JPS6222838Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は超音波ビームを利用して標本を観察
すると共に光学顕微鏡によつてもその標本の同一
箇所を容易に観察できるようにした超音波顕微鏡
装置に関する。[Detailed Description of the Invention] This invention relates to an ultrasonic microscope device that uses an ultrasonic beam to observe a specimen and also allows the same part of the specimen to be easily observed using an optical microscope.

光の代りに超音波を用いて物体の微視的な構造
を観察しようという考えが古くからあり、最近機
械走査形超音波顕微鏡が開発された。この超音波
顕微鏡は、原理的には細く絞つた超高周波超音波
ビームによつて標本面を機械的に走査し、その標
本により散乱された超音波を集音して電気信号に
変換し、その信号を陰極線管の表示面に二次元的
に表示し、顕微鏡像を得るのである。構成として
は超音波の検出の仕方によつて、すなわち標本内
で散乱あるいは減衰しながら透過してきた超音波
を検出する場合と、標本内の音響的性質の差によ
つて反射してきた超音波を検出する場合とによつ
て、透過型と反射型とに分けられる。 The idea of using ultrasound instead of light to observe the microscopic structure of objects has been around for a long time, and mechanical scanning ultrasound microscopes have recently been developed. In principle, this ultrasound microscope mechanically scans the specimen surface with a narrowly focused ultrahigh-frequency ultrasound beam, collects the ultrasound waves scattered by the specimen, and converts them into electrical signals. The signal is displayed two-dimensionally on the display screen of a cathode ray tube to obtain a microscopic image. The configuration depends on the method of ultrasonic detection, that is, detecting ultrasonic waves that have passed through the sample while being scattered or attenuated, and detecting ultrasonic waves that have been reflected due to differences in acoustic properties within the sample. Depending on the case of detection, there are two types: transmission type and reflection type.

第１図は透過型の超音波顕微鏡の基本構成を示
すブロツク図である。高周波発振器１よりの高周
波信号は、送波側の例えばサフアイア板よりなる
集束超音波発生素子２の一面に貼着された送波用
トランスジユーサ３を駆動する。集束超音波発生
素子２の他面は球面状にえぐられて球面レンズ部
４とされる。その球面レンズ部４と間隔をおいて
受波側超音波集音素子５が例えばサフアイア板に
より対向して設けられる。その対向面には球面状
にえぐられた球面レンズ部６とされ、他面には受
波用トランスジユーサ７が貼着される。これ等球
面レンズ部４及び６間に音場媒体となる水８が介
在され、かつレンズ部４，６は共焦点構成に配設
されている。その共焦点を通り、超音波発生素子
２及び超音波集音素子５間にマイラー膜のような
超音波に影響を与えない保持膜９が配され、この
保持膜９は試料保持枠１０に架張される。保持膜
９の中心部に被検査物体となる標本11が取付けら
れている。試料保持枠１０はその枠面内で互に直
角なＸ及びＹ方向に走査装置１２により移動され
る。走査装置１２は走査回路１３により制御さ
れ、その制御に関連した信号は表示装置１５へ供
給される。受波用トランスジユーサ７の出力は表
示装置１５内の受信装置で受信され、前記走査と
同期して表示装置１５に表示される。 FIG. 1 is a block diagram showing the basic configuration of a transmission type ultrasound microscope. A high-frequency signal from a high-frequency oscillator 1 drives a transmitting transducer 3 attached to one surface of a focused ultrasound generating element 2 made of, for example, a sapphire plate on the transmitting side. The other surface of the focused ultrasound generating element 2 is hollowed out into a spherical shape to form a spherical lens portion 4. A receiving side ultrasonic sound collecting element 5 is provided facing the spherical lens part 4 at a distance, for example, by a sapphire plate. A spherical lens portion 6 hollowed out into a spherical shape is formed on the opposing surface, and a wave receiving transducer 7 is adhered to the other surface. Water 8 serving as a sound field medium is interposed between these spherical lens parts 4 and 6, and the lens parts 4 and 6 are arranged in a confocal configuration. A holding film 9 such as a Mylar film that does not affect the ultrasonic waves is placed between the ultrasonic generating element 2 and the ultrasonic sound collecting element 5 through the confocal point, and this holding film 9 is mounted on the sample holding frame 10. It is stretched. A specimen 11 serving as an object to be inspected is attached to the center of the holding film 9. The sample holding frame 10 is moved by a scanning device 12 in X and Y directions perpendicular to each other within its frame plane. The scanning device 12 is controlled by a scanning circuit 13, and signals related to the control are supplied to a display device 15. The output of the receiving transducer 7 is received by a receiving device in the display device 15 and displayed on the display device 15 in synchronization with the scanning.

