JPS62204892A - 脱塩方法 - Google Patents
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- JPS62204892A JPS62204892A JP61047298A JP4729886A JPS62204892A JP S62204892 A JPS62204892 A JP S62204892A JP 61047298 A JP61047298 A JP 61047298A JP 4729886 A JP4729886 A JP 4729886A JP S62204892 A JPS62204892 A JP S62204892A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A20/00—Water conservation; Efficient water supply; Efficient water use
- Y02A20/124—Water desalination
- Y02A20/131—Reverse-osmosis
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Water Treatment By Sorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、粒状活性炭塔と逆浸透膜装置とイオン交換樹
脂塔を組み合わせて、原水中の全存機炭素(以下T、O
,Cと言う)を除去するとともに脱塩する場合において
、粒状活性炭塔および逆浸透膜装置に一般細菌が繁殖す
るのを防止する方法に関するものである。
脂塔を組み合わせて、原水中の全存機炭素(以下T、O
,Cと言う)を除去するとともに脱塩する場合において
、粒状活性炭塔および逆浸透膜装置に一般細菌が繁殖す
るのを防止する方法に関するものである。
〈従来の技術〉
LSIや超LSIを生産する電子工業においては、その
中間製品である半導体ウェハーの洗浄にあたり、その製
品の歩留まりを向上するために微粒子数、T、O,C、
イオン等をpI)bオーダーまで減少させた、いわゆる
超純水を必要とする。
中間製品である半導体ウェハーの洗浄にあたり、その製
品の歩留まりを向上するために微粒子数、T、O,C、
イオン等をpI)bオーダーまで減少させた、いわゆる
超純水を必要とする。
このような超純水を製造する場合、近年において逆浸透
膜装置が用いられることが多い。
膜装置が用いられることが多い。
すなわち−次側処理装置として、原水を凝集沈殿、濾過
などをして原水中の懸濁物質等を除去し、当該原水を逆
浸透膜装置で脱塩し、次いで当該脱塩水をさらに2床3
塔式純水製造装置、混床式ポリシャー、精密濾過器等で
処理し、次いで当該−次側処理純水をさらに二次側処理
装置として混床式ポリシャー、紫外線殺菌装置、超濾過
膜装置あるいは逆浸透膜装置で処理して前記超純水を得
るものである。
などをして原水中の懸濁物質等を除去し、当該原水を逆
浸透膜装置で脱塩し、次いで当該脱塩水をさらに2床3
塔式純水製造装置、混床式ポリシャー、精密濾過器等で
処理し、次いで当該−次側処理純水をさらに二次側処理
装置として混床式ポリシャー、紫外線殺菌装置、超濾過
膜装置あるいは逆浸透膜装置で処理して前記超純水を得
るものである。
逆浸透膜装置は逆浸透膜に原水を溶解塩類の浸透圧以上
の加圧下で供給し、塩類の大半を逆浸透膜で阻止して塩
類を減少させた透過水を処理水として得るとともに、塩
類を濃縮した非透過水を排出するものであるが、この処
理中に原水に含まれているT、O,C等も逆浸透膜で阻
止することができ、前記超純水の製造には好都合である
。
の加圧下で供給し、塩類の大半を逆浸透膜で阻止して塩
類を減少させた透過水を処理水として得るとともに、塩
類を濃縮した非透過水を排出するものであるが、この処
理中に原水に含まれているT、O,C等も逆浸透膜で阻
止することができ、前記超純水の製造には好都合である
。
しかしながら前記逆浸透膜装置でT、O,C等を除去す
ることはできるが、原水中に多量のT、0゜C等が存在
