JPS62222102A - Eddy current type distance detector - Google Patents
Eddy current type distance detectorInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はうず電流式の距離検出装置に関し、特に、抵
抗及び容重のバランス調整を容易に行うことができるよ
うにした距離検出装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an eddy current type distance detection device, and particularly to a distance detection device that allows easy adjustment of the balance between resistance and weight.
［従来の技術１
うず電流式の距離検出装置では、被検出物体に向って配
設される検出用コイルと該コイルと同一温度に保持され
温度補償を行う温度補償用コイルとを直列に接続した回
路に２つのアーム抵抗を直列に接続した回路を並列に接
続してブリッジ回路が構成される。そして、該ブリッジ
回路の直列接続点又は直列接続点には交流電源又は電圧
検出回路（一般には増幅器）が接続される。[Prior art 1] In an eddy current type distance detection device, a detection coil placed facing the detected object and a temperature compensation coil that is maintained at the same temperature as the coil and performs temperature compensation are connected in series. A bridge circuit is constructed by connecting in parallel a circuit in which two arm resistors are connected in series. An AC power supply or a voltage detection circuit (generally an amplifier) is connected to the series connection point or the series connection point of the bridge circuit.
ところが、この種うず電流式の距離検出装置では検出装
置本体に２つのコイルを設置すると共に他の部材は、例
えば電気料ｔｉｔ盤内部に収納され、両部材はケーブル
接続される構造上、抵抗、容重に関しいわゆるバランス
ずれが生じ、このバランスずれに対する調整手段が必要
となる。However, in this type of eddy current type distance detecting device, two coils are installed in the main body of the detecting device, and other components are housed inside, for example, an electricity billboard, and both components are connected by a cable, so resistance, A so-called imbalance occurs regarding the capacity and weight, and a means for adjusting this imbalance is required.
従来、このバランス調整は、前記コイルや抵抗にバラン
ス抵抗或いはバランス容量を直接ないし並列に接続する
ことで行われていた。Conventionally, this balance adjustment has been performed by connecting a balance resistor or a balance capacitor directly or in parallel to the coil or resistor.
しかしながら、バランス用の抵抗やコンデンサを固定的
に接続する場合には、距離検出装置本体やケーブルを交
換する毎に接続変更を行わなければならないことになる
。特に、レーザ加工装置の距離検出装置は、距離検出器
本体の取換えを比較的頻繁に行わなければならないので
、その作業に多くの手間を要している。However, if the balance resistor or capacitor is connected in a fixed manner, the connection must be changed every time the distance detection device body or cable is replaced. In particular, in the distance detection device of a laser processing device, the distance detector main body must be replaced relatively frequently, which requires a lot of effort.
［発明の目的］
この発明は上記点に鑑みて、直流的、交流的なバランス
調整を容易に行うことができろうず電流式の距離検出装
置を提供することを目的とする。[Object of the Invention] In view of the above-mentioned points, an object of the present invention is to provide a distance detecting device of the quartz current type, which can easily perform direct current and alternating current balance adjustment.
［発明の概要］
上記目的を達成するために、この発明では、うず電流式
の距離検出装置を、被検出物に近接配置される検出用コ
イルと該コイルと略同一温度に保持される温度補償用コ
イルとを直列に接続した回路に２つのアーム抵抗を直列
に接続した回路を並列に接続してブリッジ回路を構成し
、該ブリッジ回路の直列接続点又は並列接続点に交流電
源又は電圧検出回路をそれぞれ接続する一方、移動点を
有し該移動点を移動させることにより抵抗比率を任意に
変更可能の第１及び第２の可変抵抗を前記並列接続点に
並列に接続し、前記アーム抵抗の中心点を前記第１の可
変抵抗の移動点に所定の抵抗を介して接続すると共に前
記両コイルの中心点を前記第２の可変抵抗の移動点に所
定のコンデンサを介して接続することにより構成し、第
１及び第２の可変抵抗の移動点を調整することにより、
直流的、交流的なバランス調整を容易に行うことができ
るようにした。[Summary of the Invention] In order to achieve the above object, the present invention provides an eddy current type distance detection device with a detection coil disposed close to an object to be detected and a temperature compensated coil maintained at substantially the same temperature as the coil. A bridge circuit is constructed by connecting a circuit in which two arm resistors are connected in series to a circuit in which the arm resistors are connected in series, and an AC power supply or voltage detection circuit is connected to the series connection point or parallel connection point of the bridge circuit. while connecting first and second variable resistors having moving points whose resistance ratios can be arbitrarily changed by moving the moving points to the parallel connection point, The center point is connected to the moving point of the first variable resistor via a predetermined resistor, and the center point of both coils is connected to the moving point of the second variable resistor via a predetermined capacitor. By adjusting the moving points of the first and second variable resistors,
It is now possible to easily adjust the balance between DC and AC.
［実施例の説明］ 以下、添付図面を用いてこの発明の詳細な説明する。[Explanation of Examples] Hereinafter, the present invention will be described in detail using the accompanying drawings.
第１図はレーザ加工機械の側面図を示している。FIG. 1 shows a side view of a laser processing machine.
図示の如く、レーザ加工機械１は、水平に敷設された固
定のＸＹテーブル３上にワークＷを案内し、このワーク
Ｗをレーザビーム５で熱切断するものである。As shown in the figure, the laser processing machine 1 guides a workpiece W onto a fixed XY table 3 placed horizontally, and thermally cuts the workpiece W with a laser beam 5.
レーザビームＬＢはレーザビーム発生装置５で発生され
、強度調整装置７、反射［９を介して加工へラド１１に
案内されている。加工ヘッド１１の内部にはレンズ１３
が設けられ、レーザビーム１Ｂはこのレンズ１３で集光
され、集光位置でワークＷを熱切断する。また、ワーク
Ｗはクランプ１５で把持されて、切断すべき位置がヘッ
ド１１の直下に来るように、ＸＹテーブル３上で水平移
動されるようになっている。The laser beam LB is generated by a laser beam generator 5, and is guided to the processing radar 11 via an intensity adjustment device 7 and a reflection [9]. A lens 13 is installed inside the processing head 11.
is provided, and the laser beam 1B is focused by this lens 13 and thermally cuts the workpiece W at the focused position. Further, the workpiece W is held by a clamp 15 and moved horizontally on the XY table 3 so that the cutting position is directly below the head 11.
クランプ１５は、ワークＷを把持した状態で、ＸＹ軸用
サーボモータで平面Ｘ、Ｙ方向に駆動されるようになっ
ている。ヘッド１１はＺ軸周サーボモータで上下方向に
駆動されるようになっている。又、レーザ加工機械１に
はＮＧ装置１７が備えられ、このＮＧ装置１７の操作部
にはいわゆる手動パルス発生器１９が備えられている。The clamp 15 is configured to be driven in the plane X and Y directions by XY-axis servo motors while gripping the workpiece W. The head 11 is driven in the vertical direction by a Z-axis circumferential servo motor. Further, the laser processing machine 1 is equipped with an NG device 17, and the operation section of this NG device 17 is equipped with a so-called manual pulse generator 19.