送波用トランスジユーサ３によつて集束超音波
発生素子２に放射された平面超音波は球面レンズ
部４によつて集束され、水８中に焦点を結ぶ。こ
の焦点に集まつた超音波は共焦点に配置されてい
る受波側の球面レンズ部６によつて集音され、受
波側超音波集音素子５を通じ平面超音波となり、
受波用トランスジユーサ７によつて電気信号に変
換される。 The plane ultrasonic waves emitted by the transmitting transducer 3 to the focused ultrasonic generating element 2 are focused by the spherical lens section 4 and focused into the water 8 . The ultrasonic waves gathered at this focal point are collected by the receiving-side spherical lens section 6 arranged confocally, and become plane ultrasonic waves through the receiving-side ultrasonic collecting element 5.
The received wave transducer 7 converts the signal into an electrical signal.

標本１１の被検査面が前記共焦点に位置され、
試料保持枠１０はＸ方向に振動されて主走査を行
い、Ｙ方向に少しづつ移動されて副走査を行つて
超音波ビームにより相対的に標本１１の被検査面
が面走査される。超音波ビームが標本１１を透過
する際に振幅や位相の変化を受ける。超音波ビー
ムが通過した標本１１の各点に対応させて表示装
置１５の陰極線管の電子ビームを掃引させ、受波
用トランスジユーサ７の出力信号に応じて前記電
子ビームを輝交変調する。このようにして陰極線
管の表示面上には標本１１の顕微鏡像が二次元的
に得られる。 The surface to be inspected of the specimen 11 is located at the confocal area,
The sample holding frame 10 is vibrated in the X direction to perform main scanning, and is moved little by little in the Y direction to perform sub-scanning, so that the surface to be inspected of the specimen 11 is relatively scanned by the ultrasonic beam. When the ultrasonic beam passes through the specimen 11, it undergoes changes in amplitude and phase. The electron beam of the cathode ray tube of the display device 15 is swept in correspondence with each point of the specimen 11 through which the ultrasonic beam has passed, and the electron beam is subjected to brightness modulation according to the output signal of the receiving transducer 7. In this way, a two-dimensional microscopic image of the specimen 11 is obtained on the display surface of the cathode ray tube.

第２図は反射型の超音波顕微鏡の原理図で、高
周波発振器１からの信号は方向性結合器１６によ
り送受兼用トランスジユーサ１７へ供給される。
この信号はトランスジユーサ１７で超音波に変換
され、トランスジユーサ１７が貼着された送受波
兼用の集束超音波送受波素子１８の一面より内部
に放射される。送受波素子１８の他面は球面状に
えぐられて球面レンズ部１９とされ、球面レンズ
部１９と対向して試料保持板２０が配される。超
音波送受波素子１８と試料保持板２０との間には
水８が介在されている。球面レンズ部１９の焦点
において標本１１が試料保持板２１に取付けられ
る。試料保持板２０は走査装置１２でＸ及びＹ方
向に移動される。 FIG. 2 is a diagram showing the principle of a reflection-type ultrasound microscope, in which a signal from a high-frequency oscillator 1 is supplied to a transmitting/receiving transducer 17 by a directional coupler 16.
This signal is converted into an ultrasonic wave by the transducer 17, and is radiated inside from one surface of a focused ultrasonic wave transmitting/receiving element 18 for both transmitting and receiving waves, to which the transducer 17 is attached. The other surface of the wave transmitting/receiving element 18 is hollowed out into a spherical shape to form a spherical lens section 19, and a sample holding plate 20 is arranged opposite to the spherical lens section 19. Water 8 is interposed between the ultrasonic transceiver element 18 and the sample holding plate 20. The specimen 11 is attached to the specimen holding plate 21 at the focal point of the spherical lens portion 19 . The sample holding plate 20 is moved in the X and Y directions by the scanning device 12.

