JPS62198466A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents
インクジエツト記録ヘツドInfo
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- JPS62198466A JPS62198466A JP3978086A JP3978086A JPS62198466A JP S62198466 A JPS62198466 A JP S62198466A JP 3978086 A JP3978086 A JP 3978086A JP 3978086 A JP3978086 A JP 3978086A JP S62198466 A JPS62198466 A JP S62198466A
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- electrodes
- ink
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- piezoelectric
- electrode
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ内のイ
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させる多段形マル
チノズル式インクジェット記録ヘッドに関する。
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させる多段形マル
チノズル式インクジェット記録ヘッドに関する。
圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクをイン
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている。第６図は特開昭５２−４９０３３号公報に記載
されている従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドの断面図である。 図において、１は内部に液室２を有する圧電素子円筒体
である。液室２の一方はインク供給路３、他方はインク
通路４となっており、インク通路４の先にはノズル５が
形成されている。インクはインク供給口６から供給され
て共通供給室７に溜められている。この記録ヘッドにお
いては、圧電素千円筒体１はエポキシ樹脂製本体８内に
埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、
その液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル５の駆動手段として圧電素子円筒体ｌが用
いられているが、この圧電素子円筒体１は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体１も小形化されなければならない
。 しかしながら、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面（内壁
面）に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を４０μｍ×４０μｍの
大きさに形成しかつ１鶴間隔にて配置しようとする場合
、圧電素子円筒体１もそのような１鶴間隔にて配置でき
る程小形に形成することは不可能に近い。つまり、圧電
素子円筒体１の外径は最大０．５鶴であり、内、径に至
ってはそれよりも更に小さくなる。しがち、その内壁面
に内側電極を形成しなければならない。このようなこと
は現在の製作技術をもってしても不可能である。そのた
めに、圧電素子円筒体１はある程度の大きさに構成され
るが、その結果、第６図に示したように、必要なノズル
部の幅Ｌ１に比較して本体８の幅Ｌ２が極めて大きくな
ってしまうという欠点を有している。 さらに、エポキシ樹脂製本体８内に、小形の圧電素子円
筒体１を埋設すること、および、極細のインク供給路３
、インク通路４、ノズル５を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。 そこで、本件出願人により、このような欠点を解消して
、コンパクトに構成できかつ製作が容易であるインクジ
ェット記録ヘッドが提案された（特願昭６０−１９７４
１３号）。 第７図はこの既提案にかかる構成例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第
８図はその構成例における圧電体プレートを示し、同図
（八）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図
（Ｃ）はその縦断面図である。 第９図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 これらの図において、１０は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート１０には、第８図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ１２およびこのインクキャビティ
