JPS62193569A - 超音波モ−タ - Google Patents
超音波モ−タInfo
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- JPS62193569A JPS62193569A JP61034624A JP3462486A JPS62193569A JP S62193569 A JPS62193569 A JP S62193569A JP 61034624 A JP61034624 A JP 61034624A JP 3462486 A JP3462486 A JP 3462486A JP S62193569 A JPS62193569 A JP S62193569A
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- elastic
- ultrasonic motor
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- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 12
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 10
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 abstract description 8
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧電体音用いて駆動力全発生する超音波モータ
に関する。
に関する。
従来の技術
近年、圧電セラミック等の圧電体を用いた駆動体に弾性
振動全励起し、これを駆動力とした超音波モータが注目
さｎている。
振動全励起し、これを駆動力とした超音波モータが注目
さｎている。
以下、図面を参照しながら超音波モータの原理について
説明を行う。
説明を行う。
第３図は超音波モータの１例であり、円環形の弾性体１
の円環面の一方に円環形圧電セラミック２を貼合せて、
圧電駆動体３を構成している。４は耐芒耗性材料のスラ
イダ、６は弾性体であり、互いに貼合せられて動体６を
構成している。動体６はスライダ４を介して駆動体３と
接触している。
の円環面の一方に円環形圧電セラミック２を貼合せて、
圧電駆動体３を構成している。４は耐芒耗性材料のスラ
イダ、６は弾性体であり、互いに貼合せられて動体６を
構成している。動体６はスライダ４を介して駆動体３と
接触している。
圧電セラミック２に電界全印加すると、駆動体３の周方
向に曲げ振動の進行波が励起さ扛て、動体６を駆動する
。尚、同図中の矢印は動体６の回転力向を示す。
向に曲げ振動の進行波が励起さ扛て、動体６を駆動する
。尚、同図中の矢印は動体６の回転力向を示す。
第４図は第３図の超音波モータに使用した圧電セラミッ
ク２の電極構造の１例金示している。同図では円周方向
に曲げ振動が９波のるようにしである。同図において、
人、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成る電
極群で、Ｃ，Ｄはそれぞ扛４分の３波長、４分の１ｖ長
の長さの電極である。従って、人の電極群とＢの電極群
とは周方向に４分の１波長（＝９０度）の位相ずｎがあ
る。電極群Ａ、Ｂ内の隣合う小電極部は互いに反対力向
に厚み方向に分極さｎている。圧電セラミック２の弾性
体１との接着面は第４図に示さ扛た面と反対の面であり
、電極はベタ電極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第
４図に斜線で示さ扛たように、そｎぞれ短絡して用いら
れ、ベタ電極が共通電極として用いら扛る。
ク２の電極構造の１例金示している。同図では円周方向
に曲げ振動が９波のるようにしである。同図において、
人、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成る電
極群で、Ｃ，Ｄはそれぞ扛４分の３波長、４分の１ｖ長
の長さの電極である。従って、人の電極群とＢの電極群
とは周方向に４分の１波長（＝９０度）の位相ずｎがあ
る。電極群Ａ、Ｂ内の隣合う小電極部は互いに反対力向
に厚み方向に分極さｎている。圧電セラミック２の弾性
体１との接着面は第４図に示さ扛た面と反対の面であり
、電極はベタ電極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第
４図に斜線で示さ扛たように、そｎぞれ短絡して用いら
れ、ベタ電極が共通電極として用いら扛る。
以上のように構成された超音波モータについて、その動
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群人に電圧 Ｖ＝Ｖｏ −５ｉｎ（ωｔ） −−（１）全
印加すると、駆動体３は円周方向に曲げ振動をする。第
５図は第３図の超音波モータの駆動体を直線で近似した
時の斜視図であり、同図（２Ｌ）は圧電体２に電圧を印
加していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加し
た時の様子金示す。
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群人に電圧 Ｖ＝Ｖｏ −５ｉｎ（ωｔ） −−（１）全
印加すると、駆動体３は円周方向に曲げ振動をする。第
５図は第３図の超音波モータの駆動体を直線で近似した
時の斜視図であり、同図（２Ｌ）は圧電体２に電圧を印
加していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加し
た時の様子金示す。
第６図は動体６と駆動体３の接触状況？拡大して描いた
