JPS62154244A - 光学記録媒体 - Google Patents

光学記録媒体

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JPS62154244A
JPS62154244A JP60294552A JP29455285A JPS62154244A JP S62154244 A JPS62154244 A JP S62154244A JP 60294552 A JP60294552 A JP 60294552A JP 29455285 A JP29455285 A JP 29455285A JP S62154244 A JPS62154244 A JP S62154244A
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JP
Japan
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optical recording
plasma
film
recording medium
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP60294552A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuro Nishikawa
西川 康郎
Yonosuke Takahashi
高橋 洋之介
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、元を用いて情報の記録・再生の動作を行なう
光学記録装置に使用されb光学記録媒体に関し、特に保
存安定性に優れる光学記録媒体に関する。
〔従来技術〕
近年、He −N eレーサー、Arレーザー、半導体
レーザー等を用いて記録が可能な薄膜上に、光学的に情
報の記録、再生を行なう方法、即ち光学記録方式が高密
度化、およびアクセスの高速度化が可能な方式として注
目され、産業界において重点的に研究開発が推進されて
いる。
光学記録方式は、一般にレーザー光を薄膜状の記録媒体
上に集光させ、局部的に昇温させることにより記録層の
光学的性′R(反射率、透過率、屈折率)1に:変化さ
ぞたり、または記録層の融解、変形、蒸発、除去のいず
れかを行わせることにより情報の書き込みを行わせるも
のである。
光学記録媒体rよ通常、ガラスやポリカーボネート、エ
ポキシ樹脂、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロ
ニトリル、ポリベンテン等の基板を用いる。記録層とし
てはTe、Sn、In、Au、Ag、Pt、Ss、As
、Bi、At、Ga、Mo、Pb、Cu、Sn、Zn、
Ni、Ti、Sb、B等の元素の一成分あるいは二成分
以上から成る薄膜を真空蒸着法、スパッタリング法等に
より形成したものである。
記録層が完全KW出していると、大気中の酸素や水分に
より酸化される、あるいは塵挨の付着や人体との接触に
より変質する等の問題がある。また露出していなくても
、基板表面から脱着してくる水分子や、基板の内部から
発生し表面から放出される微量のガスによシ変質しやす
い。ま之このような問題の比較的少なり両面タイプの記
録媒体の場合は対称な一枚の記録媒体を貼り合わせる為
の接着剤(熱硬化性あるいは放射線硬化性樹脂がしばし
ば用いられる)から発生するモノマーをはじめとする反
応性低分子化合物によっても変質を受けやすく、大きな
間粗となっている。これらの問題;て対処するため、記
録層の下地及び/又は表面に紫外線硬化保護層等の保護
膜を設ける試みが行われている(%開昭jA−/6り2
.31号)。
しかしながら従来のこうし几試みでは保、!膜の水をは
じめ低分子化合物やイオンに対するバリヤー性が不十分
であり、高温高湿下での経時による変質等といまだ完全
には防11−できていない。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明者らは、前記問題点に鑑み鋭意研究し几結果、本
発明に到達し次。すなわち、本発明の目的は、冒温高湿
下での経時で記録・再生特注の劣化の少ない光学記録媒
体を提供するにある。
〔発明を達成する友めの手段〕
本発明は、基板上に金属、牛舎Aと主体とするレーザー
記録可能な光学記」1dを有する光学記録媒体において
、該光学記録層の少なくとも上圃にプラズマ重合層が設
けられていることを特徴とする光学記録媒体に関する。
本発明において使用される透明基板としてはガラス、ポ
リカーボネート、ポリアクリロニトリル、ポリメタクリ
ル酸メチルやエポキシ樹脂、ポリRンテン等がめげられ
る。
記録層としては、To、Sn、II、Au、Ag、Pt
