JPS62179126A - マイクロ・ウエ−ブ用プロ−ブカ−ド - Google Patents
マイクロ・ウエ−ブ用プロ−ブカ−ドInfo
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- JPS62179126A JPS62179126A JP61021054A JP2105486A JPS62179126A JP S62179126 A JPS62179126 A JP S62179126A JP 61021054 A JP61021054 A JP 61021054A JP 2105486 A JP2105486 A JP 2105486A JP S62179126 A JPS62179126 A JP S62179126A
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- Japan
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- probe
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- high frequency
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Links
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
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Landscapes
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はマイクロ・ウェーブ用プローブカードに関する
。
。
〈従来技術〉
例えば半導体ウェハー上に形成された、リード線未装着
状態にある集積回路の特性を検査する場合、対象集積回
路と、外部に準備されたテスターと呼ばれる測定装置と
の間の電気接続には、集積回路上の端子部に接触させる
探針と、その探針に電気接続を有する電路とが絶縁基板
上に配設されてなるプローブ・カードが一般に用いられ
る。
状態にある集積回路の特性を検査する場合、対象集積回
路と、外部に準備されたテスターと呼ばれる測定装置と
の間の電気接続には、集積回路上の端子部に接触させる
探針と、その探針に電気接続を有する電路とが絶縁基板
上に配設されてなるプローブ・カードが一般に用いられ
る。
第5図は、このような従来のプローブ・カードの一例の
断面を示す。絶縁基板21の中央に設けた開口部22の
まわりに多数の探針25が、合成+M脂復製接着剤4に
よって探針支持リング23に固着支持され、放射状に配
設されている。これら探針25の先端部25aは対象集
積回路上の端子配列パターンに対応した配列を有し、各
探針の根元の部分は絶縁基板2Iにプリント配線された
リード回路27にハンダ26によって電気接続されてい
る。各リード回路27は絶縁基板21の周縁部(図示せ
ず)において、端子またはソケットを介して測定装置に
電気接続されるようになっている。以上のようなプロー
ブ・カードの構成において、探針25の先端部25aを
集積回路上の対応する端子部に接触させることにより、
集積回路と測定装置の間に電気接続を実現することがで
きる。
断面を示す。絶縁基板21の中央に設けた開口部22の
まわりに多数の探針25が、合成+M脂復製接着剤4に
よって探針支持リング23に固着支持され、放射状に配
設されている。これら探針25の先端部25aは対象集
積回路上の端子配列パターンに対応した配列を有し、各
探針の根元の部分は絶縁基板2Iにプリント配線された
リード回路27にハンダ26によって電気接続されてい
る。各リード回路27は絶縁基板21の周縁部(図示せ
ず)において、端子またはソケットを介して測定装置に
電気接続されるようになっている。以上のようなプロー
ブ・カードの構成において、探針25の先端部25aを
集積回路上の対応する端子部に接触させることにより、
集積回路と測定装置の間に電気接続を実現することがで
きる。
なお、基板中央の開口22は、集積回路の端子部と探針
の先端25aとの間の接触状況を基板上方より監視・確
認するために設けられている。
の先端25aとの間の接触状況を基板上方より監視・確
認するために設けられている。
ところで上記のようなプローブ・カードでは、取り扱う
電気信号の周波数が高くなると、探針15とプリント配
線によるリード回路27から成る各電路間の静電容量や
、ハンダ付部26における信号波の反射等が無視できな
くなり、MHzオーダ以上の高周波信号を処理する集積
回路の特性検査には使用できなくなる。このような場合
には、例えば、本発明の出願が先に実願昭59−690
2および同59−26576において提案しているよう
な、探針部とリード回路部に同軸ケーブルを用いたプロ
ーブ・カードが用いられる。
電気信号の周波数が高くなると、探針15とプリント配
線によるリード回路27から成る各電路間の静電容量や
、ハンダ付部26における信号波の反射等が無視できな