第２図は、前記加工ヘッド１１の下方先端に取付けられ
ろうず電流式の距離検出器（以下、単にセンサと呼ぶ）
２１の一部断面拡大側面図である。FIG. 2 shows a wax current type distance detector (hereinafter simply referred to as a sensor) attached to the lower tip of the processing head 11.
21 is an enlarged side view in partial section.
第３図（ａ）は、これを更に拡大して示す断面図である
。FIG. 3(a) is a further enlarged cross-sectional view.
第２図に示すように、センサ２１は、内部に円錐状の空
洞を有し上部に７ランジ２１ａを有する截頭円錐形状に
形成され、ヘッド１１に設けられた円錐状のノズル２３
の外側に前記空洞を合わせる形で取付けられている。セ
ンサ２１は、グラファイト製の内側部材２１ｂと、セラ
ミックス製の外側部材２１ｃと、内側部材２１ｂの外側
表面円周上に設置ブられた上下２つの溝２１ｄにそれぞ
れ埋設される上下２つのコイルＣ＋ 、Ｃ２と、これら
コイルＣ＋ 、Ｃ２と連結されるケーブル２１ｅとを有
して構成されている。ケーブル２１ｅはその表面をテフ
ロン加工され耐熱性とされている。As shown in FIG. 2, the sensor 21 is formed into a truncated conical shape with a conical cavity inside and seven flange 21a at the top, and a conical nozzle 23 provided on the head 11.
The cavity is attached to the outside of the housing. The sensor 21 includes an inner member 21b made of graphite, an outer member 21c made of ceramics, and two upper and lower coils C+ respectively embedded in two upper and lower grooves 21d installed on the circumference of the outer surface of the inner member 21b. C2, and a cable 21e connected to these coils C+ and C2. The surface of the cable 21e is treated with Teflon to make it heat resistant.
ケーブル２１ｅの一端にはコネクタ２１ｆが設けられて
いる。コイルＣ＋は距離検出用コイルであり、コイルＣ
２は温度補償用のコイルである。A connector 21f is provided at one end of the cable 21e. Coil C+ is a distance detection coil;
2 is a temperature compensation coil.
センサ２１の７ランジ２１ａは、内周面に設けた内ねじ
部を前記ヘッド１１本体の下端に設けた外ねじ部と螺合
させる接合用キャップ２５を用いて、ヘッド１１の本体
に＠脱自在の形で取り付けられるようになっている。The seven flange 21a of the sensor 21 is removably attached to the main body of the head 11 using a connecting cap 25 that screws together an internal thread provided on the inner peripheral surface with an external thread provided at the lower end of the head 11 main body. It can be installed in the form of
距離検出用のコイルＣ１は、測定錆度を向上させるため
に下方に位置させるのに対し、コイルＣ２は上記コイル
Ｃ１との相互作用を少なくするため、又センサ２１の下
端直径りを小さくするためその上方に所定の距離Ωを置
いて配設されている。The distance detection coil C1 is located at the bottom in order to improve the measured degree of rust, while the coil C2 is used to reduce the interaction with the coil C1 and to reduce the diameter of the lower end of the sensor 21. It is placed above it at a predetermined distance Ω.
第３図（ａ）に示すように、グラファイト製の内側部材
２１ｂには、その外表面に、セラミックスコーティング
２１（ｌが施される。グラファイトは熱伝導性が良好な
割には絶縁性が大きいが、この表面にセラミックスコー
ティングを行うことにより、絶縁性を更に向上させるこ
とができる。これにより、コイルＣ＋ 、Ｃ２は共に絶
縁されて内側部材２１ｂに保持され、両者の温度は略一
定となる。As shown in FIG. 3(a), a ceramic coating 21 (l) is applied to the outer surface of the inner member 21b made of graphite. Graphite has good thermal conductivity and high insulation properties. However, by applying a ceramic coating to this surface, the insulation properties can be further improved.Thereby, the coils C+ and C2 are both insulated and held by the inner member 21b, and the temperature of both becomes substantially constant.
前記セラミックス類の外側部材２１ｃの下端には前記ノ
ズル２３の下端内方まで伸びる底２１ｈが形成されてい
る。この底２１ｈは、レーザ加工時にワークＷ面からの
スパッタを受けるが、セラミックス類であるがため、ス
パッタを溶着させず、センサ内部、並びに前記ノズル２
３をスパッタから保護することができる。A bottom 21h extending to the inside of the lower end of the nozzle 23 is formed at the lower end of the ceramic outer member 21c. This bottom 21h receives spatter from the surface of the work W during laser processing, but since it is made of ceramics, the spatter does not adhere to the inside of the sensor and the nozzle 2.
3 can be protected from spatter.
第３図（ｂ）はセンサ２１の他の実施例を示づものであ
る。本例では、セラミックス類の外側部材２１Ｃに底部
を設けることなく、内側部材２１ｂの底部に厚めのセラ
ミックスコーティング２１ｇを施し、かつ、ノズル２３
の先端位置を少しＴＲさゼたものである。FIG. 3(b) shows another embodiment of the sensor 21. In this example, a thick ceramic coating 21g is applied to the bottom of the inner member 21b without providing a bottom on the ceramic outer member 21C, and the nozzle 23
The position of the tip is slightly TR-reduced.
本例によっても、スパッタはセンサ内部やノズル２３の
先端部分に直接触れることがなく、コーテイング膜はセ
ンサ及びノズル２３をスパッタや加工部の熱放射から保
護することができる。Also in this example, spatter does not directly touch the inside of the sensor or the tip of the nozzle 23, and the coating film can protect the sensor and nozzle 23 from spatter and heat radiation from the processed part.
第３図（ａ）及び第３図（ｂ）においては、外側部材２
１Ｃをセラミックスで作成したが、センサ２１の外側部
材２１Ｃはセラミックス以外の材料、例えば鉄や銅或い
はアルミニウムで作ることもできる。In FIGS. 3(a) and 3(b), the outer member 2
Although the sensor 1C is made of ceramics, the outer member 21C of the sensor 21 can also be made of materials other than ceramics, such as iron, copper, or aluminum.
ただし、この場合、センサを前記スパッタないし放射熱
から保護するため、センサの外表面をセラミックスコー
ティングするのが望ましい。又、センサ２１の底部は、
スパッタから十分保護されるよう厚めにコーティングさ
れることが望ましい。However, in this case, in order to protect the sensor from the sputtering or radiant heat, it is desirable to coat the outer surface of the sensor with ceramics. Moreover, the bottom of the sensor 21 is
A thick coating is desirable to provide sufficient protection from spatter.
