JPS62251654A - 超音波顕微鏡装置 - Google Patents
超音波顕微鏡装置Info
- Publication number
- JPS62251654A JPS62251654A JP61096419A JP9641986A JPS62251654A JP S62251654 A JPS62251654 A JP S62251654A JP 61096419 A JP61096419 A JP 61096419A JP 9641986 A JP9641986 A JP 9641986A JP S62251654 A JPS62251654 A JP S62251654A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movement
- knob
- head
- sample
- ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 30
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、試料交換時等に超音波ヘッドの上下方向の移
動を迅速に行なうことのできる超音波顕微鏡装置に関す
る。
動を迅速に行なうことのできる超音波顕微鏡装置に関す
る。
[従来の技術1
近年、超音波ビームを集音して2次元的に走査しながら
試料に照射し、その反射波、または透過波を電気信号に
変換して陰極線管等に表示する超音波顕微鏡装置が実用
°化されている。
試料に照射し、その反射波、または透過波を電気信号に
変換して陰極線管等に表示する超音波顕微鏡装置が実用
°化されている。
第5図及び第6図は、本出願人が先に提出した特願昭6
0−102032号明細U)に示される超音波顕微II
装置の正面図及び側面図である。
0−102032号明細U)に示される超音波顕微II
装置の正面図及び側面図である。
これらの図において、符号1はキャスタ2によって移動
自在にされている架台である。この架台1上には、図示
しないX−Yステージに固設されたゴニオメータ3が設
けられている。前記X−Yステージはカバー4に覆われ
ており、このカバー4から前記ゴニオメータ3が突出さ
れている。
自在にされている架台である。この架台1上には、図示
しないX−Yステージに固設されたゴニオメータ3が設
けられている。前記X−Yステージはカバー4に覆われ
ており、このカバー4から前記ゴニオメータ3が突出さ
れている。
このゴニオメータ3には、角度調整用のつまみ6を回動
させることにより傾斜角度を変えることのできる試料台
5が載置され、この試料台5の上面には試料を載置する
ステージ7が形成されている。
させることにより傾斜角度を変えることのできる試料台
5が載置され、この試料台5の上面には試料を載置する
ステージ7が形成されている。
また、前記架台1上にはアーヂ状のアーム8が設置され
、このアーム8の略中央部に直線ガイド9を介してスラ
イドレール13が取イ」けられている。このスライドレ
ール13は、前記アーム8に固設された微動つまみ30
あるいは粗動つまみ31を回動させることにより、前記
直線ガイド9に沿って上下方向に移動するようになって
いる。前記粗動つよみ31は超音波の焦点位置調整に必
要な感度を有している。また、微動つまみ30は焦点位
置調整の微調整を行なうためのものであり、粗動つまみ
31よりもg感度になっている。すなわら、微動つまみ
3001回転に対するスライドレール13の移動晶は、
粗動つまみ31の1回転に苅するスライドレール13の
移動室よりも小さくなっている。
、このアーム8の略中央部に直線ガイド9を介してスラ
イドレール13が取イ」けられている。このスライドレ
ール13は、前記アーム8に固設された微動つまみ30
あるいは粗動つまみ31を回動させることにより、前記
直線ガイド9に沿って上下方向に移動するようになって
いる。前記粗動つよみ31は超音波の焦点位置調整に必
要な感度を有している。また、微動つまみ30は焦点位
置調整の微調整を行なうためのものであり、粗動つまみ
31よりもg感度になっている。すなわら、微動つまみ
3001回転に対するスライドレール13の移動晶は、
粗動つまみ31の1回転に苅するスライドレール13の
移動室よりも小さくなっている。
前記スライドレール13には、スライド部材14が層動
自在に係合されている。このスライド部材14の移動方
向には、加振装置16とターレッ1−18が所定間隔を
開けて垂設されている。この加振装置16には超音波ヘ
ッド15が装着され、また、ターレット18には複数の
光学性能の異なる光学ヘッド17a〜17dが装着され
