JPS62198466A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents
インクジエツト記録ヘツドInfo
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- JPS62198466A JPS62198466A JP3978086A JP3978086A JPS62198466A JP S62198466 A JPS62198466 A JP S62198466A JP 3978086 A JP3978086 A JP 3978086A JP 3978086 A JP3978086 A JP 3978086A JP S62198466 A JPS62198466 A JP S62198466A
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- ink
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- electrode
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ内のイ
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させる多段形マル
チノズル式インクジェット記録ヘッドに関する。
ンクをインクノズルから液滴状に噴射させる多段形マル
チノズル式インクジェット記録ヘッドに関する。
圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクをイン
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている。第6図は特開昭52−49033号公報に記載
されている従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドの断面図である。 図において、1は内部に液室2を有する圧電素子円筒体
である。液室2の一方はインク供給路3、他方はインク
通路4となっており、インク通路4の先にはノズル5が
形成されている。インクはインク供給口6から供給され
て共通供給室7に溜められている。この記録ヘッドにお
いては、圧電素千円筒体1はエポキシ樹脂製本体8内に
埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体1を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体1の液室2が体積を収縮されて、
その液室2内のインクがノズル5を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル5の駆動手段として圧電素子円筒体lが用
いられているが、この圧電素子円筒体1は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体1も小形化されなければならない
。 しかしながら、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面(内壁
面)に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を40μm×40μmの
大きさに形成しかつ1鶴間隔にて配置しようとする場合
、圧電素子円筒体1もそのような1鶴間隔にて配置でき
る程小形に形成することは不可能に近い。つまり、圧電
素子円筒体1の外径は最大0.5鶴であり、内、径に至
ってはそれよりも更に小さくなる。しがち、その内壁面
に内側電極を形成しなければならない。このようなこと
は現在の製作技術をもってしても不可能である。そのた
めに、圧電素子円筒体1はある程度の大きさに構成され
るが、その結果、第6図に示したように、必要なノズル
部の幅L1に比較して本体8の幅L2が極めて大きくな
ってしまうという欠点を有している。 さらに、エポキシ樹脂製本体8内に、小形の圧電素子円
筒体1を埋設すること、および、極細のインク供給路3
、インク通路4、ノズル5を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。 そこで、本件出願人により、このような欠点を解消して
、コンパクトに構成できかつ製作が容易であるインクジ
ェット記録ヘッドが提案された(特願昭60−1974
13号)。 第7図はこの既提案にかかる構成例を示し、同図(A)
はその横断面図、同図(B)はその縦断面図である。第
8図はその構成例における圧電体プレートを示し、同図
(八)はその平面図、同図(B)はその横断面図、同図
(C)はその縦断面図である。 第9図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 これらの図において、10は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート10には、第8図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ12およびこのインクキャビティ