、Se、As、Bi、A L、 G a 、 ivl 
o、B、Sb、pb、cu、zn、Ni、Ti等の金属
の一成分あるいは二成分以上から成る薄膜が用いられる
。まf(これらの金層は、GeS、Ge52、SnS、
In2S3.At2S3、Ga2S3.等の金層硫化物
、Mob、MoO2、WOlWOa、In01In20
3、Gem、GeO2、Sin、SiO2、At203
.5n02等の金属酸化物、その他金属のフッ化物、ケ
イ素化物、窒化物等と積層もしくは混合されていてもよ
い。
本発明における記録層の光学的性質をひき起こす物理的
、化学的現象としてV′i種々の現象を利用することが
できる。結晶状態の記録薄膜にレーザー光を集光・昇温
させることによる非晶質状態への相転移、あるいは逆に
非晶質状態から結晶状態への相転移を利用できる。更に
は、非晶質状態と結晶状態の間をレーザー光により可逆
的に行わせることKより、情報の記録・再生・消去を繰
返し行わせることも可能である。このような非晶質状態
と結晶状態の相変化を行わせる記録層としては、Te、
Se、As、Ge、Ga、En、B、Sb、S、Pb、
Sn等の元素の一成分あるいは二成分以上から成る記録
層を用いることができる。
特に本発明には、特公昭!l−≠/り0d号公報に記載
されている記録層を好適に用いることができる。
ま几、本発明では結晶状態の薄膜がレーザー光集光によ
り別の結晶状態へ変化する性質を有する記録層を用いる
ことができる。この異種の結晶間の変化は可逆的であっ
てもよい。このような性質を有する記録層としてはAg
−Zn、5eInSb、InSb等の合金が好適に用い
られる。
更に、%開昭60−jλ/JO号公報に開示されている
マルテンサイト変態を起こす合金薄膜も使用可能である
これら本発明に用いられる記録層は、抵抗加熱蒸着法、
電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、メッキ法等、公
矧の方法を適宜用いて設けることができる。
透明基板の厚さはo、  j鴎〜3111であり、また
記録層の厚さは0.o/〜o、rμmである。
本発明の具体的な実施態様は、基板上に設けられた記録
層の少なくとも上側にプラズマ重合膜が設けられている
ことを特徴とする。本発明の目的を達成する上で、記録
Imの上側のみならず、記録層の下側に設けることも必
要に厄じて好適に行なわれる。
プラズマ重合層の厚みは10〜〜012μmが好ましく
、更に好壕しくに、100A−600にである。厚みが
、tOA以下では、低分子化合物の透過に対するバリヤ
ー性が十分でないため好ましくない。また0、2μm以
上の膜を設けるのは膜形成に長時間を要し、実用上この
ましくない。
本発明によるプラズマ1合1%の形成に用いる化合物(
以下モノマーと称する)としては、200C110’T
orrで蒸気圧を有−rるものなら使用可能であるが、
沸点がλoo”c以下のものが好ましい。特に好ましい
例として下記のものを上げることができる。すなわち、
メタン、エタン、プロパン、ブタン、はシラン、ヘキサ
ン、オクタン、ヘプタン等の脂肪族飽和炭化水素、エチ
レン、プロピレン、シラン、ヘキセン、フタジエン、ヘ
キサトリエン、アセチレン等の脂肪族不飽和炭化水素、
ベンゼン、トルエン、nl−キシレン、O−キシレン、
p−キシレン、エチルベンゼン、スチレン、ナフタレン
等の芳香族化合物、シクロプロ・ぐン、シクロブタン、
シクロはシラン、シクロヘキサン、シクロへペタン、シ
クロオクタン、シクロノナン、シクロデカン等の飽和環
状炭化水素、シクロブテン、シクロはシラン、シクロヘ
キセン、シクロヘプテン等の部分的に飽和の環状炭化水
素等である。ま友テトラフルオロメタン、ジフルオロエ
タン、クロロトリフルオロエタン、テトラフルオロエチ
レン、ジフルオロエチレン、ヘキサフルオロブタジェン
、メタキシレンへキサフルオライド、オクタフルオロシ
クロブタン等のフッ化ま′fi−は塩化炭化水素なども
用いられる。飽和ハロカーボンの場合は、分子中の水素
原子数がハロゲン原子数より多くないと重合が起こりK
〈いが、より水素を多く含むモノマーガスとの混用で重
合させることができる。またアルコール類、ケトン類、
エーテル類、脂肪酸類等も用いることができる。
モノマーガスとしては、以上に例示しtもの等を単独ま
たは混合して用いることができる。
またシラン化合物も用いることができる。
これらのうち、より好ましい唾のはエチレン、プロピレ
ン、シラン、ヘキセン、フタジエン、ヘキサ) IJエ
タンアセチレン等の脂肪族不飽和炭化水素、ベンゼン、
トルエン、m−キシレン、〇−キシレン、p−キシレン
、エチルベンゼン、スチレン、ナフタレン等の芳香族化
合物、シクロデカン(ン、シクロブタン、シクロはン゛
