JPS6224380A - パタ−ン検査装置 - Google Patents
パタ−ン検査装置Info
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- JPS6224380A JPS6224380A JP60162084A JP16208485A JPS6224380A JP S6224380 A JPS6224380 A JP S6224380A JP 60162084 A JP60162084 A JP 60162084A JP 16208485 A JP16208485 A JP 16208485A JP S6224380 A JPS6224380 A JP S6224380A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、画像処理を行ってパターンの良否を検査する
パターン検査装置に関する。
パターン検査装置に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
従来、この種のパターン検査装置では２値画像即ち、各
画素が１ビツト（０／１ ）で構成される画像を対象と
してパターン検査が行われていた。
画素が１ビツト（０／１ ）で構成される画像を対象と
してパターン検査が行われていた。
しかし、２値画像は情報聞が少ないため、被検査パター
ンに照明むら等があると、誤判定を起こす可能性が高く
、照明環境を理想的な形で整える必要があった。
ンに照明むら等があると、誤判定を起こす可能性が高く
、照明環境を理想的な形で整える必要があった。
［発明の目的］
本発明の目的は、上記の欠点に鑑み、被検査パターンの
照明環境に対する制約が少なく明るさの変化に対しても
誤判定を起こすことがないパターン検査装置を提供する
ことにある。
照明環境に対する制約が少なく明るさの変化に対しても
誤判定を起こすことがないパターン検査装置を提供する
ことにある。
［発明の概要］
本発明は、先ず正しいパターンの濃淡画像データから最
大許容濃淡画像データ及び最小許容濃淡画像データを作
出した後、被検査パターンの濃淡画像データと前記最大
許容濃淡画像データとの差及び最小許容濃淡画像データ
との差をとり、これら両差のヒストグラムか・ら被検査
パターンの良否を判定することにより、上記目的を達成
するものである。
大許容濃淡画像データ及び最小許容濃淡画像データを作
出した後、被検査パターンの濃淡画像データと前記最大
許容濃淡画像データとの差及び最小許容濃淡画像データ
との差をとり、これら両差のヒストグラムか・ら被検査
パターンの良否を判定することにより、上記目的を達成
するものである。
［発明の実施例］
以下本発明の一実施例を図面を参照して説明する。第１
図は本発明のパターン検査装置の一実施例を示したブロ
ック図である。システムバス１００と画像データバス２
００との間に、工業用テレビカメラ（ＩＴＶ）用インタ
フェース１、画像プロセッサ２、画像メモリ３．４．５
．６が接続されている。また、システムバス１００には
ＣＰｔＪ７が接続され、このＣＰＵ７には主メモリ８が
接続されている。更に、ＩＴＶ用イレインタフエース１
モノクロＩＴＶ９が接続されている。
図は本発明のパターン検査装置の一実施例を示したブロ
ック図である。システムバス１００と画像データバス２
００との間に、工業用テレビカメラ（ＩＴＶ）用インタ
フェース１、画像プロセッサ２、画像メモリ３．４．５
．６が接続されている。また、システムバス１００には
ＣＰｔＪ７が接続され、このＣＰＵ７には主メモリ８が
接続されている。更に、ＩＴＶ用イレインタフエース１
モノクロＩＴＶ９が接続されている。
ＩＴＶ用イレインタフエース１ノクロＩＴＶ９からのデ
ータを装置に入力し、画像プロセッサ２は画像データに
対して最大／最小フィルタとして機能すると共に、定数
加減算及び減算を行い、且つヒストグラムを取る機能を
有している。画像メモリ３．４．５．６はｍ淡画像デー
タを記憶し、例えば１画素８ビツト＝２５６階調で同デ
ータを記憶する。ＣＰＵ７は装置全体の制御及び最終判
定を行う機能を右している。モノクロＩＴＶ９はパター
ン１０の光学像を画像データに変換する機能を有してい
る。
