JPS62212958A - デイスクチヤツキング装置 - Google Patents
デイスクチヤツキング装置Info
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- JPS62212958A JPS62212958A JP61056282A JP5628286A JPS62212958A JP S62212958 A JPS62212958 A JP S62212958A JP 61056282 A JP61056282 A JP 61056282A JP 5628286 A JP5628286 A JP 5628286A JP S62212958 A JPS62212958 A JP S62212958A
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Landscapes
- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、磁気ディスクや光ディスクなどのディスク
をワークホルダ十に固定させるためのディスクチャッキ
ング装置に関する。
をワークホルダ十に固定させるためのディスクチャッキ
ング装置に関する。
(従来の技術とその問題点)
第6図ないし第8図にそれぞれ従来の−iイスクのチャ
ッキング装置の概略の縦断面図をホづ一6第6図の装置
は、回転テーブル1」−に固定されるワークホルダ2の
中央のディスク装着用軸部2aに嵌め込まれたディスク
3の]に、同じく上記軸部2aに嵌まる鋼材などからな
るキャップ4を重ね、回転テーブル1.ワークホルダ2
の中央部を貫通する通気路6,7を通じ真空吸着装置8
で上記キャップ4を下方に吸引してディスク3面にキャ
ップ4を押し付【J、これによりワークホルダ2とキャ
ップ4とでディスク3を挟着固定するように構成したも
のである。
ッキング装置の概略の縦断面図をホづ一6第6図の装置
は、回転テーブル1」−に固定されるワークホルダ2の
中央のディスク装着用軸部2aに嵌め込まれたディスク
3の]に、同じく上記軸部2aに嵌まる鋼材などからな
るキャップ4を重ね、回転テーブル1.ワークホルダ2
の中央部を貫通する通気路6,7を通じ真空吸着装置8
で上記キャップ4を下方に吸引してディスク3面にキャ
ップ4を押し付【J、これによりワークホルダ2とキャ
ップ4とでディスク3を挟着固定するように構成したも
のである。
また第7図の装置は、ワークホルダ2上に載せられたデ
ィスク3に対し、ワークホルダ2の中央のディスク装着
用軸部2aに嵌まるように止ねられるキャップ4を、エ
アシリンダ9を用いて引き下げることにより、ワークホ
ルダ2とキャップ4どでディスク3を挾着固定覆るもの
である。なお、キャップ4とエアシリンダ9の間の連結
解除は、エアシリンダ9に直結する筒状軸体10の周壁
の横穴10aに遊動自在に設けられる球体11と、キャ
ップ4にり垂下される軸体12の下端膨出部12aとの
係合を、上記筒状軸体10の上動ににり解い−C宋され
る。
ィスク3に対し、ワークホルダ2の中央のディスク装着
用軸部2aに嵌まるように止ねられるキャップ4を、エ
アシリンダ9を用いて引き下げることにより、ワークホ
ルダ2とキャップ4どでディスク3を挾着固定覆るもの
である。なお、キャップ4とエアシリンダ9の間の連結
解除は、エアシリンダ9に直結する筒状軸体10の周壁
の横穴10aに遊動自在に設けられる球体11と、キャ
ップ4にり垂下される軸体12の下端膨出部12aとの
係合を、上記筒状軸体10の上動ににり解い−C宋され
る。
第8図の装置も第7図のものとほぼ同様の構成であり、
エアシリンダ9はキャップを引き下げる方向にバネ13
で付勢される点が屓なるのみである。
エアシリンダ9はキャップを引き下げる方向にバネ13
で付勢される点が屓なるのみである。
しかしながら、以上の従来例は何れもワークホルダ2に
載せられたディスク3上に剛体材料からなるキ17ツプ
4を直接重ね、そのキトツブ4を引ぎ下げることにより
ディスク3をキャップ4とワークホルダ2とで挟着固定
するものであるから、ディスク3がキャップ4により傷
付いたり汚れがイ・1着Jるなどの欠点を有する。また