第４図は、センサ２１のブリッジ回路を示している。FIG. 4 shows the bridge circuit of the sensor 21.
該回路２７は、前記コイルＣ１とＣ２と抵抗Ｒ・１．Ｒ
２とを点Ｐ１〜Ｐ４で結んだブリッジを基本として構成
されている。点Ｐ＋ 、Ｒ３間には交流電源Ｅが接続さ
れ、これに、素子Ｒ３、ＶＲ＋ 。The circuit 27 includes the coils C1 and C2 and the resistors R.1. R
It is basically configured as a bridge connecting 2 and 2 at points P1 to P4. An AC power source E is connected between points P+ and R3, and elements R3 and VR+ are connected to this.
ＶＲ２、Ｃで構成させるバランス回路が接続されている
。これにより、点Ｐ２から、ワークＷと加工ヘッド１１
との間の距離に関連した電圧Ｃ（が端子Ｔ１に向けて出
力されるものである。A balance circuit made up of VR2 and C is connected. As a result, from point P2, the workpiece W and the processing head 11
A voltage C (related to the distance between the two terminals) is output toward the terminal T1.
今、
Ｌｌ・・・検出用コイルＣ１のインピーダンスし２・・
・温度補償用コイルＣ２のインピーダンスＲ＋ 、Ｒ２
・・・ブリッジのアーム抵抗ｅＯ・・・電源Ｅの発振電
圧
ｄ・・・検出用コイルＣ＋、とワークＷとの間の距離ａ
・・・検出用コイルＣ１のコイル半径とすると、
ｅ＋ ＝ （Ｌ＋ ／ （Ｌ＋ ＋１２ ）−Ｒ＋
／ （Ｒ１＋Ｒ２） ）ｅ 。Now, Ll...the impedance of the detection coil C1 is 2...
・Impedance R+ of temperature compensation coil C2, R2
...Arm resistance of the bridge eO...Oscillation voltage of the power source E...Distance a between the detection coil C+ and the workpiece W
...Assuming the coil radius of the detection coil C1, e+ = (L+ / (L+ +12) - R+
/ (R1+R2))e.
となり、距離ｄの関数として出力電圧ｅ、が決定する。The output voltage e is determined as a function of the distance d.
ただし、検出用コイルのインピーダンスＬ１は距離ｄを
コイルＣ１の半径ａで除した値ｄ／ａの関数である。However, the impedance L1 of the detection coil is a function of the value d/a obtained by dividing the distance d by the radius a of the coil C1.
バランス回路は、点Ｐ＋ 、Ｒ３間に並列に設けられる
可変抵抗ＶＲ＋ 、ＶＲ２と、一端を点Ｐ２に接続され
他端を前記可変抵抗ＶＲ＋ の可変点ＶＰ１に接続する
抵抗Ｒ３と、一端を点Ｐ４に接続し、他端を前記可変抵
抗ＶＲ２の可変点ＶＰ２に接続するコンデンサＣとで構
成されている。可変抵抗ＶＲ＋ 、ＶＲ２における可変
点ＶＰ＋ 、ＶＰ２は盤面に設けられるボリュームで容
易に調整移動可能となっている。The balance circuit includes variable resistors VR+ and VR2 provided in parallel between points P+ and R3, a resistor R3 having one end connected to point P2 and the other end connected to variable point VP1 of the variable resistor VR+, and one end connected to point P4. and a capacitor C whose other end is connected to the variable point VP2 of the variable resistor VR2. The variable points VP+ and VP2 in the variable resistors VR+ and VR2 can be easily adjusted and moved using volumes provided on the panel surface.
上記構成のバランス回路において、可変抵抗■Ｒ１の可
変点ＶＰ＋ を移動させることにより、アーム抵抗Ｒ＋
、Ｒ２の比を調整することができる。In the balance circuit with the above configuration, by moving the variable point VP+ of the variable resistor ■R1, the arm resistance R+
, R2 can be adjusted.
即ち、可変点ＶＰ＋の移動により、抵抗Ｒ３を抵抗Ｒ１
側に又はＲ２側に並列に接続させるごとき等価回路を形
成することができる。一方、可変抵抗ＶＲ２の可変点Ｖ
Ｐ２を移動させることにより、インピーダンスし１．Ｌ
２の比を調整することかで−きる。即ち、可変点ＶＰ２
の移動により、容量ＣをインピーダンスＬｉ側に又は［
２側に並列に接続させるがごとき等価回路を形成するこ
とができる。That is, by moving the variable point VP+, the resistance R3 becomes the resistance R1.
An equivalent circuit can be formed such that the R2 side is connected in parallel to the R2 side or in parallel to the R2 side. On the other hand, the variable point V of variable resistor VR2
By moving P2, the impedance becomes 1. L
This can be done by adjusting the ratio of 2. That is, variable point VP2
By moving the capacitance C to the impedance Li side or [
It is possible to form an equivalent circuit such as connecting the two sides in parallel.
前記バランス回路における可変点ＶＰ＋ 、ＶＰ２の移
動による直流的、交流的なバランス調整は相互に影響を
与えるので、調整は交互に行なわれる。なお、前記コイ
ルＣ１及びＣ２はセンサ２１側に位置するが、他の電気
素子は所定の盤内に位置するものである。The DC and AC balance adjustments by moving the variable points VP+ and VP2 in the balance circuit affect each other, so the adjustments are performed alternately. Note that the coils C1 and C2 are located on the sensor 21 side, but other electric elements are located within a predetermined panel.
第５図は前記センサ２１の出力ｅ１を増幅するための増
幅回路を示す回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram showing an amplification circuit for amplifying the output e1 of the sensor 21.
図示の如く、増幅回路２９は、増幅器２９ａと、整流回
路２９ｂと、平滑化回路２９ｃと、ＬＯＧ増幅器２９ｄ
と、増幅器２９ｅと、アラーム出力用増幅器２９ｆと、
を有して構成される。As shown in the figure, the amplifier circuit 29 includes an amplifier 29a, a rectifier circuit 29b, a smoothing circuit 29c, and a LOG amplifier 29d.
, an amplifier 29e, an alarm output amplifier 29f,
It is composed of:
増幅器２９ａは検出電圧ｅ、を増幅し、整流回路２９ｂ
はこれを整流する。平滑化回路２９０はこれを平滑化し
、ＬＯＧ増幅器２９ｄは検出距離ｄに対し出力電圧が略
比例するよう入力電圧を補正する。増幅器２９ｃはこれ
を増幅し増幅電圧ｅ２を端子Ｔ２に向けて出力する。ア
ラームは異常電圧発生時に出力されるものである。The amplifier 29a amplifies the detected voltage e, and the rectifier circuit 29b
rectifies this. The smoothing circuit 290 smoothes this, and the LOG amplifier 29d corrects the input voltage so that the output voltage is approximately proportional to the detection distance d. The amplifier 29c amplifies this and outputs the amplified voltage e2 toward the terminal T2. An alarm is output when an abnormal voltage occurs.