トランスジユーサ１７より送受波素子１８に入
射された超音波は集束されて標本１１へ到達す
る。標本１１における超音波の反射波は送受波素
子１８で集音され、トランスジユーサ１７で電気
信号に変換され、方向性結合器１６を通つて表示
装置１５へ供給される。 The ultrasonic waves incident on the wave transmitting/receiving element 18 from the transducer 17 are focused and reach the specimen 11 . The reflected ultrasonic wave from the specimen 11 is collected by the wave transmitting/receiving element 18, converted into an electric signal by the transducer 17, and supplied to the display device 15 through the directional coupler 16.

超音波顕微鏡は音波の散乱が弾性的性質の違い
により起ることを利用しており、光学顕微鏡は光
の散乱が光学的屈折率の違いにより起ることを利
用している。従つて超音波顕微鏡は光学顕微鏡と
は異なつた情報を得ることができる。この点より
超音波顕微鏡により観察した標本内の微小部分の
超音波像を、光学顕微鏡による光学像と比較する
ことが医学、生物学、工学などの分野ではどうし
ても必要となる。 Ultrasonic microscopes utilize the fact that scattering of sound waves occurs due to differences in elastic properties, and optical microscopes utilize the fact that scattering of light occurs due to differences in optical refractive index. Therefore, an ultrasound microscope can obtain different information than an optical microscope. From this point of view, it is absolutely necessary in fields such as medicine, biology, and engineering to compare an ultrasonic image of a minute portion within a specimen observed using an ultrasonic microscope with an optical image obtained using an optical microscope.

このため従来においては超音波顕微鏡で観察し
た標本をその走査装置からとりはずして、それを
あらためて光学顕微鏡の試料台にのせて観察して
いた。このとき広い標本面から超音波で観察した
微小な同一部分を探すのはかなりの苦労を要して
いた。一方、逆に標本中の観察したい部分が光学
顕微鏡の観察によりあらかじめ決定される場合に
は、その同一部分を超音波顕微鏡により探すため
に、該当する部分の近傍で超音波ビームの照射位
置を二次元的にわずかずつずらしながら、何回か
超音波顕微鏡像を撮つて始めて所望の部分の超音
波顕微鏡像が得られるのが普通であつた。 For this reason, in the past, a specimen observed with an ultrasonic microscope was removed from the scanning device and placed on the sample stage of an optical microscope for observation. At this time, it was quite difficult to find the same tiny part observed using ultrasound from a wide specimen surface. On the other hand, if the part of the specimen to be observed is determined in advance by observation using an optical microscope, in order to search for the same part using an ultrasound microscope, the irradiation position of the ultrasound beam is set twice in the vicinity of the relevant part. Normally, an ultrasound microscope image of a desired area could only be obtained by taking ultrasound microscope images several times with slight dimensional shifts.

この考案は、このような従来の欠点を改善する
もので、標本をいちいち超音波顕微鏡の走査装置
からはずしたり、或いは逆にその走査装置に装着
したりすることなく、超音波顕微鏡像と同一部分
の光学顕微鏡像を容易に得ることができる超音波
顕微鏡を提供することを目的とする。 This invention improves these conventional drawbacks, and allows the specimen to be scanned from the same area as the ultrasound microscope image without having to remove the specimen from the ultrasound microscope's scanning device or attaching it to the scanner. An object of the present invention is to provide an ultrasonic microscope that can easily obtain optical microscopic images of.

次にこの考案による超音波顕微鏡装置の実施例
を第３図を参照して説明しよう。この考案におい
ては光学顕微鏡と超音波顕微鏡とは互に固定して
設けられる。例えば基台２１上に超音波顕微鏡２
２と光学顕微鏡２３とが配列して設けられる。超
音波顕微鏡２２において基台２１上に集束超音波
発生素子２が保持される。この素子２の超音波ビ
ームの放射方向は基台２１に対して垂直方向とさ
れている。この集束超音波発生素子２と近接対向
して超音波集音素子５が基台２１と反対側に配さ
れる。即ち基台２１上に支持柱２４が立てられ、
その支持柱２４上に支持腕２５が直角に、つまり
基台２１と平行に延長され、この支持腕２５に超
音波集音素子５が保持される。 Next, an embodiment of the ultrasonic microscope device according to this invention will be described with reference to FIG. In this invention, the optical microscope and the ultrasonic microscope are fixed to each other. For example, the ultrasonic microscope 2 is placed on the base 21.
2 and an optical microscope 23 are arranged in an array. A focused ultrasound generating element 2 is held on a base 21 in an ultrasound microscope 22 . The radiation direction of the ultrasonic beam of this element 2 is perpendicular to the base 21. An ultrasonic sound collecting element 5 is disposed on the opposite side of the base 21 so as to closely face the focused ultrasonic wave generating element 2. That is, the support column 24 is erected on the base 21,
A support arm 25 extends on the support column 24 at right angles, that is, parallel to the base 21, and the ultrasonic sound collecting element 5 is held on this support arm 25.