１２に連通ずるインク供給口２２およびインクノズル２
４が複数列形成されている。インクキャビティ１２は２
つの深溝部１６．１８および両法溝部１６゜１８間に設
けられた浅溝部１４から成る。 再び第７図に戻って説明する。２６は圧電体プレート１
０のインクキャビティ、インクノズルおよびインク供給
口が形成されている面に接着または融着もしくはその他
の手段により接合されたカバープレートである。そして
、インクキャビティ１２において、浅溝部１４を形成す
る圧電体膨出部２０ （第８図）に電圧印加用電極２８
がそれぞれ設けられ、その電極２８に対応する圧電体プ
レー１−１０の下面に電極３０がそれぞれ設けられてい
る。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８．３０間に電圧を印加すると、
両電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャビ
ティ１２内の体積を減少させ、その結果インクキャビテ
ィ１２内のインクが当該インクキャビティ１２に連通ず
るインクノズル２４から液滴状に噴射され、図示してい
な°い記録担体上にもたらされる。このとき、インクキ
ャビティ１２の体積収縮は主として圧電体膨出部２ｏに
よって惹起されるので、当該インクキャビティ１２の体
積収縮運動が隣接のインクキャビティ１２に影響するこ
とは回避される。つまり、インクキャビティ間のクロス
トークが回避される。 第７図ないし第９図に示した構成例においては、第１Ｏ
図に詳細に示すように、ノズル２４の大きさは４０μｍ
×４０μｍ、ノズル２’４．２４の間隔Ｃはたとえばｌ
ｓｍに形成されている。さらに１．圧電体プレート１
０の厚さＬは０ 、５ ＊戴、インクキャビティ１２の
幅Ｂ、は０．７鰭、浅溝部１４つまり圧電体膨出部２０
の幅Ｂ１は０ 、６１ｍ、そして深溝部１６．１８の幅
Ｂ２は５０μｍに形成されている。このように非常に微
細なインクキャビティ１２は、たとえば、半導体ウェハ
の切断に使用されているグイシングツ−を用いて形成す
ることができる。この種のグイシングツ−においては既
に１５μｍの厚さの切刃が開発されており、従ってこの
種のダイシングソーを用いれば、インクキャビティ１２
を充分に切削可能である。 このように、既提案によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔が１ｍ、そしてノズルはインク
キャビティ１２の横幅のほぼ中心に置かれるので、イン
クキャビティ１２の中心軸線間隔も同様に１鶴とするこ
とができ、その結果極めてコンパクトに構成可能である
。 ところで、第７図および第１０図に示した既提案におい
ては、圧電体プレート１０が単段で使用される場合には
その電圧印加用電極２８．３０へのリード線接続はそれ
程困難ではないが、圧電体プレート１０が複数段積層さ
れて使用される場合にはリード線の接続が簡単では゛な
い。
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている。第６図は特開昭５２−４９０３３号公報に記載
されている従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドの断面図である。 図において、１は内部に液室２を有する圧電素子円筒体
である。液室２の一方はインク供給路３、他方はインク
通路４となっており、インク通路４の先にはノズル５が
形成されている。インクはインク供給口６から供給され
て共通供給室７に溜められている。この記録ヘッドにお
いては、圧電素千円筒体１はエポキシ樹脂製本体８内に
埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、
その液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル５の駆動手段として圧電素子円筒体ｌが用
いられているが、この圧電素子円筒体１は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体１も小形化されなければならない
。 しかしながら、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面（内壁
面）に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を４０μｍ×４０μｍの
大きさに形成しかつ１鶴間隔にて配置しようとする場合
、圧電素子円筒体１もそのような１鶴間隔にて配置でき
る程小形に形成することは不可能に近い。つまり、圧電
素子円筒体１の外径は最大０．５鶴であり、内、径に至
ってはそれよりも更に小さくなる。しがち、その内壁面
に内側電極を形成しなければならない。このようなこと
は現在の製作技術をもってしても不可能である。そのた
めに、圧電素子円筒体１はある程度の大きさに構成され
るが、その結果、第６図に示したように、必要なノズル
部の幅Ｌ１に比較して本体８の幅Ｌ２が極めて大きくな
ってしまうという欠点を有している。 さらに、エポキシ樹脂製本体８内に、小形の圧電素子円
筒体１を埋設すること、および、極細のインク供給路３