、装置の構造す複雑になり=]ス1へが増大するとバに
自動化をはかる場合には、キャップ4の着脱tTとに時
間がかかり、fl業能率が悪いという問題も右りる。
載せられたディスク3上に剛体材料からなるキ17ツプ
4を直接重ね、そのキトツブ4を引ぎ下げることにより
ディスク3をキャップ4とワークホルダ2とで挟着固定
するものであるから、ディスク3がキャップ4により傷
付いたり汚れがイ・1着Jるなどの欠点を有する。また
、装置の構造す複雑になり=]ス1へが増大するとバに
自動化をはかる場合には、キャップ4の着脱tTとに時
間がかかり、fl業能率が悪いという問題も右りる。
(発明の目的)
この発明は、従来例にお(Jる。1配間Mrlを解決す
るためになされたもので、ディスクに疵、iすれを付け
ることがなく、チャッキング処理の時間も短縮でき、使
用する装置の構造も簡!1になり小形軽量化が可能で、
自動化に有効なディスクブトツ1ング装置を提供するこ
とを目的とする。
るためになされたもので、ディスクに疵、iすれを付け
ることがなく、チャッキング処理の時間も短縮でき、使
用する装置の構造も簡!1になり小形軽量化が可能で、
自動化に有効なディスクブトツ1ング装置を提供するこ
とを目的とする。
(目的を達成するための手段)
この発明のディスクチャッキング装置は、径方向に拡縮
変形可能でディスク中央穴の嵌まる軸部を、ワークホル
ダの中央穴を貫通して上下動可能に垂設されるアクチユ
エータの上端部あるいはワークホルダ上端中央穴周縁部
のいずれか一方に設けると共に、(a)アクチュエータ
外周面とこれに対向4るワークホルダ中央穴の内壁面、
d3よび、(b)ワークホルダ上端の軸部内壁面とこれ
に対向づるアクチュエータ外周面、のうちのいずれか一
方の面の対に対し、アクヂュ■−タの上下動に伴い上記
軸部の拡縮変形を促すテーパ状案内面をそれぞれ形成し
て、アクデユー「−夕の上動または不動により、アクチ
ュエータ外周面とこれに対向するワークホルダ中央穴の
内壁面とのテーパ状案内面同」のづへり作用でアクチユ
エータの上端部に設(jられる軸部を拡径変形さけ、或
いはワークホルダー1端に設置1られる軸部の内壁面と
これに対向づるアクチュエータ外周而どのテーパ状案内
面同」のすべり作用でワークホルダ上端の軸部を拡径変
形さ1!、それによりディスク中央穴の周縁に上記軸部
を押し付GJでディスクをテーブル上に固定するJ二う
(こしたことを特徴とするものである。
変形可能でディスク中央穴の嵌まる軸部を、ワークホル
ダの中央穴を貫通して上下動可能に垂設されるアクチユ
エータの上端部あるいはワークホルダ上端中央穴周縁部
のいずれか一方に設けると共に、(a)アクチュエータ
外周面とこれに対向4るワークホルダ中央穴の内壁面、
d3よび、(b)ワークホルダ上端の軸部内壁面とこれ
に対向づるアクチュエータ外周面、のうちのいずれか一
方の面の対に対し、アクヂュ■−タの上下動に伴い上記
軸部の拡縮変形を促すテーパ状案内面をそれぞれ形成し
て、アクデユー「−夕の上動または不動により、アクチ
ュエータ外周面とこれに対向するワークホルダ中央穴の
内壁面とのテーパ状案内面同」のづへり作用でアクチユ
エータの上端部に設(jられる軸部を拡径変形さけ、或
いはワークホルダー1端に設置1られる軸部の内壁面と
これに対向づるアクチュエータ外周而どのテーパ状案内
面同」のすべり作用でワークホルダ上端の軸部を拡径変
形さ1!、それによりディスク中央穴の周縁に上記軸部
を押し付GJでディスクをテーブル上に固定するJ二う
(こしたことを特徴とするものである。
(実施例1)
第1図(A)はこの発明のディスクチャッキング装置の
第1の実施例の概略示す縦断面図であり、同図(11)
はその動作示す縦断面図である。
第1の実施例の概略示す縦断面図であり、同図(11)
はその動作示す縦断面図である。
−[記装置は、回転テーブル14上に設(Jられたワー
クホルダ15、このワークホルダ15の中央穴15aを
貫通して上下動可能に垂設されたアク′fコ[−タ16
、このアクチユエータ16の上下動を10うTアシリン
ダ17などにより構成されている。
クホルダ15、このワークホルダ15の中央穴15aを