超音波集音素子５より得られた超音波は図に示
してないが第１図に示したように受波用トランス
ジユーサにより電気信号に変換され、高周波接栓
２６を通じ、更にケーブル２７を通じて図に示し
てないが第１図について述べた表示装置へ供給さ
れる。 Although not shown in the figure, the ultrasonic waves obtained from the ultrasonic sound collecting element 5 are converted into electric signals by a receiving transducer as shown in FIG. Although not shown, it is supplied to the display device described in connection with FIG.

光学顕微鏡２３においては支持柱２４とほゞ平
行して支持台２１上に支持体２８が立てられ、そ
の支持体２８の上端部に基台２１に対してほゞ垂
直な軸心を持つ鏡筒部２９が保持される。鏡筒部
２９の基台２１と反対側の端部には接眼レンズ３
１が取付けられる基台２１側には光学用対物レン
ズ３２が取付けられる。対物レンズ３２と対向し
て基台２１上に反射鏡３０が保持される。 In the optical microscope 23, a support 28 is erected on the support base 21 approximately parallel to the support column 24, and a lens barrel having an axis approximately perpendicular to the base 21 is attached to the upper end of the support 28. 29 is held. The eyepiece lens 3 is located at the end of the lens barrel section 29 opposite to the base 21.
An optical objective lens 32 is attached to the base 21 side on which the lens 1 is attached. A reflecting mirror 30 is held on the base 21 facing the objective lens 32.

更にこの考案においては光学顕微鏡２３の対物
レンズ３２及び超音波顕微鏡２２の集束超音波発
生素子２及び超音波集音素子５と標本１１とを相
対的に移動させることができるようにされる。こ
の場合、その移動により超音波顕微鏡２２による
標本１１に対する観察部分と、光学顕微鏡２３に
よる標本１１に対する観察部分とが同一部分にな
るように切替えが行われる。 Furthermore, in this invention, the objective lens 32 of the optical microscope 23, the focused ultrasound generating element 2 and the ultrasound collecting element 5 of the ultrasound microscope 22, and the specimen 11 can be moved relative to each other. In this case, due to the movement, the observation part of the specimen 11 by the ultrasonic microscope 22 and the observation part of the specimen 11 by the optical microscope 23 are switched so that they become the same part.

この実施例においては基台２１上に超音波顕微
鏡２２及び光学顕微鏡２３の配列方向に平行して
案内溝３３が形成され、その案内溝３３上に移動
台３４が移動自在に保持される。この移動台３４
上においてその移動方向と直角方向に、かつ基台
２１と平行に移動するＸ方向走査部３５が取付け
られる。Ｘ方向走査部３５は例えば磁石と可動コ
イルとよりなる、いわゆるダイナミツクスピーカ
ーと同一原理の電気−機械変換器であつて、これ
によりＸ方向に延長した駆動軸３６がその延長方
向に振動される。駆動軸３６の突出端に試料保持
枠１０が取付けられ、その保持枠１０には先に述
べたように透明保持膜９が架張され、保持膜９上
に標本１１が取付けられる。この保持膜９は基台
２１とほゞ平行とされている。 In this embodiment, a guide groove 33 is formed on the base 21 in parallel to the arrangement direction of the ultrasound microscope 22 and the optical microscope 23, and a movable table 34 is movably held on the guide groove 33. This moving table 34
An X-direction scanning section 35 that moves in a direction perpendicular to the direction of movement thereof and parallel to the base 21 is attached on the top. The X-direction scanning section 35 is an electro-mechanical converter that is made of, for example, a magnet and a moving coil and has the same principle as a so-called dynamic speaker, and thereby causes a drive shaft 36 extending in the X direction to vibrate in the direction of its extension. . A sample holding frame 10 is attached to the protruding end of the drive shaft 36, a transparent holding film 9 is stretched over the holding frame 10 as described above, and a specimen 11 is mounted on the holding film 9. This holding film 9 is substantially parallel to the base 21.