していると逆浸透膜を汚染することとなり、その透過水
量が低下したりして好ましくない。
ることはできるが、原水中に多量のT、0゜C等が存在
していると逆浸透膜を汚染することとなり、その透過水
量が低下したりして好ましくない。
従って原水中のT、O,Cを出来るだけ逆浸透膜装置の
前段で除去するために、粒状活性炭塔が用いられること
が多い。
前段で除去するために、粒状活性炭塔が用いられること
が多い。
すなわち原水を凝集沈殿、濾過などの前処理をした後、
粒状活性炭塔であらかじめ可能なかぎりT、O,Cを除
去した後、その処理水を逆浸透膜装置で処理するもので
ある。
粒状活性炭塔であらかじめ可能なかぎりT、O,Cを除
去した後、その処理水を逆浸透膜装置で処理するもので
ある。
しかしながら−次側処理装置に粒状活性炭塔を用いると
以下のような新たな問題が生ずることとなる。
以下のような新たな問題が生ずることとなる。
すなわち粒状活性炭塔は水中のT、O,Cの除去に関し
ては、十分にその能力を発揮するが、粒状活性炭層は一
般細菌の温床となりやすく、粒状活性炭塔で原水を処理
すると、その処理水のT、O。
ては、十分にその能力を発揮するが、粒状活性炭層は一
般細菌の温床となりやすく、粒状活性炭塔で原水を処理
すると、その処理水のT、O。
Cは大幅に減少するが、生菌数が大幅に増加するという
欠点がある。さらに後段に設置されている逆浸透膜装置
内にも一般細菌が繁殖し、透過水量が低下したり、また
透過水中に生菌が多量に漏洩してくることとなる。
欠点がある。さらに後段に設置されている逆浸透膜装置
内にも一般細菌が繁殖し、透過水量が低下したり、また
透過水中に生菌が多量に漏洩してくることとなる。
前述した半導体ウェハーの洗浄用の超純水においては生
菌の存在も製品の歩留まりを低下させる原因となるので
、前記した生菌数の増加は好ましいものではない。
菌の存在も製品の歩留まりを低下させる原因となるので
、前記した生菌数の増加は好ましいものではない。
なお一般細菌が繁殖した粒状活性炭塔および逆浸透膜装
置を定期的に熱水あるいは各種の殺菌剤で洗浄して殺菌
処理することも考えられるが、操作が繁雑となり、また
熱水を使用する場合は粒状活性炭塔、逆浸透膜装置、配
管等を耐熱性のものとする必要があり、設備費が増加し
、また殺菌剤を用いる場合は処理コストが増加するとい
う問題の他に、粒状活性炭塔においてはT、O,C吸着
量を低下させたり、また逆浸透膜装置においては使用す
る逆浸透膜に制約を受けたり、そして当該殺菌剤が通水
中に漏洩する等の問題があって好ましくない。
置を定期的に熱水あるいは各種の殺菌剤で洗浄して殺菌
処理することも考えられるが、操作が繁雑となり、また
熱水を使用する場合は粒状活性炭塔、逆浸透膜装置、配
管等を耐熱性のものとする必要があり、設備費が増加し
、また殺菌剤を用いる場合は処理コストが増加するとい
う問題の他に、粒状活性炭塔においてはT、O,C吸着
量を低下させたり、また逆浸透膜装置においては使用す
る逆浸透膜に制約を受けたり、そして当該殺菌剤が通水
中に漏洩する等の問題があって好ましくない。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明は原水を粒状活性炭塔で濾過し、次いで当該濾過
水を逆浸透膜装置で処理し、次しくでイオン交換装置で
処理する際における前述の欠点を解決し、熱水あるいは
殺菌剤を全く使用することなく、かつ定期的な殺菌処理
等を行うことなく、かつ低コストで粒状活性炭塔および
逆浸透膜装置における一般細菌の繁殖を防止することを
目的とするものである。
水を逆浸透膜装置で処理し、次しくでイオン交換装置で
処理する際における前述の欠点を解決し、熱水あるいは
殺菌剤を全く使用することなく、かつ定期的な殺菌処理
等を行うことなく、かつ低コストで粒状活性炭塔および
逆浸透膜装置における一般細菌の繁殖を防止することを
目的とするものである。
く問題点を解決するための手段〉
微生物の生育はその環境pHによって影響を受け、それ
ぞれの微生物にはその生育好適pH帯がある。
ぞれの微生物にはその生育好適pH帯がある。
