JPS62153778A - 半導体装置用バ−ンイン装置のバ−ンインボ−ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、半導体装置の信頼性試験に際して半導体装置
に外部ストレスをかけるために使用される半導体ｉｔ用
バーンイン（Ｂｕｒｎ　Ｉｎ　）装置に係す、特にその
バーンインボード（ＢｕｒｎＩｎ　Ｂｏａｒｄ　）に関
する。

〔発明の技術的背臣〕

この種のバーンイン装置は、温度、湿度等を可変し得る
バーンイン室の内部で被試験半導体装置（以下、供試デ
・々イスと言う）を実装したバーンインボードを装置内
部のたとえばデート支持用ラックのコネクタに嵌合挿入
し、上記供試デバイスに外部ストレス（電気的負荷、周
囲環境負荷）をかけてその信頼性を試験するために使用
されるものである。

従来、上記バーンインポードは第２図に示すように構成
されていた。即ち、１はデート本体、２はボード本体の
コネクタ部、３はボード本体を補強するためのアルミニ
ウム製の補強枠、４は上記補強枠３の正面に取り付けら
れデート本体１をボード支持用ラックに抜き差しするた
めの操作を容易に行なうための押手である。上記デート
本体１には、供試デバイス５・・・を着脱するためのソ
ケットや、試験回路の一部を形成する・母ターン配線と
か抵抗とかコンデンサとか童源印加状態表示用の発光ダ
イオードなど（図示せず）が設けられている。

上記バーンインボードにおいては、バーンイス装置のが
一部支持用ラックのコネクタ、デート本体１およびソケ
ットを通じて供試デバイス５・・・に電源とか各種の入
力信号が与えられるものである。そして、バーンイン試
験に際して、供試デバイス５・・・に各対応するソケッ
ト毎に正常な入力信号が供給されているか否かを点検す
る必要があり、従来は上記ソケット単位に入力信号波形
をシンクロスコープによυ表示させてオＲレータの目視
により確認していた。

〔背景技術の問題点〕

然るに、供試デバイス５・・・の多ビン化、フラントパ
ッケージ化などにより、外部端子（リード）相互間隔が
微少になるにつれて、上記外部端子にシンクロスコープ
のプローブ先端の（１ピックアップ部を接触させる際に
正確さを期すために慎重に注意深く行なう必要が生じる
ようになり、入力信号波形の点検に多大な時間を要する
という問題があった。

同様な問題は、供試デバイス５・・・の出力信号波形を
点検する場合にも生じるので、バーンイン試験中に供試
デ・々イス５・・・が正常に動作しているか否かの動作
状態を安全に適確に能率良く点検することは困難であっ
た。

〔発明の目的〕

本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、デート上
のソケットに実装される供試デバイスの外部端子ピッチ
が微少な場合でも、その入力信号およびまたはバーンイ
ン状態における出力信号をボード外部から安全に適確に
能率良く点検可能であね、しかも比較的安価に実現し得
る半導体装置用バー／イン装置のバーンインボードを提
供するものである。

〔発明の概要〕

本発明の半導体装置用バーンイン装置のバーンインボー
ドは、供試デバイスの入力信号およびまたは出力信号を
ボード外部にをシ出すためのモニタ信号取出し用コネク
タをボードの手前部に取シ付け、このコネクタと供試デ
バイスを実装するためのボード上ソケットとの間に配線
を施してなることを特徴とするものである。

上記バーンインボードによれば、供試デバイスの入力信
号およびまたはバーンイン状態における出力信号の波形
点検に際して、供試デバイスの外部端子にシンクロスコ
ープのプローブ先端の信号ピックアッグ部を接触させる
ことなく、モニタ信号取出し用コネクタを通じてボード
外部からモニタすることが可能になるので、供試デバイ
スの外部端子ピッチが微少な場合でも安全に適確に能率
良く信号波形を点検することができる。しかも、ボード
にモニタ信号取出し用コネクタを取り付けてソケットと
の間に配線を施すことによるコストアップは少なくて済
み、バーンインが一部を比較的安価に実施することがで
きる。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明す
る。第１図に示すバーンインボードは、第２図を参照し
て前述した従来のバーンインボードに比べて、ボード本
体１０手前部、たとえはボード本体１上の突出先端縁部
にモニタ信号取出し用コネクタ１０が増り付けられてお
り、このコネクタ１０と供試デバイス５・・・に各対応
するソケットとの間に供試デノ々イスの入力信号および
または出力信号を取り出すための配＠　（−４′ターン
配線１１、リード線配線等のいずれでもよい）が施され
ている点が異なり、その他は同じであるので同一符号を
付してその説明を省略する。

上記バーンインボードを有するバーンイン装置による供
試デバイス５・・・のバーンインｇ　％に際しては、供
試デバイス５・・・の入力信号およびまたはバーンイン
状態における出力信号をモニタ信号取出し用コネクタ１
０を通じてが一部外部の信号波形モニタ装置（たとえば
シンクロスコープ）に取り出すことが可能になる。した
がって、供試デバイスの外部端子ピッチが微少な場合で
も、上記外部端子にシンクロスコープのグローブ先端の
信号ピックアップ部を接触させる必要がなくなるので、
前記モニタ信号取出し用コネクタを通じて安全に適確に
能率良く信号波形を点検することが可能になる。しかも
、ボードにモニタ信号取出し用コネクタを取り付けてソ
ケットとの間に配線を施すことによるコストアップは少
なくて済み、バーンインボードを比較的安価に実現する
ことが可能になる。

〔発明の効果〕

上述したように本発明の半導体装置用バーンイン装置の
・ぐ−ンインボードによれば、ボード上のソケットに実
装される供試デバイスの外部端子ピッチが微少な場合で
も、その入力信号およびまたはバーンイン状態における
出力信号をデート外部から安全に適確に能率良く点検す
ることができ、しかも比較的安価に実現できるので、多
ビン化、フラットパッケージ化が進む半導体装置のバー
ンイン試験に使用して好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の半導体装置用バーンイン装置のパーン
デートの一実施例を概略的に示す斜視図、第２図は従来
の・ぐ−ンインポードを概略的に示す斜視図である。 １・・・？−ド本体、５・・・供試デバイス、ｌＯ・・
・モニタ信号取出し用コネクタ、１１・・・配線。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 供試デバイスの入力信号およびまたは出力信号をボード
   外部に取り出すためのモニタ信号取出し用コネクタをボ
   ード本体の手前部に取り付け、このコネクタと前記供試
   デバイスを実装するためのボード上のソケットとの間に
   配線を施してなることを特徴とする半導体装置用バーン
   イン装置のバーンインボード。