くなり、MHzオーダ以上の高周波信号を処理する集積
回路の特性検査には使用できなくなる。このような場合
には、例えば、本発明の出願が先に実願昭59−690
2および同59−26576において提案しているよう
な、探針部とリード回路部に同軸ケーブルを用いたプロ
ーブ・カードが用いられる。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところで最近では、ますます高い周波数の信号を取り扱
う集積回路が開発され、その周波数はGHzのオーダー
に達している。このように周波数が高くなると、第5図
に示したようなプローブ・カードは勿論のこと、電路に
同軸ケーブルを用いたプローブ・カードも、第6図に示
すように、同軸ケーブル11の芯線を利用した探針先端
部11aが露出しているため、その露出部を介しての電
気誘導が問題となり使用できなくなる。なお、同図にお
いて参照番号12と13は、それぞれ、半導体チップの
基板部とその上に形成された集積回路の端子部を示して
いる。
う集積回路が開発され、その周波数はGHzのオーダー
に達している。このように周波数が高くなると、第5図
に示したようなプローブ・カードは勿論のこと、電路に
同軸ケーブルを用いたプローブ・カードも、第6図に示
すように、同軸ケーブル11の芯線を利用した探針先端
部11aが露出しているため、その露出部を介しての電
気誘導が問題となり使用できなくなる。なお、同図にお
いて参照番号12と13は、それぞれ、半導体チップの
基板部とその上に形成された集積回路の端子部を示して
いる。
本発明は従来技術のプローブ・カードが有する上記のよ
うな問題に解決を与える。
うな問題に解決を与える。
〈問題点を解決するための手段〉
問題解決のため、本発明によるマイクロ・ウェーブ用プ
ローブ・カードにおいては、探針部にストリップ・ライ
ン型フィーダーを用いている。
ローブ・カードにおいては、探針部にストリップ・ライ
ン型フィーダーを用いている。
〈作用〉
ストリップ・ライン型フィーダーを探針に用いれば、同
軸ケーブルの芯線に相当するストリップ・ラインの先端
を、同ストリップ・ラインを覆っているシールド側金属
板より先に突出露呈させることなく対象11回路の端子
位置まで導くことができる。このため、シールド側金属
板が、ストリフプ・ラインの先端部までを完全に電気遮
蔽する。
軸ケーブルの芯線に相当するストリップ・ラインの先端
を、同ストリップ・ラインを覆っているシールド側金属
板より先に突出露呈させることなく対象11回路の端子
位置まで導くことができる。このため、シールド側金属
板が、ストリフプ・ラインの先端部までを完全に電気遮
蔽する。
〈実施例〉
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明実施例の構成を示す断面図である。図に
おいて、枠体7に保持された基板5には、シールド効果
をもたせるため、アルミニューム等の金属板が用いられ
ている。この基板5はその中央部に開口6を有し、その
囲りに、セラミック等の絶縁材料から成る探針支持リン
グ4に支持されて、探針1および3が放射状に配設され
ている。
おいて、枠体7に保持された基板5には、シールド効果
をもたせるため、アルミニューム等の金属板が用いられ
ている。この基板5はその中央部に開口6を有し、その
囲りに、セラミック等の絶縁材料から成る探針支持リン
グ4に支持されて、探針1および3が放射状に配設され
ている。
これら探針のうち参照番号3で示されるものは、直流ま
たは低周波の信号に係わる探針で第5図に示されている
探針と同様、弾力性を有する全屈ワイヤでできている。
たは低周波の信号に係わる探針で第5図に示されている
探針と同様、弾力性を有する全屈ワイヤでできている。
参照番号lで示した探針が本発明の特徴をなす、ストリ
ップ・ライン型フィーダーを用いた探針であうで、その
詳細は第2図および第3図を用いて説明する。なお探針
lは同軸ケーブル2およびケーブル・コネクタ8を介し
て外部の測定装置に電気的に接続されるようになってい
る。
ップ・ライン型フィーダーを用いた探針であうで、その
詳細は第2図および第3図を用いて説明する。なお探針
lは同軸ケーブル2およびケーブル・コネクタ8を介し
て外部の測定装置に電気的に接続されるようになってい
る。
次にストリップ・ライン型フィーダーを用いた探針1の
構成を、その全体像を示す部分切欠斜視図である第2図
と、同探針の先端部分を示す部分側面図である第3図を
用いて説明する。両図において参照番号1bは誘電損失
の小さい軟質の板状誘電体(例えば住人電工製の3Mエ
プシラム10、厚さ0.25mm)を示し、その上面に
は弾性に冨んだ金属板1a(例えばベリリウム−銅合金
)が全面に貼付され、下面にはその長平方向中央線に沿
って全長にわたり、ストリップ・ラインとしての銅箔I
C(図では厚みを強調して画かれている)が貼付されて
、全体でストリップ・ライン型フィーダーを形成してい
る。さらにストリップ・ライン(銅箔1c)の先端には
集積回路の端子に接触させるべく、探針先端部としての
金属製突起1dが設けられている。
構成を、その全体像を示す部分切欠斜視図である第2図
と、同探針の先端部分を示す部分側面図である第3図を
用いて説明する。両図において参照番号1bは誘電損失
の小さい軟質の板状誘電体(例えば住人電工製の3Mエ
プシラム10、厚さ0.25mm)を示し、その上面に
は弾性に冨んだ金属板1a(例えばベリリウム−銅合金
)が全面に貼付され、下面にはその長平方向中央線に沿
って全長にわたり、ストリップ・ラインとしての銅箔I
C(図では厚みを強調して画かれている)が貼付されて
、全体でストリップ・ライン型フィーダーを形成してい
る。さらにストリップ・ライン(銅箔1c)の先端には
集積回路の端子に接触させるべく、探針先端部としての
金属製突起1dが設けられている。
以上において、同軸ケーブルのシールド側導体に相当す
る金属板1aに弾性に富んだ材料を選んだのは探針郡全
体にスプリング効果を持たせ、集積回路の端子と上記金
属製突起との確実な接触を保証するためである。第4図
は、このようなストリップ・ライン型フィーダーによる
探針1を、半導体チップ基板120面上に形成された集
禎回端子部13に接触させた状況を示す図であって、探
針先端部の金属突起1dと上記端子部13との接触圧に
よりフィーダーに撓みが生じている。また、この図から
もわかるように、ストリップ・ライン1cの先端に設け
た金属突起1dの部分も、その上側はシールド側導体で
ある金属板1aによって完全に覆われ、シールドされて
いる。従って、GHzオーダーの高周波信号を取り扱っ
ても、探針に同軸ケーブルを用いた場合(第6図参照)
のように、探針の先端部を通じて好ましからざる電気誘
導が生ずることはない。
る金属板1aに弾性に富んだ材料を選んだのは探針郡全
体にスプリング効果を持たせ、集積回路の端子と上記金
属製突起との確実な接触を保証するためである。第4図
は、このようなストリップ・ライン型フィーダーによる
探針1を、半導体チップ基板120面上に形成された集
禎回端子部13に接触させた状況を示す図であって、探
針先端部の金属突起1dと上記端子部13との接触圧に
よりフィーダーに撓みが生じている。また、この図から
もわかるように、ストリップ・ライン1cの先端に設け
た金属突起1dの部分も、その上側はシールド側導体で
ある金属板1aによって完全に覆われ、シールドされて
いる。従って、GHzオーダーの高周波信号を取り扱っ
ても、探針に同軸ケーブルを用いた場合(第6図参照)
のように、探針の先端部を通じて好ましからざる電気誘
導が生ずることはない。
なお本発明は、第1図において同軸ケーブル2を使用し
たリード回路部を、ストリップ・ライン型フィーダーで
探針1の部分と一体に構成することができるのは勿論で
ある。
たリード回路部を、ストリップ・ライン型フィーダーで
探針1の部分と一体に構成することができるのは勿論で
ある。
〈発明の効果〉
以上の説明かられかるように、本発明によれば、検査対
象集積回路の高周波信号入出力端子に、ストリップ・ラ
イン型フィーダーを用いた探針を対応させることによっ
て、マイクロウェーブ用集積回路の特性検査が可能とな
る。
象集積回路の高周波信号入出力端子に、ストリップ・ラ
イン型フィーダーを用いた探針を対応させることによっ
て、マイクロウェーブ用集積回路の特性検査が可能とな
る。
第1図は本発明実施例の全体構成を示す断面図である。
第2図は上記実施例において探針として用いた、ストリ
ップ・ライン型フィーダーの全体構成を示す部分切欠斜
視図である。第3図は上記ストリップ・ライン型フィー
ダーの先端部を示す部分側面図である。第4図は探針と
しての上記ストリップ型フィーダーの、集積回路端子に
対する接触状況を示す図である。第5図は従来技術によ
るプローブ・カードの構成を示す断面図である。 第6図は同軸ケーブルを用いた探針の、築禎回路端子に
対する接触状況を示す図である。 ■・−・ストリップ・ライン型フィーダーを用いた探針 2−同軸ケーブル(リード回路) 5−プローブ・カード基板 1a・−金属板 1b・−誘電体 1c・−銅箔(ストリップ・ライン) 1d−・金属製突起
ップ・ライン型フィーダーの全体構成を示す部分切欠斜
視図である。第3図は上記ストリップ・ライン型フィー
ダーの先端部を示す部分側面図である。第4図は探針と
しての上記ストリップ型フィーダーの、集積回路端子に
対する接触状況を示す図である。第5図は従来技術によ
るプローブ・カードの構成を示す断面図である。 第6図は同軸ケーブルを用いた探針の、築禎回路端子に
対する接触状況を示す図である。 ■・−・ストリップ・ライン型フィーダーを用いた探針 2−同軸ケーブル(リード回路) 5−プローブ・カード基板 1a・−金属板 1b・−誘電体 1c・−銅箔(ストリップ・ライン) 1d−・金属製突起
Claims (3)
- (1)探針と、この探針に電気接続を有するリード回路
で構成された複数個の電流入出力電路が共通の基板に装
着されて成り、リード線未装着の状態で集積回路を外部
回路に電気接続するためのプローブ・カードであって、
上記複数個の電流入出力電路の少なくとも1つが高周波