たとえば一般細菌は中性から弱アルカリ性(pH7〜8
)に、酵母と黴は弱酸性(pH6〜7)に最適pH帯が
あると言われている。
)に、酵母と黴は弱酸性(pH6〜7)に最適pH帯が
あると言われている。
また最適pH帯から酸性側あるいはアルカリ性側に移る
に従って微生物の生育は次第に抑制され、追には死滅す
るとも言われている。
に従って微生物の生育は次第に抑制され、追には死滅す
るとも言われている。
従って通常の一般細菌はpHが低くなればなる程、その
生育が抑制されるようになる。
生育が抑制されるようになる。
本発明はこの点に鑑みてなされたもので、H形カチオン
交換樹脂塔の処理水が通常pH3前後の酸性であること
から、原水をまずH形カチオン交換樹脂塔で処理し、当
該酸性の処理水を粒状活性炭濾過塔に通水することによ
り、T、O,Cを除去するとともに、粒状活性炭塔にお
ける一般細菌の繁殖を効果的に防止し、次いで当該濾過
水を逆浸透膜装置で処理して残留T、O,Cを除去する
とともに大部分の脱塩を行い、次いでその透過水をOH
形アニオン交換樹脂の混床塔で処理することを特徴とす
る脱塩方法に関するものである。
交換樹脂塔の処理水が通常pH3前後の酸性であること
から、原水をまずH形カチオン交換樹脂塔で処理し、当
該酸性の処理水を粒状活性炭濾過塔に通水することによ
り、T、O,Cを除去するとともに、粒状活性炭塔にお
ける一般細菌の繁殖を効果的に防止し、次いで当該濾過
水を逆浸透膜装置で処理して残留T、O,Cを除去する
とともに大部分の脱塩を行い、次いでその透過水をOH
形アニオン交換樹脂の混床塔で処理することを特徴とす
る脱塩方法に関するものである。
く作用〉
図面は本発明の実施態様の一例を示すフローの説明図で
あるが、原水−1をまず凝集沈殿装置2および砂濾過塔
3で処理し、原水中に含有している懸濁物質、コロイド
シリカ、T、O,Cの一部等を除去する。
あるが、原水−1をまず凝集沈殿装置2および砂濾過塔
3で処理し、原水中に含有している懸濁物質、コロイド
シリカ、T、O,Cの一部等を除去する。
なお原水1の水質によっては凝集沈殿装置2を省略して
も差し支えなく、あるいは砂濾過塔3の入口水に凝集剤
等を添加するマイクロフロック濾過を行ってもよい。
も差し支えなく、あるいは砂濾過塔3の入口水に凝集剤
等を添加するマイクロフロック濾過を行ってもよい。
次いで当該砂濾過塔3の処理水をH形カチオシ交換樹脂
塔4で処理する。当該カチオン交換樹脂塔4は、H膨強
酸性カチオン交換樹脂単独あるいはH形弱酸性カチオン
交換樹脂とH膨強酸性カチオン交換樹脂を複層床に充填
したもので、ここで水中のカチオンをHイオンにイオン
交換する。従ってその処理水は水中に含まれるCβイオ
ン、SO,イオン等の鉱酸イオンに相当する鉱酸が生成
されるとともに、水中に含まれているHCO3イオンは
遊離炭酸となり、そのpHは通常3前後の酸性を呈する
。
塔4で処理する。当該カチオン交換樹脂塔4は、H膨強
酸性カチオン交換樹脂単独あるいはH形弱酸性カチオン
交換樹脂とH膨強酸性カチオン交換樹脂を複層床に充填
したもので、ここで水中のカチオンをHイオンにイオン
交換する。従ってその処理水は水中に含まれるCβイオ
ン、SO,イオン等の鉱酸イオンに相当する鉱酸が生成
されるとともに、水中に含まれているHCO3イオンは
遊離炭酸となり、そのpHは通常3前後の酸性を呈する
。
次いで当該酸性軟水を脱炭酸塔5で処理する。
当該脱炭酸塔5はラシヒリング等の充填層の上部から酸
性軟水を流下するとともに、充填層の下部から空気、窒
素等の気体を流入するもの、あるいは脱炭酸塔5内を減
圧して溶解気体を排除する、いわゆる真空脱気装置であ
り、このような気液接触あるいは減圧処理により、酸性
軟水中の遊離炭酸を除去する。
性軟水を流下するとともに、充填層の下部から空気、窒
素等の気体を流入するもの、あるいは脱炭酸塔5内を減
圧して溶解気体を排除する、いわゆる真空脱気装置であ
り、このような気液接触あるいは減圧処理により、酸性
軟水中の遊離炭酸を除去する。
なお原水中に含まれるHCO3イオンの量がそれ程多く
