JPS6225243A - 欠陥検出方法 - Google Patents
欠陥検出方法Info
- Publication number
- JPS6225243A JPS6225243A JP16541385A JP16541385A JPS6225243A JP S6225243 A JPS6225243 A JP S6225243A JP 16541385 A JP16541385 A JP 16541385A JP 16541385 A JP16541385 A JP 16541385A JP S6225243 A JPS6225243 A JP S6225243A
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、被検査物の表面に発生する凹凸や異物混入あ
るいは傷などの欠陥を検出する方法に関する。
るいは傷などの欠陥を検出する方法に関する。
背景技術
従来からの欠陥検出方法では、被検査物の表面に光を照
射し、この光の反射光を撮像手段によって撮像して、こ
の撮像されたデジタル画像の各画素の輝度レベルを゛し
きい値処理して欠陥部の面積や欠陥部の周囲長さなどを
求めていた。このような先行技術では、欠陥部分のｔ′
ｆ、さに関する情報はな（、その分だけ画像情報量が少
なく、高精度で欠陥部を検出することができ、ない、ま
た欠陥部の深さの程度を知ることができないため、ノイ
ズなどに影響される度合が大であるという問題があった
。
射し、この光の反射光を撮像手段によって撮像して、こ
の撮像されたデジタル画像の各画素の輝度レベルを゛し
きい値処理して欠陥部の面積や欠陥部の周囲長さなどを
求めていた。このような先行技術では、欠陥部分のｔ′
ｆ、さに関する情報はな（、その分だけ画像情報量が少
なく、高精度で欠陥部を検出することができ、ない、ま
た欠陥部の深さの程度を知ることができないため、ノイ
ズなどに影響される度合が大であるという問題があった
。
目 的
本発明の目的は、上述の技術的Ｓ題を解決し、被検査物
の表面の欠陥部の深さに閃する情報を得ることかで慇、
これによって被検査物の欠陥を高精度で検出することが
できるとともにノイズの影響を低減することができるよ
うにした欠陥検出方法を提供することである。
の表面の欠陥部の深さに閃する情報を得ることかで慇、
これによって被検査物の欠陥を高精度で検出することが
できるとともにノイズの影響を低減することができるよ
うにした欠陥検出方法を提供することである。
実施例
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。
被検査物１の表面は、光源２によって照射される。
この被検査物１の表面には、たとえば第２図（１）で示
されるように欠陥部２０ａ、２０ｂが発生している。光
源２の照射角度は被検査物１の表面が正反射しない角度
で照明される。被検査物１からの反射光は、工業用テレ
ビカメラなどの撮像手段３によって撮像される。撮像手
段３では、撮像されたアナログ画像信号をアナログ／デ
ジタル変換器４に導出する。アナログ／デジタル変換器
４で、デジタル画像された画像信号は、しきい値処理回
路５に与えられ、予め定めたしきい値でレベル弁別され
る。たとえば、デジタル画像の各画素の濃度値Ａがしき
い値Ｂより小さい場合には、不良点としてこの画素のア
ドレスに対応する２値化画像メモリ６のメモリセルを論
理「１」とする。また、ｉｉ！ｉｉ素の濃度値Ａがしき
い値Ｂより大きい場合には良品点としてこの画素のアド
レスに対応する２値化画像／モリ６のメモリセルを論理
「０」とする。
されるように欠陥部２０ａ、２０ｂが発生している。光
源２の照射角度は被検査物１の表面が正反射しない角度
で照明される。被検査物１からの反射光は、工業用テレ
ビカメラなどの撮像手段３によって撮像される。撮像手
段３では、撮像されたアナログ画像信号をアナログ／デ
ジタル変換器４に導出する。アナログ／デジタル変換器
４で、デジタル画像された画像信号は、しきい値処理回
路５に与えられ、予め定めたしきい値でレベル弁別され
る。たとえば、デジタル画像の各画素の濃度値Ａがしき
い値Ｂより小さい場合には、不良点としてこの画素のア
ドレスに対応する２値化画像メモリ６のメモリセルを論
理「１」とする。また、ｉｉ！ｉｉ素の濃度値Ａがしき
い値Ｂより大きい場合には良品点としてこの画素のアド
レスに対応する２値化画像／モリ６のメモリセルを論理
「０」とする。
こうして第２図（１）で示される原画像Ｋｌ：対して、
２値化画像メモリ６では、第２図（２）で示される２値