ータを装置に入力し、画像プロセッサ２は画像データに
対して最大／最小フィルタとして機能すると共に、定数
加減算及び減算を行い、且つヒストグラムを取る機能を
有している。画像メモリ３．４．５．６はｍ淡画像デー
タを記憶し、例えば１画素８ビツト＝２５６階調で同デ
ータを記憶する。ＣＰＵ７は装置全体の制御及び最終判
定を行う機能を右している。モノクロＩＴＶ９はパター
ン１０の光学像を画像データに変換する機能を有してい
る。
次に本実施例の動作について説明する。先ず、ＣＰＵ７
はＩＴＶ用イレインタフエース１−タ入力指令を出す。
はＩＴＶ用イレインタフエース１−タ入力指令を出す。
これを受けてＩＴＶ用イレインタフエース１ノクロＩＴ
Ｖカメラ９から傷、欠は等がない正しいパターンを８ビ
ツト濃淡画像データとして装置に取り込み、この８ビツ
ト濃淡画像データはＣＰＵ７により画像メモリ３内に書
き込まれる。次に、画像プロセッサ２は画像メモリ３の
データを読み出し、これに最大フィルタをかけ、その結
果を画像メモリ４に書き込む。次に、画像プロセッサ２
は画像メモリ４内のデータに定数αを加え、その結果を
画像メモリ５に書き込む。同様に、画像プロセッサ２は
画像メモリ３内のデータを読み出してこれに最小フィル
タをかけ、その結果を画像メモリ４にセットする。その
後、画像プロセッサ２は画像メモリ４内のデータから定
数αを減算し、その結果を画像メモリ６に書き込むここ
で、上記最大／最小フィルタをかけるとは、画像メモリ
内のデータのｎｘｎ近傍内における最大値／最小値を新
しい画像を構成する画素の値とすることを意味する。
Ｖカメラ９から傷、欠は等がない正しいパターンを８ビ
ツト濃淡画像データとして装置に取り込み、この８ビツ
ト濃淡画像データはＣＰＵ７により画像メモリ３内に書
き込まれる。次に、画像プロセッサ２は画像メモリ３の
データを読み出し、これに最大フィルタをかけ、その結
果を画像メモリ４に書き込む。次に、画像プロセッサ２
は画像メモリ４内のデータに定数αを加え、その結果を
画像メモリ５に書き込む。同様に、画像プロセッサ２は
画像メモリ３内のデータを読み出してこれに最小フィル
タをかけ、その結果を画像メモリ４にセットする。その
後、画像プロセッサ２は画像メモリ４内のデータから定
数αを減算し、その結果を画像メモリ６に書き込むここ
で、上記最大／最小フィルタをかけるとは、画像メモリ
内のデータのｎｘｎ近傍内における最大値／最小値を新
しい画像を構成する画素の値とすることを意味する。
第２図は上記各処理によって作出される画像データを一
次元で表示した例である。図中横軸は位置を、縦軸は濃
淡値を示している。即ら、図中符号パイ″で示したもの
は画像メモリ３内に書き込まれた正しいパターンの濃淡
画像データである。
次元で表示した例である。図中横軸は位置を、縦軸は濃
淡値を示している。即ら、図中符号パイ″で示したもの
は画像メモリ３内に書き込まれた正しいパターンの濃淡
画像データである。
符号“口″で示したものは画像データ“イ″に最大フィ
ルタをかけて画像メモリ４に書き込まれた濃淡画像デー
タを示しており、符号“ハ″で示したものは符号口で示
した濃淡画像データに＋αをして画像メモリ５に書き込
まれた濃淡画像データを示している。また、符号“二″
で示したものは正しいパターンの濃淡画像データ“イ″
に最小フィルタをかけ、更にこれから定数αを減算して
得た画像メモリ６に出き込まれた濃淡画像データを示し
ている。
ルタをかけて画像メモリ４に書き込まれた濃淡画像デー
タを示しており、符号“ハ″で示したものは符号口で示
した濃淡画像データに＋αをして画像メモリ５に書き込
まれた濃淡画像データを示している。また、符号“二″
で示したものは正しいパターンの濃淡画像データ“イ″
に最小フィルタをかけ、更にこれから定数αを減算して
得た画像メモリ６に出き込まれた濃淡画像データを示し
ている。
次に、ＣＰＵ７は、被検査パターンをモノクロＩＴＶカ
メラ９．ＩＴＶ用インタフェース１を介して８ビツトの
濃淡画像データとして画像メモリ３に書き込む。なお、
この時の被検査パターンと上記圧しいパターンの位置に
関しては搬送系にて一致しているものとする。次に画像
プロセッサ２は画像メモリ３内の被検査パターンの濃淡
