JPS62212958A - デイスクチヤツキング装置 - Google Patents

デイスクチヤツキング装置

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JPS62212958A
JPS62212958A JP61056282A JP5628286A JPS62212958A JP S62212958 A JPS62212958 A JP S62212958A JP 61056282 A JP61056282 A JP 61056282A JP 5628286 A JP5628286 A JP 5628286A JP S62212958 A JPS62212958 A JP S62212958A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
disk
actuator
work holder
shaft part
shaft portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61056282A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Mizuguchi
修 水口
Ichiji Hasegawa
一司 長谷川
Yasuhide Nakai
康秀 中井
Tomotaka Manabe
知多佳 真鍋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Kobe Steel Ltd filed Critical Kobe Steel Ltd
Priority to JP61056282A priority Critical patent/JPS62212958A/ja
Publication of JPS62212958A publication Critical patent/JPS62212958A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、磁気ディスクや光ディスクなどのディスク
をワークホルダ十に固定させるためのディスクチャッキ
ング装置に関する。
(従来の技術とその問題点) 第6図ないし第8図にそれぞれ従来の−iイスクのチャ
ッキング装置の概略の縦断面図をホづ一6第6図の装置
は、回転テーブル1」−に固定されるワークホルダ2の
中央のディスク装着用軸部2aに嵌め込まれたディスク
3の]に、同じく上記軸部2aに嵌まる鋼材などからな
るキャップ4を重ね、回転テーブル1.ワークホルダ2
の中央部を貫通する通気路6,7を通じ真空吸着装置8
で上記キャップ4を下方に吸引してディスク3面にキャ
ップ4を押し付【J、これによりワークホルダ2とキャ
ップ4とでディスク3を挟着固定するように構成したも
のである。
また第7図の装置は、ワークホルダ2上に載せられたデ
ィスク3に対し、ワークホルダ2の中央のディスク装着
用軸部2aに嵌まるように止ねられるキャップ4を、エ
アシリンダ9を用いて引き下げることにより、ワークホ
ルダ2とキャップ4どでディスク3を挾着固定覆るもの
である。なお、キャップ4とエアシリンダ9の間の連結
解除は、エアシリンダ9に直結する筒状軸体10の周壁
の横穴10aに遊動自在に設けられる球体11と、キャ
ップ4にり垂下される軸体12の下端膨出部12aとの
係合を、上記筒状軸体10の上動ににり解い−C宋され
る。
第8図の装置も第7図のものとほぼ同様の構成であり、
エアシリンダ9はキャップを引き下げる方向にバネ13
で付勢される点が屓なるのみである。
しかしながら、以上の従来例は何れもワークホルダ2に
載せられたディスク3上に剛体材料からなるキ17ツプ
4を直接重ね、そのキトツブ4を引ぎ下げることにより
ディスク3をキャップ4とワークホルダ2とで挟着固定
するものであるから、ディスク3がキャップ4により傷
付いたり汚れがイ・1着Jるなどの欠点を有する。また
、装置の構造す複雑になり=]ス1へが増大するとバに
自動化をはかる場合には、キャップ4の着脱tTとに時
間がかかり、fl業能率が悪いという問題も右りる。
(発明の目的) この発明は、従来例にお(Jる。1配間Mrlを解決す
るためになされたもので、ディスクに疵、iすれを付け
ることがなく、チャッキング処理の時間も短縮でき、使
