JPS62195744A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS62195744A JPS62195744A JP3680486A JP3680486A JPS62195744A JP S62195744 A JPS62195744 A JP S62195744A JP 3680486 A JP3680486 A JP 3680486A JP 3680486 A JP3680486 A JP 3680486A JP S62195744 A JPS62195744 A JP S62195744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- recording medium
- recording layer
- magneto
- carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 45
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 37
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 abstract description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 abstract 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 abstract 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 abstract 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 3
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 238000003287 bathing Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- ZEKANFGSDXODPD-UHFFFAOYSA-N glyphosate-isopropylammonium Chemical compound CC(C)N.OC(=O)CNCP(O)(O)=O ZEKANFGSDXODPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 235000014347 soups Nutrition 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は光磁気ディスクなどに用いられる光磁気記録媒
体の改良に関する。
体の改良に関する。
ｒ従来技術とその問題点〕
レーザー光を用い光熱磁気効果により情報な記録し、磁
気カー効果やファラデー効果により再生を行なう光磁気
ディスクは高記録密度、高速アクセスが可能であり、し
かも記録情報の消去・再書き込みが何回でもできること
から実用化が期待されている。特番ここの光磁気ディス
クの記録材料としてＴｂＦｅ、 ’ｆ’ｂＦｅｃｏ、
ＧｄＦｅなど希土類−遷移金属合金（以下ＲＥ−’Ｔ’
Ｍ合金と称する）のアモルファス垂直磁化膜を記録層に
用いた光磁気配録媒体は大面積の薄膜を形成するのが容
易なことと、書き込み感度および再生感度が良好である
ために有望視されている。しかし、その反面１（Ｅ−Ｔ
Ｍ金合金記録層とする光磁気配録媒体は例えば湿気を含
んだ大気中に際されるとＲＥ−ＴＭ金合金耐食性が十分
でないために光磁気特性が劣化するという欠点をもって
いる。
気カー効果やファラデー効果により再生を行なう光磁気
ディスクは高記録密度、高速アクセスが可能であり、し
かも記録情報の消去・再書き込みが何回でもできること
から実用化が期待されている。特番ここの光磁気ディス
クの記録材料としてＴｂＦｅ、 ’ｆ’ｂＦｅｃｏ、
ＧｄＦｅなど希土類−遷移金属合金（以下ＲＥ−’Ｔ’
Ｍ合金と称する）のアモルファス垂直磁化膜を記録層に
用いた光磁気配録媒体は大面積の薄膜を形成するのが容
易なことと、書き込み感度および再生感度が良好である
ために有望視されている。しかし、その反面１（Ｅ−Ｔ
Ｍ金合金記録層とする光磁気配録媒体は例えば湿気を含
んだ大気中に際されるとＲＥ−ＴＭ金合金耐食性が十分
でないために光磁気特性が劣化するという欠点をもって
いる。
この対策として従来光磁気記録媒体の構成を第３図のよ
うにしている。第３図は光磁気配録媒体の要部を示した
模型的断面図であり、ボ１１カーボネートなとプラスチ
ック系基板１の上に配録層２を形成した後、さらに配録
層２の上に５ｉ０２．８ｉ０などの酸化物保護膜３を設
けることにより、記録Ｉ曽２が直接大気に曝されないよ
うにし、配録層２の環境による特性劣化の改善を図って
いる。なお矢印はレーザー光の進行方向を示している。
うにしている。第３図は光磁気配録媒体の要部を示した
模型的断面図であり、ボ１１カーボネートなとプラスチ
ック系基板１の上に配録層２を形成した後、さらに配録
層２の上に５ｉ０２．８ｉ０などの酸化物保護膜３を設
けることにより、記録Ｉ曽２が直接大気に曝されないよ
うにし、配録層２の環境による特性劣化の改善を図って
いる。なお矢印はレーザー光の進行方向を示している。
しかしながら、５ｔ０２や８ｉ０なとの保護膜３はピン
ホールをもたない極めて緻密な薄膜として形成すること
は困難であり、実用上は大気および大気中の湿気がピン
