JPS62228375A - ウエハ研削装置 - Google Patents
ウエハ研削装置Info
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- JPS62228375A JPS62228375A JP61073483A JP7348386A JPS62228375A JP S62228375 A JPS62228375 A JP S62228375A JP 61073483 A JP61073483 A JP 61073483A JP 7348386 A JP7348386 A JP 7348386A JP S62228375 A JPS62228375 A JP S62228375A
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- JP
- Japan
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- grinding
- wafer
- cooling water
- brush
- grindstone
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Links
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 abstract description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 abstract description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 28
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
- B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
- B23Q3/06—Work-clamping means
- B23Q3/069—Work-clamping means for pressing workpieces against a work-table
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/10—Arrangements for cooling or lubricating tools or work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D13/00—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor
- B24D13/14—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor acting by the front face
- B24D13/145—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor acting by the front face having a brush-like working surface
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- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
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- B24D13/18—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor with cooling provisions
-
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- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/10—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with cooling provisions
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明はウェハ研削装置に係り、特に半導体ウェハの裏
面を自動的に研削するためのウェハ研削装置に関する。
面を自動的に研削するためのウェハ研削装置に関する。
(従来の技術)
従来、ウェハの自e研削を行なう場合、チャックテーブ
ル上に真空チャック等の手段によりウェハを固定し、こ
のウェハを回転砥石により必要な厚さに研削するように
している。この回転砥石は、一般に、2軸あるいは3軸
で構成され、各軸における砥石の番手を変えて連続的に
研削を行なうようになされている。
ル上に真空チャック等の手段によりウェハを固定し、こ
のウェハを回転砥石により必要な厚さに研削するように
している。この回転砥石は、一般に、2軸あるいは3軸
で構成され、各軸における砥石の番手を変えて連続的に
研削を行なうようになされている。
第2図は従来の研削装置を示したもので、回転駆動源1
により回転されるスピンドル軸2の下端には、7ランジ
部3が一体に螺着され、このスピンドル軸2とフランジ
部3の上側との間には、椀状の砥石取付部材4が固着さ
れている。この砥石取付部材4の下面には、弧状の砥石
5が適当な間隔を持って周設されており、さらに、上記
フランジ部3の外周面には、スピンドル軸2の内部に導
通される冷却水の噴出口6が設けられている。
により回転されるスピンドル軸2の下端には、7ランジ
部3が一体に螺着され、このスピンドル軸2とフランジ
部3の上側との間には、椀状の砥石取付部材4が固着さ
れている。この砥石取付部材4の下面には、弧状の砥石
5が適当な間隔を持って周設されており、さらに、上記
フランジ部3の外周面には、スピンドル軸2の内部に導
通される冷却水の噴出口6が設けられている。
上記装置においては、回転駆動源1によりスピンドル軸
2を介して砥石5を回転させるとともに、この回転によ
る遠心力により噴出口6から冷却水を砥石5に向って噴
き出させながら、ウェハの研削を行ない、上記冷却水に
より研削の際に発生覆る熱を冷却するようにしている。
2を介して砥石5を回転させるとともに、この回転によ
る遠心力により噴出口6から冷却水を砥石5に向って噴
き出させながら、ウェハの研削を行ない、上記冷却水に
より研削の際に発生覆る熱を冷却するようにしている。
また、第3図は従来の他の研削装置を示したもので、砥