、インク通路４、ノズル５を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。 そこで、本件出願人により、このような欠点を解消して
、コンパクトに構成できかつ製作が容易であるインクジ
ェット記録ヘッドが提案された（特願昭６０−１９７４
１３号）。 第７図はこの既提案にかかる構成例を示し、同図（Ａ）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。第
８図はその構成例における圧電体プレートを示し、同図
（八）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同図
（Ｃ）はその縦断面図である。 第９図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 これらの図において、１０は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート１０には、第８図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ１２およびこのインクキャビティ
１２に連通ずるインク供給口２２およびインクノズル２
４が複数列形成されている。インクキャビティ１２は２
つの深溝部１６．１８および両法溝部１６゜１８間に設
けられた浅溝部１４から成る。 再び第７図に戻って説明する。２６は圧電体プレート１
０のインクキャビティ、インクノズルおよびインク供給
口が形成されている面に接着または融着もしくはその他
の手段により接合されたカバープレートである。そして
、インクキャビティ１２において、浅溝部１４を形成す
る圧電体膨出部２０ （第８図）に電圧印加用電極２８
がそれぞれ設けられ、その電極２８に対応する圧電体プ
レー１−１０の下面に電極３０がそれぞれ設けられてい
る。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２８．３０間に電圧を印加すると、
両電極２８．３０間の圧電体が膨張して、インクキャビ
ティ１２内の体積を減少させ、その結果インクキャビテ
ィ１２内のインクが当該インクキャビティ１２に連通ず
るインクノズル２４から液滴状に噴射され、図示してい
な°い記録担体上にもたらされる。このとき、インクキ
ャビティ１２の体積収縮は主として圧電体膨出部２ｏに
よって惹起されるので、当該インクキャビティ１２の体
積収縮運動が隣接のインクキャビティ１２に影響するこ
とは回避される。つまり、インクキャビティ間のクロス
トークが回避される。 第７図ないし第９図に示した構成例においては、第１Ｏ
図に詳細に示すように、ノズル２４の大きさは４０μｍ
×４０μｍ、ノズル２’４．２４の間隔Ｃはたとえばｌ
ｓｍに形成されている。さらに１．圧電体プレート１
０の厚さＬは０ 、５ ＊戴、インクキャビティ１２の
幅Ｂ、は０．７鰭、浅溝部１４つまり圧電体膨出部２０
の幅Ｂ１は０ 、６１ｍ、そして深溝部１６．１８の幅
Ｂ２は５０μｍに形成されている。このように非常に微
細なインクキャビティ１２は、たとえば、半導体ウェハ
の切断に使用されているグイシングツ−を用いて形成す
ることができる。この種のグイシングツ−においては既
に１５μｍの厚さの切刃が開発されており、従ってこの
種のダイシングソーを用いれば、インクキャビティ１２
を充分に切削可能である。 このように、既提案によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔が１ｍ、そしてノズルはインク
キャビティ１２の横幅のほぼ中心に置かれるので、イン
クキャビティ１２の中心軸線間隔も同様に１鶴とするこ
とができ、その結果極めてコンパクトに構成可能である
。 ところで、第７図および第１０図に示した既提案におい
ては、圧電体プレート１０が単段で使用される場合には
その電圧印加用電極２８．３０へのリード線接続はそれ
程困難ではないが、圧電体プレート１０が複数段積層さ
れて使用される場合にはリード線の接続が簡単では゛な
い。
本発明は、このような点に鑑みてなされ、第７図ないし
第１Ｏ図に示した既提案のインクジェット記録ヘッドに
おける圧電体プレートを多段に積層して使用する際にも
、電圧印加用電極へのリード線接続が簡単に行い得るよ
うな多段形インクジェット記録ヘッドを提供することを
目的とする。
第１Ｏ図に示した既提案のインクジェット記録ヘッドに
おける圧電体プレートを多段に積層して使用する際にも
、電圧印加用電極へのリード線接続が簡単に行い得るよ
うな多段形インクジェット記録ヘッドを提供することを
目的とする。
このような目的を達成するために、本発明は、圧電材料
から成る圧電体プレートの表面に複数列のインクキャビ
ティを形成すると共に、その圧電体プレートの表面およ
び裏面にそれぞれ電圧印加用電極を設け、その場合に表
面側電極および裏面側電極のうち一方を共通電極として
形成し、かつ他方を各インクキャビティの個別電極とし
て形成し、このように構成された圧電体プレートを複数
段それぞれの個別電極が露出するように積層したことを
特徴とする。 本発明の優れた実施態様によれば、前記個別電極は前記
圧電体プレートの裏面に形成された裏面側電極であり、