ホールを通って記録層２まで侵入するのを完全に防止す
ることはできない。また保護膜３は酸化物であるから、
その酸素成分が記録層２の中に取り込まれ、配録層２の
酸（ｅに起因する光磁気特性の劣化を生ずるなど未だ欠
点が解消されず実用化への問題を残している。
ホールをもたない極めて緻密な薄膜として形成すること
は困難であり、実用上は大気および大気中の湿気がピン
ホールを通って記録層２まで侵入するのを完全に防止す
ることはできない。また保護膜３は酸化物であるから、
その酸素成分が記録層２の中に取り込まれ、配録層２の
酸（ｅに起因する光磁気特性の劣化を生ずるなど未だ欠
点が解消されず実用化への問題を残している。
しため−って光磁気記録媒体としてはより好ましい保護
膜を備えることが望まれている。
膜を備えることが望まれている。
〔発明の目的〕
本発明は上述の点に鑑みてなされたものであり、その目
的は湿気を含む大気中に放置されても光磁気特性を劣化
させることのないすぐれた保−膜を備えた耐食性のよい
光磁気配録媒体を提供するととにある。
的は湿気を含む大気中に放置されても光磁気特性を劣化
させることのないすぐれた保−膜を備えた耐食性のよい
光磁気配録媒体を提供するととにある。
本発明はＲ，Ｅ−ＴＭ金合金垂直磁化膜をｉピ録層とす
る光磁気記録媒体のその配録層の上に高硬良で緻密なし
かも化学的に安定なダイヤモンド状カーボンの保護膜を
堆積することにより、記録層への大気および大気中に含
まれる湿気の侵透を防止し、光磁気記録媒体の耐食性を
向上させたものである。
る光磁気記録媒体のその配録層の上に高硬良で緻密なし
かも化学的に安定なダイヤモンド状カーボンの保護膜を
堆積することにより、記録層への大気および大気中に含
まれる湿気の侵透を防止し、光磁気記録媒体の耐食性を
向上させたものである。
ｒ発明の実施例〕
以下本発明な実施例に基づき説明する。
第１図は本発明により得られた光磁気記録媒体の要部を
示す構成断面図であるが、第３図と共通部分を同一符号
で表わしである。第１ ＋ｙ１の光磁気配録媒体はボ１
１カーボネートなとプラスチック系基板１の上にＴｂＦ
ｅ 、 ＴｂＦｅＣｂなどのアモルファス磁性膜からな
り基板１の主面に垂直な方向に磁化容易軸を有する記録
層２を設け、この配録）＠ ２の上に厚さ５００〜１０
０００ Ａのダイヤモンド状カーボンの保護膜４を堆積
したものである。ダイヤモンド状カーボン保護膜４はＣ
Ｈ，、Ｃ２１−（２などを用いたプラズマＣｖＤ法もし
くはグラファイトターゲラトラ用いたＨ２雰囲気中の反
応スバ、り法などにより形成することができる。このダ
イヤモンド状カーボン保護膜４として好ましいものは、
５〜３０原子％の水素を含み、ヌープ硬さは３０００以
上の値を有する緻密な薄膜である。
示す構成断面図であるが、第３図と共通部分を同一符号
で表わしである。第１ ＋ｙ１の光磁気配録媒体はボ１
１カーボネートなとプラスチック系基板１の上にＴｂＦ
ｅ 、 ＴｂＦｅＣｂなどのアモルファス磁性膜からな
り基板１の主面に垂直な方向に磁化容易軸を有する記録
層２を設け、この配録）＠ ２の上に厚さ５００〜１０
０００ Ａのダイヤモンド状カーボンの保護膜４を堆積
したものである。ダイヤモンド状カーボン保護膜４はＣ
Ｈ，、Ｃ２１−（２などを用いたプラズマＣｖＤ法もし
くはグラファイトターゲラトラ用いたＨ２雰囲気中の反
応スバ、り法などにより形成することができる。このダ
イヤモンド状カーボン保護膜４として好ましいものは、
５〜３０原子％の水素を含み、ヌープ硬さは３０００以
上の値を有する緻密な薄膜である。
このようにダイヤモンド状カーボン保護膜４を記録層２
の上に設けた本発明の光磁気配録媒体は大気中に放置さ
れたときも、大気および大気中の湿気が記録層２へ侵透
することなく、シかも保時１１ｉ４自体に酸素を含んで
いないから配録層２を酸化させることもなく、耐食性に
すぐれた光磁気配録媒体とすることができる。
の上に設けた本発明の光磁気配録媒体は大気中に放置さ
れたときも、大気および大気中の湿気が記録層２へ侵透
することなく、シかも保時１１ｉ４自体に酸素を含んで
いないから配録層２を酸化させることもなく、耐食性に
すぐれた光磁気配録媒体とすることができる。
また保護膜の形成方法に関しても、従来の５ｔ０２やＳ
ｉＯなどの絶縁体ターゲットなスバ、りするときに用い
られろＲＦマグネトロンスパ、り法が、スバ、り時のプ
ラズマの拡がりが大きく、基板位置近傍にもプラズマが
存在して、基板がこのプラズマに曝されるために、基板
温度を１００℃以下に保つことがむつかしく、プラスチ
、り基板の熱変形が生じやすかったのに対し、本発明の
ようにダイヤモンド状カーボン保護膜４をスパッタによ
り形成する場合は、ターゲットに用いるグラファイトが
導電性を有するため、ＤＣマグネトロンスパッタ法を採
用することができ、前述のＲＦマグネトロンスパッタ法
に比べて基板温度の上昇な恢く抑えることが可能である
から、耐熱性の悪いプラスチック基板を使用するときで
もスパッタ時の基板の反りが小さいという利点もある。
ｉＯなどの絶縁体ターゲットなスバ、りするときに用い
られろＲＦマグネトロンスパ、り法が、スバ、り時のプ
ラズマの拡がりが大きく、基板位置近傍にもプラズマが
存在して、基板がこのプラズマに曝されるために、基板
温度を１００℃以下に保つことがむつかしく、プラスチ
、り基板の熱変形が生じやすかったのに対し、本発明の
ようにダイヤモンド状カーボン保護膜４をスパッタによ
り形成する場合は、ターゲットに用いるグラファイトが
導電性を有するため、ＤＣマグネトロンスパッタ法を採
用することができ、前述のＲＦマグネトロンスパッタ法