石取付部材4の内部に冷tJ1水道路7を設けるととも
に、その噴出口8が砥石取付部材4の下面であって砥石
5の内側近傍に設けられている。
石取付部材4の内部に冷tJ1水道路7を設けるととも
に、その噴出口8が砥石取付部材4の下面であって砥石
5の内側近傍に設けられている。
水袋δにおいては、スピンドル軸2の内部を通ってフラ
ンジ部3に送られる冷u1水を、上記冷却水通路7を介
して噴出口8から砥石5に供給するものである。
ンジ部3に送られる冷u1水を、上記冷却水通路7を介
して噴出口8から砥石5に供給するものである。
(発明が解決しようとする問題点)
しかし、上記第2図に示す装置の場合、遠心力により冷
却水を噴き出すので、噴出の勢いが強すぎ、ウェハとチ
ャックテーブルとの闇に水が入り込んでしまう。そのた
め、ウェハが研削中に浮き上がってしまい、砥石5によ
り異常に削られたり、割れたりしてしまうという問題が
あった。
却水を噴き出すので、噴出の勢いが強すぎ、ウェハとチ
ャックテーブルとの闇に水が入り込んでしまう。そのた
め、ウェハが研削中に浮き上がってしまい、砥石5によ
り異常に削られたり、割れたりしてしまうという問題が
あった。
また、第3図に示す装置では、冷却水の噴出の勢いは減
少され、確実に砥石部分に供給することができるが、水
mが不十分であり、特に200μ程度の簿いウェハを研
削する場合に不良となってしまうという問題を有してい
る。
少され、確実に砥石部分に供給することができるが、水
mが不十分であり、特に200μ程度の簿いウェハを研
削する場合に不良となってしまうという問題を有してい
る。
本発明は上記した点に鑑みてなされたbので、ウェハを
浮き上がらせることなく冷却水を適正に供給することが
でき、r)エバの安定した研削を行なうことのできるウ
ェハ研削装置を提供することを目的とりるものである。
浮き上がらせることなく冷却水を適正に供給することが
でき、r)エバの安定した研削を行なうことのできるウ
ェハ研削装置を提供することを目的とりるものである。
(問題点を解決するための手段)
上記目的を達成するため本発明に係るウェハ研削装置は
、ウェハの研削を行なう砥石が取付けられた砥石取付部
材の内側に下方に向かって延びるブラシを設け、上記ブ
ラシ部分および上記砥石取付部材の砥石近傍に冷却水の
噴出口を設けるようになされている。
、ウェハの研削を行なう砥石が取付けられた砥石取付部
材の内側に下方に向かって延びるブラシを設け、上記ブ
ラシ部分および上記砥石取付部材の砥石近傍に冷却水の
噴出口を設けるようになされている。
(作 用)
本発明は、上記ブラシ部分および砥石取付部材の噴出口
から冷却水を供給しながらウェハの研削を行なうもので
、上記ブラシによりウェハを押え付ケてウェハの浮き上
りを防止するとともに研削簡に生じる研削屑を掃除する
。
から冷却水を供給しながらウェハの研削を行なうもので
、上記ブラシによりウェハを押え付ケてウェハの浮き上
りを防止するとともに研削簡に生じる研削屑を掃除する
。
(実施例)
以下、本発明の実施例を第1図を参照し、第2図および
第3図と同一部分には同一符号をイ」シて説明する。
第3図と同一部分には同一符号をイ」シて説明する。
本実施例においては、フランジ部3の下面に快質ナイロ
ン等の合成樹脂等からなるブラシ9が固着されており、
上記フランジ部3の内部には、スピンドル軸2からの冷
却水を複数に分岐させる冷却水通路10が設けられると
ともに、上記ブラシ9部分から噴出させる噴出口6が設
けられている。
ン等の合成樹脂等からなるブラシ9が固着されており、
上記フランジ部3の内部には、スピンドル軸2からの冷
却水を複数に分岐させる冷却水通路10が設けられると
ともに、上記ブラシ9部分から噴出させる噴出口6が設
けられている。
さらに、上記フランジ部3の冷却水通路10の一部は、
砥石取(−1部材4の内部の冷却水通路7に接続され、
この冷却水通路7の下端は、分岐されて砥石5の内側お
J、び外側に間口する噴出口8.8に接続されている。
砥石取(−1部材4の内部の冷却水通路7に接続され、
この冷却水通路7の下端は、分岐されて砥石5の内側お
J、び外側に間口する噴出口8.8に接続されている。
上記ブラシ9部分の噴出口6の個数は適宜設定してよい
し、上記砥石取付部材4の噴出口8は、砥石5を取付け
た位置に設けても、あるいは、砥石5と砥石5との間に
設けてもよい。また、砥石5の外側の噴出口8は省略し
てもよいし、さらに、スピンドル軸2への冷却水の供給
は、スピンドル軸2の周囲から供給するようにしても、
あるいは、スピンドル軸2の上端から供給するようにし
てもよい。
し、上記砥石取付部材4の噴出口8は、砥石5を取付け
た位置に設けても、あるいは、砥石5と砥石5との間に
設けてもよい。また、砥石5の外側の噴出口8は省略し
てもよいし、さらに、スピンドル軸2への冷却水の供給
は、スピンドル軸2の周囲から供給するようにしても、
あるいは、スピンドル軸2の上端から供給するようにし
てもよい。
本実施例においては、ウェハの研削時に、フランジ部3
Jjよび砥石取付部材4の噴出口6.8から冷却水を
噴出させ、ブラシ9の間からウェハの研削面を冷却する
とともに、砥石5の冷却を行なうようになされる。この
とき、上記1ラシ9にJ:リウエハを押え付けるように
しているので、極めて安定した研削を行なうことができ
、例えば、従来のものでは研削後の肉厚が150〜20
0μが限度であったが、本実施例においては50〜10
0μまで研削することが可能となる。しかし、上記第2
図に示した装置においCは、薄肉研削をした場合、歩留
りが50%以下ぐ悪くすると砥石を痛めたりすることが
あるが、本実施例においては、歩留りが約99%となり
砥石を痛めることも゛ない。
Jjよび砥石取付部材4の噴出口6.8から冷却水を
噴出させ、ブラシ9の間からウェハの研削面を冷却する
とともに、砥石5の冷却を行なうようになされる。この
とき、上記1ラシ9にJ:リウエハを押え付けるように
しているので、極めて安定した研削を行なうことができ
、例えば、従来のものでは研削後の肉厚が150〜20
0μが限度であったが、本実施例においては50〜10
0μまで研削することが可能となる。しかし、上記第2
図に示した装置においCは、薄肉研削をした場合、歩留
りが50%以下ぐ悪くすると砥石を痛めたりすることが
あるが、本実施例においては、歩留りが約99%となり
砥石を痛めることも゛ない。
また、本実施例においては、ブラシ9ににリウエハを押
えるのみならず、研削時に生じる研削屑を掃除すること
ができ、この屑によるウェハの損傷を防ぐこともできる
。
えるのみならず、研削時に生じる研削屑を掃除すること
ができ、この屑によるウェハの損傷を防ぐこともできる
。