貫通して上下動可能に垂設されたアク′fコ[−タ16
、このアクチユエータ16の上下動を10うTアシリン
ダ17などにより構成されている。
ワークホルダ15の十端J、fi突出する上記アクチコ
■−夕16の上端部には、周面をテーパ状案内面18a
とする逆円錐台形状の作用子18が、ナツト19.20
で上下より挟み付【プることにより固定されている。一
方、ディスク21が載置されるディスク取付基準面15
bとなるワークホルダ15の上端には、ゴムなどの弾性
体材料あるいは合成樹脂などの可撓性材料からなり−に
記アクチコエータ16と同心位置をなりリング状の軸部
22が突設されている。この軸部22は変形前の常態形
状において、ディスク21の中央穴21aが嵌まり得る
外径をなし、その−V端部内周縁に1i前記作用子18
のテーパ状案内面18aとの間ですべり作用の働くテー
パ状案内面22aが形成されている。また、上記アクチ
ュエータ16は、ワークホルダ15の中央穴15aより
回転テーブル14の中央穴14aを通じて上記エアシリ
ンダ17のピストン17aに接続される一方、そのピス
トン17aはバネ23により下方に付勢されている。
■−夕16の上端部には、周面をテーパ状案内面18a
とする逆円錐台形状の作用子18が、ナツト19.20
で上下より挟み付【プることにより固定されている。一
方、ディスク21が載置されるディスク取付基準面15
bとなるワークホルダ15の上端には、ゴムなどの弾性
体材料あるいは合成樹脂などの可撓性材料からなり−に
記アクチコエータ16と同心位置をなりリング状の軸部
22が突設されている。この軸部22は変形前の常態形
状において、ディスク21の中央穴21aが嵌まり得る
外径をなし、その−V端部内周縁に1i前記作用子18
のテーパ状案内面18aとの間ですべり作用の働くテー
パ状案内面22aが形成されている。また、上記アクチ
ュエータ16は、ワークホルダ15の中央穴15aより
回転テーブル14の中央穴14aを通じて上記エアシリ
ンダ17のピストン17aに接続される一方、そのピス
トン17aはバネ23により下方に付勢されている。
上記!!inによるディスク21の回転テーブル14へ
の固定は次のようにして行イrわれる。
の固定は次のようにして行イrわれる。
まず、−[アシリンダ17への給気が行イtわれでいる
状態では、第1図(A)に示すようにバネ23のイ]勢
力に抗してピストン17aが上方に位置し、アクチコT
−タ16は上動位置にある。したがって、アクチコ■−
夕16の作用子18は軸部22に作用せず、軸部22は
ディスク21の中央穴21aの嵌まり得る外径を41す
常態時の形状にある。
状態では、第1図(A)に示すようにバネ23のイ]勢
力に抗してピストン17aが上方に位置し、アクチコT
−タ16は上動位置にある。したがって、アクチコ■−
夕16の作用子18は軸部22に作用せず、軸部22は
ディスク21の中央穴21aの嵌まり得る外径を41す
常態時の形状にある。
この軸部22にハンドリングロボットなどによりディス
ク21を嵌め合せて、ワークホルダ15の、ト端すなわ
ちディスク取付基準面15b上にセラl〜したあと、上
記エアシリンダ17の給排気口(図示せず)を開放する
と、バネ23の付勢力によりビスi・ン17aが下動す
る。そのためアクチュエータ16が下動し、第1図(B
)に示すように作用子18はそのテーパ状案内面18a
が軸部22のテーパ状案内面22aに摺接した状態で押
し下げられ、これにより軸部22は外周側に弾性変形よ
Iこはたわみ変形する。この変形にJ、り軸部22がデ
ィスク21の中央穴21a内周縁に押し付けられるため
、ディスク21はリークホルダ15土、換言すると回転
テーブル14十に固定される。ディスク21の固定解除
は、以上の操作を逆に行なうことにより果される。
ク21を嵌め合せて、ワークホルダ15の、ト端すなわ
ちディスク取付基準面15b上にセラl〜したあと、上
記エアシリンダ17の給排気口(図示せず)を開放する
と、バネ23の付勢力によりビスi・ン17aが下動す
る。そのためアクチュエータ16が下動し、第1図(B
)に示すように作用子18はそのテーパ状案内面18a
が軸部22のテーパ状案内面22aに摺接した状態で押