に比べて基板温度の上昇な恢く抑えることが可能である
から、耐熱性の悪いプラスチック基板を使用するときで
もスパッタ時の基板の反りが小さいという利点もある。
本発明の光磁気記録媒体についてさらに具体的に述べる
と、まずＴｂとＦｅを重ねた複合ターゲットを用いてＤ
Ｃマグネトロンスパ、り法により厚さ１０００ ＡのＴ
ｂ Ｆｅ合金薄膜を記録層２として基板１上に形成し、
引続きＡｒとＨ２を含む雰囲気中でグラファイトターゲ
ットな用いてＤＣマグネトロンスパッタ法により厚さ２
００ＯＡのダイヤモンド状カーボンを保護膜４として積
層した。かくして得られた光磁気記録媒体を温度８０℃
、湿度匍％の恒温恒湿槽中に１００時間放置して特性の
変化を調べた結果、記録層２の保磁力（Ｈｃ ）の初期
値に対する低下は約８％であった。これと同時に比較の
ム−め厚さ２０００＾のＳｉＯを保護膜としてＲＦマグ
ネトロンスパッタ法により配録層に形成した光磁気配録
媒体を前述と同一条件で試験した所、記録層のＨｅは初
期値に対して約６％低下した。このことからダイヤモン
ド状カーボンが保護膜として従来のものよりすぐれてお
り、通常使用される周囲環境においては十分実用性を有
するものと判断される。
と、まずＴｂとＦｅを重ねた複合ターゲットを用いてＤ
Ｃマグネトロンスパ、り法により厚さ１０００ ＡのＴ
ｂ Ｆｅ合金薄膜を記録層２として基板１上に形成し、
引続きＡｒとＨ２を含む雰囲気中でグラファイトターゲ
ットな用いてＤＣマグネトロンスパッタ法により厚さ２
００ＯＡのダイヤモンド状カーボンを保護膜４として積
層した。かくして得られた光磁気記録媒体を温度８０℃
、湿度匍％の恒温恒湿槽中に１００時間放置して特性の
変化を調べた結果、記録層２の保磁力（Ｈｃ ）の初期
値に対する低下は約８％であった。これと同時に比較の
ム−め厚さ２０００＾のＳｉＯを保護膜としてＲＦマグ
ネトロンスパッタ法により配録層に形成した光磁気配録
媒体を前述と同一条件で試験した所、記録層のＨｅは初
期値に対して約６％低下した。このことからダイヤモン
ド状カーボンが保護膜として従来のものよりすぐれてお
り、通常使用される周囲環境においては十分実用性を有
するものと判断される。
またダイヤモンド状カーボン保護膜４は、第２図のよう
に基板１と記録１１２との間に書き込み感度および再生
感度をあげるため、基板１より高い屈折率をもち、かつ
基板１より熱伝導高の低い例えばＳｉＯ、ＺｎＳなどの
透明薄膜５を介在させた光磁気配録媒体に適用した場合
にも同様の効果が得られる。
に基板１と記録１１２との間に書き込み感度および再生
感度をあげるため、基板１より高い屈折率をもち、かつ
基板１より熱伝導高の低い例えばＳｉＯ、ＺｎＳなどの
透明薄膜５を介在させた光磁気配録媒体に適用した場合
にも同様の効果が得られる。
さらに本発明における保護膜は水累を５〜ま）％含むダ
イヤモンド状カーボンを例として説明してきたが、保護
膜にはアモルファス状のカーボン薄膜を用いても同様の
効果を発揮することができる。
イヤモンド状カーボンを例として説明してきたが、保護
膜にはアモルファス状のカーボン薄膜を用いても同様の
効果を発揮することができる。
なお、以上説明してきたように、本発明におけるカーボ
ンまたはカーボンを主成分とする保護膜を備えた光磁気
記録媒体はすぐれた耐食性を有するものであるが、これ
ら保護膜は前述したごとく、スープ硬さ３０００以上の
緻密な膜であるから、従来の保護−に比べて機械的性質
にも勝るものである。したがって情報記録装置として磁
気ディスクなどに用いられる磁気記録媒体では、磁気へ
、ドに対する耐衝撃磨耗などにすぐれた保護膜として有
効に作用することは容易に推測される。しかし、本発明
のように磁気へ、ドのために制約される条件を必要とし
ない光磁気記録媒体の保護膜として用いるに際して、硬
さや摩擦係斂などと無関係に機械的性質よりも環境汚染
に対する物理化学的性質を重視した点に本発明の飛躍し
た発想があり、磁気へ、ドと関連した磁気記録媒体の保
護膜とは本来の作用効果が異なっており、このことは実
験によってはじめてその効果を確認することができると
いう点でも本発明の新歩性な知ることができる。
ンまたはカーボンを主成分とする保護膜を備えた光磁気
記録媒体はすぐれた耐食性を有するものであるが、これ
ら保護膜は前述したごとく、スープ硬さ３０００以上の
緻密な膜であるから、従来の保護−に比べて機械的性質
にも勝るものである。したがって情報記録装置として磁
気ディスクなどに用いられる磁気記録媒体では、磁気へ
、ドに対する耐衝撃磨耗などにすぐれた保護膜として有
効に作用することは容易に推測される。しかし、本発明
のように磁気へ、ドのために制約される条件を必要とし
ない光磁気記録媒体の保護膜として用いるに際して、硬
さや摩擦係斂などと無関係に機械的性質よりも環境汚染
に対する物理化学的性質を重視した点に本発明の飛躍し
た発想があり、磁気へ、ドと関連した磁気記録媒体の保
護膜とは本来の作用効果が異なっており、このことは実
験によってはじめてその効果を確認することができると
いう点でも本発明の新歩性な知ることができる。
〔発明の効果）
希土類−遷移金属合金のアモルファス垂直磁化膜を記録
層とする光磁気配録媒体の表面保護膜として従来用いら
れてきた酸化物瞭はピンホールの生成が避けられないの
で、湿気を含む大気中にこの媒体を放置すると吸湿によ
り光磁気特性の劣化を生ずるという欠点をもっていたの
に対し、本発明によれば実施例で説明したように記録層
の１薯こ高硬度で緻密な化学的に安定度の高いカーボン
またはカーボンを主成分とする保護膜を堆積した光磁気