ない場合は、当該脱炭酸塔5の設置を省略しても差し支
えない。
ない場合は、当該脱炭酸塔5の設置を省略しても差し支
えない。
本発明は次いで脱炭酸塔5からの脱炭酸水を粒状活性炭
塔6に通水し、脱炭酸水中に含まれているT、O,Cの
大半をここで吸着除去する。
塔6に通水し、脱炭酸水中に含まれているT、O,Cの
大半をここで吸着除去する。
当該粒状活性炭塔6は粒状活性炭を充填したものである
が、本発明においては当該充填層に常にpH3前後の酸
性水が接触するので、当該充填層に一般細菌が繁殖する
のを効果的に防止することができる。
が、本発明においては当該充填層に常にpH3前後の酸
性水が接触するので、当該充填層に一般細菌が繁殖する
のを効果的に防止することができる。
また一般に水中に含まれる有機物の内、親水性有機酸類
は系のpHが酸性になると溶解度が減少するので、その
結果として水に対する親和力が減少し、活性炭によりよ
く吸着すると言われており、従って本発明においてはこ
れらの親水性有機酸類に起因するT、O,Cの除去効果
を向上させることができる。
は系のpHが酸性になると溶解度が減少するので、その
結果として水に対する親和力が減少し、活性炭によりよ
く吸着すると言われており、従って本発明においてはこ
れらの親水性有機酸類に起因するT、O,Cの除去効果
を向上させることができる。
このような処理により水中のT、O,Cの大部分を除去
した粒状活性炭塔6の処理水を次いで逆浸透膜装置7で
処理し、大部分のイオンを除去した透過水8を得るとと
もにイオンを濃縮した非透過水9を得、非透過水9はブ
ローする。なお場合によっては非透過水9の一部を回収
して原水に混合しても差し支えない。
した粒状活性炭塔6の処理水を次いで逆浸透膜装置7で
処理し、大部分のイオンを除去した透過水8を得るとと
もにイオンを濃縮した非透過水9を得、非透過水9はブ
ローする。なお場合によっては非透過水9の一部を回収
して原水に混合しても差し支えない。
本発明においては逆浸透膜装置7の供給水が酸性なので
、逆浸透膜装置7においても一般細菌が繁殖するのを効
果的に防止することができる。
、逆浸透膜装置7においても一般細菌が繁殖するのを効
果的に防止することができる。
逆浸透膜装置7の透過水8を次いでOH形アニオン交換
樹脂塔10に通水し、残留する鉱酸イオン、シリカ、遊
離炭酸等のアニオン成分を除去し、脱塩水を得る。当該
OH形アニオン交換樹脂塔は、OH形強塩基性アニオン
交換樹脂単独あるいはOH形弱塩基性アニオン交換樹脂
とOH形強塩基性アニオン交換樹脂を複層床に充填した
ものである。
樹脂塔10に通水し、残留する鉱酸イオン、シリカ、遊
離炭酸等のアニオン成分を除去し、脱塩水を得る。当該
OH形アニオン交換樹脂塔は、OH形強塩基性アニオン
交換樹脂単独あるいはOH形弱塩基性アニオン交換樹脂
とOH形強塩基性アニオン交換樹脂を複層床に充填した
ものである。
なおOH形アニオン交換樹脂塔IOにかえてこの部分を
H膨強酸性カチオン交換樹脂とOH形強塩基性アニオン
交換樹脂の混床塔としても差し支えない。要は逆浸透膜
装置7の後段で透過水8中に残留する鉱酸イオン、シリ
カ、遊離炭酸等のアニオン成分を除去することができる
イオン交換塔を用いればよい。
H膨強酸性カチオン交換樹脂とOH形強塩基性アニオン
交換樹脂の混床塔としても差し支えない。要は逆浸透膜
装置7の後段で透過水8中に残留する鉱酸イオン、シリ
カ、遊離炭酸等のアニオン成分を除去することができる
イオン交換塔を用いればよい。
OH形アニオン交換樹脂塔10の処理水を次いで温床式
ポリシャー11、精密濾過塔12等で処理し、当該−次
側処理純水13を二次側処理装置に供給する。
ポリシャー11、精密濾過塔12等で処理し、当該−次
側処理純水13を二次側処理装置に供給する。
本発明の逆浸透膜装置7に使用する逆浸透膜としては、
酢酸セルローズ系膜、ポリアミド系膜およびポリアミド
系とポリスルホン系の複合膜等を用いることができるが
、T、O,Cの除去能力の優れている前記の複合膜を用
いることが望ましい。
酢酸セルローズ系膜、ポリアミド系膜およびポリアミド