画像データから画像メモリ５の第２図符号“八″で示し
た濃淡画像データを引き、結果を画像メモリ４に書き込
んだ後、このデータのヒストグラムをとる。
メラ９．ＩＴＶ用インタフェース１を介して８ビツトの
濃淡画像データとして画像メモリ３に書き込む。なお、
この時の被検査パターンと上記圧しいパターンの位置に
関しては搬送系にて一致しているものとする。次に画像
プロセッサ２は画像メモリ３内の被検査パターンの濃淡
画像データから画像メモリ５の第２図符号“八″で示し
た濃淡画像データを引き、結果を画像メモリ４に書き込
んだ後、このデータのヒストグラムをとる。
このヒストグラムはＣＰＵ７にて読み出され、主メモリ
８に書き込まれる。次に、画像プロセッサ２は画像メモ
リ６に入っている濃淡画像データ′“二゛′から画像メ
モリ３内に入っている被検査パターンの濃淡画像データ
をひき、結果を画像メモリ４に書き込んだ後、この結果
のヒストグラムをとる。ＣＰＬＪ７はこのヒストグラム
を読み出して主メモリ８に書き込む。次に、ＣＰＵ７は
、上記２つのヒストグラムの例えば仝値がＯであれば、
被検査パターンは第２図の“八″と“二′′の濃淡画像
データの間に入っており、被検査パターンを良好と判定
する。しかし、ＣＰＵ７は、上記２つのヒストグラム値
が全てＯでない場合、被検査パターンを不良であると判
定する。なお、ヒストグラム値がＯでない値をとると言
うことは、例えば被検査パターンの濃淡画像データの一
部又は全部が第２図の゛ハ″で示した濃淡画像データよ
り上に行くことを示し、あるいは被検査パターンの濃淡
画像データの一部又は全部が第２図で示した“二″の濃
淡画像データより下に行くことを示している。従って、
ヒストグラム値が全てＯである場合だけを良品とするの
ではなく例えばヒストグラム値がＯ〜１０又はＯ〜２０
の間であれば良品と段階的に判定しても良い。
８に書き込まれる。次に、画像プロセッサ２は画像メモ
リ６に入っている濃淡画像データ′“二゛′から画像メ
モリ３内に入っている被検査パターンの濃淡画像データ
をひき、結果を画像メモリ４に書き込んだ後、この結果
のヒストグラムをとる。ＣＰＬＪ７はこのヒストグラム
を読み出して主メモリ８に書き込む。次に、ＣＰＵ７は
、上記２つのヒストグラムの例えば仝値がＯであれば、
被検査パターンは第２図の“八″と“二′′の濃淡画像
データの間に入っており、被検査パターンを良好と判定
する。しかし、ＣＰＵ７は、上記２つのヒストグラム値
が全てＯでない場合、被検査パターンを不良であると判
定する。なお、ヒストグラム値がＯでない値をとると言
うことは、例えば被検査パターンの濃淡画像データの一
部又は全部が第２図の゛ハ″で示した濃淡画像データよ
り上に行くことを示し、あるいは被検査パターンの濃淡
画像データの一部又は全部が第２図で示した“二″の濃
淡画像データより下に行くことを示している。従って、
ヒストグラム値が全てＯである場合だけを良品とするの
ではなく例えばヒストグラム値がＯ〜１０又はＯ〜２０
の間であれば良品と段階的に判定しても良い。
本実施例によれば、情報量の多い濃淡画像データにてパ
ターンの良否を判定するため、理想的な照明環境を整え
なくても精度良くパターンの良否を判定することができ
ると共に、明るさの変化に対しても誤判定が少なくなり
、総合的に判定精度を向上させることができる。また、
濃淡画像で判定しているため、２値化のスライスレベル
が不必要となる。
ターンの良否を判定するため、理想的な照明環境を整え
なくても精度良くパターンの良否を判定することができ
ると共に、明るさの変化に対しても誤判定が少なくなり
、総合的に判定精度を向上させることができる。また、
濃淡画像で判定しているため、２値化のスライスレベル
が不必要となる。
なお、本発明はパターン検査だけでなく、パターンのマ
ツチング（位置合せ）にも応用して同様の効果を得るこ
とができる。
ツチング（位置合せ）にも応用して同様の効果を得るこ
とができる。
［発明の効果］
以上記述した如く本発明のパターン検査装置によれば、
先ず正しいパターンの濃淡画像データから最大許容濃淡
画像データ及び最小許容濃淡画像データを作出した後、
被検査パターンの濃淡画像データと前記最大許容濃淡画