し下げられ、これにより軸部22は外周側に弾性変形よ
Iこはたわみ変形する。この変形にJ、り軸部22がデ
ィスク21の中央穴21a内周縁に押し付けられるため
、ディスク21はリークホルダ15土、換言すると回転
テーブル14十に固定される。ディスク21の固定解除
は、以上の操作を逆に行なうことにより果される。
なお、ディスク21の芯出しは、ディスク21の中央穴
21aが軸部22の外周面すなわち基準案内面22bに
案内されて装着されることにより正しく行なわれる。
21aが軸部22の外周面すなわち基準案内面22bに
案内されて装着されることにより正しく行なわれる。
(実施例2)
第2図(A)はこの発明のディスクブヤッキング装置の
第2の実施例の要部を示す縦断面図であり、同図(B)
はその一部を平面図である。また、同図(C)はその動
作を示す縦断面図である。
第2の実施例の要部を示す縦断面図であり、同図(B)
はその一部を平面図である。また、同図(C)はその動
作を示す縦断面図である。
−に記装置は、先の第1の実施例にお【ノるリング状の
軸部22に代えて、リング体を縦に4分割した形の4つ
の円弧状爪片221,222,223゜224をワーク
ホルダ15上喘の中央穴15aの周縁部にリング状に配
設して軸部22とし、軸部22の拡縮変形をJ:り大き
くした点と、作用子18がアクチユエータ16の上端部
に一体形成されている貞のほかは第1の実施例と同様で
ある。
軸部22に代えて、リング体を縦に4分割した形の4つ
の円弧状爪片221,222,223゜224をワーク
ホルダ15上喘の中央穴15aの周縁部にリング状に配
設して軸部22とし、軸部22の拡縮変形をJ:り大き
くした点と、作用子18がアクチユエータ16の上端部
に一体形成されている貞のほかは第1の実施例と同様で
ある。
その動作も、第2図(C)に示すようにアクチコJ−夕
16の下動により軸部22が拡径変形(各円弧状爪片2
21〜224が個別に外側に押し拡げられる)してディ
スク21の中央穴21aの内周縁を押圧するもので、第
1の実施例と同様である。
16の下動により軸部22が拡径変形(各円弧状爪片2
21〜224が個別に外側に押し拡げられる)してディ
スク21の中央穴21aの内周縁を押圧するもので、第
1の実施例と同様である。
(実施例3)
第3図(A)はこの発明のディスクチャッキング装置の
第3の実施例の要部を示す縦断面図であり、同図(B)
はその一部を示す平面図である。
第3の実施例の要部を示す縦断面図であり、同図(B)
はその一部を示す平面図である。
上記装置は、前記した第2の実施例にお()る軸部22
のテーパ状案内面22aと、作用子18のテーパ状案内
面18aの傾きを逆にした点が異なる。すなわち、作用
子18は上方に向けて外径の縮小する正立円錐台形状で
あり、この作用子18のテーパ状案内面18aに倣う軸
部22側のテーパ状案内面22aも上方に向けて内径の
縮小する= 8 − 形状である。そのほかの構成は第2の実施例と同様であ
る。
のテーパ状案内面22aと、作用子18のテーパ状案内
面18aの傾きを逆にした点が異なる。すなわち、作用
子18は上方に向けて外径の縮小する正立円錐台形状で
あり、この作用子18のテーパ状案内面18aに倣う軸
部22側のテーパ状案内面22aも上方に向けて内径の
縮小する= 8 − 形状である。そのほかの構成は第2の実施例と同様であ
る。
この装置では、上記テーパ状案内面18a、22aが第
2の実施例と逆の傾きとなっているので、アクチュエー
タ16が上動したときに、作用子18のテーパ状案内面
18aが軸部22のテーパ状案内面22aに摺接して、
軸部22の各円弧状爪片221〜224が拡径変形し、
ディスク21の固定がはかられる。ディスク21の取外
しは、逆にアクチュエータ16を不動さけて作用子18
の軸部22に対する押圧を解き、軸部22を縮径変形さ
せることにより行なうことができる。
2の実施例と逆の傾きとなっているので、アクチュエー
タ16が上動したときに、作用子18のテーパ状案内面
18aが軸部22のテーパ状案内面22aに摺接して、
軸部22の各円弧状爪片221〜224が拡径変形し、
ディスク21の固定がはかられる。ディスク21の取外