系とポリスルホン系の複合膜等を用いることができるが
、T、O,Cの除去能力の優れている前記の複合膜を用
いることが望ましい。
〈効果〉
以上説明したごとく、本発明は原水を先にH形カチオン
交換樹脂塔で処理して酸性水を得、当該酸性水を粒状活
性炭塔および逆浸透膜装置で処理し、その透過水をOH
形アニオン交換樹脂塔もしくは混床塔で処理するので、
粒状活性炭塔、逆浸透膜装置には常に酸性水を接触させ
ることができ、両者に一般細菌を繁殖させることがなく
、効果的に原水中のT、O,Cを除去できるとともに、
脱塩することができる。
交換樹脂塔で処理して酸性水を得、当該酸性水を粒状活
性炭塔および逆浸透膜装置で処理し、その透過水をOH
形アニオン交換樹脂塔もしくは混床塔で処理するので、
粒状活性炭塔、逆浸透膜装置には常に酸性水を接触させ
ることができ、両者に一般細菌を繁殖させることがなく
、効果的に原水中のT、O,Cを除去できるとともに、
脱塩することができる。
また本発明は、殺菌するための余分な操作をすることな
く、かつ殺直剤を全く使用しないので、低コストでT、
O,Cが除去された脱塩水を供給できる。
く、かつ殺直剤を全く使用しないので、低コストでT、
O,Cが除去された脱塩水を供給できる。
また本発明では逆浸透膜装置の前段で原水中のカルシウ
ムイオン、マグネシウムイオンなどの硬度成分をH形カ
チオン交換樹脂塔で除去できるので、かかる硬度成分の
濃縮による逆浸透膜面におけるスケールの発生がなく、
従って透過水回収率全可能なかぎり高めることができ、
更にOH形アニオン交換樹脂塔もしくは混床塔の前段に
逆浸透膜装置を設置してここで大部分の塩類をあらかじ
め除去するので、使用すべきアニオン交換樹脂量を大幅
に減少せしめることができるという副次的効果も奏する
。
ムイオン、マグネシウムイオンなどの硬度成分をH形カ
チオン交換樹脂塔で除去できるので、かかる硬度成分の
濃縮による逆浸透膜面におけるスケールの発生がなく、
従って透過水回収率全可能なかぎり高めることができ、
更にOH形アニオン交換樹脂塔もしくは混床塔の前段に
逆浸透膜装置を設置してここで大部分の塩類をあらかじ
め除去するので、使用すべきアニオン交換樹脂量を大幅
に減少せしめることができるという副次的効果も奏する
。
以下に本発明の効果をより明確とするために実施例を説
明する。
明する。
実施例
本発明の実施例として、図面に示したフローに従って、
砂濾過塔の処理水をFI形カチオン交換樹脂塔および脱
炭酸塔で処理した。
砂濾過塔の処理水をFI形カチオン交換樹脂塔および脱
炭酸塔で処理した。
その結果pH2,7〜2.9の酸性軟水が得られた。
この酸性軟水を充填層高2mの粒状活性炭塔にLV15
m/Hの条件で通水し、その濾過水を逆浸透膜としてポ
リアミド系とポリスルホン系の複合膜である日東電工(
41製NTR−7197を装着した逆浸透膜装置で処理
し、その透過水をOH形アニオン交換樹脂塔で処理した
。
m/Hの条件で通水し、その濾過水を逆浸透膜としてポ
リアミド系とポリスルホン系の複合膜である日東電工(
41製NTR−7197を装着した逆浸透膜装置で処理
し、その透過水をOH形アニオン交換樹脂塔で処理した
。
H形カチオン交換樹脂塔およびアニオン交換樹脂塔につ
いては、必要に応じ常法の再生操作を処理中に随時実施
したが、全処理時間として3,000時間処理を行った
。
いては、必要に応じ常法の再生操作を処理中に随時実施
したが、全処理時間として3,000時間処理を行った
。
その結果、粒状活性炭塔の処理水のT、O,Cは0.0
5■asC/1となり、また当該処理水に生菌は全く漏
洩しなかった。
5■asC/1となり、また当該処理水に生菌は全く漏
洩しなかった。
更に逆浸透膜装置の透過水のT、O,Cは0.025■
asC/lとなり、また当該透過水中にも生菌は全く漏
洩せず、また透過水量が低下することもなかった。なお
砂濾過水のT、O,Cは1.0■asC/1である。
asC/lとなり、また当該透過水中にも生菌は全く漏
洩せず、また透過水量が低下することもなかった。なお
砂濾過水のT、O,Cは1.0■asC/1である。