12に連通ずるインク供給口22およびインクノズル2
4が複数列形成されている。インクキャビティ12は2
つの深溝部16.18および両法溝部16゜18間に設
けられた浅溝部14から成る。 再び第7図に戻って説明する。26は圧電体プレート1
0のインクキャビティ、インクノズルおよびインク供給
口が形成されている面に接着または融着もしくはその他
の手段により接合されたカバープレートである。そして
、インクキャビティ12において、浅溝部14を形成す
る圧電体膨出部20 (第8図)に電圧印加用電極28
がそれぞれ設けられ、その電極28に対応する圧電体プ
レー1−10の下面に電極30がそれぞれ設けられてい
る。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極28.30間に電圧を印加すると、
両電極28.30間の圧電体が膨張して、インクキャビ
ティ12内の体積を減少させ、その結果インクキャビテ
ィ12内のインクが当該インクキャビティ12に連通ず
るインクノズル24から液滴状に噴射され、図示してい
な°い記録担体上にもたらされる。このとき、インクキ
ャビティ12の体積収縮は主として圧電体膨出部2oに
よって惹起されるので、当該インクキャビティ12の体
積収縮運動が隣接のインクキャビティ12に影響するこ
とは回避される。つまり、インクキャビティ間のクロス
トークが回避される。 第7図ないし第9図に示した構成例においては、第1O
図に詳細に示すように、ノズル24の大きさは40μm
×40μm、ノズル2’4.24の間隔Cはたとえばl
smに形成されている。さらに1.圧電体プレート1
0の厚さLは0 、5 *戴、インクキャビティ12の
幅B、は0.7鰭、浅溝部14つまり圧電体膨出部20
の幅B1は0 、61m、そして深溝部16.18の幅
B2は50μmに形成されている。このように非常に微
細なインクキャビティ12は、たとえば、半導体ウェハ
の切断に使用されているグイシングツ−を用いて形成す
ることができる。この種のグイシングツ−においては既
に15μmの厚さの切刃が開発されており、従ってこの
種のダイシングソーを用いれば、インクキャビティ12
を充分に切削可能である。 このように、既提案によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔が1m、そしてノズルはインク
キャビティ12の横幅のほぼ中心に置かれるので、イン
クキャビティ12の中心軸線間隔も同様に1鶴とするこ
とができ、その結果極めてコンパクトに構成可能である
。 ところで、第7図および第10図に示した既提案におい
ては、圧電体プレート10が単段で使用される場合には
その電圧印加用電極28.30へのリード線接続はそれ
程困難ではないが、圧電体プレート10が複数段積層さ
れて使用される場合にはリード線の接続が簡単では゛な
い。
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている。第6図は特開昭52−49033号公報に記載
されている従来のマルチノズル式インクジェット記録ヘ
ッドの断面図である。 図において、1は内部に液室2を有する圧電素子円筒体
である。液室2の一方はインク供給路3、他方はインク
通路4となっており、インク通路4の先にはノズル5が
形成されている。インクはインク供給口6から供給され
て共通供給室7に溜められている。この記録ヘッドにお
いては、圧電素千円筒体1はエポキシ樹脂製本体8内に
埋設されている。 しかして、圧電素子円筒体1を選択駆動することにより
、当該圧電素子円筒体1の液室2が体積を収縮されて、
その液室2内のインクがノズル5を介して噴射させられ
る。 ところで、この従来のインクジェット記録ヘッドにおい
ては、ノズル5の駆動手段として圧電素子円筒体lが用
いられているが、この圧電素子円筒体1は圧電材料から
成る円筒体と、この円筒体の内面および外面に設けられ
た内側電極および外側電極とから構成されている。イン
クジェット記録ヘッドを小形化するためには、それに応
じて、圧電素子円筒体1も小形化されなければならない
。 しかしながら、小形すなわち外径および内径が極端に小
さい圧電材料製円筒体を製作し、さらにその内面(内壁
面)に内側電極を形成することは、製作技術上非常に困
難である。たとえば、ノズル口を40μm×40μmの
大きさに形成しかつ1鶴間隔にて配置しようとする場合
、圧電素子円筒体1もそのような1鶴間隔にて配置でき
る程小形に形成することは不可能に近い。つまり、圧電
素子円筒体1の外径は最大0.5鶴であり、内、径に至
ってはそれよりも更に小さくなる。しがち、その内壁面
に内側電極を形成しなければならない。このようなこと
は現在の製作技術をもってしても不可能である。そのた
めに、圧電素子円筒体1はある程度の大きさに構成され
るが、その結果、第6図に示したように、必要なノズル
部の幅L1に比較して本体8の幅L2が極めて大きくな
ってしまうという欠点を有している。 さらに、エポキシ樹脂製本体8内に、小形の圧電素子円