像データとの差及び最小許容濃淡画像データとの差をと
り、これら両差のヒストグラムから被検査パターンの良
否を判定することにより、被検査パターンに対する照明
環境が理想的でなくても精度良くパターンの良否を判定
し得る効果がある。
先ず正しいパターンの濃淡画像データから最大許容濃淡
画像データ及び最小許容濃淡画像データを作出した後、
被検査パターンの濃淡画像データと前記最大許容濃淡画
像データとの差及び最小許容濃淡画像データとの差をと
り、これら両差のヒストグラムから被検査パターンの良
否を判定することにより、被検査パターンに対する照明
環境が理想的でなくても精度良くパターンの良否を判定
し得る効果がある。
第１図は本発明のパターン検査装置の一実施例を示した
ブロック図、第２図は第１図の装置にて処理した各種濃
淡画像データを一次元にて示した特性図である。 １・・・ＩＴＶ用イジインタフエ ース・・画像プロセッサ ３．４．５．６・・・画像メモリ ７・・・ＣＰＵ ８・・・主メモリ９・
・・モノクロＩＴＶ １０・・・パターン代理人
弁理士 本 １） 崇 第２図
ブロック図、第２図は第１図の装置にて処理した各種濃
淡画像データを一次元にて示した特性図である。 １・・・ＩＴＶ用イジインタフエ ース・・画像プロセッサ ３．４．５．６・・・画像メモリ ７・・・ＣＰＵ ８・・・主メモリ９・
・・モノクロＩＴＶ １０・・・パターン代理人
弁理士 本 １） 崇 第２図
Claims (1)
- パターンを濃淡画像データとして取込むデータ入力手段
と、正しいパターンの濃淡画像データから最大許容濃淡
画像データ及び最小許容濃淡画像データを作出する許容
範囲作出手段と、被検査パターンの濃淡画像データと前
記最大許容濃淡画像データとの差及び最小許容濃淡画像
データとの差を取り且つこのデータ減算結果のヒストグ
ラムを取るヒストグラム作出手段と、前記ヒストグラム
から被検査パターンの良否を判定する判定手段とを具備
して成ることを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60162084A JPS6224380A (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | パタ−ン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60162084A JPS6224380A (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | パタ−ン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6224380A true JPS6224380A (ja) | 1987-02-02 |
Family
ID=15747778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60162084A Pending JPS6224380A (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 | パタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6224380A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014115252A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-26 | Hioki Ee Corp | 検査装置および検査方法 |
-
1985
- 1985-07-24 JP JP60162084A patent/JPS6224380A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014115252A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-26 | Hioki Ee Corp | 検査装置および検査方法 |
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