JPS62203984U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるガス比例弁の一実施例の
断面図、第２図は同じく一部の断面図、第３図は
同じく他の実施例の一部断面図、第４図イ及びロ
は同じく圧力特性曲線図、第５図及び第６図は従
来技術によるガス用比例弁の断面図である。 １，１ａ：ガス比例弁、２：弁本体、２１：流
体入口、２２：流体出口、２３：弁座、２４：弁
体、２７：ばね、３：ダイヤフラム室、３１：ダ
イヤフラム、４：圧電ポンプ、４４：入口、４５
：出口、５：排出装置、５１：ニードル弁、５２
：弁体、６：排出装置、６３：ダイヤフラム、６
４：弁体、６７：排気口、６８：ばね。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 弁本体内において弁座に対向して設けられ
   た弁体を該弁座に係合させて流体の流れを制御す
   る比例弁において、該弁本体の上部にダイヤフラ
   ムにて該弁本体と隔離してダイヤフラム室を設け
   、該ダイヤフラム室に圧電ポンプを接続して該圧
   電ポンプにより該ダイヤフラム室を加圧可能にし
   、該ダイヤフラム室を外部と通ずる排出装置を設
   け、該圧電ポンプによる供給量と該排出装置から
   の排出量の差により該ダイヤフラム室内の圧力を
   調節し、該ダイヤフラム室の圧力を変化させるこ
   とにより該弁体の動きを制御するように構成した
   ガス比例弁。 (2) 前記排出装置をニードル弁にて形成したこ
   とを特徴とした実用新案登録請求の範囲(1)に記
   載のガス比例弁。 (3) 前記排出装置が制御するべき流体圧の入口
   側圧力に応動する弁体を有し、該入口側圧力が低
   圧のとき該弁体により該ダイヤフラム室内の圧力
   を排出するようになつていることを特徴とした実
   用新案登録請求の範囲(1)に記載の圧電ガス比例
   弁。