案内溝３３の両端に移動台３４の移動を制限す
るストツパ３７及び３８（３８は図においては陰
になつて見えていない）が固定され、移動台３４
の移動範囲が制限される。図に示しているように
移動台３４がストツパ３７と衝合した状態におい
ては標本１１は光学用対物レンズ３２と反射鏡３
０との間に位置して標本１１は光学顕微鏡２３に
よつて観察される状態になる。 Stoppers 37 and 38 (38 is not visible in the figure) are fixed to both ends of the guide groove 33 to limit the movement of the movable base 34.
movement range is restricted. As shown in the figure, when the moving table 34 is in abutment with the stopper 37, the specimen 11 is moved between the optical objective lens 32 and the reflecting mirror 3.
0, the specimen 11 is in a state where it can be observed with the optical microscope 23.

この状態より移動台３４を案内溝３３上に沿つ
てスライドし、超音波顕微鏡２２側に移動させ、
図に示してないストツパ３８に衝合させると、標
本１１が集束超音波発生素子２と超音波集音素子
５との間に位置される。即ち図において点線で示
した位置となる。この時集束超音波発生素子２か
らの集束超音波ビームが標本１１に達する位置
と、移動台３４をストツパ３７に衝合させて光学
顕微鏡２３の観察位置に移動させた時における対
物レンズ３２の中心軸が標本１１に位置する部分
とが同一となるように、これ等超音波顕微鏡２２
及び光学顕微鏡２３、更に案内溝３３、移動台３
４等の配置が精密に選定される。標本１１を集束
超音波発生素子２と超音波集音素子５との間に位
置させた状態において、これ等の素子の形成する
球面レンズの焦点が標本１１に位置するように選
定される。つまり超音波顕微鏡２２による顕微鏡
像と光学顕微鏡像とは標本１１の同一部分に対す
るものとなる。 From this state, slide the moving table 34 along the guide groove 33 and move it to the ultrasound microscope 22 side,
When brought into contact with a stopper 38 (not shown), the specimen 11 is positioned between the focused ultrasound generating element 2 and the ultrasound collecting element 5. That is, the position is indicated by the dotted line in the figure. At this time, the position where the focused ultrasound beam from the focused ultrasound generating element 2 reaches the specimen 11 and the center of the objective lens 32 when the moving stage 34 is brought into contact with the stopper 37 and moved to the observation position of the optical microscope 23 These ultrasonic microscopes 22 are arranged so that the axis is the same as the part where the specimen 11 is located.
and an optical microscope 23, further a guide groove 33, and a moving table 3.
The placement of the 4th grade is precisely selected. With the specimen 11 positioned between the focused ultrasound generating element 2 and the ultrasound collecting element 5, the focal point of the spherical lens formed by these elements is selected to be located on the specimen 11. In other words, the microscopic image obtained by the ultrasonic microscope 22 and the optical microscopic image are of the same portion of the specimen 11.

超音波顕微鏡において像を得るための先に述べ
たＸ方向走査及びＹ方向走査は、Ｘ方向について
はＸ方向走査部３５の可動コイル部３５を駆動し
てその駆動軸３６を振動させ、Ｙ方向については
移動台３４を案内溝３３に沿つて移動させること
によつて行なう。或いは溝３３を可動レール３９
に形成し、その可動レール３９を基台２１上にお
いてＹ方向に移動自在に設け、この可動レール３
９をＹ方向に移動させることによりＹ方向走査と
してもよい。 The above-mentioned X-direction scanning and Y-direction scanning for obtaining images in an ultrasound microscope are performed by driving the movable coil section 35 of the X-direction scanning section 35 to vibrate its drive shaft 36 in the X direction, and in the Y direction. This is done by moving the moving table 34 along the guide groove 33. Alternatively, the groove 33 can be connected to the movable rail 39.
The movable rail 39 is provided on the base 21 so as to be movable in the Y direction.
9 may be moved in the Y direction to scan in the Y direction.