記録媒体を構成したために、大気中門こ放置しても大気
および大気中門こ含まれる湿気が記録層に侵透するのを
防止することがｆき、しかもこの保護膜自体に酸素を含
んでいないから記録層を酸化させるおそれもなく、シた
がって特性劣化が起こらず、安定して良好な特性を長期
間にわたって持続することが回部な光磁気記録媒体が得
られるようになった。
層とする光磁気配録媒体の表面保護膜として従来用いら
れてきた酸化物瞭はピンホールの生成が避けられないの
で、湿気を含む大気中にこの媒体を放置すると吸湿によ
り光磁気特性の劣化を生ずるという欠点をもっていたの
に対し、本発明によれば実施例で説明したように記録層
の１薯こ高硬度で緻密な化学的に安定度の高いカーボン
またはカーボンを主成分とする保護膜を堆積した光磁気
記録媒体を構成したために、大気中門こ放置しても大気
および大気中門こ含まれる湿気が記録層に侵透するのを
防止することがｆき、しかもこの保護膜自体に酸素を含
んでいないから記録層を酸化させるおそれもなく、シた
がって特性劣化が起こらず、安定して良好な特性を長期
間にわたって持続することが回部な光磁気記録媒体が得
られるようになった。
第１図は本発明の光磁気配録媒体を説明するための要部
断面図１第２図は同じく異なる実施例を示した断面図、
第３図は従来の光磁気記録媒体の構成を示した断面図で
ある。 １・・・基板、２・・・記録層、３．４・・・保護膜、
第１図 第２図 第３図 保獲東り 基板 逢明簿艮 疼獲輿５２０）
断面図１第２図は同じく異なる実施例を示した断面図、
第３図は従来の光磁気記録媒体の構成を示した断面図で
ある。 １・・・基板、２・・・記録層、３．４・・・保護膜、
第１図 第２図 第３図 保獲東り 基板 逢明簿艮 疼獲輿５２０）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）基板上の主面に該主面に垂直な方向の磁化容易軸を
有する記録層および保護膜をこの順に積層してなる光磁
気記録媒体において、保護膜としてカーボンを主成分と
する薄膜を用いることを特徴とする光磁気記録媒体。 ２）特許請求の範囲第１項記載の媒体において、保護膜
がアモルファスカーボンであることを特徴とする光磁気
記録媒体。 ３）特許請求の範囲第１項記載の媒体において、保護膜
が水素を５〜３０原子％含むダイヤモンド状カーボンで
あることを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3680486A JPS62195744A (ja) | 1986-02-21 | 1986-02-21 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3680486A JPS62195744A (ja) | 1986-02-21 | 1986-02-21 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62195744A true JPS62195744A (ja) | 1987-08-28 |
Family
ID=12479969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3680486A Pending JPS62195744A (ja) | 1986-02-21 | 1986-02-21 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62195744A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0237549A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 磁気光学記憶媒体 |
| JPH0253240A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-22 | Teijin Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPH02223451A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-09-05 | Ricoh Co Ltd | 液体噴射記録ヘッド |
| WO1991016708A1 (fr) * | 1990-04-17 | 1991-10-31 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Procede de preparation d'un support d'enregistrement magnetooptique et support d'enregistrement magnetooptique |
| EP0595564A2 (en) * | 1992-10-29 | 1994-05-04 | TDK Corporation | Magnetic recording medium |
| US5674573A (en) * | 1989-07-31 | 1997-10-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of synthesizing diamond-like carbon thin films |
-
1986