用する装置の構造も簡!1になり小形軽量化が可能で、
自動化に有効なディスクブトツ1ング装置を提供するこ
とを目的とする。
(目的を達成するための手段) この発明のディスクチャッキング装置は、径方向に拡縮
変形可能でディスク中央穴の嵌まる軸部を、ワークホル
ダの中央穴を貫通して上下動可能に垂設されるアクチユ
エータの上端部あるいはワークホルダ上端中央穴周縁部
のいずれか一方に設けると共に、(a)アクチュエータ
外周面とこれに対向4るワークホルダ中央穴の内壁面、
d3よび、(b)ワークホルダ上端の軸部内壁面とこれ
に対向づるアクチュエータ外周面、のうちのいずれか一
方の面の対に対し、アクヂュ■−タの上下動に伴い上記
軸部の拡縮変形を促すテーパ状案内面をそれぞれ形成し
て、アクデユー「−夕の上動または不動により、アクチ
ュエータ外周面とこれに対向するワークホルダ中央穴の
内壁面とのテーパ状案内面同」のづへり作用でアクチユ
エータの上端部に設(jられる軸部を拡径変形さけ、或
いはワークホルダー1端に設置1られる軸部の内壁面と
これに対向づるアクチュエータ外周而どのテーパ状案内
面同」のすべり作用でワークホルダ上端の軸部を拡径変
形さ1!、それによりディスク中央穴の周縁に上記軸部
を押し付GJでディスクをテーブル上に固定するJ二う
(こしたことを特徴とするものである。
(実施例1) 第1図(A)はこの発明のディスクチャッキング装置の
第1の実施例の概略示す縦断面図であり、同図(11)
はその動作示す縦断面図である。
−[記装置は、回転テーブル14上に設(Jられたワー
クホルダ15、このワークホルダ15の中央穴15aを
貫通して上下動可能に垂設されたアク′fコ[−タ16
、このアクチユエータ16の上下動を10うTアシリン
ダ17などにより構成されている。
ワークホルダ15の十端J、fi突出する上記アクチコ
■−夕16の上端部には、周面をテーパ状案内面18a
とする逆円錐台形状の作用子18が、ナツト19.20
で上下より挟み付【プることにより固定されている。一
方、ディスク21が載置されるディスク取付基準面15
bとなるワークホルダ15の上端には、ゴムなどの弾性
体材料あるいは合成樹脂などの可撓性材料からなり−に
記アクチコエータ16と同心位置をなりリング状の軸部
22が突設されている。この軸部22は変形前の常態形
状において、ディスク21の中央穴21aが嵌まり得る
外径をなし、その−V端部内周縁に1i前記作用子18
のテーパ状案内面18aとの間ですべり作用の働くテー
パ状案内面22aが形成されている。また、上記アクチ
ュエータ16は、ワークホルダ15の中央穴15aより
回転テーブル14の中央穴14aを通じて上記エアシリ
ンダ17のピストン17aに接続される一方、そのピス
トン17aはバネ23により下方に付勢されている。
上記!!inによるディスク21の回転テーブル14へ
の固定は次のようにして行イrわれる。
まず、−[アシリンダ17への給気が行イtわれでいる
状態では、第1図(A)に示すようにバネ23のイ]勢
力に抗してピストン17aが上方に位置し、アクチコT
−タ16は上動位置にある。したがって、アクチコ■−
夕16の作用子18は軸部22に作用せず、軸部22は
ディスク21の中央穴21aの嵌まり得る外径を41す
常態時の形状にある。
この軸部22にハンドリングロボットなどによりディス
ク21を嵌め合せて、ワークホルダ15の、ト端すなわ
ちディスク取付基準面15b上にセラl〜したあと、上
記エアシリンダ17の給排気口(図示せず)を開放する
と、バネ23の付勢力によりビスi・ン17aが下動す
る。そのためアクチュエータ16が下動し、第1図(B
)に示すように作用子18はそのテーパ状案内面18a
が軸部22のテーパ状案内面22aに摺接した状態で押
し下げられ、これにより軸部22は外周側に弾性変形よ
Iこはたわみ変形する。この変形にJ、り軸部22がデ
ィスク21の中央穴21a内周縁に押し付けられるため
、ディスク21はリークホルダ15土、換言すると回転
テーブル14十に固定される。ディスク21の固定解除
は、以上の操作を逆に行なうことにより果される。
なお、ディスク21の芯出しは、ディスク21の中央穴
21aが軸部22の外周面すなわち基準案内面22bに
案内されて装着されることにより正しく行なわれる。
(実施例2) 第2図(A)はこの発明のディスクブヤッキング装置の