一方比較のために同様の砂濾過塔の処理水を本発明に用
いたと同じ粒状活性炭塔で同条件で処理し、次いで当該
濾過水を同じ逆浸透膜装置で3,000時間処理したと
ころ、粒状活性炭塔の処理水のT。
いたと同じ粒状活性炭塔で同条件で処理し、次いで当該
濾過水を同じ逆浸透膜装置で3,000時間処理したと
ころ、粒状活性炭塔の処理水のT。
O,Cは0.2mg as C/ 1となり、また当8
亥処理水の生菌数は運転初期6〜15個/mβ、運転中
期95〜185個/mβ、3,000時間後230〜3
10個/ m lであり、処理水中に流出した生菌数は
かなり増加した。
亥処理水の生菌数は運転初期6〜15個/mβ、運転中
期95〜185個/mβ、3,000時間後230〜3
10個/ m lであり、処理水中に流出した生菌数は
かなり増加した。
また逆浸透膜装置の透過水のT、O,Cはo、1■as
C7Nであり、また透過水の生菌数は運転3゜000時
間後で20〜32個/ m Aであった。更に逆浸透膜
装置の透過水量は運転初期と比較して40%も低下した
。
C7Nであり、また透過水の生菌数は運転3゜000時
間後で20〜32個/ m Aであった。更に逆浸透膜
装置の透過水量は運転初期と比較して40%も低下した
。
図面は本発明の実施態様の一例を示すフローの説明図で
ある。 ■・・・原水 2・・・凝集沈殿装置3・・
・砂濾過塔 4・・・H形カチオン交換樹脂塔 5・・・脱炭酸塔 6・・・粒状活性炭塔7・・
・逆浸透膜装置 8・・・透過水9・・・非透過水 10・・・OH形アニオン交換樹脂塔
ゝ11・・・温床式ポリシャー 12・・・精密濾過塔 13・・・−次側処理純水
ある。 ■・・・原水 2・・・凝集沈殿装置3・・
・砂濾過塔 4・・・H形カチオン交換樹脂塔 5・・・脱炭酸塔 6・・・粒状活性炭塔7・・
・逆浸透膜装置 8・・・透過水9・・・非透過水 10・・・OH形アニオン交換樹脂塔
ゝ11・・・温床式ポリシャー 12・・・精密濾過塔 13・・・−次側処理純水
Claims (1)
- 原水をH形カチオン交換樹脂塔で処理し、次いでその処
理水を粒状活性炭塔で処理し、次いでその濾過水を逆浸
透膜装置で処理し、次いでその透過水をOH形アニオン
交換樹脂塔もしくはH形カチオン交換樹脂とOH形アニ
オン交換樹脂の混床塔で処理することを特徴とする脱塩
方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61047298A JPS62204892A (ja) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | 脱塩方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61047298A JPS62204892A (ja) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | 脱塩方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62204892A true JPS62204892A (ja) | 1987-09-09 |
Family
ID=12771375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61047298A Pending JPS62204892A (ja) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | 脱塩方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62204892A (ja) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1986
- 1986-03-06 JP JP61047298A patent/JPS62204892A/ja active Pending
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