ている。
自在に係合されている。このスライド部材14の移動方
向には、加振装置16とターレッ1−18が所定間隔を
開けて垂設されている。この加振装置16には超音波ヘ
ッド15が装着され、また、ターレット18には複数の
光学性能の異なる光学ヘッド17a〜17dが装着され
ている。
そして、前記スライド部材14を移動させることにより
、光学ヘッド17a〜17dのうちの一つ、あるいは、
超音波ヘッド15が前記試料台5上のステージ7に選択
的に対向りるにうになっ℃いる。なa3、図示はしない
が、前記スライドレール13どスライド部材14との間
にはクリック機構が介装されており、超音波ヘッド15
あるいは光学ヘッド17a〜17dのうらのひとつが、
ステージ7の所定の位置に対向されると、このクリック
機構が働いてスライド部材14の移動を規制するように
なっている。
、光学ヘッド17a〜17dのうちの一つ、あるいは、
超音波ヘッド15が前記試料台5上のステージ7に選択
的に対向りるにうになっ℃いる。なa3、図示はしない
が、前記スライドレール13どスライド部材14との間
にはクリック機構が介装されており、超音波ヘッド15
あるいは光学ヘッド17a〜17dのうらのひとつが、
ステージ7の所定の位置に対向されると、このクリック
機構が働いてスライド部材14の移動を規制するように
なっている。
また、y1記スライドレール13上には、前記光学ヘッ
ド17a〜17dのうちの−っの光軸と光学的に一致す
る119119が固設されている。この鏡筒19には光
源20が光伝送体21を介して連設されている。さらに
、前記鏡筒19には光学観察用の双眼レンズ22が固設
されている。
ド17a〜17dのうちの−っの光軸と光学的に一致す
る119119が固設されている。この鏡筒19には光
源20が光伝送体21を介して連設されている。さらに
、前記鏡筒19には光学観察用の双眼レンズ22が固設
されている。
[発明が解決しようとする問題点]
ところで、前記従来例では、試料の交換時、特に厚さが
異なる試料への交換時等、超音波ヘッド15及び光学ヘ
ッド17a〜17dを上下方向に比較的長距離移動させ
る場合、粗動っまみ31を回動させることによりスライ
ドレール13を上下方向に移動させ8行なっている。
異なる試料への交換時等、超音波ヘッド15及び光学ヘ
ッド17a〜17dを上下方向に比較的長距離移動させ
る場合、粗動っまみ31を回動させることによりスライ
ドレール13を上下方向に移動させ8行なっている。
ところが、前記粗動つまみ31は、超音波の焦点位置調
整に必要な感度、例えば、粗動っまみ31の1(ill
i1転に対してスライドレール13の移動距離が1.3
順、に設定されているため、前記超音波ヘッド15及び
光学ヘッド17a〜17dを長距離移動さけるためには
、前記粗動っまみ31を極めて多く回転させなければな
らない。そのため、操作が煩雑で、また、かなりの時間
を費してしまうという不具合がある。
整に必要な感度、例えば、粗動っまみ31の1(ill
i1転に対してスライドレール13の移動距離が1.3
順、に設定されているため、前記超音波ヘッド15及び
光学ヘッド17a〜17dを長距離移動さけるためには
、前記粗動っまみ31を極めて多く回転させなければな
らない。そのため、操作が煩雑で、また、かなりの時間
を費してしまうという不具合がある。
[発明の目的]
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、試料
交換時等、超音波ヘッドを長距離移動さける際の操作を
迅速、■つ容易に行なうことができる超音波顕微鏡装置
を記供することを[1的としている。
交換時等、超音波ヘッドを長距離移動さける際の操作を
迅速、■つ容易に行なうことができる超音波顕微鏡装置
を記供することを[1的としている。
E問題点を解決するための手段及び作用]本発明による
超音波顕微鏡装置は、試料保持部材に対して超音波ヘッ
ドが近接離間自在に配設され、前記超音波ヘッドを上下
動させてこの超音波ヘッドの焦点位置を調整Jる焦点位
置調整手段が設けられたものにおいて、前記焦点位置調
整手段とは別に前記超音波ヘッドを上下動させる超音波
ヘッド移動手段を設け、この超音波ヘッド移動手段の操
作量に対するB1@波ヘッドの移動量@前記焦点位置調
整手段の操作量に対する超音波ヘッドの移動室よりも大
きくしたものであり、試料交換時等、超音波ヘッドを長
距wi移動させるときには、前記超音波ヘッド移動手段
によって超音波ヘッドを迅速に上下動できるようにした
ものである。
超音波顕微鏡装置は、試料保持部材に対して超音波ヘッ