以上述べたように本発明に係るウェハ研削装置は、砥石
取付部材の内側にブラシを設け、このブラシ部分および
砥石近傍から冷却水を供給しながらウェハの研削を行な
うようにしたので、ウェハおよび砥石部分を十分に冷却
することができ、しかも、上記ブラシでウェハを押え付
けるので、ウェハの浮き上りを防止することができ、ブ
ラシの回転により研削時に生じる研削屑を掃除すること
ができる。その結果、ウェハの薄肉研削を安定して行な
うことができる等の効果を秦する。
取付部材の内側にブラシを設け、このブラシ部分および
砥石近傍から冷却水を供給しながらウェハの研削を行な
うようにしたので、ウェハおよび砥石部分を十分に冷却
することができ、しかも、上記ブラシでウェハを押え付
けるので、ウェハの浮き上りを防止することができ、ブ
ラシの回転により研削時に生じる研削屑を掃除すること
ができる。その結果、ウェハの薄肉研削を安定して行な
うことができる等の効果を秦する。
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第2図およ
び第3図はそれぞれ従来のウェハ研削装置を示す縦断面
図である。 2・・・スピンドル軸、3・・・フランジ部、4・・・
砥石取付部材、5・・・砥石、6.8・・・噴出口、7
.10・・・冷却水通路、9・・・ブラシ。
び第3図はそれぞれ従来のウェハ研削装置を示す縦断面
図である。 2・・・スピンドル軸、3・・・フランジ部、4・・・
砥石取付部材、5・・・砥石、6.8・・・噴出口、7
.10・・・冷却水通路、9・・・ブラシ。
Claims (1)
- 回転駆動されるスピンドル軸の下端部に、下面に砥石が
周設された椀状の砥石取付部材を固着し、冷却水を供給
しながら上記スピンドル軸の回転により上記砥石を回転
させて半導体ウエハの研削を行なうウエハ研削装置にお
いて、上記砥石取付部材の内側に下方に向かって延びる
ブラシを設け、上記ブラシ部分および上記砥石取付部材
の砥石近傍に冷却水の噴出口を設けたことを特徴とする
ウエハ研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61073483A JPS62228375A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | ウエハ研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61073483A JPS62228375A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | ウエハ研削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62228375A true JPS62228375A (ja) | 1987-10-07 |
Family
ID=13519569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61073483A Pending JPS62228375A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | ウエハ研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62228375A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004188582A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-07-08 | Kyocera Corp | 研削工具およびそれを用いた研削加工方法 |
EP1762335A1 (en) * | 2005-09-07 | 2007-03-14 | Luca Toncelli | Process for machining with chip removal articles made of fibres where inert materials are bound with resins |
CN103567872A (zh) * | 2013-11-17 | 2014-02-12 | 张齐栋 | 一种用于平面磨床砂轮的弓形喷头的组装方法 |
CN104647229A (zh) * | 2015-03-12 | 2015-05-27 | 山东科技大学 | 一种中空自冷却式磨盘及冷却方法 |
JP2015213995A (ja) * | 2014-05-12 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
CN107234480A (zh) * | 2017-08-01 | 2017-10-10 | 杭州广旭数控设备有限公司 | 一种具有丝杠导轨清洁刷的数控车床 |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP61073483A patent/JPS62228375A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004188582A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-07-08 | Kyocera Corp | 研削工具およびそれを用いた研削加工方法 |
EP1762335A1 (en) * | 2005-09-07 | 2007-03-14 | Luca Toncelli | Process for machining with chip removal articles made of fibres where inert materials are bound with resins |
CN103567872A (zh) * | 2013-11-17 | 2014-02-12 | 张齐栋 | 一种用于平面磨床砂轮的弓形喷头的组装方法 |
JP2015213995A (ja) * | 2014-05-12 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
CN104647229A (zh) * | 2015-03-12 | 2015-05-27 | 山东科技大学 | 一种中空自冷却式磨盘及冷却方法 |
CN107234480A (zh) * | 2017-08-01 | 2017-10-10 | 杭州广旭数控设备有限公司 | 一种具有丝杠导轨清洁刷的数控车床 |
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