第2の実施例の要部を示す縦断面図であり、同図(B)
はその一部を平面図である。また、同図(C)はその動
作を示す縦断面図である。
−に記装置は、先の第1の実施例にお【ノるリング状の
軸部22に代えて、リング体を縦に4分割した形の4つ
の円弧状爪片221,222,223゜224をワーク
ホルダ15上喘の中央穴15aの周縁部にリング状に配
設して軸部22とし、軸部22の拡縮変形をJ:り大き
くした点と、作用子18がアクチユエータ16の上端部
に一体形成されている貞のほかは第1の実施例と同様で
ある。
その動作も、第2図(C)に示すようにアクチコJ−夕
16の下動により軸部22が拡径変形(各円弧状爪片2
21〜224が個別に外側に押し拡げられる)してディ
スク21の中央穴21aの内周縁を押圧するもので、第
1の実施例と同様である。
(実施例3) 第3図(A)はこの発明のディスクチャッキング装置の
第3の実施例の要部を示す縦断面図であり、同図(B)
はその一部を示す平面図である。
上記装置は、前記した第2の実施例にお()る軸部22
のテーパ状案内面22aと、作用子18のテーパ状案内
面18aの傾きを逆にした点が異なる。すなわち、作用
子18は上方に向けて外径の縮小する正立円錐台形状で
あり、この作用子18のテーパ状案内面18aに倣う軸
部22側のテーパ状案内面22aも上方に向けて内径の
縮小する=  8 − 形状である。そのほかの構成は第2の実施例と同様であ
る。
この装置では、上記テーパ状案内面18a、22aが第
2の実施例と逆の傾きとなっているので、アクチュエー
タ16が上動したときに、作用子18のテーパ状案内面
18aが軸部22のテーパ状案内面22aに摺接して、
軸部22の各円弧状爪片221〜224が拡径変形し、
ディスク21の固定がはかられる。ディスク21の取外
しは、逆にアクチュエータ16を不動さけて作用子18
の軸部22に対する押圧を解き、軸部22を縮径変形さ
せることにより行なうことができる。
(実施例4) 第4図(△)はこの発明のディスクチャッキング装置の
第4の実施例の要部示す縦断面図であり、同図(B)は
その一部を示す平面図である。また、同図(C)はその
動作を示す縦断面図である。
−■−記装置は、先の各実施例がワークホルダ15側に
軸部22を設けていたのに代えて、ワークボルダ15の
中央穴15aより突出するアクチコ1−夕16の上端部
に軸部22′を形成した点が異なる。すなわち、この装
置では、アクチュエータ16の上端部に拡縮変形可能り
軸部22′が形成されている。この軸部22′は、アク
チュエータ16の1一端よりワークホルダー5の中央穴
15a内に相当する途中まで、アクチュエータ16を十
字状に縦分割した形をな?1′4つの縦割り爪片221
′〜224′で構成することにより、拡縮変形が可能と
なるようにされている。
一方、ワークホルダー5とアクチュエータ16の間にす
べり作用を働かせるために、ワークホルダー5側ではそ
の中央穴15aの内壁部にテーパ状案内面15a1が、
またアクチュエータ16側ではワークホルダー5側のテ
ーパ状案内面15a1ど対向する外周面にこれに倣うテ
ーパ状案内面16aがそれぞれ形成されている。このテ
ーパ状案内面15a  、16aは、上方に向は縮径変
化する傾きをなしている。アクチュエータ16の」二下
初手段やその他の構成は先の各実施例と同様である。
この装置では、アクチ〕T−タ16が[動していて、そ
のテーパ状案内面16aがワークホルダー5側のテーパ
状案内面1581に押し目けられた第4図(A)の状態
で軸部22が縮1¥変形りるので、この状態のときに軸
部22へのディスク21の装着および軸部22からの取
外しが行なわれる。また軸部22へ装着されてワークホ
ルダー5のディスク取付基準面15b上にディスク21
がセットされた後、アクチュエータ16を不動さ1!る
と、第4図(C)に示すように軸部22の各縦割爪片2
21′〜224′が外周側に押し拡げられ、これがディ
スク21の中央穴21aの内周縁を押圧することにより
ディスク21のワークホルダー5上への固定がはかられ
る。
なお、第5図に要部を縦断面図で示すように、ワークホ
ルダー5側およびアクヂュ]−タ16側の各テーパ状案
内面15a  、16aの傾きを1記の場合と逆にして
もよい。この場合には、アクチュエータ16が下動位置