ドが近接離間自在に配設され、前記超音波ヘッドを上下
動させてこの超音波ヘッドの焦点位置を調整Jる焦点位
置調整手段が設けられたものにおいて、前記焦点位置調
整手段とは別に前記超音波ヘッドを上下動させる超音波
ヘッド移動手段を設け、この超音波ヘッド移動手段の操
作量に対するB1@波ヘッドの移動量@前記焦点位置調
整手段の操作量に対する超音波ヘッドの移動室よりも大
きくしたものであり、試料交換時等、超音波ヘッドを長
距wi移動させるときには、前記超音波ヘッド移動手段
によって超音波ヘッドを迅速に上下動できるようにした
ものである。
[実施例]
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明Jる。
第1図ないし第4図は本発明の一実施例に係り、第1図
(よ超音波顕微鏡装置の側面図、第2図は第1図の正面
図、第3図は第1図の要部を示す説明図、第4図はスラ
イドレールとスライド部材の構成を示1断面図である。
(よ超音波顕微鏡装置の側面図、第2図は第1図の正面
図、第3図は第1図の要部を示す説明図、第4図はスラ
イドレールとスライド部材の構成を示1断面図である。
これらの図において、第5図及び第6図に示される従来
例と同じ部材には同一の符号を(i L、、説明を省略
する。
例と同じ部材には同一の符号を(i L、、説明を省略
する。
本実施例では、架台1上に設置されたアーチ状のアーム
8の略中央部に大粗動直線ガイド40が固設され、この
大粗動直線ガイド40に微粗動部本体45が上下方向に
摺動自在に取付けられている。前記アーム8の上部側面
には大粗動つまみ32が設けられ、またアーム8の略中
央部には前記大粗動つまみ32を回動させることにまり
回動自在なリードスクリュー42が設けられている。こ
のリードスクリ:L −42には移動ナツト43が螺合
され、ざらにこの移動ナツト43に連結ピン44を介し
て前記微粗動部本体45が連結されている。従って、前
記大粗動つまみ32を回動させることにより前記リード
スクリュー42が回動され、前記移動ナツト42及びこ
れに連結された微粗動部本体45が上下動するようにな
っている。
8の略中央部に大粗動直線ガイド40が固設され、この
大粗動直線ガイド40に微粗動部本体45が上下方向に
摺動自在に取付けられている。前記アーム8の上部側面
には大粗動つまみ32が設けられ、またアーム8の略中
央部には前記大粗動つまみ32を回動させることにまり
回動自在なリードスクリュー42が設けられている。こ
のリードスクリ:L −42には移動ナツト43が螺合
され、ざらにこの移動ナツト43に連結ピン44を介し
て前記微粗動部本体45が連結されている。従って、前
記大粗動つまみ32を回動させることにより前記リード
スクリュー42が回動され、前記移動ナツト42及びこ
れに連結された微粗動部本体45が上下動するようにな
っている。
また、前記アーム8の上部には、前記リードスクリュー
42を固定りるための大粗動ストッパー33が設【プら
れている。
42を固定りるための大粗動ストッパー33が設【プら
れている。
l前記微粗動部本体45の略中央部には、微粗動直線ガ
イド41が固ニジされ、この微粗動直線ガイド41に微
粗動板46が上下方向にIi!!動自在に取イ1けられ
ている。前記微粗動部本体45には、下部側面に微動つ
まみ30及び粗動つまみ31が設置)られ、また、この
微動つまみ30あるいは粗動つまみ31を回動させるこ
とに上り回動自在なリードスクリュー49が設けられて
いる。このリードスクリュー49には移動ナツト48が
螺合され、ざらに、この移動ナツト48に連結ビン47
を介して前記微粗動板46が連結されている。従って、
前記微動つまみ30あるいは粗動つまみ3°1を回動ざ
Uることにより前記リードスクリュー49が回動され、
前記移動ナツト48及びこれに連結された微粗動板46
が上]ζ幼するようになっている。
イド41が固ニジされ、この微粗動直線ガイド41に微
粗動板46が上下方向にIi!!動自在に取イ1けられ
ている。前記微粗動部本体45には、下部側面に微動つ
まみ30及び粗動つまみ31が設置)られ、また、この
微動つまみ30あるいは粗動つまみ31を回動させるこ
とに上り回動自在なリードスクリュー49が設けられて
いる。このリードスクリュー49には移動ナツト48が
螺合され、ざらに、この移動ナツト48に連結ビン47
を介して前記微粗動板46が連結されている。従って、
前記微動つまみ30あるいは粗動つまみ3°1を回動ざ
Uることにより前記リードスクリュー49が回動され、
前記移動ナツト48及びこれに連結された微粗動板46
が上]ζ幼するようになっている。