前記複数段の圧電体プレートはそのインクキャビティの
長さ方向に沿った長さが下段に向かって短くされている
。
から成る圧電体プレートの表面に複数列のインクキャビ
ティを形成すると共に、その圧電体プレートの表面およ
び裏面にそれぞれ電圧印加用電極を設け、その場合に表
面側電極および裏面側電極のうち一方を共通電極として
形成し、かつ他方を各インクキャビティの個別電極とし
て形成し、このように構成された圧電体プレートを複数
段それぞれの個別電極が露出するように積層したことを
特徴とする。 本発明の優れた実施態様によれば、前記個別電極は前記
圧電体プレートの裏面に形成された裏面側電極であり、
前記複数段の圧電体プレートはそのインクキャビティの
長さ方向に沿った長さが下段に向かって短くされている
。
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
第１図は本発明の第１実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第１図において、第７図ないし第１０図の各部分と同一
機能を存する部分には同一符号が付されている。 しかして、第１図においては、３段に積層された３個の
記録ヘッドユニット３２．３４．３６からなる多段形マ
ルチノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている
。各記録ヘッドユニット３２，３４．３６が、主として
、圧電体プレート１０およびカバープレート２６から構
成されることは上述したのと同じである。しかしながら
、この場合、各記録ヘッド３２．３４．３６においては
、カバープレート２６にはインクノズル２４と同じ側で
そのインクノズル２４のｊＪｉ域にインク供給口４２が
設けられ、そしてこのカバープレート２６の上側にはイ
ンク供給室プレート３８が接合されている。このインク
供給室プレート３８には、カバープレート２６のインク
供給口４２に連通ずるインク供給室４０が形成されてい
る。 そして、この実施例においては、第２図（＾）に圧電体
プレート１０の表面図を示すように、各インクキャビテ
ィ１２に設けられている電圧印加用電極２８はそのイン
クキャビティ１２から圧電体プレート１０の表面上にま
で延長されており、そして橋絡部４４によって互いに接
続されている。また、第２図（Ｂ）に圧電体プレート１
０（Ｄ裏面図を示すように、圧電体プレート１０の裏面
に設けられた電圧印加用電極３０は電極２８に対応して
設けられ、個別的に圧電体プレート１０の右端にまで延
長させられている。 しかして、電極２８は共通電極として使用され、電極３
０は個別電極として使用される。 このように電極２８．３０を有する記録ヘッドユニット
３２，３４．３６は第１図（Ｂ）に示すように、インク
キャビティ１２の長さ方向に沿った長さが、下段に向か
って短く形成されている。その結果、各記録ヘッドユニ
ット３２，３４．３６においては、圧電体プレート１０
の裏面に形成されている個別電極３０が露出するように
なされている。それゆえ、第２図（Ｂ）に示した各個別
電極３０には、図示してないワイヤをそれぞれワイヤボ
ンディング技術に基づいて結合することができる。ある
いは、各個別電極３０には同様に図示していないフレキ
シブルプリント板を結合してもよい。このフレキシブル
プリント板には第２図（Ｂ）に示した各個別電極３０と
同一形状のパターンが印刷される。共通電極２８には第
２図（Ａ）の橋絡部４４の端部４６にワイヤがボンディ
ングされる。 しかして、個別電極３０の一つと共通電極２８との間に
電圧を印加すると、当該個別電極３０に対応するインク
キャビティの体積変化が生じて、そのインクキャビティ
内のインクがインクノズルを介して噴射される。 なお、第２図（Ａ）において、点線で示したインク供給
室４０はこのインク供給室とインクノズル２４との関係
を理解し易くするためのものである。インク供給室には
、図示してないインクチューブを介してインクタンクか
らインクが供給される。 第３図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 この第３図においては、３段に積層された３個の記録ヘ
ッドユニット５０，５２．５４から成る多段形マルチノ
ズル式インクジェット記録ヘッドが示されている。この
第２実施例においては、インク供給室５６は、圧電体プ
レート１０自身に形成され、インク供給口２２と連通ず
るようになされている。電極２８は、第２図（Ａ）に示
したパターンにて圧電体プレート１０の表面に形成され
ている。 なお、第１実施例（第１図、第２図）および第２実施例
（第３図）はインクが導電性インクである場合に特に有
効である。すなわち、個別電極３０はインクと接しない
ので、インクを介して隣接するインクキャビティ間でク
ロストークが生じるのが回避されるからである。しかし
ながら、インクに絶縁性インクを使用可能になれば、次
に示す第３実施例の如（、インクジェット記録ヘッドを
構成することもできる。 すなわち、第４図は本発明の第３実施例を示し、同図（
Ａ）はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である
。この第４図においては、３段に積層された３個の記録