電流を流すための高周波電流入出力電路として用いられ
、この高周波電流入出力電路において上記探針が弾性を
有する高周波用ストリップ・ライン型フィーダーで構成
され、かつ、上記リード回路が同軸ケーブルで構成され
ていることを特徴とする、マイクロ・ウェーブ用プロー
ブカード。 - (2)上記高周波電流入出力電路において、上記探針と
上記リード回路が、一体に形成された共通の、弾性を有
する高周波用ストリップ・ライン型フィーダーで構成さ
れていることを特徴とする、特許請求の範囲第1項記載
の、マイクロ・ウェーブ用プローブカード。 - (3)上記の、弾性を有する高周波用ストリップ・ライ
ン型フィーダーが、長方形の板状誘電体と、この板状誘
電体の一方の面上に貼付された弾性に富む金属板と、上
記板状誘電体の他方の面上にその長手方向に貼付された
線状金属体と、この線状金属体の先端に設けられた金属
製突起から成り、上記金属板の弾性が当該ストリップ・
ライン型フィーダーの全体に弾性を付与していることを
特徴とする、特許請求の範囲第1項および第2項に記載
の、マイクロ・ウェーブ用プローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61021054A JPS62179126A (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | マイクロ・ウエ−ブ用プロ−ブカ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61021054A JPS62179126A (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | マイクロ・ウエ−ブ用プロ−ブカ−ド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62179126A true JPS62179126A (ja) | 1987-08-06 |
Family
ID=12044194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61021054A Pending JPS62179126A (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | マイクロ・ウエ−ブ用プロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62179126A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02257444A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-10-18 | Canon Inc | 情報記録媒体及び記録・再生方法 |
JP2007502429A (ja) * | 2003-05-23 | 2007-02-08 | カスケード マイクロテック インコーポレイテッド | デバイス試験用のプローブ |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5130904U (ja) * | 1974-08-28 | 1976-03-05 | ||
JPS59215737A (ja) * | 1983-05-23 | 1984-12-05 | Hitachi Ltd | 高速信号測定装置 |
JPS60260861A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-24 | Hitachi Ltd | プロ−ブ |
-
1986
- 1986-01-31 JP JP61021054A patent/JPS62179126A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5130904U (ja) * | 1974-08-28 | 1976-03-05 | ||
JPS59215737A (ja) * | 1983-05-23 | 1984-12-05 | Hitachi Ltd | 高速信号測定装置 |
JPS60260861A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-24 | Hitachi Ltd | プロ−ブ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02257444A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-10-18 | Canon Inc | 情報記録媒体及び記録・再生方法 |
JP2007502429A (ja) * | 2003-05-23 | 2007-02-08 | カスケード マイクロテック インコーポレイテッド | デバイス試験用のプローブ |
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