- 1986-02-21 JP JP3680486A patent/JPS62195744A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0237549A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 磁気光学記憶媒体 |
| JPH0253240A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-22 | Teijin Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPH02223451A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-09-05 | Ricoh Co Ltd | 液体噴射記録ヘッド |
| US5674573A (en) * | 1989-07-31 | 1997-10-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of synthesizing diamond-like carbon thin films |
| WO1991016708A1 (fr) * | 1990-04-17 | 1991-10-31 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Procede de preparation d'un support d'enregistrement magnetooptique et support d'enregistrement magnetooptique |
| EP0595564A2 (en) * | 1992-10-29 | 1994-05-04 | TDK Corporation | Magnetic recording medium |
| EP0595564A3 (en) * | 1992-10-29 | 1994-06-15 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4753853A (en) | Double-layered magnetooptical recording medium | |
| US5204193A (en) | Recording magnetooptical recording medium | |
| US4975339A (en) | Magneto-optical recording medium with at least one protective layer containing platinum and/or palladium | |
| US4808456A (en) | Magneto-optical recording medium and method of making the same | |
| JPS62195744A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| US4710434A (en) | Optomagnetic recording medium | |
| JP2504946B2 (ja) | 光磁気記録用媒体 | |
| EP0305185B1 (en) | Opto-magnetic recording medium having plurality of exchange-coupled magnetic layers | |
| JPH0550400B2 (ja) | ||
| JPS62289948A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| US4999260A (en) | Magneto-optical recording medium comprising a rare-earth-transition metal dispersed in a dielectric | |
| JPH01185852A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| US5225289A (en) | Opto-magnetic recording medium having plurality of exchange-coupled magnetic layers | |
| JP2606729B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2629062B2 (ja) | 光磁気メモリ用媒体 | |
| JPH0350343B2 (ja) | ||
| JP2957425B2 (ja) | 光磁気ディスクおよびその製造方法 | |
| JPH0677347B2 (ja) | 情報記録媒体 | |
| JP2678222B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS61107555A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS61196447A (ja) | 光磁気記録素子 | |
| JP2737241B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH07107757B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2740814B2 (ja) | 光磁記録媒体 | |
| KR970010942B1 (ko) | 광자기 기록매체 |