しは、逆にアクチュエータ16を不動さけて作用子18
の軸部22に対する押圧を解き、軸部22を縮径変形さ
せることにより行なうことができる。
(実施例4)
第4図(△)はこの発明のディスクチャッキング装置の
第4の実施例の要部示す縦断面図であり、同図(B)は
その一部を示す平面図である。また、同図(C)はその
動作を示す縦断面図である。
第4の実施例の要部示す縦断面図であり、同図(B)は
その一部を示す平面図である。また、同図(C)はその
動作を示す縦断面図である。
−■−記装置は、先の各実施例がワークホルダ15側に
軸部22を設けていたのに代えて、ワークボルダ15の
中央穴15aより突出するアクチコ1−夕16の上端部
に軸部22′を形成した点が異なる。すなわち、この装
置では、アクチュエータ16の上端部に拡縮変形可能り
軸部22′が形成されている。この軸部22′は、アク
チュエータ16の1一端よりワークホルダー5の中央穴
15a内に相当する途中まで、アクチュエータ16を十
字状に縦分割した形をな?1′4つの縦割り爪片221
′〜224′で構成することにより、拡縮変形が可能と
なるようにされている。
軸部22を設けていたのに代えて、ワークボルダ15の
中央穴15aより突出するアクチコ1−夕16の上端部
に軸部22′を形成した点が異なる。すなわち、この装
置では、アクチュエータ16の上端部に拡縮変形可能り
軸部22′が形成されている。この軸部22′は、アク
チュエータ16の1一端よりワークホルダー5の中央穴
15a内に相当する途中まで、アクチュエータ16を十
字状に縦分割した形をな?1′4つの縦割り爪片221
′〜224′で構成することにより、拡縮変形が可能と
なるようにされている。
一方、ワークホルダー5とアクチュエータ16の間にす
べり作用を働かせるために、ワークホルダー5側ではそ
の中央穴15aの内壁部にテーパ状案内面15a1が、
またアクチュエータ16側ではワークホルダー5側のテ
ーパ状案内面15a1ど対向する外周面にこれに倣うテ
ーパ状案内面16aがそれぞれ形成されている。このテ
ーパ状案内面15a 、16aは、上方に向は縮径変
化する傾きをなしている。アクチュエータ16の」二下
初手段やその他の構成は先の各実施例と同様である。
べり作用を働かせるために、ワークホルダー5側ではそ
の中央穴15aの内壁部にテーパ状案内面15a1が、
またアクチュエータ16側ではワークホルダー5側のテ
ーパ状案内面15a1ど対向する外周面にこれに倣うテ
ーパ状案内面16aがそれぞれ形成されている。このテ
ーパ状案内面15a 、16aは、上方に向は縮径変
化する傾きをなしている。アクチュエータ16の」二下
初手段やその他の構成は先の各実施例と同様である。
この装置では、アクチ〕T−タ16が[動していて、そ
のテーパ状案内面16aがワークホルダー5側のテーパ
状案内面1581に押し目けられた第4図(A)の状態
で軸部22が縮1¥変形りるので、この状態のときに軸
部22へのディスク21の装着および軸部22からの取
外しが行なわれる。また軸部22へ装着されてワークホ
ルダー5のディスク取付基準面15b上にディスク21
がセットされた後、アクチュエータ16を不動さ1!る
と、第4図(C)に示すように軸部22の各縦割爪片2
21′〜224′が外周側に押し拡げられ、これがディ
スク21の中央穴21aの内周縁を押圧することにより
ディスク21のワークホルダー5上への固定がはかられ
る。
のテーパ状案内面16aがワークホルダー5側のテーパ
状案内面1581に押し目けられた第4図(A)の状態
で軸部22が縮1¥変形りるので、この状態のときに軸
部22へのディスク21の装着および軸部22からの取
外しが行なわれる。また軸部22へ装着されてワークホ
ルダー5のディスク取付基準面15b上にディスク21
がセットされた後、アクチュエータ16を不動さ1!る
と、第4図(C)に示すように軸部22の各縦割爪片2
21′〜224′が外周側に押し拡げられ、これがディ
スク21の中央穴21aの内周縁を押圧することにより
ディスク21のワークホルダー5上への固定がはかられ
る。
なお、第5図に要部を縦断面図で示すように、ワークホ
ルダー5側およびアクヂュ]−タ16側の各テーパ状案