タン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタ
ン、シクロノナン、シクロデカン等の飽和環状炭化水素
、シクロブテン、シクロはシラン、シクロヘキセン、シ
クロヘプテン等の部分的に飽和の環状炭化水素、ジメチ
ルジビニルシラン、ジアリルジメチルシラン等の不飽和
アルキル基をもつシラン化合物等である。
さらに好ましくはエチレン、プロピレン、ブテン、ヘキ
セン、ブタジェン、ヘキサトリエン、アセチレン等の脂
肪族不飽和炭化水素であり、下記一般式で示される。
本発明に用いられるプラズマ重合膜は以下のようにして
形成される。すなわち、七ツマーガスを用い、後で述べ
るような方法によってプラズマを発生させこのプラズマ
を記録層表面K(特許請求の範囲第(2)項に示すごと
く基板と記録層の中間にプラズマ重合膜をもうける際は
、基板表面に)作用させることにエリプラズマ重合膜を
形成する1゜このときにモノマーガス以外にアルゴン、
ネオン、クリプトン、キセノン等の不活性ガスを加えて
もよい。
プラズマ重合処理の装置としては無電極放電型、電極放
電型のいずれを用いてもよく、ま几電匝が重合槽の中に
ある内部電極型、重合槽の外に電極を有する外部電極型
を用いてもよい。さらK、後グロー中にモノマーガスを
導入する方法も可能である。特に好ましくは、安定なプ
ラズマ状態が得られやすい内部電極型(第1図参照)お
よび後グロー中にモノマーガスを導入する77法である
プラズマの発振周波数は、低NJ波、高周波、マイクロ
波等なんでも用いることができ、特に制限されるもので
はない。
電子温度(Telは好ましくり:3千に〜7万K、さら
に好ましくht千に一弘万R゛であり、さらに好ましく
は!千Kから3万にである。ここでTeは例えば特開昭
j′≠−/316’)参考公報に示されている、加熱さ
れ比熱探針を用いた二探針法によって測定することがで
きる。ここでTeが7万に以上の場合は、ピンホールの
ない均一なプラズマ重合膜を設けることが困難で凌・す
、!千に以下の場合は、重合速度が小さい九め実用的で
ない。
Teがj千に一参万にの場合は、磁性薄膜との密着が%
に優れており、極めて優秀なコーティングを施すことが
できる。
ガス流量はtoolの反応槽の場合、0./d〜100
尻t/分が好ましい。
プラズマ重合の系の圧力は10Torr−/Torrの
範囲が好ましく、さらに好ましくはlo−3Torrか
ら10  ”Torrである。これより圧力が高い時は
プラズマ重合膜が粉状で形成されたり、プラズマ反応槽
内部の汚れが大きく、逆に低いときは、重合層の形成に
長時間を要するので好ましくない。
本発明の光学記録媒体は、光学記録層側を向い合せにし
接着剤層を介して4枚貼り合せtものを使用することが
好ましい。
本発明で用いる接着剤はウレタン系接着剤(インシアネ
ート含有化合物を単独、あるいはヒドロキシル基、アミ
ン基、カルボキシル基などインシアネートと反応しやす
い官能基をもつ物質と混合して接着剤とし、熱硬化によ
り強固な接着を達成するもの)、エポキシ系接着剤(エ
ポキシ化合物とアミン等の硬化剤を反応させるもの)、
硬化性シリコーン樹脂、ホットメルト型接着剤(例えば
エチレン−酢酸ビニル樹脂等)、高周波接着剤(ポリ塩
化ビニル樹脂等)が挙げられる。溶剤系接着剤(例えば
、合成ゴム系、ビニル樹脂系のポリマーを有機溶剤に溶
解したもの)はこれを使用し几場合、保存安定性が十分
でない場合があり好ましくない。ま九UV硬化型接隋剤
も同様に好ましくない。
次に実施例をもって本発明を具体的に説明するが、本発
明はこれらに限定されるものではない。
〔実施例〕
第1図は本発明のプラズマ重合膜形成に好適に用いられ
る装置を示す。この装置は、真空ポンプ/が接続されt
真空容器コ内K、互いに対向する板状電極3.3を設け
て例えば交流電源μを接続し、一方前記真空容器内にモ
ノマーガスを供給する単数若しくは複数のモノマーガス
供給管jを接続して構成され、例えば、基板や基板上に
光学記録層が形成され次物品6が前記板状電極3.3間
の台7上に設置され、次のようにして保護膜が形成され
て、記録媒体を製造する。
すなわち、真空ポンプ/にJ:り真空容器λ内を排気し
ながら、モノマーガス供給管!を介して、既述の七ツマ
ーガス(不活性ガスを含む場合もある)を真空容器λ内
へ導入す・5゜ 真空容器λ内の雰囲気を、上述のよう圧して一定に保っ
た状態において、電極3,3に交流電源≠より電力を供
給し、これにより電極3.3に放電によるプラズマを生
起せしめ、さらに当該プラズマを膜形成の基体となるも
のが設置された位置において電子温度が!千に〜7万に
の状態とし、このプラズマを表面にプラズマ重合膜を形
成し友い物品に(たとえは基板や、基板状に光学記録j
VIを設は友もの)作用させてその表面に前記モノマー