ヘッドユニット６０．６２．６４から成る多段形マルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている。こ
の第３実施例においては、第５図（Ａ）に圧電体プレー
ト１０の表面図を示すように、各インクキャビティ１２
に設けられている電極２８は、そのインクキャビティ１
２から圧電体プレート１０の表面の右端にまで個別的に
延長されて、個別電極として使用される。一方、第５図
（Ｂ）に圧電体プレート１０の裏面図を示すように、圧
電体プレート１０の裏面に設けられた電極３０は橋絡部
６８によって互いに接続されて、共通電極として使用さ
れる。７０はワイヤボンディング用端部である。そして
、第４図（Ｂ）に示すように、各記録へッドユニッ）６
０．６２．６４の圧電体プレート１０は下段に向かって
長さが長く形成され、しかも、各カバープレート２６お
よびインク供給室ブレード３８は圧電体プレート１０よ
りも短く形成されている。それにより、下段に位置する
圧電体プレートの電極２８が露出するようになされてい
る。この個別電極２８の露出部分に、上述と同じように
して、ワイヤがそれぞれボンディングされるか、または
、フレキシブルプリント板が接合される。
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第１図において、第７図ないし第１０図の各部分と同一
機能を存する部分には同一符号が付されている。 しかして、第１図においては、３段に積層された３個の
記録ヘッドユニット３２．３４．３６からなる多段形マ
ルチノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている
。各記録ヘッドユニット３２，３４．３６が、主として
、圧電体プレート１０およびカバープレート２６から構
成されることは上述したのと同じである。しかしながら
、この場合、各記録ヘッド３２．３４．３６においては
、カバープレート２６にはインクノズル２４と同じ側で
そのインクノズル２４のｊＪｉ域にインク供給口４２が
設けられ、そしてこのカバープレート２６の上側にはイ
ンク供給室プレート３８が接合されている。このインク
供給室プレート３８には、カバープレート２６のインク
供給口４２に連通ずるインク供給室４０が形成されてい
る。 そして、この実施例においては、第２図（＾）に圧電体
プレート１０の表面図を示すように、各インクキャビテ
ィ１２に設けられている電圧印加用電極２８はそのイン
クキャビティ１２から圧電体プレート１０の表面上にま
で延長されており、そして橋絡部４４によって互いに接
続されている。また、第２図（Ｂ）に圧電体プレート１
０（Ｄ裏面図を示すように、圧電体プレート１０の裏面
に設けられた電圧印加用電極３０は電極２８に対応して
設けられ、個別的に圧電体プレート１０の右端にまで延
長させられている。 しかして、電極２８は共通電極として使用され、電極３
０は個別電極として使用される。 このように電極２８．３０を有する記録ヘッドユニット
３２，３４．３６は第１図（Ｂ）に示すように、インク
キャビティ１２の長さ方向に沿った長さが、下段に向か
って短く形成されている。その結果、各記録ヘッドユニ
ット３２，３４．３６においては、圧電体プレート１０
の裏面に形成されている個別電極３０が露出するように
なされている。それゆえ、第２図（Ｂ）に示した各個別
電極３０には、図示してないワイヤをそれぞれワイヤボ
ンディング技術に基づいて結合することができる。ある
いは、各個別電極３０には同様に図示していないフレキ
シブルプリント板を結合してもよい。このフレキシブル
プリント板には第２図（Ｂ）に示した各個別電極３０と
同一形状のパターンが印刷される。共通電極２８には第
２図（Ａ）の橋絡部４４の端部４６にワイヤがボンディ
ングされる。 しかして、個別電極３０の一つと共通電極２８との間に
電圧を印加すると、当該個別電極３０に対応するインク
キャビティの体積変化が生じて、そのインクキャビティ
内のインクがインクノズルを介して噴射される。 なお、第２図（Ａ）において、点線で示したインク供給
室４０はこのインク供給室とインクノズル２４との関係
を理解し易くするためのものである。インク供給室には
、図示してないインクチューブを介してインクタンクか
らインクが供給される。 第３図は本発明の第２実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 この第３図においては、３段に積層された３個の記録ヘ
ッドユニット５０，５２．５４から成る多段形マルチノ
ズル式インクジェット記録ヘッドが示されている。この
第２実施例においては、インク供給室５６は、圧電体プ
レート１０自身に形成され、インク供給口２２と連通ず
るようになされている。電極２８は、第２図（Ａ）に示
したパターンにて圧電体プレート１０の表面に形成され
ている。 なお、第１実施例（第１図、第２図）および第２実施例
（第３図）はインクが導電性インクである場合に特に有
効である。すなわち、個別電極３０はインクと接しない
ので、インクを介して隣接するインクキャビティ間でク
ロストークが生じるのが回避されるからである。しかし
ながら、インクに絶縁性インクを使用可能になれば、次