尚必要に応じてストツパ３７，３８の位置は微
調整することができるようにされる。その微調整
によつて標本１１の同一箇所を超音波顕微鏡２２
及び光学顕微鏡２３により観察できるように調整
できる。可動レール３９をＹ方向に移動させて位
置調整するための微動器４１が設けられる。同様
にＸ方向の位置を調節するため、移動台３４上に
Ｘ方向溝４２がＸ方向に沿つて形成され、そのＸ
方向溝４２に沿つてＸ方向走査部３５が移動でき
るよう配され、その位置はＸ方向微動ねじ４３に
より行なうことができる。 Incidentally, the positions of the stoppers 37 and 38 can be finely adjusted as necessary. By making fine adjustments, the same part of the specimen 11 can be seen under the ultrasound microscope 22.
It can also be adjusted so that it can be observed using an optical microscope 23. A fine mover 41 is provided for moving the movable rail 39 in the Y direction to adjust its position. Similarly, in order to adjust the position in the X direction, an X direction groove 42 is formed on the moving table 34 along the X direction.
The X-direction scanning section 35 is disposed so as to be movable along the directional groove 42, and its position can be determined by an X-direction fine adjustment screw 43.

第３図においては超音波顕微鏡２２として透過
型のものにこの考案を適用したが、この考案は反
射型超音波顕微鏡に適用できる。 In FIG. 3, this invention is applied to a transmission type ultrasound microscope 22, but this invention can also be applied to a reflection type ultrasound microscope.

以上述べたようにこの考案による超音波顕微鏡
装置によれば標本をいちいち取外すことなく、し
かも同一標本の同一箇所を光学顕微鏡像として或
いは超音波顕微鏡像として観察することができ
る。このことは従来一方の顕微鏡で観察した後、
他方の顕微鏡で観察するためその位置合わせに非
常に時間が掛つたことと比較して非常に便利であ
る。 As described above, according to the ultrasonic microscope device according to this invention, the same part of the same sample can be observed as an optical microscope image or an ultrasonic microscope image without removing the specimen one by one. Conventionally, after observing this with one microscope,
This is very convenient compared to the time it takes to align the positions for observation with the other microscope.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は透過型超音波顕微鏡の原理を示す図、
第２図は反射型超音波顕微鏡の原理を示す図、第
３図はこの考案による超音波顕微鏡装置の一例を
示す斜視図である。 ２：集束超音波発生素子、５：超音波集音素
子、９：試料保持膜、１０：試料保持枠、１１：
標本、１８：超音波送受波素子、２１：基台、２
２：超音波顕微鏡、２３：光学顕微鏡、２９：鏡
筒部、３０：反射鏡、３１：接眼レンズ、３２：
光学用対物レンズ、３３：案内溝、３４：移動
台、３５：Ｘ方向走査部、３６：駆動軸、３７：
ストツパ、３９：可動レール、４２：Ｘ方向軸、
４１：Ｙ方向微動部、４３：Ｘ方向微動部。 Figure 1 is a diagram showing the principle of a transmission ultrasound microscope.
FIG. 2 is a diagram showing the principle of a reflection type ultrasound microscope, and FIG. 3 is a perspective view showing an example of the ultrasound microscope apparatus according to this invention. 2: Focused ultrasound generating element, 5: Ultrasonic sound collecting element, 9: Sample holding film, 10: Sample holding frame, 11:
Specimen, 18: Ultrasonic transceiver element, 21: Base, 2
2: Ultrasonic microscope, 23: Optical microscope, 29: Lens barrel, 30: Reflector, 31: Eyepiece, 32:
Optical objective lens, 33: Guide groove, 34: Moving table, 35: X direction scanning section, 36: Drive shaft, 37:
Stopper, 39: Movable rail, 42: X direction axis,
41: Y direction fine movement section, 43: X direction fine movement section.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 光学顕微鏡と、該光学顕微鏡の対物レンズ光軸
方向と同方向に超音波ビームが放射するように 前記光学顕微鏡と平行して配置された超音波顕
微鏡と前記光学顕微鏡と前記超音波顕微鏡に対向
して標本の同一部分を観察しうるように移動可能
な標本載置台とからなる超音波顕微鏡装置におい
て、 前記標本載置台は、Ｘ方向及びＹ方向の直交す
る方向に微動調整部を備えていることを特徴とす
る超音波顕微鏡装置。[Scope of Claim for Utility Model Registration] An optical microscope, an ultrasonic microscope arranged parallel to the optical microscope so that the ultrasonic beam is emitted in the same direction as the optical axis direction of the objective lens of the optical microscope, and the optical microscope. and a specimen mounting table movable so as to be able to observe the same part of the specimen in opposition to the ultrasound microscope, wherein the specimen mounting table is arranged in a direction perpendicular to the X direction and the Y direction. An ultrasonic microscope device comprising a fine adjustment section.