なお、図示の如く端子Ｔ２と、前記増幅器２９ａの出力
端子は、スイッチ２９（ｌを介してメータ２９ｈに接続
され、該メータ２９ｈは増幅された後の出力電圧を表示
すると共に前記バランス調整に利用できるようになって
いる。As shown in the figure, the terminal T2 and the output terminal of the amplifier 29a are connected to a meter 29h via a switch 29 (l), and the meter 29h displays the amplified output voltage and is used for the balance adjustment. It is now possible to do so.
第６図は前記増幅器２９から出力された電圧ｅ２を前記
ＮＯ装置１７で利用するために、所定のパルス信号に変
換するパルス制御回路を示している。FIG. 6 shows a pulse control circuit that converts the voltage e2 output from the amplifier 29 into a predetermined pulse signal for use in the NO device 17.
パルス制御回路３１は、汎用のＮＯ装置と接続するため
に、前記電圧ｅ２をそのままパルス信号に変更するのと
は異なって、若干複雑な構成となっている。The pulse control circuit 31 has a slightly complicated configuration in order to connect to a general-purpose NO device, unlike changing the voltage e2 directly to a pulse signal.
パルス制御回路３１は、加算増幅器３１ａと、これに接
続される絶対値増幅器３１ｂと、方向判別器３１Ｃと、
上限設定器３１ｄ１下限設定器３１ｅと有している。又
、前記絶対値増幅回路３１ｂに接続されるＶ／Ｆ変換器
３１ｆ及び倣い幅設定器３１（Ｊとを有している。更に
、Ｖ／Ｆ変換器３１ｆ及び倣い幅設定器３１１Ｊにはナ
ントゲート３１ｈが接続され、これに分周器３１１が接
続され、分周器３１ｉ及び上限設定器３１ｄにはナント
ゲート３１ｊとが接続されている。The pulse control circuit 31 includes a summing amplifier 31a, an absolute value amplifier 31b connected thereto, and a direction discriminator 31C.
It has an upper limit setter 31d and a lower limit setter 31e. Further, it has a V/F converter 31f and a scanning width setting device 31 (J) connected to the absolute value amplifying circuit 31b. A gate 31h is connected to the frequency divider 311, and a Nantes gate 31j is connected to the frequency divider 31i and the upper limit setter 31d.
入力端子Ｔ３には倣い距離設定用の標準電圧ｅｓが入力
される。この標準電圧ｅｓは、第２図において例えば、
ワークＷとセンサ２１との倣い距離ｄｓを１．５ｍｍと
設定しようとするとき、センサ２１が丁度この高さにあ
るとき出力する電圧（例えば２．５ボルト）を設定する
ものである。この電圧ｅＳは、例えばＮＣ９１置１７側
で設定されるものである。A standard voltage es for setting the scanning distance is input to the input terminal T3. This standard voltage es is, for example, as shown in FIG.
When the tracing distance ds between the work W and the sensor 21 is set to 1.5 mm, the voltage (for example, 2.5 volts) that is output when the sensor 21 is at exactly this height is set. This voltage eS is set, for example, on the NC 91 17 side.
入力端子Ｔ４．Ｔ５には倣い＆ＩＩｔＩＯの上限及び下
限距離に相当する電圧ｅｕ、 ｅｄが設定される。上限
及び下限距離は倣い距離ｄｓに対し例えば、±１ｍｍと
されるものである。Input terminal T4. Voltages eu and ed corresponding to the upper and lower limit distances of scanning &IItIO are set in T5. The upper and lower limit distances are, for example, ±1 mm with respect to the scanning distance ds.
入力端子Ｔ６には倣い範囲を定める電圧ｅｆが設定され
る。倣い範囲は、例えば±１１１１ＩＩであり、ここで
はその絶対値１■に相当する電圧ｅｆ（正の値）が設定
されることになる。A voltage ef that defines the scanning range is set to the input terminal T6. The tracing range is, for example, ±1111II, and here a voltage ef (positive value) corresponding to its absolute value 1■ is set.
前記加算増幅器３１ａは、入力端子Ｔ２及びＴ３から検
出電圧ｅ２と標準電圧Ｏ３とを入力し、検出電圧ｅ２の
標準電圧ｅｓに対する偏差△ｅを求める。The summing amplifier 31a receives the detected voltage e2 and the standard voltage O3 from the input terminals T2 and T3, and calculates the deviation Δe of the detected voltage e2 with respect to the standard voltage es.
絶対値増幅器３１ｂは入力電圧△ｅの絶対値を増幅し、
増幅電圧をＶ／Ｆ変換器３１ｆ及び、倣い上限設定器３
１（＋に出力する。The absolute value amplifier 31b amplifies the absolute value of the input voltage Δe,
The amplified voltage is transferred to the V/F converter 31f and the scanning upper limit setting device 3.
1 (Output to +.
Ｖ／Ｆ変換器３１【は入力電圧に比例した周波数のパル
ス信号を、２入力端子を有するナントゲート３１ｈの一
入力端子に出力する。ただし、図示しないが、当該Ｖ／
Ｆ変換器３１「には、その内部に入力電圧を制御幅（±
２００μｍ程度）に対応して定められる電圧で規制する
ツェナダイオードが備えられており、入力電圧がこの規
制電圧ｅｎ＋を越える場合には、入力電圧をｅＩｌｌと
する回路が備えられている。これは、Ｖ／Ｆ変換器３１
［の感度を良好とし、小さい入力電圧で高密度のパルス
信号を出力できるようにするためであり、出力電圧を所
定のものより大きくしないためである。The V/F converter 31 outputs a pulse signal with a frequency proportional to the input voltage to one input terminal of a Nandt gate 31h having two input terminals. However, although not shown, the V/
The F converter 31 has a control width (±
A Zener diode is provided that regulates the voltage at a voltage determined corresponding to the voltage (approximately 200 μm), and a circuit that sets the input voltage to eIll when the input voltage exceeds this regulation voltage en+ is provided. This is the V/F converter 31
This is to improve the sensitivity of [, to output a high-density pulse signal with a small input voltage, and to prevent the output voltage from becoming higher than a predetermined value.
これについての作用は第１１図で詳述する。The effect of this will be explained in detail in FIG.
前記上限設定器３１ｇの一入力端子は前記入力端子Ｔ６
と接続されており、絶対値増幅器３１ｔ）の出力が端子
Ｔ６に入力される倣い範囲を定める電圧ｅ「の範囲にあ
るとき出力を“ＯＮとし、電圧ｅｆを越えるとき１′°
を出力する。従って、ナントゲート３１ｈは、絶対値増
幅器３１ｔｌの出力する電圧が倣い範囲（±１ｍ１）を
定める電圧ｅｆ内にあるときのみ、所定周波のパルス信
号を分周器３１１に出力する。One input terminal of the upper limit setter 31g is the input terminal T6.