ものである。前記圧電体２の電極群ＡにＶｏ −ｓｉｎ
（ωｔ） 、電極群ＢＶＣｖＯ−ＣＯ８（ωｔ）ノ互
いに位相がπ／２ だけず扛だ電圧全印加す汎ば１、駆
動体３の円周方向に曲げ振動の進行波全作ることができ
る。一般に進行波は振幅全ξとすればξ＝ξｏ −ｃｏ
ｓ （ωｔ −ｋｘ） ・−（２）で表せる。（
２）式は ξ＝ξＯ・（ｃａｓ（ωｔ） ・ｃｃｓ（ｋＸ）＋５ｉ
ｎ（ωｔ ） ・ｓｊ＋＋（ｋＸ ）”’ ｅ３）と書
き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ／２だけ位相の
ずれた彼房（ωｔ）と５ｉｎ（ωｔ）、および位置的に
π／２だけ位相のずｎたｃｏｓ（ｋＸ）とｓｉｎ （ｋ
ｘ ）との、そ扛ぞｎの積の和で得られることを示して
いる。前述の説明より、圧電体２は互いに位置的にπ／
２（＝λ／４）だけ位相のず九た電極群人。
ものである。前記圧電体２の電極群ＡにＶｏ −ｓｉｎ
（ωｔ） 、電極群ＢＶＣｖＯ−ＣＯ８（ωｔ）ノ互
いに位相がπ／２ だけず扛だ電圧全印加す汎ば１、駆
動体３の円周方向に曲げ振動の進行波全作ることができ
る。一般に進行波は振幅全ξとすればξ＝ξｏ −ｃｏ
ｓ （ωｔ −ｋｘ） ・−（２）で表せる。（
２）式は ξ＝ξＯ・（ｃａｓ（ωｔ） ・ｃｃｓ（ｋＸ）＋５ｉ
ｎ（ωｔ ） ・ｓｊ＋＋（ｋＸ ）”’ ｅ３）と書
き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ／２だけ位相の
ずれた彼房（ωｔ）と５ｉｎ（ωｔ）、および位置的に
π／２だけ位相のずｎたｃｏｓ（ｋＸ）とｓｉｎ （ｋ
ｘ ）との、そ扛ぞｎの積の和で得られることを示して
いる。前述の説明より、圧電体２は互いに位置的にπ／
２（＝λ／４）だけ位相のず九た電極群人。
Ｂｉ持っているので、前記電極群のそれぞ汎にπ／２だ
け位相のずｎた電圧全印加すｎば、駆動体３に曲げ振動
の進行波全作扛る。
け位相のずｎた電圧全印加すｎば、駆動体３に曲げ振動
の進行波全作扛る。
第６図は駆動体３の表面ム点が進行波の励起により、長
軸２ｗ、短軸２ｕの楕円運動をしている様子を示し、駆
動体３上に置かれた動体６が楕円の頂点で接触すること
により、波の進行方向とは逆方向にＶ＝ω・Ｕの速度で
運動する様子を示している。即ち、動体６は任意の静圧
で駆動体３に押し付けられて、駆動体３の表面に接触し
、動体６と、駆動体３との岸俤力で波の進行方向と逆方
向に速度マで駆動される。両者の間に滑ジがある時には
、速度は上記のｖ、Ｊ：りも小さ・くなる。
軸２ｗ、短軸２ｕの楕円運動をしている様子を示し、駆
動体３上に置かれた動体６が楕円の頂点で接触すること
により、波の進行方向とは逆方向にＶ＝ω・Ｕの速度で
運動する様子を示している。即ち、動体６は任意の静圧
で駆動体３に押し付けられて、駆動体３の表面に接触し
、動体６と、駆動体３との岸俤力で波の進行方向と逆方
向に速度マで駆動される。両者の間に滑ジがある時には
、速度は上記のｖ、Ｊ：りも小さ・くなる。
発明が解決しようとする問題点
動体６の速度Ｖは、
ｖ＝ωｕｏＣωξｏ ｈ ・・・−（
４）で表わせ、駆動体３の県幅値ξ０ と距離りに比例
する。振幅値ξ０は圧電セラミックの許容歪限界値にエ
リ最大貞が決１す、距離りは駆動体３全構成する圧電体
２と弾性体１の材料と厚みが決まれば決定されるので、
動体６の最大速度は決まり、それ以上大きな値を得るこ
とは困難である。
４）で表わせ、駆動体３の県幅値ξ０ と距離りに比例
する。振幅値ξ０は圧電セラミックの許容歪限界値にエ
リ最大貞が決１す、距離りは駆動体３全構成する圧電体
２と弾性体１の材料と厚みが決まれば決定されるので、
動体６の最大速度は決まり、それ以上大きな値を得るこ
とは困難である。
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、簡単な構成
で動体θの速度が大きい超音波モータを提供することを
目的としている。
で動体θの速度が大きい超音波モータを提供することを
目的としている。
問題点を解決するための手段
駆動体に励起される弾性進行波を構成する２つの弾性定
在波の腹の位置を避けて、該弾性進行波の１波長あたり
に４の整数借倒の突起体を、該駆動体３を構成する弾性
体の動体との接触面側に配置し、該突起体の先端部に接
触するように該動体を加圧して設ける。
在波の腹の位置を避けて、該弾性進行波の１波長あたり
に４の整数借倒の突起体を、該駆動体３を構成する弾性
体の動体との接触面側に配置し、該突起体の先端部に接
触するように該動体を加圧して設ける。
作用
駆動体に励起される弾性進行波を構成する２つの定在波
の励起をさまたげることなく、中性面と接触表面との距
離を大きくすることにより、動体の速度を犬きくするこ
とができる。
の励起をさまたげることなく、中性面と接触表面との距
離を大きくすることにより、動体の速度を犬きくするこ
とができる。
実施例
以下、図に従って本発明の１実施例について説明する。
第１図は本発明の１実施例の超音波モータの切欠き斜視
図である。同図において、７は駆動体３を構成する弾性
体１の動体６との接触面側に設けられた突起体であり、
突起体７の先端に動体６がスライダ４全介して加圧接触
して配置される。圧電セラミック２に駆動体３の共振周
彼数近傍の交番電界が印加されると、駆動体３に曲げ振
動の進行波が励起され、突起体７にエリ動体６を移動す
る。
図である。同図において、７は駆動体３を構成する弾性
体１の動体６との接触面側に設けられた突起体であり、
突起体７の先端に動体６がスライダ４全介して加圧接触
して配置される。圧電セラミック２に駆動体３の共振周
彼数近傍の交番電界が印加されると、駆動体３に曲げ振
動の進行波が励起され、突起体７にエリ動体６を移動す
る。
