JPS62198054U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62198054U JPS62198054U JP1986088193U JP8819386U JPS62198054U JP S62198054 U JPS62198054 U JP S62198054U JP 1986088193 U JP1986088193 U JP 1986088193U JP 8819386 U JP8819386 U JP 8819386U JP S62198054 U JPS62198054 U JP S62198054U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- jig
- polishing jig
- opposing surface
- opposite directions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 17
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示し、
第１図は研磨治具を下から見た底面図、第２図は
研磨装置の要部側面図、第３図及び第４図は従来
例を示し、第３図は研磨治具を下から見た底面図
、第４図は研磨装置の要部側面図である。 １１は研磨治具、１３はチヤツク、１４は分析
用試料、１７はチヤツク移動用ねじ、１８は研磨
台、１８ａは研磨材、１９は凹部である。
第１図は研磨治具を下から見た底面図、第２図は
研磨装置の要部側面図、第３図及び第４図は従来
例を示し、第３図は研磨治具を下から見た底面図
、第４図は研磨装置の要部側面図である。 １１は研磨治具、１３はチヤツク、１４は分析
用試料、１７はチヤツク移動用ねじ、１８は研磨
台、１８ａは研磨材、１９は凹部である。
Claims (1)
- 昇降自在かつ回転自在に設けられた研磨治具と
、この研磨治具と対向して同心線上に配置され、
その対向面側に研磨材を有する回転自在な研磨台
とを備え、上記研磨治具と研磨台とが互いに逆方
向に回転するように設定された研磨装置において
、上記研磨台に対する研磨治具の対向面側に、回
転軸心と同心状をなす凹部を形成するとともに研
磨治具の求心方向に進退自在となる複数の分析試
料保持用のチヤツクを放射状に設けたことを特徴
とする分析用試料の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986088193U JPS62198054U (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986088193U JPS62198054U (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62198054U true JPS62198054U (ja) | 1987-12-16 |
Family
ID=30946084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986088193U Pending JPS62198054U (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62198054U (ja) |
-
1986
- 1986-06-10 JP JP1986088193U patent/JPS62198054U/ja active Pending