When the output of the absolute value amplifier 31t is within the range of the voltage e' that defines the scanning range input to the terminal T6, the output is turned on, and when the voltage exceeds the voltage e, the output is turned on.
Output. Therefore, the Nant gate 31h outputs a pulse signal of a predetermined frequency to the frequency divider 311 only when the voltage output from the absolute value amplifier 31tl is within the voltage ef that defines the scanning range (±1 m1).
前記方向判別器３１ｃは、増幅器３１ａから出力される
電圧△ｅの正負符号を検出し、これをナントゲート３１
ｊの一入力端子に与える。一方、ナントゲート３１ｊの
他の一入力端子には、前記分周器３１ｉからの出力パル
ス信号が入力されている。そこで、ナントゲート３１ｊ
は方向判別器３１Ｃからの正負符号に基づいて分周器３
１ｉから入力されるパルス信号に正負の符号をつける。The direction discriminator 31c detects the positive or negative sign of the voltage Δe output from the amplifier 31a, and converts it into a Nant gate 31.
Give it to one input terminal of j. On the other hand, the output pulse signal from the frequency divider 31i is input to the other input terminal of the Nant gate 31j. Therefore, Nantes Gate 31j
is the frequency divider 3 based on the plus/minus sign from the direction discriminator 31C.
A positive or negative sign is assigned to the pulse signal input from 1i.
第７図は、ナントゲート３１ｊから出力されるパルス信
号Ｐの出力線図を示している。FIG. 7 shows an output diagram of the pulse signal P output from the Nant gate 31j.
図示の通り、入力端子Ｔ７へ出力されるパルス信号Ｐは
、標準電圧ｅｓをゼロ点として検出電圧ｅ２ （距ｖｉ
ｄ ）に比例して急勾配で立上がるパルス信号となると
共に、前記Ｖ／Ｆ変換器３１ｆの規制電圧ｅｍに相当す
る距離で飽和する原点（倣い点）０に対して対象的な線
図となっている。数値的には制御幅ＣＤ（±２００μｌ
１１）に対し±ｎ ＫＨ７（ｎ：１〜３）程度である。As shown in the figure, the pulse signal P output to the input terminal T7 has the standard voltage es as the zero point and the detected voltage e2 (distance vi
d) is a pulse signal that rises at a steep slope in proportion to It has become. Numerically, the control width CD (±200 μl
11), it is about ±n KH7 (n: 1 to 3).
なお、破線は一般のＶ／Ｆ変換器の特性を示すものであ
る。Note that the broken line indicates the characteristics of a general V/F converter.
再び第６図において、上限設定器３１ｄは、電圧△ｅと
電圧ｅｕを比較し、上限距離ｄｕを検出し、ワークＷと
ヘッド１１との間の距離が上限ｄｕより大きいときハイ
レベルとなる信号を端子Ｔ８に出力する。同様に下限設
定器３１ｅは下限距離ｄｄを検出し、ヘッド１１がｄｄ
より小さいときハイレベルとなる信号を端子Ｔ９に出力
する。Again in FIG. 6, the upper limit setter 31d compares the voltage Δe and the voltage eu, detects the upper limit distance du, and outputs a signal that becomes high level when the distance between the workpiece W and the head 11 is greater than the upper limit du. is output to terminal T8. Similarly, the lower limit setter 31e detects the lower limit distance dd, and the head 11 detects the lower limit distance dd.
A signal that becomes high level when it is smaller is output to terminal T9.
第８図に示すように、ＮＧ装置１７は、主制御部３３と
、ワーク（クランプ）位置制御部３５と、ヘッド高さ制
御部３７と、パルス信号処理部３つとを有している。As shown in FIG. 8, the NG device 17 includes a main control section 33, a workpiece (clamp) position control section 35, a head height control section 37, and three pulse signal processing sections.
主制御部３３は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を有してお
り、ＲＯＭ内の制御プログラムに基いて各制御部材に指
令信号を出力する。主制御部３３は各種のインターフェ
イスと接続され、各種の制御を行うが、ここでは、ワー
ク位置指令信号Ｓ（Ｘ、Ｙ）と、ヘッド高さの指令信号
５（Ｚ）を出力するだけのものとする。The main control unit 33 includes a CPU, ROM, RAM, etc., and outputs command signals to each control member based on a control program in the ROM. The main control unit 33 is connected to various interfaces and performs various controls, but here, it only outputs a work position command signal S (X, Y) and a head height command signal 5 (Z). shall be.
ワーク位置指令信号Ｓ （Ｘ、Ｙ）は、ワークＷを所定
形状に切断するために、クランプ１５の平面状での移動
軌跡を指令するものである。ヘッド高さ指令信号Ｓ （
Ｚ）は、ヘッド１１の高さを固定テーブル３に対して指
定するもので、一般には、ワークＷに反りが無いことを
想定して、テーブル３上に載置されたワークＷの高さに
レーザビーム５の焦点が合うようヘッド高さを指令する
ものである。この指令信号５（Ｚ）は、ワーク形状や切
断形状にヰいて、ワーク水面位置が異なる位置でその高
さが所定のものとなるように、又、ワーク端面では倣い
を停止させヘッド１３を上昇させるように指令するもの
である。The workpiece position command signal S (X, Y) instructs the movement locus of the clamp 15 in a plane in order to cut the workpiece W into a predetermined shape. Head height command signal S (
Z) is used to specify the height of the head 11 relative to the fixed table 3. Generally, the height of the workpiece W placed on the table 3 is specified assuming that the workpiece W is not warped. This command commands the head height so that the laser beam 5 is focused. This command signal 5 (Z) is used to control the height of the water surface of the workpiece at different positions depending on the workpiece shape and cutting shape, and to stop the tracing at the end surface of the workpiece and raise the head 13. This command is used to instruct people to do the same thing.
ワーク位置制御部３５は、指令信号Ｓ （Ｘ、Ｙ）を入
力し、所定の補間を行って、Ｘ軸駆動部４１、Ｙ軸駆動
部４３に駆動信号を出力する。駆動部４１．４３はサー
ボアンプで構成され、駆動信号に基いてＸ、Ｙ軸サーボ
モータＭｘ 、Ｍ”／を駆動する。モータＭｘ 、Ｍｙ
にはエンコーダＥが取付けられ、移動結果を駆動部４１
．４３に＠還している。これにより、ワークＷ（クラン
プ１５）は指令のＸ、Ｙ位置に所定速度で制御されるこ
とになる。The workpiece position control section 35 inputs the command signal S (X, Y), performs predetermined interpolation, and outputs drive signals to the X-axis drive section 41 and the Y-axis drive section 43. The drive units 41 and 43 are composed of servo amplifiers, and drive X- and Y-axis servo motors Mx and M''/ based on drive signals. Motors Mx and My
An encoder E is attached to the drive unit 41 to transmit the movement results.