に示す第３実施例の如（、インクジェット記録ヘッドを
構成することもできる。 すなわち、第４図は本発明の第３実施例を示し、同図（
Ａ）はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である
。この第４図においては、３段に積層された３個の記録
ヘッドユニット６０．６２．６４から成る多段形マルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている。こ
の第３実施例においては、第５図（Ａ）に圧電体プレー
ト１０の表面図を示すように、各インクキャビティ１２
に設けられている電極２８は、そのインクキャビティ１
２から圧電体プレート１０の表面の右端にまで個別的に
延長されて、個別電極として使用される。一方、第５図
（Ｂ）に圧電体プレート１０の裏面図を示すように、圧
電体プレート１０の裏面に設けられた電極３０は橋絡部
６８によって互いに接続されて、共通電極として使用さ
れる。７０はワイヤボンディング用端部である。そして
、第４図（Ｂ）に示すように、各記録へッドユニッ）６
０．６２．６４の圧電体プレート１０は下段に向かって
長さが長く形成され、しかも、各カバープレート２６お
よびインク供給室ブレード３８は圧電体プレート１０よ
りも短く形成されている。それにより、下段に位置する
圧電体プレートの電極２８が露出するようになされてい
る。この個別電極２８の露出部分に、上述と同じように
して、ワイヤがそれぞれボンディングされるか、または
、フレキシブルプリント板が接合される。
以上に説明したように、本発明によれば、表面および裏
面にそれぞれ電圧印加用電極を有する圧電体プレートを
複数段それらの個別制御電極として使用される表面側も
しくは裏面側の電極が露出するように積層するようにし
たので、電極部へのリード線の接続が極めて簡単化され
る。
面にそれぞれ電圧印加用電極を有する圧電体プレートを
複数段それらの個別制御電極として使用される表面側も
しくは裏面側の電極が露出するように積層するようにし
たので、電極部へのリード線の接続が極めて簡単化され
る。
第１図は本発明の第１実施例を示し、開国（八）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第２図はその第１実施例における圧電体プレートを示し
、同図（Ａ）はその表面図、同図（Ｂ）はその裏面図で
ある。 第３図は本発明の第２実施例を示し、同図（八）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第４図は本発明の第３実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第５図はその実施例における圧電体プレートを示し、同
図（Ａ）はその表面図、同図（Ｂ）はその裏面図である
。 第６図は従来マルチノズル式のインクジェット記録ヘッ
ドの断面図である。 第７図は本件出願人によって既に提案されているマルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドを示し、同図（八）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第８図はその構成例における圧電体プレートを示し、同
図（八）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同
図（Ｃ）はその縦断面図である。 第９図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 第１０図はその構成例の一部拡大断面図である。 １０−・−圧電体プレート、１２・・−インクキャビテ
ィ、２２・・・・インク供給口、２４−・・インクノズ
ル・２６−・カバープレート、２８．３０ ・・・・
電極、齋 １ 閣 ％２図 第 ５１￥１ 箒 ６ 図 第 ７ 閲
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第２図はその第１実施例における圧電体プレートを示し
、同図（Ａ）はその表面図、同図（Ｂ）はその裏面図で
ある。 第３図は本発明の第２実施例を示し、同図（八）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第４図は本発明の第３実施例を示し、同図（Ａ）はその
横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第５図はその実施例における圧電体プレートを示し、同
図（Ａ）はその表面図、同図（Ｂ）はその裏面図である
。 第６図は従来マルチノズル式のインクジェット記録ヘッ
ドの断面図である。 第７図は本件出願人によって既に提案されているマルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドを示し、同図（八）
はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。 第８図はその構成例における圧電体プレートを示し、同
図（八）はその平面図、同図（Ｂ）はその横断面図、同