筒体1を埋設すること、および、極細のインク供給路3
、インク通路4、ノズル5を形成することは、可能では
あるが、実際には非常に困難である。 そこで、本件出願人により、このような欠点を解消して
、コンパクトに構成できかつ製作が容易であるインクジ
ェット記録ヘッドが提案された(特願昭60−1974
13号)。 第7図はこの既提案にかかる構成例を示し、同図(A)
はその横断面図、同図(B)はその縦断面図である。第
8図はその構成例における圧電体プレートを示し、同図
(八)はその平面図、同図(B)はその横断面図、同図
(C)はその縦断面図である。 第9図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 これらの図において、10は圧電材料から成る一枚の平
板状に成形された圧電体プレートである。 この圧電体プレート10には、第8図に詳細に示すよう
に、インクキャビティ12およびこのインクキャビティ
12に連通ずるインク供給口22およびインクノズル2
4が複数列形成されている。インクキャビティ12は2
つの深溝部16.18および両法溝部16゜18間に設
けられた浅溝部14から成る。 再び第7図に戻って説明する。26は圧電体プレート1
0のインクキャビティ、インクノズルおよびインク供給
口が形成されている面に接着または融着もしくはその他
の手段により接合されたカバープレートである。そして
、インクキャビティ12において、浅溝部14を形成す
る圧電体膨出部20 (第8図)に電圧印加用電極28
がそれぞれ設けられ、その電極28に対応する圧電体プ
レー1−10の下面に電極30がそれぞれ設けられてい
る。 しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極28.30間に電圧を印加すると、
両電極28.30間の圧電体が膨張して、インクキャビ
ティ12内の体積を減少させ、その結果インクキャビテ
ィ12内のインクが当該インクキャビティ12に連通ず
るインクノズル24から液滴状に噴射され、図示してい
な°い記録担体上にもたらされる。このとき、インクキ
ャビティ12の体積収縮は主として圧電体膨出部2oに
よって惹起されるので、当該インクキャビティ12の体
積収縮運動が隣接のインクキャビティ12に影響するこ
とは回避される。つまり、インクキャビティ間のクロス
トークが回避される。 第7図ないし第9図に示した構成例においては、第1O
図に詳細に示すように、ノズル24の大きさは40μm
×40μm、ノズル2’4.24の間隔Cはたとえばl
smに形成されている。さらに1.圧電体プレート1
0の厚さLは0 、5 *戴、インクキャビティ12の
幅B、は0.7鰭、浅溝部14つまり圧電体膨出部20
の幅B1は0 、61m、そして深溝部16.18の幅
B2は50μmに形成されている。このように非常に微
細なインクキャビティ12は、たとえば、半導体ウェハ
の切断に使用されているグイシングツ−を用いて形成す
ることができる。この種のグイシングツ−においては既
に15μmの厚さの切刃が開発されており、従ってこの
種のダイシングソーを用いれば、インクキャビティ12
を充分に切削可能である。 このように、既提案によるインクジェット記録ヘッドは
、たとえば、ノズル間隔が1m、そしてノズルはインク
キャビティ12の横幅のほぼ中心に置かれるので、イン
クキャビティ12の中心軸線間隔も同様に1鶴とするこ
とができ、その結果極めてコンパクトに構成可能である
。 ところで、第7図および第10図に示した既提案におい
ては、圧電体プレート10が単段で使用される場合には
その電圧印加用電極28.30へのリード線接続はそれ
程困難ではないが、圧電体プレート10が複数段積層さ
れて使用される場合にはリード線の接続が簡単では゛な
い。
本発明は、このような点に鑑みてなされ、第7図ないし
第1O図に示した既提案のインクジェット記録ヘッドに
おける圧電体プレートを多段に積層して使用する際にも
、電圧印加用電極へのリード線接続が簡単に行い得るよ
うな多段形インクジェット記録ヘッドを提供することを
目的とする。
第1O図に示した既提案のインクジェット記録ヘッドに
おける圧電体プレートを多段に積層して使用する際にも
、電圧印加用電極へのリード線接続が簡単に行い得るよ
うな多段形インクジェット記録ヘッドを提供することを
目的とする。
このような目的を達成するために、本発明は、圧電材料
から成る圧電体プレートの表面に複数列のインクキャビ
ティを形成すると共に、その圧電体プレートの表面およ
び裏面にそれぞれ電圧印加用電極を設け、その場合に表
面側電極および裏面側電極のうち一方を共通電極として
形成し、かつ他方を各インクキャビティの個別電極とし
て形成し、このように構成された圧電体プレートを複数
段それぞれの個別電極が露出するように積層したことを
特徴とする。 本発明の優れた実施態様によれば、前記個別電極は前記
圧電体プレートの裏面に形成された裏面側電極であり、
前記複数段の圧電体プレートはそのインクキャビティの
長さ方向に沿った長さが下段に向かって短くされている
。
から成る圧電体プレートの表面に複数列のインクキャビ