．． Replying to @43. As a result, the workpiece W (clamp 15) is controlled to the commanded X and Y positions at a predetermined speed.
ヘッド高さ制御部３７は、高さ指令信＠５（Ｚ）を入力
し、指令高さＺＯに後述補正値±ΔＺを和し、ヘッド高
さがこの値Ｚ＝Ｚｏ±△Ｚとなるように軸駆動部４５に
駆動信号を出力する。Ｚ軸駆動部４５はサーボアンプで
構成され、駆動信号に基いて、Ｚ軸サーボモータＭＺを
駆動する。モータＭＺには、エンコーダＥが取付けられ
移動結果を駆動部４５に帰還している。これにより、ヘ
ッド１１は高さＺ−Ｚｏ±ΔＺに所定速度で制御される
ことになる。The head height control unit 37 inputs the height command signal @5 (Z) and adds a correction value ±ΔZ, which will be described later, to the command height ZO, so that the head height becomes this value Z=Zo±△Z. A drive signal is output to the shaft drive section 45. The Z-axis drive section 45 is composed of a servo amplifier, and drives the Z-axis servo motor MZ based on a drive signal. An encoder E is attached to the motor MZ and feeds back the movement results to the drive section 45. As a result, the head 11 is controlled to a height of Z-Zo±ΔZ at a predetermined speed.
パルス信号処理部３９は、スイッチ４７を介して、手動
パルス発生器１９又は前記パルス制御回路３１と接続さ
れるようになっている。The pulse signal processing section 39 is connected to the manual pulse generator 19 or the pulse control circuit 31 via a switch 47.
手動パルス発生器１つのパルス発生状況を第９図に示す
と共に、パルス制御回路３１のパルス発生状況を第１０
図に示した。The pulse generation situation of one manual pulse generator is shown in FIG. 9, and the pulse generation situation of the pulse control circuit 31 is shown in FIG.
Shown in the figure.
第９図に示すように、手動パルス発生器１９は、その内
部に設けられたエンコーダを手動で回転さぼることによ
り、（ａ ） （ｂ ）図に示したように位相が１／
４異なる２相のエンコーダ信号Ｈａ。As shown in FIG. 9, the manual pulse generator 19 has a phase change of 1/2 as shown in FIGS.
4 different two-phase encoder signals Ha.
Ｈｂを生成し、（ｃ ） （ｄ ）図に示したような
正逆転の方向付けをされたパルス信号ｐＨを出力する。It generates Hb and outputs a pulse signal pH directed in forward and reverse directions as shown in the figures (c) and (d).
パルスＰＨの伍は回転速度に比例する。なお、パルス信
号処理部３９への入力パルスのパルス周」が３３０μｓ
ｅｃ以下とならないためにリミッタが設けられている。The level of the pulse PH is proportional to the rotation speed. Note that the pulse frequency of the input pulse to the pulse signal processing unit 39 is 330 μs.
A limiter is provided to prevent the value from becoming less than ec.
一方、パルス制御回路３１は、第７図に示した如きパル
ス信号Ｐを発生する。On the other hand, the pulse control circuit 31 generates a pulse signal P as shown in FIG.
パルス信号処理部３９は、手動パルス発生器１９又は、
パルス制御回路３１からパルス信号ＰＨ又はＰを入力す
る。そして、１パルスをμｍに換口して、ヘッド高さの
補正値±ΔＺを前記ヘッド高さｌｌｉ制御部３７に出力
する。この出力は所定時間へＴ、例えば、１０１１１ｓ
ｅｃ毎に行われるが、この場合の補正値ΔＺは、所定時
間ΔＴ内に入力されたパルス信号の積分値に対して行わ
れるものである。ここに、本例では、第７図で示したよ
うに制御幅ＣＤに対して高密度のパルス信号Ｐを出力す
ることができるので、小さな制御幅ＣＤ（±２００μｍ
）に対して十分高密度のパルス信号Ｐが得られることに
なる。The pulse signal processing section 39 includes the manual pulse generator 19 or
A pulse signal PH or P is input from the pulse control circuit 31. Then, one pulse is converted into μm, and the head height correction value ±ΔZ is output to the head height lli control section 37. This output is for a predetermined time T, for example, 10111s.
Although the correction value ΔZ is performed every ec, the correction value ΔZ in this case is performed on the integral value of the pulse signal input within a predetermined time ΔT. Here, in this example, since it is possible to output a high-density pulse signal P with respect to the control width CD as shown in FIG.
), a sufficiently high-density pulse signal P can be obtained.
今、スイッチ４７が手動パルス発生器１９へ切換えられ
ているとする。このスイッチ４７は図示しないモード切
換スイッチに連絡され、手動モードへの切換えに運動し
て切換えられるものである。Assume that the switch 47 is now switched to the manual pulse generator 19. This switch 47 is connected to a mode changeover switch (not shown) and can be moved to change over to the manual mode.
そこで、オペレータが手動パルス発生器１９のエンコー
ダを回転させたとする。すると、手動パルス発生器１９
から第９図（ｃ）、（ｄ）に示したような正負符号のパ
ルス信号ｐＨが出力されることになる。Therefore, assume that the operator rotates the encoder of the manual pulse generator 19. Then, the manual pulse generator 19
From this, pulse signals pH having positive and negative signs as shown in FIGS. 9(c) and 9(d) are output.
パルス信号処理部２７は、入力パルスＰＭを単位時間へ
Ｔで積分し、ヘッド高さの移動指令値上ΔＺを形成し、
ヘッド高さ制御部３７に出力する。The pulse signal processing unit 27 integrates the input pulse PM by T over a unit time to form a head height movement command value ΔZ,
It is output to the head height control section 37.
ヘッド高さ制御部３７は、現在手動モードであるので、
指令信＠５（Ｚ）は入力されていない。従って、ヘッド
高さ制御部３７は、パルス信号処理部３９から入力した
移動指令値±ΔをそのままＺ軸層動部４５へ出力する。Since the head height control section 37 is currently in manual mode,
Command signal @5 (Z) is not input. Therefore, the head height control section 37 outputs the movement command value ±Δ inputted from the pulse signal processing section 39 to the Z-axis layer movement section 45 as is.
Ｚ軸層動部４５は、入力された駆動信号に基いて、サー
ボモータＭＺを移動低±ΔＺに相当する分だけ駆動する
。The Z-axis layer moving unit 45 drives the servo motor MZ by an amount corresponding to the movement range ±ΔZ based on the input drive signal.
次にスイッチ４７が、パルス制御回路３１側へ切換えら
れているとする。この切換えはモード切換スイッチと連
動して行われるものである。Next, assume that the switch 47 is switched to the pulse control circuit 31 side. This switching is performed in conjunction with the mode changeover switch.