にあるとき軸部22が縮径変化し、上動位置にあるとき
軸部22が拡径変形してディスク22の固定がはかられ
、上記の場合と逆の動作となる。
(発明の効果) 以上のように、この発明のディスクブヤツキング装置に
よれば、従来例のようなキャップの着脱操作を要するこ
となくワークホルダへのディスクの固定が可能となり、
キャップのためにディスクが山付いたり汚れが付着する
のを防止できるばかりで4【り、ディスクの固定を短時
間のうちに位置精度良く行なうことができる。このため
、固定作業の能率を大幅に向上させ得ると共に自動化も
容易に実施可能で装置自体も構造が簡単になり、小形・
軽量化が促進され設備のコストを低減できるなどの効果
が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図(A)、(B)はそれぞれこの発明のディスクチ
ャッキング装置の第1の実施例の概略を示づ縦断面図お
よび動作説明図、 第2図(A>、(B)、(C)はそれぞれ第2の実施例
の概略を示す縦断面図、一部平面図および動作説明図、 第3図(A)、(B)はそれぞれ第3の実施例の概略を
示す縦断面図および一部平面図、第4図(△)、(F3
)、(C)はそれぞれ第4の実施例の概略を示す縦断面
図、一部平面図および動作説明図、 第5図は第4の実施例の変形例を示す要部縦断面図、 第6図、第7図、第8図はそれぞれ従来のディスクチャ
ッキング装置の概略を示す縦断面図である。 14・・・回転テーブル、 15・・・ワークホルダ、
15a・・・中央穴、 15a1・・・テーパ状案内面
、16・・・アクチュエータ、 16a・・・テーパ状案内面、18・・・作用子、18
a・・・テーパ状案内面、

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)径方向に拡縮変形可能でディスク中央穴の嵌まる
    軸部を、ワークホルダの中央穴を貫通して上下動可能に
    垂設されるアクチュエータの上端部あるいはワークホル
    ダ上端中央穴周縁部のいずれか一方に設けると共に、 (a)アクチュエータ外周面とこれに対向するワークホ
    ルダ中央穴の内壁面、および (b)ワークホルダ上端の軸部内壁面とこれに対向する
    アクチュエータ外周面、 のうちのいずれか一方の面の対に対し、アクチュエータ
    の上下動に伴い上記軸部の拡縮変形を促すテーパ状案内
    面をそれぞれ形成したことを特徴とするディスクチャッ
    キング装置。
JP61056282A 1986-03-13 1986-03-13 デイスクチヤツキング装置 Pending JPS62212958A (ja)

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ID=13022739

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JP (1) JPS62212958A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4958839A (en) * 1988-07-12 1990-09-25 Guzik Technical Enterprises, Inc. Disc clamp employing resilient cone for spreading balls
US5644564A (en) * 1995-03-17 1997-07-01 Phase Metrics Vacuum chuck for rotating data discs
EP0849733A1 (en) * 1996-12-18 1998-06-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Disk holding device
US6600628B2 (en) 2001-04-10 2003-07-29 Kla-Tencor Corporation Air centering disk chuck
US6954330B2 (en) * 2001-12-04 2005-10-11 Samsung Electronics, Co., Ltd. Disk chuck

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