図（Ｃ）はその縦断面図である。 第９図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 第１０図はその構成例の一部拡大断面図である。 １０−・−圧電体プレート、１２・・−インクキャビテ
ィ、２２・・・・インク供給口、２４−・・インクノズ
ル・２６−・カバープレート、２８．３０ ・・・・
電極、齋 １ 閣 ％２図 第 ５１￥１ 箒 ６ 図 第 ７ 閲
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクを
インクノズルから液滴状に噴射させる記録ヘッドにおい
て、 圧電材料から成る圧電体プレートの表面に複数列のイン
クキャビティを形成すると共に、その圧電体プレートの
表面および裏面にそれぞれ電圧印加用電極を設け、その
場合に表面側電極および裏面側電極のうち一方を共通電
極として形成し、かつ他方を各インクキャビティの個別
電極として形成し、 このように構成された圧電体プレートを複数段それぞれ
の個別電極が露出するように積層した、ことを特徴とす
るインクジェット記録ヘッド。 ２）特許請求の範囲第１項記載の記録ヘッドにおいて、
前記個別電極は前記圧電体プレートの裏面に形成された
裏面側電極であり、前記複数段の圧電体プレートはその
インクキャビティの長さ方向に沿った長さが下段に向か
って短くされていることを特徴とするインクジェット記
録ヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3978086A JPS62198466A (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | インクジエツト記録ヘツド |
| DE3645017A DE3645017C2 (ja) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | |
| DE19863630206 DE3630206A1 (de) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Tintenstrahldruckkopf |
| US06/903,789 US4752788A (en) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Ink jet recording head |
| US07/164,774 US4819014A (en) | 1985-09-06 | 1988-04-21 | Ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3978086A JPS62198466A (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | インクジエツト記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62198466A true JPS62198466A (ja) | 1987-09-02 |
Family
ID=12562447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3978086A Pending JPS62198466A (ja) | 1985-09-06 | 1986-02-25 | インクジエツト記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62198466A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5872580A (en) * | 1995-11-21 | 1999-02-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head with stacked individual head members and a manufacturing method thereof |
| JP2002178509A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Olympus Optical Co Ltd | 液滴噴射装置 |
-
1986
- 1986-02-25 JP JP3978086A patent/JPS62198466A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5872580A (en) * | 1995-11-21 | 1999-02-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head with stacked individual head members and a manufacturing method thereof |
| JP2002178509A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Olympus Optical Co Ltd | 液滴噴射装置 |
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