ヘッド高さ制御部３７には、主制御部３３から指令信＠
ＺＯが入力されている。センサ２１は、ワークＷとヘッ
ド１１との間の距離ｄに基いて第４図に丞した電圧ｅ１
を出力し、パルス制御回路３１はこの電圧ｅ１と標準電
圧ｅｓとの差に基いて第７図に示したパルス信号Ｐを出
力する。標準電圧ｅｓは標準距離ｄｓに対応して予め設
定されているものである。標準パルス信号処理部２７は
このパルス化＠Ｐに基いて補正値±Δ２を演算する。演
算内容は手動パルス発生器１９からパルス信号ＰＨを入
力したときと同様である。The head height control unit 37 receives a command from the main control unit 33.
ZO is input. The sensor 21 generates a voltage e1 increased as shown in FIG. 4 based on the distance d between the workpiece W and the head 11.
The pulse control circuit 31 outputs a pulse signal P shown in FIG. 7 based on the difference between this voltage e1 and the standard voltage es. The standard voltage es is preset corresponding to the standard distance ds. The standard pulse signal processing unit 27 calculates a correction value ±Δ2 based on this pulse @P. The calculation contents are the same as when the pulse signal PH is input from the manual pulse generator 19.
加工ｊ１始に際しヘッド１１は、始め、相当上方位置に
あり、比較的速い速度でその高さＺを低くしワークＷの
表面に近づくが、ＮＧ装置１７は第６図に示した端子Ｔ
８と接続されており、上限距離ｄｕから速度を落し、以
下の倣い制御を開始する。At the beginning of machining j1, the head 11 is initially in a considerably upper position and lowers its height Z at a relatively fast speed to approach the surface of the workpiece W, but the NG device 17 connects the terminal T shown in FIG.
8, the speed is reduced from the upper limit distance du, and the following tracing control is started.
パルス制御回路３１、パルス信号処理部３９、ヘッド高
さ制御部３７は、偏差恐±ΔＺを受け、ヘッド１１とワ
ークＷとの距離を常時標準距離ｄｓに保つように作用す
る。The pulse control circuit 31, the pulse signal processing section 39, and the head height control section 37 act to maintain the distance between the head 11 and the workpiece W at the standard distance ds at all times in response to the deviation error ±ΔZ.
第７図及び第１０図に示すように、パルス制御回路３１
から出力されるパルス信号Ｐは、制御幅ＣＤに関して距
離差に比例すると共に、この範囲を越えると一定値とな
るが、フィードバックの性質上、フィードバック特性に
なんらの無理はない。As shown in FIGS. 7 and 10, the pulse control circuit 31
The pulse signal P output from the control width CD is proportional to the distance difference and becomes a constant value beyond this range, but due to the nature of feedback, there is no unreasonableness in the feedback characteristic.
第１１図に、ヘッド１１が、ワークＷ上を図において右
方向へ移動する例を示した。FIG. 11 shows an example in which the head 11 moves over the workpiece W to the right in the figure.
ヘッド１１は、常時ワークＷとの間の距離を例えば１．
５ｍｍに保とうとする。The head 11 always maintains a distance from the workpiece W, for example, 1.
Try to keep it at 5mm.
ところが、ワークＷは充分に平滑でなく、また、図左方
に示すように穴４９を有したり、図の中央部分に示すよ
うに形状部分５１を有する場合もある。However, the workpiece W is not sufficiently smooth and may have a hole 49 as shown on the left side of the figure, or a shaped portion 51 as shown in the center of the figure.
ここに、本例では、第３図Ｇ）、■に示すように、セン
サ２１の底（ないしヘッド１１の底）部の直径りを極力
小さくするよう、湿度補償用のコイルＣ２を検出用コイ
ルＣ＋ の上方に位置させている。Here, in this example, as shown in FIG. It is located above C+.
従って、本例では、センサ２１の底部がワークと干渉す
ることがなく傾斜０が大きな形状部分の加工を行うこと
ができる。しかも、このとき、第７図に示したように、
パルス信号Ｐの密度を十分高くしているので、パルス制
御回路３１は傾斜θに基づくパルス信号処理部３９への
パルス帰還母の遅れを補い、ヘッド１１を傾斜θに迅速
に追従させることができる。Therefore, in this example, the bottom of the sensor 21 does not interfere with the workpiece, and a portion having a large slope 0 can be machined. Moreover, at this time, as shown in Figure 7,
Since the density of the pulse signal P is made sufficiently high, the pulse control circuit 31 can compensate for the delay in the pulse feedback to the pulse signal processing unit 39 based on the slope θ, and can cause the head 11 to quickly follow the slope θ. .
又、ワークＷに穴４９があると、センサ２１はこの穴４
９の下方のテーブル位置を検出し、ヘッド１１を穴４９
の下方へ沈める恐れがある。しかし、本例では、第６図
に示したように下限設定器３１ｅを設け、センサ２１が
下限距離を検出したとき、端子Ｔ９を介してその旨をＮ
Ｃ装：！１７に連絡するようにしているので、ＮＣ装置
１７は、この穴４９部分については、ヘッド１１を倣い
制御せず、ヘッド高さをそのままとして穴４９部分を通
過するが如＜ ｉ、ｌＩ御することができる。Also, if there is a hole 49 in the workpiece W, the sensor 21
The table position below hole 49 is detected, and the head 11 is moved to hole 49.
There is a risk of it sinking downward. However, in this example, as shown in FIG. 6, a lower limit setter 31e is provided, and when the sensor 21 detects the lower limit distance, the N
C-suit:! 17, the NC device 17 does not control the head 11 to copy the hole 49 portion, but controls the head 11 to pass through the hole 49 portion with the head height unchanged. be able to.
更に、第１１図右方に示すように、ヘッド１１はワーク
Ｗの端面に差しかかり、ヘッド１１をワークＷの端面か
ら落してしまう恐れがある。しかし、本例では、前記下
限設定器３１ｅが下限距離ｄｄを検出したとき、端子Ｔ
９を介してその旨ＮＣ装置１７へ連絡し、ＮＣ装置はこ
れに基いて作業を一時中断する等処理できるようにして
いる。なお、下限設定器３１ｅが、下限距離を検出した
ときに、それが穴４９であるか、端面であるかの判断は
、ワークの形状及び加工データ等から容易に判断できる
ものである。Furthermore, as shown on the right side of FIG. 11, the head 11 approaches the end surface of the work W, and there is a risk that the head 11 may fall from the end surface of the work W. However, in this example, when the lower limit setter 31e detects the lower limit distance dd, the terminal T
9, the NC device 17 is notified of this fact, and the NC device can take steps such as temporarily suspending the work based on this information. Note that when the lower limit setter 31e detects the lower limit distance, it can be easily determined whether it is the hole 49 or the end face from the shape of the workpiece, machining data, etc.