ガスにより形成される保護膜を形成する。
形成され次プラズマ重合編の厚みは、モデル実験から求
めた膜生成速度をもとK、厚み一膜生成速度X重合時間
 の関係から求められるものと見なし友。し友がって、
のぞみの膜厚のプラズマ重合膜を設けるために、設は之
い膜原を既知の膜生成速度で割って必要な重合時間を決
定し友。ここでいうモデル実験とはそれぞれの重合条件
につき、重合時間と、生成しt膜の厚み(エリプノメ)
 IJ−で測定)の比例定数を求める実験であり、具体
的には、ガラス基板上にアルミニウムを5000A厚に
魚屑したものに対する膜生成速度をもとめた。
ポリカーボネート円板状透明遅版に、原子パーセントで
T6J’1%、Ge/j4の光学記録層をマグネトロン
スノtツタ法により形成し、その表面Vこ各種保護膜を
被覆した。これらをサンプル黒/〜rとしたく第1表参
照)。またこれらの同じもの同士を接着剤を用いて貼り
合わせ、両面光学記録媒体を作製した。これらをサンプ
ルノK 9〜/6とし之(第2表参照)。
〔評 価〕
RFマグネトロンスパッタ装億・iで5i02、S i
 O1゜4、ZnSを作製した。その作製条件は以下の
通シである。
使用ターゲットは5i02、Sto、ZnS等を用い、
初期真空fJ−10Torr以下まで引き、Ar等を入
れ/X10   Torrに調整する。
/eクワ−RF j 00Wでio分間スパッタし、1
OOO人の膜厚を得た。
プラズマ重合g!A−Eは第1図の装置を用い以下の表
に示す条件で形成した。
5to2.5iO1,4およびZnS保護膜は下記の条
件で作成した。ターゲットとして5i02.5iO1お
よびZnSを用い、初期真空度l0−6Torr以下と
し、Arガスを導入し/×l0−3TorrK調整し友
。RFrooWで70分間スパッタし、膜厚を1000
Aとし次。
接着剤組成は下記弘4を使用し几。
a ウレタンオリゴマー+ 3官能イソシアネート硬化剤 b ウレタンオリゴマー+ コ官能インシアネート硬化剤 Cエポキシオリコ゛マー十 トリエチレンジアミン硬化剤 d 信越化学制RTV−弘よ(硬化性シリコーン樹脂) それぞれのサンプルの特性評価は、tooc、20%R
H下にlO日間保存前後における反射率6111定、面
状観察により行なった。
反射率測定は、波長rJoo人で正反射法により行なつ
皮。また面状観察は、光学顕微鏡、100倍の倍率下、
透過観察法により記録層腐食にもとづくピンホール発生
度合で劣化の程度を比較杆部した。
〔発明の効果〕
本発明の光学記録媒体は、とくに高温高湿下での保存性
にすぐれるものである。。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のプラズマ重合膜を形成する為に好適に
用いることのできる装、ttの位置例を示す説明図であ
る。 ハ・・・・・・・・真空ポンプ   λ・・・・・・・
・・真空容器3・・・・・・・・・電極      り
・・・・旧・・交流電源!・・・・・・・・・モノマー
ガス供給管AA・・・・・・供給ロール   6B・・
・・・・巻きとりロールS・・・・・・・・・プラズマ
重合膜被覆の対象となる基板特許出願人 富士写真フィ
ルム株式会社第1図 昭和ぶ/年り2月〆〉日 1、事件の表示    昭和to年詩願第4解月を号2
、発明の名称  光学記録媒体 3、補正をする者 事件との関係       特許出願人性 所  神奈
川県南足柄市中沼210番地4、補正の対象  明+M
書の「発明の詳細な説明コの欄、「図面の簡単な説明」 の欄 5、補正の内容 明細書の「発明の詳細な説明」の欄、および「図面の簡
単な説明」の欄を下記のごとく補正する。 1)明細書第io頁6〜7行 「特許請求の範囲第(2)項に示すごとく」を「前記の
ごとく」 と補正する。 2)同書第1/頁73行 「磁性薄膜」を 「記録薄膜」 と補正する。 3)回書第23頁72行の後に 「P・・・・・・熱探針」 を挿入する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)基板上に金属および/または半金属を主体とするレ
    ーザー光による記録が可能な層を有する光学記録媒体に
    おいて、該層の少なくとも上側にプラズマ重合層が設け
    られていることを特徴とする光学記録媒体。 2)前記光学記録媒体を光学記録層側を向い合せにし、
    接着剤層を介して2枚貼り合せてなることを特徴とする
    特許請求の範囲第(1)項記載の光学記録媒体。
JP60294552A 1985-12-26 1985-12-26 光学記録媒体 Pending JPS62154244A (ja)

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