ティを形成すると共に、その圧電体プレートの表面およ
び裏面にそれぞれ電圧印加用電極を設け、その場合に表
面側電極および裏面側電極のうち一方を共通電極として
形成し、かつ他方を各インクキャビティの個別電極とし
て形成し、このように構成された圧電体プレートを複数
段それぞれの個別電極が露出するように積層したことを
特徴とする。 本発明の優れた実施態様によれば、前記個別電極は前記
圧電体プレートの裏面に形成された裏面側電極であり、
前記複数段の圧電体プレートはそのインクキャビティの
長さ方向に沿った長さが下段に向かって短くされている
。
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
第1図は本発明の第1実施例を示し、同図(A)はその
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第1図において、第7図ないし第10図の各部分と同一
機能を存する部分には同一符号が付されている。 しかして、第1図においては、3段に積層された3個の
記録ヘッドユニット32.34.36からなる多段形マ
ルチノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている
。各記録ヘッドユニット32,34.36が、主として
、圧電体プレート10およびカバープレート26から構
成されることは上述したのと同じである。しかしながら
、この場合、各記録ヘッド32.34.36においては
、カバープレート26にはインクノズル24と同じ側で
そのインクノズル24のjJi域にインク供給口42が
設けられ、そしてこのカバープレート26の上側にはイ
ンク供給室プレート38が接合されている。このインク
供給室プレート38には、カバープレート26のインク
供給口42に連通ずるインク供給室40が形成されてい
る。 そして、この実施例においては、第2図(^)に圧電体
プレート10の表面図を示すように、各インクキャビテ
ィ12に設けられている電圧印加用電極28はそのイン
クキャビティ12から圧電体プレート10の表面上にま
で延長されており、そして橋絡部44によって互いに接
続されている。また、第2図(B)に圧電体プレート1
0(D裏面図を示すように、圧電体プレート10の裏面
に設けられた電圧印加用電極30は電極28に対応して
設けられ、個別的に圧電体プレート10の右端にまで延
長させられている。 しかして、電極28は共通電極として使用され、電極3
0は個別電極として使用される。 このように電極28.30を有する記録ヘッドユニット
32,34.36は第1図(B)に示すように、インク
キャビティ12の長さ方向に沿った長さが、下段に向か
って短く形成されている。その結果、各記録ヘッドユニ
ット32,34.36においては、圧電体プレート10
の裏面に形成されている個別電極30が露出するように
なされている。それゆえ、第2図(B)に示した各個別
電極30には、図示してないワイヤをそれぞれワイヤボ
ンディング技術に基づいて結合することができる。ある
いは、各個別電極30には同様に図示していないフレキ
シブルプリント板を結合してもよい。このフレキシブル
プリント板には第2図(B)に示した各個別電極30と
同一形状のパターンが印刷される。共通電極28には第
2図(A)の橋絡部44の端部46にワイヤがボンディ
ングされる。 しかして、個別電極30の一つと共通電極28との間に
電圧を印加すると、当該個別電極30に対応するインク
キャビティの体積変化が生じて、そのインクキャビティ
内のインクがインクノズルを介して噴射される。 なお、第2図(A)において、点線で示したインク供給
室40はこのインク供給室とインクノズル24との関係
を理解し易くするためのものである。インク供給室には
、図示してないインクチューブを介してインクタンクか
らインクが供給される。 第3図は本発明の第2実施例を示し、同図(A)はその
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 この第3図においては、3段に積層された3個の記録ヘ
ッドユニット50,52.54から成る多段形マルチノ
ズル式インクジェット記録ヘッドが示されている。この
第2実施例においては、インク供給室56は、圧電体プ
レート10自身に形成され、インク供給口22と連通ず
るようになされている。電極28は、第2図(A)に示
したパターンにて圧電体プレート10の表面に形成され
ている。 なお、第1実施例(第1図、第2図)および第2実施例
(第3図)はインクが導電性インクである場合に特に有
効である。すなわち、個別電極30はインクと接しない
ので、インクを介して隣接するインクキャビティ間でク
ロストークが生じるのが回避されるからである。しかし
ながら、インクに絶縁性インクを使用可能になれば、次
に示す第3実施例の如(、インクジェット記録ヘッドを
構成することもできる。 すなわち、第4図は本発明の第3実施例を示し、同図(
A)はその横断面図、同図(B)はその縦断面図である
。この第4図においては、3段に積層された3個の記録