第２図は第１図における駆動体３を説明のために直線化
した時の断面図である。同図中の電極群人には癲彼の電
圧が印加され、電極群Ｂにはａｓｇの電圧が印加され、
駆動体３に曲げ振動の定在波である同図中のム’、Ｂ”
ｉそれぞれ作る。この２つの定在波ム′、Ｂ′は重畳し
て進行波を作る。
した時の断面図である。同図中の電極群人には癲彼の電
圧が印加され、電極群Ｂにはａｓｇの電圧が印加され、
駆動体３に曲げ振動の定在波である同図中のム’、Ｂ”
ｉそれぞれ作る。この２つの定在波ム′、Ｂ′は重畳し
て進行波を作る。
突起物７がない時の中性面は図中のＬで示される位置に
あり、中性面りと動体６との接触面までの距離はｈとな
る。弾性体１の表面に突起体７を設けた場合、中性面の
位置の変化は接触面までの距離の変化に比べて小さい。
あり、中性面りと動体６との接触面までの距離はｈとな
る。弾性体１の表面に突起体７を設けた場合、中性面の
位置の変化は接触面までの距離の変化に比べて小さい。
突起体７設置後の中性面の位置ヲＬ′で示し、中性面か
ら接触面までの距離全ｈ′で示している。つまり圧電セ
ラミック２の中性面からの距離が遠くなって、圧電セラ
ミック２の許容限界内の歪率での振幅ξ０が小さくなる
エリも、距離りの大きくなる効果が大きいので、（４）
式エリ大きな速度が得られることがわかる。
ら接触面までの距離全ｈ′で示している。つまり圧電セ
ラミック２の中性面からの距離が遠くなって、圧電セラ
ミック２の許容限界内の歪率での振幅ξ０が小さくなる
エリも、距離りの大きくなる効果が大きいので、（４）
式エリ大きな速度が得られることがわかる。
突起物７の所での曲げ剛性は大きく、突起体７のない所
での曲げ剛性は小さい。従って、もし曲げ振動の進行波
を作る２つの定在波Ａ’ 、 Ｂ／の腹の位置に突起体
７がくれば、この位置は実際には曲がりにくいので、定
在波の腹の位置が曲がりゃすい所に変わり、電極位置か
ら見た最適の定在肢位はと異なり効率的な駆動ができな
くなる。故に、第２図に示したように、定住波Ａ’、Ｂ
’ の服の位置に突起体７がこないように設置すれば効
率の良い駆動ができる。この条件ヲ調だすには、１波長
あたり１または２個の突起体を作ることも考えられるが
、この場合には駆動体３の曲げ振動の進行波の横方向成
分が動体６に定常的に伝えられなくなり、動体６の移動
速度はかえって減少する。
での曲げ剛性は小さい。従って、もし曲げ振動の進行波
を作る２つの定在波Ａ’ 、 Ｂ／の腹の位置に突起体
７がくれば、この位置は実際には曲がりにくいので、定
在波の腹の位置が曲がりゃすい所に変わり、電極位置か
ら見た最適の定在肢位はと異なり効率的な駆動ができな
くなる。故に、第２図に示したように、定住波Ａ’、Ｂ
’ の服の位置に突起体７がこないように設置すれば効
率の良い駆動ができる。この条件ヲ調だすには、１波長
あたり１または２個の突起体を作ることも考えられるが
、この場合には駆動体３の曲げ振動の進行波の横方向成
分が動体６に定常的に伝えられなくなり、動体６の移動
速度はかえって減少する。
尚、本実施例では円環形の超音波モータを例にとりて説
明したが、弾性進行波を使りたものなら他の超音波モー
タにも同様の効果が得られる。
明したが、弾性進行波を使りたものなら他の超音波モー
タにも同様の効果が得られる。
発明の効果
本発明によれば、藺単な構成で、大きな速度金得ること
ができる超音波モータを提供できる。
ができる超音波モータを提供できる。
第１図は本発明の１実施例の超音波モータの切欠き斜視
図、第２図は第１図の実施例における駆動体の直線化モ
デル図、第３図は従来の円環形超音波モータの切欠き斜
視図、第４図は第３図の超音波モータに用いられている
圧電体の電極構造金示す平面図、第５図は超音波モータ
の駆動体の振動状態を示すモデル図、第６図は超音波モ
ータの原理説明図である。 １・・・・・・弾性体、２・・・・・・圧電体、３°゛
°°°駆動体、４・・・・・スライダ、６・・・・・弾
性体、６・・・・・・動体、了・・・・・・突起体。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１ 図 第２図 Ｂ′ 第３図 第 ４ 図 第５図 第６図
図、第２図は第１図の実施例における駆動体の直線化モ
デル図、第３図は従来の円環形超音波モータの切欠き斜
視図、第４図は第３図の超音波モータに用いられている
圧電体の電極構造金示す平面図、第５図は超音波モータ
の駆動体の振動状態を示すモデル図、第６図は超音波モ
ータの原理説明図である。 １・・・・・・弾性体、２・・・・・・圧電体、３°゛
°°°駆動体、４・・・・・スライダ、６・・・・・弾
性体、６・・・・・・動体、了・・・・・・突起体。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１ 図 第２図 Ｂ′ 第３図 第 ４ 図 第５図 第６図
Claims (1)
- 弾性体と圧電体とから成る駆動体に弾性進行波を励起す
ることにより、上記駆動体上に接触して設置された動体
を移動させる超音波モータにおいて、該弾性体の動体と
の接触面上に突起体を設けて、該突起体の先端が該動体
と接触するように配置し、該突起体の数が該進行波の１
波長あたりに対して４の整数倍個であり、上記弾性進行
波を構成する２つの弾性定在波の腹の位置を外れた位置
に該突起体を配置したことを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034624A JPS62193569A (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | 超音波モ−タ |
| DE8787901637T DE3782301T2 (de) | 1986-02-18 | 1987-02-17 | Ultraschallmotor. |