前記大粗動つまみ32を回動させてリードスクリュー4
2を回動させる機構と、前記微動つまみ30あるいは粗
動つまみ31を回動させてリードスクリュー49を回動
さ往る機構とは、略同様なものであり、第3図には、後
者が示されている。
2を回動させる機構と、前記微動つまみ30あるいは粗
動つまみ31を回動させてリードスクリュー49を回動
さ往る機構とは、略同様なものであり、第3図には、後
者が示されている。
すなわち、粗動つまみ31は回転軸60に一体的に固設
されており、この回転軸6(Hよ、歯車等の伝達部材6
1を介して伝達軸62に回転を伝達するように連結され
ている。そして、この伝達軸62は、かき歯車等の伝達
部材63を介してリードスクリュー49に回転を伝達す
るように連結されている。
されており、この回転軸6(Hよ、歯車等の伝達部材6
1を介して伝達軸62に回転を伝達するように連結され
ている。そして、この伝達軸62は、かき歯車等の伝達
部材63を介してリードスクリュー49に回転を伝達す
るように連結されている。
また、前記微動つまみ30は、図示しない歯車等による
減速手段を介して前記回転輪60に連結されて−3つ、
微動つまみ30の1回転に対する微粗動板46の移動け
、例えば18.6μmが粗動つまみ31の1回転に対す
る微粗動板46の移動量、例えば1.3#ll11より
も小さくなるように設定されている。
減速手段を介して前記回転輪60に連結されて−3つ、
微動つまみ30の1回転に対する微粗動板46の移動け
、例えば18.6μmが粗動つまみ31の1回転に対す
る微粗動板46の移動量、例えば1.3#ll11より
も小さくなるように設定されている。
また、前記大粗動つまみ32の1回転に対する微粗動部
本体45の移動n)は、前記粗動つまみ31の1回転に
対する微粗動板46の移動量J、りも大きくなるように
、例えば4 m GC設定されている。
本体45の移動n)は、前記粗動つまみ31の1回転に
対する微粗動板46の移動量J、りも大きくなるように
、例えば4 m GC設定されている。
前記微粗動板46には、スライドレール53が第2図の
左右方向に固設されている。このスライドレール53に
は、第4図に示されるように、スライドレール53に係
合する係合部54aを有するスライド部材54が第2図
の左右方向に摺動自在に係合されている。
左右方向に固設されている。このスライドレール53に
は、第4図に示されるように、スライドレール53に係
合する係合部54aを有するスライド部材54が第2図
の左右方向に摺動自在に係合されている。
前記スライド部材54の移動方向には、加振装置16と
ターレット18が所定間隔を開けて垂設されでいる。前
記加振装置16には超音波ヘッド15が装着され、また
前記ターレット18には複数の光学ヘッド17a〜17
dが装着されている。
ターレット18が所定間隔を開けて垂設されでいる。前
記加振装置16には超音波ヘッド15が装着され、また
前記ターレット18には複数の光学ヘッド17a〜17
dが装着されている。
また、前記スライド部材54上には、前記光学ヘッド1
7a〜17dのうらの一つの光軸と光学的に一致する&
?l筒19が固設されている。この鏡筒19には落射照
明用の光源20が光伝送体21を介して連設されtいろ
。さらに、前記鏡筒19には光学像観察用の双眼レンズ
22及びブレビカメラ34が連設されている。
7a〜17dのうらの一つの光軸と光学的に一致する&
?l筒19が固設されている。この鏡筒19には落射照
明用の光源20が光伝送体21を介して連設されtいろ
。さらに、前記鏡筒19には光学像観察用の双眼レンズ
22及びブレビカメラ34が連設されている。
また、前記スライド部材54には、前面右側に、このス
ライド部材54を移動させるためのスライド取手37が
設けられ、また、このスライド部材54を任意の位置に
固定するためのスライド部材ストッパー36が設けられ
ている。なJ3、図示はしないが、前記スライドレール
53とスライド部材54との間にはクリック機構が介装
されてJ3す、超音波ヘッド15あるいは光学ヘッド1
7a〜17dのうちの一つが、ステージ7の所定の位置
に対向されると、このクリック機構が働いてスライド部
$154の移動を規制するようになっている。
ライド部材54を移動させるためのスライド取手37が
設けられ、また、このスライド部材54を任意の位置に
固定するためのスライド部材ストッパー36が設けられ
ている。なJ3、図示はしないが、前記スライドレール
53とスライド部材54との間にはクリック機構が介装
されてJ3す、超音波ヘッド15あるいは光学ヘッド1
7a〜17dのうちの一つが、ステージ7の所定の位置
に対向されると、このクリック機構が働いてスライド部
$154の移動を規制するようになっている。
次に、以上の構成による実施例の作用について説明する
。
。
まず、11察すべき試料を試料台5のステージ7上に設
「Cする。そして、この試料の超音波像を観察する場合
は、超音波ヘッド15をステージ7の試料が設r1され
ている位置まで移1hさせる。この移動はスライド部材
54をスライドレール53に沿って移動させることによ
り行なうのであるが、スライド部材54の移動は、スラ
イド部材ストッパー36を反時計回り方向に回しスライ
ド部4454の固定を解除した後、スライド取手37を
把持して行なう。そして、超音波ヘッド15がステージ
7上の所定の位置に来たところで、図示しないクリック
機構が鋤き、スライド部材54の移動が停止ηる。なJ
3、クリック停止位置以外にスライド部4454を固定
する場合は、任意の位置でスライド部材ス1−ツバ−3
6を時計回り方向に回して固定する。
「Cする。そして、この試料の超音波像を観察する場合
は、超音波ヘッド15をステージ7の試料が設r1され
ている位置まで移1hさせる。この移動はスライド部材
54をスライドレール53に沿って移動させることによ
り行なうのであるが、スライド部材54の移動は、スラ
イド部材ストッパー36を反時計回り方向に回しスライ
ド部4454の固定を解除した後、スライド取手37を
把持して行なう。そして、超音波ヘッド15がステージ
7上の所定の位置に来たところで、図示しないクリック
機構が鋤き、スライド部材54の移動が停止ηる。なJ
3、クリック停止位置以外にスライド部4454を固定
する場合は、任意の位置でスライド部材ス1−ツバ−3
6を時計回り方向に回して固定する。
次いで、微粗動板46を上下動させて、超音波ヘッド1
5の焦点位置を調整する。この微粗動板46の上下動は
、微動つまみ30あるいは粗動つまみ31によってリー
ドスクリュー49を回動させることによりfjなう。り
なわら、大まかな焦点位置調整には粗動つまみ31を用
い、より^精度な焦点位置調整には微動つまみ30を用
いる。
5の焦点位置を調整する。この微粗動板46の上下動は
、微動つまみ30あるいは粗動つまみ31によってリー
ドスクリュー49を回動させることによりfjなう。り
なわら、大まかな焦点位置調整には粗動つまみ31を用
い、より^精度な焦点位置調整には微動つまみ30を用
いる。
その後、超音波ヘッド15は加振装置16により第2図
の左右方向に振動され、この超音波ヘッド15から出射
された超音波がステージ7上の試料を主走査する。同時
に、試料台5を載置するゴニオメータ3が第2図の手前
側から奥の方へ図示しない駆動機構によって等速移動し
、副走査する。
の左右方向に振動され、この超音波ヘッド15から出射
された超音波がステージ7上の試料を主走査する。同時
に、試料台5を載置するゴニオメータ3が第2図の手前
側から奥の方へ図示しない駆動機構によって等速移動し
、副走査する。
その結果、前記超音波ヘッド15が試料をラスク走査す
る。
る。
その間、試料に照射された超音波ビームは、試料にて反
(ト)された後、超音波ヘッド15に再び入射され、図
示しない検知装置を経て電気信号に変換される。そして
、この電気信号が画像信号処理されて図示しないモニタ
に供給され、このモニタに前記試料の超音波像が映しだ
される。
(ト)された後、超音波ヘッド15に再び入射され、図
示しない検知装置を経て電気信号に変換される。そして
、この電気信号が画像信号処理されて図示しないモニタ
に供給され、このモニタに前記試料の超音波像が映しだ
される。
一方、同一の試料の光学像を観察する場合は、スライド
部材54を第1図の右方向へ、光学ヘッド17a〜17
dのうらの一つが試料に対向する位置まで移aさせる。
部材54を第1図の右方向へ、光学ヘッド17a〜17
dのうらの一つが試料に対向する位置まで移aさせる。
りると、図示しないクリック!1II4が動き、スライ
ド部材54の移動が停止する。
ド部材54の移動が停止する。
また、この光学ヘッド17a〜17dのうらの一つの試
料に対する距離の調整は、前述の超音波ヘッド15の場
合と同様にして行なう。
料に対する距離の調整は、前述の超音波ヘッド15の場
合と同様にして行なう。
次いで、試料に対向された光学ヘッド17a〜17dの
うちの一つに、光源20からの照明光が光伝送体21及
び鏡筒19を介して入射され、この照明光が試料を照明
する。
うちの一つに、光源20からの照明光が光伝送体21及
び鏡筒19を介して入射され、この照明光が試料を照明
する。
この照明光は、試料から反射され、試料に対向された光
学ヘッド17a〜17(jのうらの一つに入射され、!
11筒19を経て双眼レンズ22とテレビカメラ34と
に至り、試料の光学像が観察される。
学ヘッド17a〜17(jのうらの一つに入射され、!
11筒19を経て双眼レンズ22とテレビカメラ34と
に至り、試料の光学像が観察される。
本実施例において、試料の交換時、特に厚さが異なる試
料への交換時等、前記超音波ヘッド15及び光学ヘッド
17a〜17dを比較的艮距離移llJさせる場合には
、大粗動つまみ32が用いられる。すなわら、大粗動つ
まみ32を回動させることによりリードスクリュー42
が回動され、これに螺合された移動ナツト43及びこれ
に連結された微粗IjJ1部本体45が上下動される。
料への交換時等、前記超音波ヘッド15及び光学ヘッド
17a〜17dを比較的艮距離移llJさせる場合には
、大粗動つまみ32が用いられる。すなわら、大粗動つ
まみ32を回動させることによりリードスクリュー42
が回動され、これに螺合された移動ナツト43及びこれ
に連結された微粗IjJ1部本体45が上下動される。
ぞして、この微粗動部本体45の上下動に伴ってスライ
ド部材54及びこれに連設された超音波ヘッド15、光
学ヘッド17a〜17d等が上下動される。
ド部材54及びこれに連設された超音波ヘッド15、光
学ヘッド17a〜17d等が上下動される。
前記大粗動つまみ32の1回転に対する微粗動部本体4
5の移動吊すなわち超音波ヘッド15及び光学ヘッド1
78〜17dの移動吊は、粗動つまみ31の1回転に対
する微粗動板46の移!plJFJXすなわち超音波ヘ
ッド15及び光学ヘッド17a〜17dの移動量よりも
大きく設定されているので、前記大粗動つまみ32を用
いることにより粗動つまみ31を用いる場合に比べ速や
かに超音波ヘッド15及び光学ヘッド17a〜17dを
上下動さUることができる。その結果、両ヘッドを所定
の距離だけ移動させるのに要する時間が短縮される。例
えば大粗動つまみ32の1回転に対する両ヘッドの移動
量を粗動つまみ31の1回転に対する両ヘッドの移動m
の数十倍に設定した場合、両ヘッドを所定の距離だGノ
移動させるのに要する時間を数十分の一程度に短縮させ
ることが可能になる。
5の移動吊すなわち超音波ヘッド15及び光学ヘッド1
78〜17dの移動吊は、粗動つまみ31の1回転に対
する微粗動板46の移!plJFJXすなわち超音波ヘ
ッド15及び光学ヘッド17a〜17dの移動量よりも
大きく設定されているので、前記大粗動つまみ32を用
いることにより粗動つまみ31を用いる場合に比べ速や
かに超音波ヘッド15及び光学ヘッド17a〜17dを
上下動さUることができる。その結果、両ヘッドを所定
の距離だけ移動させるのに要する時間が短縮される。例
えば大粗動つまみ32の1回転に対する両ヘッドの移動
量を粗動つまみ31の1回転に対する両ヘッドの移動m
の数十倍に設定した場合、両ヘッドを所定の距離だGノ
移動させるのに要する時間を数十分の一程度に短縮させ
ることが可能になる。
また、本実施例では、微動つまみ30及び粗動つまみ3
1が試料観察時に使用し易いにうに微粗動部本体45下
部側面に設けられているのに対し、大粗動つまみ32は
試料観察時には手が届かないようにアーム8の上部側面
に設けられている。そのため、試料観察時に誤って大粗
動つまみ32を回してしまい超音波ヘッド15あるいは
光学ヘッド17a〜17dを試料にぶつけてしまう等の
誤作動が防止される。
1が試料観察時に使用し易いにうに微粗動部本体45下
部側面に設けられているのに対し、大粗動つまみ32は
試料観察時には手が届かないようにアーム8の上部側面
に設けられている。そのため、試料観察時に誤って大粗
動つまみ32を回してしまい超音波ヘッド15あるいは
光学ヘッド17a〜17dを試料にぶつけてしまう等の
誤作動が防止される。
なお、前記実施例では、大粗動つまみ32が試料観察時
に手の届かない位置に設けられているが、この大粗動つ
まみ32の位置はこれに限定されず、例えば、微動つま
み30及び粗動つまみ31と区別できる微粗動部本体4
5の前記微動っまみ30及び粗動つまみ31と反対側の
側面に設けられていても良い。
に手の届かない位置に設けられているが、この大粗動つ
まみ32の位置はこれに限定されず、例えば、微動つま
み30及び粗動つまみ31と区別できる微粗動部本体4
5の前記微動っまみ30及び粗動つまみ31と反対側の
側面に設けられていても良い。
また、前記実施例では、光学ヘッドと超音波ヘッドとを
備えた超音波顕微鏡装置の例を説明したが、本発明は光
学ヘッドを有しないものにも適用できることは言うまで
もない。
備えた超音波顕微鏡装置の例を説明したが、本発明は光
学ヘッドを有しないものにも適用できることは言うまで
もない。
[発明の効果]
以上説明したように本発明によれば、焦点位置調整手段
とは別に超音波ヘッドを上下動させる超音波ヘッド移動
手段を設け、この超音波ヘッド移動手段の操作量に対す
る超音波ヘッドの移動■を前記焦点位置調整手段の操作
量に対する超音波へラドの移動量よりも大きくしたので
、試料交換時等、超音波ヘッドを長距離移動させる際の
操作を迅速、且つ容易に行なうことができるという効果
がある。
とは別に超音波ヘッドを上下動させる超音波ヘッド移動
手段を設け、この超音波ヘッド移動手段の操作量に対す
る超音波ヘッドの移動■を前記焦点位置調整手段の操作
量に対する超音波へラドの移動量よりも大きくしたので
、試料交換時等、超音波ヘッドを長距離移動させる際の
操作を迅速、且つ容易に行なうことができるという効果
がある。
第1図ないし第4図は本発明の一実施例に係り、第1図
は超音波顕微鏡装置の側面図、第2図は第1図の正面図
、第3図は第1図の要部を示1説明図、第4図はスライ
ドレールとスライド部材の構成を示す断面図、第5図及
び第6図は従来例に係り、第5図は超音波顕微鏡S冒の
正面図、第6図は第5図の側面図である。 5・・・試料台 15・・・超音波ヘッド17
a〜17d・・・光学ヘッド 31・・・微動つまみ 32・・・粗動つまみ33・
・・大粗動つまみ 45・・・微粗動部本体第1図 第2図 第4図 第5図
は超音波顕微鏡装置の側面図、第2図は第1図の正面図
、第3図は第1図の要部を示1説明図、第4図はスライ
ドレールとスライド部材の構成を示す断面図、第5図及
び第6図は従来例に係り、第5図は超音波顕微鏡S冒の
正面図、第6図は第5図の側面図である。 5・・・試料台 15・・・超音波ヘッド17
a〜17d・・・光学ヘッド 31・・・微動つまみ 32・・・粗動つまみ33・
・・大粗動つまみ 45・・・微粗動部本体第1図 第2図 第4図 第5図
Claims (1)
- 試料保持部材に対して超音波ヘッドが近接離間自在に配
設され、前記超音波ヘッドを上下動させてこの超音波ヘ
ッドの焦点位置を調整する焦点位置調整手段が設けられ
た超音波顕微鏡装置において、前記焦点位置調整手段と
は別に前記超音波ヘッドを上下動させる超音波ヘッドに
移動手段を設け、この超音波ヘッド移動手段は、その操
作量に対する超音波ヘッドの移動量が前記焦点位置調整
手段の操作量に対する超音波ヘッドの移動量よりも大き
いことを特徴とする超音波顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61096419A JPS62251654A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 超音波顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61096419A JPS62251654A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 超音波顕微鏡装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62251654A true JPS62251654A (ja) | 1987-11-02 |
Family
ID=14164457
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61096419A Pending JPS62251654A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 超音波顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62251654A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112540123A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-23 | 中石化石油工程技术服务有限公司 | 超声波探头测量装置和方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6093411A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-05-25 | ライカ インドゥストリーフェルヴァルツング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 互に相補的な若干の顕微鏡的試験を実施するための方法および装置 |