［発明の効果］
以上の通り、この発明に係ろうず電流式の距離検出装置
によれば、直流的、交流的なバランス調整を容易に行う
ことが可能である。[Effects of the Invention] As described above, according to the wax current type distance detection device according to the present invention, direct current and alternating current balance adjustment can be easily performed.
第１図はレーザ加工機械の側面図、第２図は上記レーザ
加工機械のヘッド部分の拡大説明図、第３図（ａ）及び
第３図（ｂ）はうず電流式のセンサの断面説明図、第４
図はセンサの検出信号を処理するブリッジ回路の回路図
、第５図は、増幅回路のブロック図、第６図はパルス制
御回路のブロック図、第７図は出力パルス信号の特性を
示す線図、第８図はＮＣ装置のブロック図、第９図（ａ
）、（扮、（ｃ）。
■は手動パルス発生器のエンコーダ信号の説明図、第１
０図の）、（ｂ）はパルス制御回路のパルス信号出力状
態の説明図、第１１図は加工ヘッドとワークとの位置関
係を示す説明図である。
１・・・レーザ加工機械 １１・・・ヘッド１７・・・
ＮＣ装置 ２１・・・センサ２３・・・ノズル
２７・・・ブリッジ回路２９・・・増幅回路
３１・・・パルス制御回路Ｗ・・・ワーク
Ｐ・・・パルス信号、了セρ−二二−６
゛ ；−ン−゛
代理人 弁理士 三 好 保 男１′（：、’：、：
１ｊ、−□、１ □
第１図
第２図
第５図
第６図Fig. 1 is a side view of the laser processing machine, Fig. 2 is an enlarged explanatory view of the head portion of the laser processing machine, and Figs. 3(a) and 3(b) are cross-sectional explanatory views of the eddy current type sensor. , 4th
The figure is a circuit diagram of the bridge circuit that processes the sensor detection signal, Figure 5 is a block diagram of the amplifier circuit, Figure 6 is a block diagram of the pulse control circuit, and Figure 7 is a diagram showing the characteristics of the output pulse signal. , Figure 8 is a block diagram of the NC device, Figure 9 (a
), ((c). ■ is an explanatory diagram of the encoder signal of the manual pulse generator, 1st
0) and (b) are explanatory diagrams of the pulse signal output state of the pulse control circuit, and FIG. 11 is an explanatory diagram showing the positional relationship between the processing head and the workpiece. 1... Laser processing machine 11... Head 17...
NC device 21...Sensor 23...Nozzle
27...Bridge circuit 29...Amplification circuit
31... Pulse control circuit W... Work
P...Pulse signal, completed ρ-22-6 ゛ ;-n-゛Representative Patent attorney Yasu Miyoshi 1'(:,':,:
1j, -□, 1 □ Figure 1 Figure 2 Figure 5 Figure 6
Claims (2)
ルと略同一温度に保持される温度補償用コイルとを直列
に接続した回路に２つのアーム抵抗を直列に接続した回
路を並列に接続してブリッジ回路を構成し、該ブリッジ
回路の直列接続点又は並列接続点に交流電源又は電圧検
出回路をそれぞれ接続する一方、移動点を有し該移動点
を移動させることにより抵抗比率を任意に変更可能の第
１及び第２の可変抵抗を前記並列接続点に並列に接続し
、前記アーム抵抗の中心点を前記第１の可変抵抗の移動
点に所定の抵抗を介して接続すると共に前記両コイルの
中心点を前記第２の可変抵抗の移動点に所定のコンデン
サを介して接続したことを特徴とするうず電流式距離検
出装置。(1) A circuit in which two arm resistors are connected in series is connected in parallel to a circuit in which a detection coil placed close to the object to be detected and a temperature compensation coil maintained at approximately the same temperature as the coil are connected in series. The bridge circuit is connected to form a bridge circuit, and an AC power supply or a voltage detection circuit is connected to the series connection point or parallel connection point of the bridge circuit, and the resistance ratio can be adjusted arbitrarily by having a moving point and moving the moving point. first and second variable resistors, which can be changed to An eddy current type distance detection device characterized in that the center points of both coils are connected to the moving point of the second variable resistor via a predetermined capacitor.
式つまみによって調整移動される特許請求の範囲第１項
記載のうず電流式距離検出装置。(2) The eddy current type distance detecting device according to claim 1, wherein the moving points of the first and second variable resistors are both adjusted and moved by rotary knobs.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6483586A JPH0615963B2 (en) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | Eddy current type distance detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6483586A JPH0615963B2 (en) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | Eddy current type distance detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62222102A true JPS62222102A (en) | 1987-09-30 |
| JPH0615963B2 JPH0615963B2 (en) | 1994-03-02 |
Family
ID=13269700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6483586A Expired - Lifetime JPH0615963B2 (en) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | Eddy current type distance detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0615963B2 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0321801A (en) * | 1989-06-19 | 1991-01-30 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Size measuring method |
| JPH03235001A (en) * | 1990-02-13 | 1991-10-21 | Canon Inc | Piezoelectric element with temperature compensating strain gage |
| JP2006017700A (en) * | 2004-05-31 | 2006-01-19 | Yamaha Motor Co Ltd | Physical quantity detecting device with bridge circuit and temperature compensation method |
| JP2006017701A (en) * | 2004-05-31 | 2006-01-19 | Yamaha Motor Co Ltd | Physical quantity detecting device with bridge circuit, and zero adjustment method |
| JP2018092622A (en) * | 2016-11-28 | 2018-06-14 | 株式会社フジキン | Piezoelectric drive type valve and flow rate control device |
| CN112815819A (en) * | 2020-12-31 | 2021-05-18 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Distance measuring device with temperature compensation function and cutting system |
-
1986
- 1986-03-25 JP JP6483586A patent/JPH0615963B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0321801A (en) * | 1989-06-19 | 1991-01-30 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Size measuring method |
| JPH03235001A (en) * | 1990-02-13 | 1991-10-21 | Canon Inc | Piezoelectric element with temperature compensating strain gage |
| JP2006017700A (en) * | 2004-05-31 | 2006-01-19 | Yamaha Motor Co Ltd | Physical quantity detecting device with bridge circuit and temperature compensation method |
| JP2006017701A (en) * | 2004-05-31 | 2006-01-19 | Yamaha Motor Co Ltd | Physical quantity detecting device with bridge circuit, and zero adjustment method |
| JP2018092622A (en) * | 2016-11-28 | 2018-06-14 | 株式会社フジキン | Piezoelectric drive type valve and flow rate control device |
| CN112815819A (en) * | 2020-12-31 | 2021-05-18 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Distance measuring device with temperature compensation function and cutting system |
| CN112815819B (en) * | 2020-12-31 | 2022-12-30 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Distance measuring device with temperature compensation function and cutting system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0615963B2 (en) | 1994-03-02 |
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