内面15a 、16aの傾きを1記の場合と逆にして
もよい。この場合には、アクチュエータ16が下動位置
にあるとき軸部22が縮径変化し、上動位置にあるとき
軸部22が拡径変形してディスク22の固定がはかられ
、上記の場合と逆の動作となる。
ルダー5側およびアクヂュ]−タ16側の各テーパ状案
内面15a 、16aの傾きを1記の場合と逆にして
もよい。この場合には、アクチュエータ16が下動位置
にあるとき軸部22が縮径変化し、上動位置にあるとき
軸部22が拡径変形してディスク22の固定がはかられ
、上記の場合と逆の動作となる。
(発明の効果)
以上のように、この発明のディスクブヤツキング装置に
よれば、従来例のようなキャップの着脱操作を要するこ
となくワークホルダへのディスクの固定が可能となり、
キャップのためにディスクが山付いたり汚れが付着する
のを防止できるばかりで4【り、ディスクの固定を短時
間のうちに位置精度良く行なうことができる。このため
、固定作業の能率を大幅に向上させ得ると共に自動化も
容易に実施可能で装置自体も構造が簡単になり、小形・
軽量化が促進され設備のコストを低減できるなどの効果
が得られる。
よれば、従来例のようなキャップの着脱操作を要するこ
となくワークホルダへのディスクの固定が可能となり、
キャップのためにディスクが山付いたり汚れが付着する
のを防止できるばかりで4【り、ディスクの固定を短時
間のうちに位置精度良く行なうことができる。このため
、固定作業の能率を大幅に向上させ得ると共に自動化も
容易に実施可能で装置自体も構造が簡単になり、小形・
軽量化が促進され設備のコストを低減できるなどの効果
が得られる。
第1図(A)、(B)はそれぞれこの発明のディスクチ
ャッキング装置の第1の実施例の概略を示づ縦断面図お
よび動作説明図、 第2図(A>、(B)、(C)はそれぞれ第2の実施例
の概略を示す縦断面図、一部平面図および動作説明図、 第3図(A)、(B)はそれぞれ第3の実施例の概略を
示す縦断面図および一部平面図、第4図(△)、(F3
)、(C)はそれぞれ第4の実施例の概略を示す縦断面
図、一部平面図および動作説明図、 第5図は第4の実施例の変形例を示す要部縦断面図、 第6図、第7図、第8図はそれぞれ従来のディスクチャ
ッキング装置の概略を示す縦断面図である。 14・・・回転テーブル、 15・・・ワークホルダ、
15a・・・中央穴、 15a1・・・テーパ状案内面
、16・・・アクチュエータ、 16a・・・テーパ状案内面、18・・・作用子、18
a・・・テーパ状案内面、
ャッキング装置の第1の実施例の概略を示づ縦断面図お
よび動作説明図、 第2図(A>、(B)、(C)はそれぞれ第2の実施例
の概略を示す縦断面図、一部平面図および動作説明図、 第3図(A)、(B)はそれぞれ第3の実施例の概略を
示す縦断面図および一部平面図、第4図(△)、(F3
)、(C)はそれぞれ第4の実施例の概略を示す縦断面
図、一部平面図および動作説明図、 第5図は第4の実施例の変形例を示す要部縦断面図、 第6図、第7図、第8図はそれぞれ従来のディスクチャ
ッキング装置の概略を示す縦断面図である。 14・・・回転テーブル、 15・・・ワークホルダ、
15a・・・中央穴、 15a1・・・テーパ状案内面
、16・・・アクチュエータ、 16a・・・テーパ状案内面、18・・・作用子、18
a・・・テーパ状案内面、
Claims (1)
- (1)径方向に拡縮変形可能でディスク中央穴の嵌まる
軸部を、ワークホルダの中央穴を貫通して上下動可能に
垂設されるアクチュエータの上端部あるいはワークホル
ダ上端中央穴周縁部のいずれか一方に設けると共に、 (a)アクチュエータ外周面とこれに対向するワークホ
ルダ中央穴の内壁面、および (b)ワークホルダ上端の軸部内壁面とこれに対向する
アクチュエータ外周面、 のうちのいずれか一方の面の対に対し、アクチュエータ
の上下動に伴い上記軸部の拡縮変形を促すテーパ状案内
面をそれぞれ形成したことを特徴とするディスクチャッ