ヘッドユニット60.62.64から成る多段形マルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている。こ
の第3実施例においては、第5図(A)に圧電体プレー
ト10の表面図を示すように、各インクキャビティ12
に設けられている電極28は、そのインクキャビティ1
2から圧電体プレート10の表面の右端にまで個別的に
延長されて、個別電極として使用される。一方、第5図
(B)に圧電体プレート10の裏面図を示すように、圧
電体プレート10の裏面に設けられた電極30は橋絡部
68によって互いに接続されて、共通電極として使用さ
れる。70はワイヤボンディング用端部である。そして
、第4図(B)に示すように、各記録へッドユニッ)6
0.62.64の圧電体プレート10は下段に向かって
長さが長く形成され、しかも、各カバープレート26お
よびインク供給室ブレード38は圧電体プレート10よ
りも短く形成されている。それにより、下段に位置する
圧電体プレートの電極28が露出するようになされてい
る。この個別電極28の露出部分に、上述と同じように
して、ワイヤがそれぞれボンディングされるか、または
、フレキシブルプリント板が接合される。
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第1図において、第7図ないし第10図の各部分と同一
機能を存する部分には同一符号が付されている。 しかして、第1図においては、3段に積層された3個の
記録ヘッドユニット32.34.36からなる多段形マ
ルチノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている
。各記録ヘッドユニット32,34.36が、主として
、圧電体プレート10およびカバープレート26から構
成されることは上述したのと同じである。しかしながら
、この場合、各記録ヘッド32.34.36においては
、カバープレート26にはインクノズル24と同じ側で
そのインクノズル24のjJi域にインク供給口42が
設けられ、そしてこのカバープレート26の上側にはイ
ンク供給室プレート38が接合されている。このインク
供給室プレート38には、カバープレート26のインク
供給口42に連通ずるインク供給室40が形成されてい
る。 そして、この実施例においては、第2図(^)に圧電体
プレート10の表面図を示すように、各インクキャビテ
ィ12に設けられている電圧印加用電極28はそのイン
クキャビティ12から圧電体プレート10の表面上にま
で延長されており、そして橋絡部44によって互いに接
続されている。また、第2図(B)に圧電体プレート1
0(D裏面図を示すように、圧電体プレート10の裏面
に設けられた電圧印加用電極30は電極28に対応して
設けられ、個別的に圧電体プレート10の右端にまで延
長させられている。 しかして、電極28は共通電極として使用され、電極3
0は個別電極として使用される。 このように電極28.30を有する記録ヘッドユニット
32,34.36は第1図(B)に示すように、インク
キャビティ12の長さ方向に沿った長さが、下段に向か
って短く形成されている。その結果、各記録ヘッドユニ
ット32,34.36においては、圧電体プレート10
の裏面に形成されている個別電極30が露出するように
なされている。それゆえ、第2図(B)に示した各個別
電極30には、図示してないワイヤをそれぞれワイヤボ
ンディング技術に基づいて結合することができる。ある
いは、各個別電極30には同様に図示していないフレキ
シブルプリント板を結合してもよい。このフレキシブル
プリント板には第2図(B)に示した各個別電極30と
同一形状のパターンが印刷される。共通電極28には第
2図(A)の橋絡部44の端部46にワイヤがボンディ
ングされる。 しかして、個別電極30の一つと共通電極28との間に
電圧を印加すると、当該個別電極30に対応するインク
キャビティの体積変化が生じて、そのインクキャビティ
内のインクがインクノズルを介して噴射される。 なお、第2図(A)において、点線で示したインク供給
室40はこのインク供給室とインクノズル24との関係
を理解し易くするためのものである。インク供給室には
、図示してないインクチューブを介してインクタンクか
らインクが供給される。 第3図は本発明の第2実施例を示し、同図(A)はその
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 この第3図においては、3段に積層された3個の記録ヘ
ッドユニット50,52.54から成る多段形マルチノ
ズル式インクジェット記録ヘッドが示されている。この
第2実施例においては、インク供給室56は、圧電体プ
レート10自身に形成され、インク供給口22と連通ず
るようになされている。電極28は、第2図(A)に示
したパターンにて圧電体プレート10の表面に形成され
ている。 なお、第1実施例(第1図、第2図)および第2実施例
(第3図)はインクが導電性インクである場合に特に有
効である。すなわち、個別電極30はインクと接しない
ので、インクを介して隣接するインクキャビティ間でク