化画像が形成される。
２値化画像メモリ６では、第２図（２）で示される２値
化画像が形成される。
また画素の濃度値Ａがしきい値Ｂより小さい場合には、
しきい値処理回路５は、画素の濃度値Ａとしきい値Ｂと
を減算器回路７に導出する。減算器回路７では、第１式
の演算を行なって欠陥部の欠陥深さの絶対値を求める。
しきい値処理回路５は、画素の濃度値Ａとしきい値Ｂと
を減算器回路７に導出する。減算器回路７では、第１式
の演算を行なって欠陥部の欠陥深さの絶対値を求める。
Ｄ＝Ａ−Ｂ ・・・（１）
これによって論理「１」である点すなわち不良点におけ
る画素の濃度値Ａとしきい値Ｂとの差 Ｄが求められる
。この差りの絶対値は、欠陥部の欠陥深さに対応してい
る。
る画素の濃度値Ａとしきい値Ｂとの差 Ｄが求められる
。この差りの絶対値は、欠陥部の欠陥深さに対応してい
る。
減算器回路７によって演算された絶対値ＩＤＩは、その
不良点のアドレスとともにデータメモリ７にストアされ
る。なお、しきい値処理回路５において、画素の濃度値
Ａがしきい値Ｂ上り大きい場合には正常点であるため、
絶対値ＩＤＩの値はデータメモリ８にストアされない。
不良点のアドレスとともにデータメモリ７にストアされ
る。なお、しきい値処理回路５において、画素の濃度値
Ａがしきい値Ｂ上り大きい場合には正常点であるため、
絶対値ＩＤＩの値はデータメモリ８にストアされない。
このような動作を１７レ一ム分の原画像にのすべての画
素について行なう。
素について行なう。
次に２値化画像メモリ６の２値画像はラベル付は回路９
に与えられる。このラベル付は回路９は、欠陥１２０ａ
、２０ｂごとにラベル付けを行ない、ラベルｉｉｌ像メ
モリ１０にストアする。これによって第２図（３）で示
されるようにラベル画像がラベル画像メモリ１０に形成
される。
に与えられる。このラベル付は回路９は、欠陥１２０ａ
、２０ｂごとにラベル付けを行ない、ラベルｉｉｌ像メ
モリ１０にストアする。これによって第２図（３）で示
されるようにラベル画像がラベル画像メモリ１０に形成
される。
その後、中央処理回路（ＣＰＵ）１１によってレベル画
像メモリ１０の同一ラベルが付された各領域ごとのメモ
リセルの個数が計数される。これによって欠陥部分２０
ａ、２０１＋の面積Ｓが求められる。
像メモリ１０の同一ラベルが付された各領域ごとのメモ
リセルの個数が計数される。これによって欠陥部分２０
ａ、２０１＋の面積Ｓが求められる。
次に処理回路１１は、ラベル画像メモリ１０の同一ラベ
ルが付された領域内の各画素の７ドレス信号をデータメ
モリ８に導出する。これによってデータメモリ８では欠
陥部分２０ａ＋２０１＋の澤さ情報である絶対値ＩＤＩ
が順次処理回路１１に読出される。処理回路１１では、
同一ラベル領域についての絶対値ＩＤＩをすべて加算す
る。これによって欠陥部分２０ａ、２０ｂの体積Ｖが求
められる。
ルが付された領域内の各画素の７ドレス信号をデータメ
モリ８に導出する。これによってデータメモリ８では欠
陥部分２０ａ＋２０１＋の澤さ情報である絶対値ＩＤＩ
が順次処理回路１１に読出される。処理回路１１では、
同一ラベル領域についての絶対値ＩＤＩをすべて加算す
る。これによって欠陥部分２０ａ、２０ｂの体積Ｖが求
められる。
こうして欠陥検出のパラメータとして体積■および面積
Ｓが求められる。さらに必要な場合には、欠陥部分２０
ａ、２０ｂの牢均深さｄは、ｄ ＝Ｖ／Ｓとして求めら
れ、この平均ＷＺｄをもパラメータとして用いることが
できる。
Ｓが求められる。さらに必要な場合には、欠陥部分２０
ａ、２０ｂの牢均深さｄは、ｄ ＝Ｖ／Ｓとして求めら
れ、この平均ＷＺｄをもパラメータとして用いることが
できる。
このようにして本発明に従う欠陥検出方法では、欠陥部
分２０ａ、２０ｂの深さに関する情報を欠陥検出のパラ
／−夕として用いることができ、そのため従来上りも高
精度の欠陥検出を実現することができる。またこれによ
ってノイズに強い安定した検出が可能となる。
分２０ａ、２０ｂの深さに関する情報を欠陥検出のパラ
／−夕として用いることができ、そのため従来上りも高
精度の欠陥検出を実現することができる。またこれによ
ってノイズに強い安定した検出が可能となる。
なお、前述の実施例では欠陥部分２０ａ＊２０ｂは周囲
の良品部分よりも濃度が小さい場合について説明したけ
れども、欠陥部分２０ａ＝２０ｂが良品ｇ分よりも濃度
が高い場合についても同様にして本発明に従う欠陥検出
方法を用いることがでさる。
の良品部分よりも濃度が小さい場合について説明したけ