キング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61056282A JPS62212958A (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | デイスクチヤツキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61056282A JPS62212958A (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | デイスクチヤツキング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62212958A true JPS62212958A (ja) | 1987-09-18 |
Family
ID=13022739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61056282A Pending JPS62212958A (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | デイスクチヤツキング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62212958A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4958839A (en) * | 1988-07-12 | 1990-09-25 | Guzik Technical Enterprises, Inc. | Disc clamp employing resilient cone for spreading balls |
US5644564A (en) * | 1995-03-17 | 1997-07-01 | Phase Metrics | Vacuum chuck for rotating data discs |
EP0849733A1 (en) * | 1996-12-18 | 1998-06-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Disk holding device |
US6600628B2 (en) | 2001-04-10 | 2003-07-29 | Kla-Tencor Corporation | Air centering disk chuck |
US6954330B2 (en) * | 2001-12-04 | 2005-10-11 | Samsung Electronics, Co., Ltd. | Disk chuck |
-
1986
- 1986-03-13 JP JP61056282A patent/JPS62212958A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4958839A (en) * | 1988-07-12 | 1990-09-25 | Guzik Technical Enterprises, Inc. | Disc clamp employing resilient cone for spreading balls |
US5644564A (en) * | 1995-03-17 | 1997-07-01 | Phase Metrics | Vacuum chuck for rotating data discs |
EP0849733A1 (en) * | 1996-12-18 | 1998-06-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Disk holding device |
US6600628B2 (en) | 2001-04-10 | 2003-07-29 | Kla-Tencor Corporation | Air centering disk chuck |
US6954330B2 (en) * | 2001-12-04 | 2005-10-11 | Samsung Electronics, Co., Ltd. | Disk chuck |
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