ロストークが生じるのが回避されるからである。しかし
ながら、インクに絶縁性インクを使用可能になれば、次
に示す第3実施例の如(、インクジェット記録ヘッドを
構成することもできる。 すなわち、第4図は本発明の第3実施例を示し、同図(
A)はその横断面図、同図(B)はその縦断面図である
。この第4図においては、3段に積層された3個の記録
ヘッドユニット60.62.64から成る多段形マルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドが示されている。こ
の第3実施例においては、第5図(A)に圧電体プレー
ト10の表面図を示すように、各インクキャビティ12
に設けられている電極28は、そのインクキャビティ1
2から圧電体プレート10の表面の右端にまで個別的に
延長されて、個別電極として使用される。一方、第5図
(B)に圧電体プレート10の裏面図を示すように、圧
電体プレート10の裏面に設けられた電極30は橋絡部
68によって互いに接続されて、共通電極として使用さ
れる。70はワイヤボンディング用端部である。そして
、第4図(B)に示すように、各記録へッドユニッ)6
0.62.64の圧電体プレート10は下段に向かって
長さが長く形成され、しかも、各カバープレート26お
よびインク供給室ブレード38は圧電体プレート10よ
りも短く形成されている。それにより、下段に位置する
圧電体プレートの電極28が露出するようになされてい
る。この個別電極28の露出部分に、上述と同じように
して、ワイヤがそれぞれボンディングされるか、または
、フレキシブルプリント板が接合される。
以上に説明したように、本発明によれば、表面および裏
面にそれぞれ電圧印加用電極を有する圧電体プレートを
複数段それらの個別制御電極として使用される表面側も
しくは裏面側の電極が露出するように積層するようにし
たので、電極部へのリード線の接続が極めて簡単化され
る。
面にそれぞれ電圧印加用電極を有する圧電体プレートを
複数段それらの個別制御電極として使用される表面側も
しくは裏面側の電極が露出するように積層するようにし
たので、電極部へのリード線の接続が極めて簡単化され
る。
第1図は本発明の第1実施例を示し、開国(八)はその
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第2図はその第1実施例における圧電体プレートを示し
、同図(A)はその表面図、同図(B)はその裏面図で
ある。 第3図は本発明の第2実施例を示し、同図(八)はその
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第4図は本発明の第3実施例を示し、同図(A)はその
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第5図はその実施例における圧電体プレートを示し、同
図(A)はその表面図、同図(B)はその裏面図である
。 第6図は従来マルチノズル式のインクジェット記録ヘッ
ドの断面図である。 第7図は本件出願人によって既に提案されているマルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドを示し、同図(八)
はその横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第8図はその構成例における圧電体プレートを示し、同
図(八)はその平面図、同図(B)はその横断面図、同
図(C)はその縦断面図である。 第9図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 第10図はその構成例の一部拡大断面図である。 10−・−圧電体プレート、12・・−インクキャビテ
ィ、22・・・・インク供給口、24−・・インクノズ
ル・26−・カバープレート、28.30 ・・・・
電極、齋 1 閣 %2図 第 51¥1 箒 6 図 第 7 閲
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第2図はその第1実施例における圧電体プレートを示し
、同図(A)はその表面図、同図(B)はその裏面図で
ある。 第3図は本発明の第2実施例を示し、同図(八)はその
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第4図は本発明の第3実施例を示し、同図(A)はその
横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第5図はその実施例における圧電体プレートを示し、同
図(A)はその表面図、同図(B)はその裏面図である
。 第6図は従来マルチノズル式のインクジェット記録ヘッ
ドの断面図である。 第7図は本件出願人によって既に提案されているマルチ
ノズル式インクジェット記録ヘッドを示し、同図(八)
はその横断面図、同図(B)はその縦断面図である。 第8図はその構成例における圧電体プレートを示し、同
図(八)はその平面図、同図(B)はその横断面図、同
図(C)はその縦断面図である。 第9図はその構成例の一部を断面で示した斜視図である