れども、欠陥部分２０ａ＝２０ｂが良品ｇ分よりも濃度
が高い場合についても同様にして本発明に従う欠陥検出
方法を用いることがでさる。
効 果
以上のように本発明によれば、欠陥部分の深さ方向の情
報を得ることができる。そのため高精度の欠陥検出を行
なうことができるとともに、ノイズに強い安定した検出
を行なうことが可能となる。
報を得ることができる。そのため高精度の欠陥検出を行
なうことができるとともに、ノイズに強い安定した検出
を行なうことが可能となる。
第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は原画
像とこの原画像の２値化画像とラベル画像を示す図であ
る。 １・・・被検査物、３・・・テレビカメラ、４・・・ア
ナログ／ヂノタル変換器、５・・・しきい値処理回路、
６・・・２値化画像メモリ、７・・・減算器回路、８・
・・データメモリ、９・・・ラベル付は回路、１０・・
・ラベル画像メモリ、１１・・・中央処理回路、Ａ・・
・画素の濃度値、Ｂ・・・しきい値、ＩＤ＋・・・欠陥
ｍさ代理人 弁理士 西教 圭一部 第２図
像とこの原画像の２値化画像とラベル画像を示す図であ
る。 １・・・被検査物、３・・・テレビカメラ、４・・・ア
ナログ／ヂノタル変換器、５・・・しきい値処理回路、
６・・・２値化画像メモリ、７・・・減算器回路、８・
・・データメモリ、９・・・ラベル付は回路、１０・・
・ラベル画像メモリ、１１・・・中央処理回路、Ａ・・
・画素の濃度値、Ｂ・・・しきい値、ＩＤ＋・・・欠陥
ｍさ代理人 弁理士 西教 圭一部 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被検査物を撮像してデジタル画像を形成し、このデジタ
ル画像は輝度を表わす信号を導出する複数の画素から成
り、 この被検査物の表面の欠陥に対応した画素の数と、その
欠陥に対応した画素からの電気信号のレベルとに基づい
て欠陥を検出することを特徴とする検出検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16541385A JPS6225243A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16541385A JPS6225243A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 欠陥検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6225243A true JPS6225243A (ja) | 1987-02-03 |
Family
ID=15811940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16541385A Pending JPS6225243A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6225243A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01237441A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-09-21 | Hitachi Cable Ltd | 長尺体表面の異物検出及び寸法測定方法 |
| CN103245666A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-08-14 | 杭州电子科技大学 | 一种蓄电池极板外观缺陷自动检测方法 |
-
1985
- 1985-07-25 JP JP16541385A patent/JPS6225243A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01237441A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-09-21 | Hitachi Cable Ltd | 長尺体表面の異物検出及び寸法測定方法 |
| CN103245666A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-08-14 | 杭州电子科技大学 | 一种蓄电池极板外观缺陷自动检测方法 |
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