする特許請求の範
囲第10項に記載のハイブリッド集積回路。 - (12)上記所定の容量性結合が約3ピコファラッドで
あること、を特徴とする特許請求の範囲第11項に記載
のハイブリッド集積回路。 - (13)上記第1の密接に且つ精密に離間した平行部分
が、上記第1及び第2金属フィルム導体の螺旋状部分を
含むこと、を特徴とする特許請求の範囲第11項に記載
のハイブリッド集積回路。 - (14)上記第1及び第2金属フィルム導体の端部が、
電気的アークを避けるために丸くなつていること、を特
徴とする特許請求の範囲第13項に記載のハイブリッド
集積回路。 - (15)上記誘電体層が、セラミックであり、且つ上記
セラミック基板の第1及び第2領域を露出し且つ第1及
び第2キャビティを定める開口部を含み、上記入力回路
が上記第1キャビティ内にあり、且つ上記出力回路が上
記第2キャビティ内にあること、を特徴とする特許請求
の範囲第14項に記載のハイブリッド集積回路。 - (16)上記第1及び第2キャビティが、上記絶縁バリ
ヤの反対側に配置されていること、を特徴とする特許請
求の範囲第15項に記載のハイブリッド集積回路。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US85672086A | 1986-04-28 | 1986-04-28 | |
US856720 | 1986-04-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62257759A true JPS62257759A (ja) | 1987-11-10 |
Family
ID=25324345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62035458A Pending JPS62257759A (ja) | 1986-04-28 | 1987-02-18 | ハイブリツド集積回路高電圧絶縁増幅器用パツケ−ジ及び製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62257759A (ja) |
KR (1) | KR870010686A (ja) |
DE (1) | DE3713833C2 (ja) |
FR (1) | FR2598032B1 (ja) |
GB (1) | GB2189936B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH06283662A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-10-07 | Linear Technol Corp | リードフレームキャパシタ及びそれを用いた容量結合型アイソレータ回路 |
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JP3045573B2 (ja) * | 1991-08-19 | 2000-05-29 | 北川工業株式会社 | 電子部品、コンデンサおよび3端子ノイズフィルタの製造方法 |
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---|---|---|---|---|
NL237700A (ja) * | 1958-04-02 | |||
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-
1987
- 1987-02-10 FR FR878701624A patent/FR2598032B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1987-02-18 JP JP62035458A patent/JPS62257759A/ja active Pending
- 1987-03-28 KR KR870002879A patent/KR870010686A/ko not_active Application Discontinuation
- 1987-04-24 DE DE3713833A patent/DE3713833C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-04-28 GB GB8709990A patent/GB2189936B/en not_active Expired - Fee Related
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---|---|
GB8709990D0 (en) | 1987-06-03 |
DE3713833C2 (de) | 1997-03-20 |
GB2189936A (en) | 1987-11-04 |
GB2189936B (en) | 1990-05-16 |
DE3713833A1 (de) | 1987-11-12 |
FR2598032B1 (fr) | 1991-08-09 |
FR2598032A1 (fr) | 1987-10-30 |
KR870010686A (ko) | 1987-11-30 |
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