-
1986
- 1986-04-25 JP JP61096419A patent/JPS62251654A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6093411A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-05-25 | ライカ インドゥストリーフェルヴァルツング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 互に相補的な若干の顕微鏡的試験を実施するための方法および装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112540123A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-23 | 中石化石油工程技术服务有限公司 | 超声波探头测量装置和方法 |
CN112540123B (zh) * | 2019-09-20 | 2023-10-20 | 中石化石油工程技术服务有限公司 | 超声波探头测量装置和方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5825020A (en) | Atomic force microscope for generating a small incident beam spot | |
US5329817A (en) | Ultrasonic holography imaging method and apparatus | |
US4959552A (en) | Microscope arranged for measuring microscopic structures | |
JPH0527177A (ja) | 走査型顕微鏡 | |
US7154084B2 (en) | Optical-scanning microscope apparatus | |
KR100272329B1 (ko) | 비디오 마이크로스코프 | |
JPH0797078B2 (ja) | 赤外線顕微分光測定装置 | |
US6396532B1 (en) | Computer controlled video microscopy system | |
US4742401A (en) | Opto-electronic scan head which has a housing portion and a housing member that are coupled together by first and second guide rods so as to allow relative motion therebetween | |
US4726229A (en) | Microscope having an optical head and an additional head | |
GB2152697A (en) | Improvements in or relating to scanning optical microscopes | |
CN117368244A (zh) | 一种用于微聚焦x射线散射的样品台 | |
JPS62251654A (ja) | 超音波顕微鏡装置 | |
JP3404627B2 (ja) | レーザ加工機 | |
JPH07333511A (ja) | 顕微鏡 | |
US4611493A (en) | Process and apparatus for executing a plurality of mutually complementary microscopic investigations | |
JPH05288992A (ja) | 透過型顕微鏡 | |
JPH0427498B2 (ja) | ||
JPH06133201A (ja) | 固体影像記録装置 | |
JPS62251655A (ja) | 超音波顕微鏡装置 | |
RU2018891C1 (ru) | Конфокальный сканирующий микроскоп | |
JPS61259162A (ja) | 超音波顕微鏡装置 | |
JPS61259161A (ja) | 超音波顕微鏡装置 | |
JPS6222838Y2 (ja) | ||
JPH0371001A (ja) | 微細表面形状計測装置 |