。 第10図はその構成例の一部拡大断面図である。 10−・−圧電体プレート、12・・−インクキャビテ
ィ、22・・・・インク供給口、24−・・インクノズ
ル・26−・カバープレート、28.30 ・・・・
電極、齋 1 閣 %2図 第 51¥1 箒 6 図 第 7 閲
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクを
インクノズルから液滴状に噴射させる記録ヘッドにおい
て、 圧電材料から成る圧電体プレートの表面に複数列のイン
クキャビティを形成すると共に、その圧電体プレートの
表面および裏面にそれぞれ電圧印加用電極を設け、その
場合に表面側電極および裏面側電極のうち一方を共通電
極として形成し、かつ他方を各インクキャビティの個別
電極として形成し、 このように構成された圧電体プレートを複数段それぞれ
の個別電極が露出するように積層した、ことを特徴とす
るインクジェット記録ヘッド。 2)特許請求の範囲第1項記載の記録ヘッドにおいて、
前記個別電極は前記圧電体プレートの裏面に形成された
裏面側電極であり、前記複数段の圧電体プレートはその
インクキャビティの長さ方向に沿った長さが下段に向か
って短くされていることを特徴とするインクジェット記
録ヘッド。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3978086A JPS62198466A (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | インクジエツト記録ヘツド |
DE3645017A DE3645017C2 (ja) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | |
DE19863630206 DE3630206A1 (de) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Tintenstrahldruckkopf |
US06/903,789 US4752788A (en) | 1985-09-06 | 1986-09-04 | Ink jet recording head |
US07/164,774 US4819014A (en) | 1985-09-06 | 1988-04-21 | Ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3978086A JPS62198466A (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | インクジエツト記録ヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62198466A true JPS62198466A (ja) | 1987-09-02 |
Family
ID=12562447
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3978086A Pending JPS62198466A (ja) | 1985-09-06 | 1986-02-25 | インクジエツト記録ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62198466A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5872580A (en) * | 1995-11-21 | 1999-02-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head with stacked individual head members and a manufacturing method thereof |
JP2002178509A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Olympus Optical Co Ltd | 液滴噴射装置 |
-
1986
- 1986-02-25 JP JP3978086A patent/JPS62198466A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5872580A (en) * | 1995-11-21 | 1999-02-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head with stacked individual head members and a manufacturing method thereof |
JP2002178509A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Olympus Optical Co Ltd | 液滴噴射装置 |
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