| PCT/JP1987/000102 WO1987005166A1 (en) | 1986-02-18 | 1987-02-17 | Ultrasonic motor |
| US07/126,105 US4829209A (en) | 1986-02-18 | 1987-02-17 | Ultrasonic motor with stator projections and at least two concentric rings of electrodes |
| EP87901637A EP0258449B1 (en) | 1986-02-18 | 1987-02-17 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034624A JPS62193569A (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | 超音波モ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62193569A true JPS62193569A (ja) | 1987-08-25 |
| JPH0519393B2 JPH0519393B2 (ja) | 1993-03-16 |
Family
ID=12419544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61034624A Granted JPS62193569A (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | 超音波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62193569A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6477482A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-23 | Nec Corp | Ultrasonic motor |
| JPH02214477A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-27 | Canon Inc | 振動波装置 |
| JPH02219475A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-09-03 | Canon Inc | 振動波装置 |
| US5798598A (en) * | 1993-10-13 | 1998-08-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven device |
| JP2010093939A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Mitsuba Corp | 電動モータ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55125052A (en) * | 1979-03-19 | 1980-09-26 | Toshio Sashita | Motor equipment utilizing ultrasonic vibration |
| JPS59201685A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-15 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS6096183A (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-29 | Canon Inc | 振動波モータ |
-
1986
- 1986-02-18 JP JP61034624A patent/JPS62193569A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS55125052A (en) * | 1979-03-19 | 1980-09-26 | Toshio Sashita | Motor equipment utilizing ultrasonic vibration |
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| JPH02214477A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-27 | Canon Inc | 振動波装置 |
| JPH02219475A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-09-03 | Canon Inc | 振動波装置 |
| US5798598A (en) * | 1993-10-13 | 1998-08-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven device |
| JP2010093939A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Mitsuba Corp | 電動モータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519393B2 (ja) | 1993-03-16 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |