JPS6214036A - 光散乱式粒子計数器 - Google Patents
光散乱式粒子計数器Info
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- JPS6214036A JPS6214036A JP60152343A JP15234385A JPS6214036A JP S6214036 A JPS6214036 A JP S6214036A JP 60152343 A JP60152343 A JP 60152343A JP 15234385 A JP15234385 A JP 15234385A JP S6214036 A JPS6214036 A JP S6214036A
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- JP
- Japan
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- light
- mirror
- particle counter
- incident
- irradiation
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 title claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
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- Lenses (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、光散乱式粒子計数器に関するものであり、
さらに詳しくいうと、光散乱効果を利用して、流体中の
微小粒子を検出する光散乱式粒子計数器に関するもので
ある。
さらに詳しくいうと、光散乱効果を利用して、流体中の
微小粒子を検出する光散乱式粒子計数器に関するもので
ある。
［従来の技術］
従来、光散乱式粒子計数器において、試料粒子流と照射
光とが交わる照射領域における照射光の断面形状は、Ｓ
／Ｎ比、粒径の分解能および分散状態の把握等の性能に
大きく影響することから、偏平形状であって、エネルギ
ー密度が均等であるものが理想とされている。
光とが交わる照射領域における照射光の断面形状は、Ｓ
／Ｎ比、粒径の分解能および分散状態の把握等の性能に
大きく影響することから、偏平形状であって、エネルギ
ー密度が均等であるものが理想とされている。
かかる目的を達成するものとして、従来、特公昭５８−
１０５７９号公報に開示された円筒レンズを用いたもの
等が知られている。
１０５７９号公報に開示された円筒レンズを用いたもの
等が知られている。
第３図は円筒レンズを用いた従来の光散乱式粒子計数器
の一例を示し、円形断面の入射光（１）を、２つの円筒
レンズ（２） ＜３）により、矢印（４）方向の粒子流
への照射領域（５）において、粒子流の方向り一冊Ｉｆ
姐め拝倖い原車ｆｒ断面竪仲め昭計キ１６）となるよう
に集光するものである。
の一例を示し、円形断面の入射光（１）を、２つの円筒
レンズ（２） ＜３）により、矢印（４）方向の粒子流
への照射領域（５）において、粒子流の方向り一冊Ｉｆ
姐め拝倖い原車ｆｒ断面竪仲め昭計キ１６）となるよう
に集光するものである。
［発明が解決しようとする問題点１
以上のような従来の光散乱式粒子計数器では、レンズ個
々の収差、レンズ系の光軸ずれなどによる収差などの誤
差要因があり、また、レンズ面の反射による光エネルギ
ーの損失や、多重反射による不必要な光線を生じて、Ｓ
／Ｎ比、分解能を低下させるという問題点があった。こ
のため、個々のレンズごとに微調整が必要となり、構造
が複雑で、かつ、光学系全体として大形となるという問
題点もあった。
々の収差、レンズ系の光軸ずれなどによる収差などの誤
差要因があり、また、レンズ面の反射による光エネルギ
ーの損失や、多重反射による不必要な光線を生じて、Ｓ
／Ｎ比、分解能を低下させるという問題点があった。こ
のため、個々のレンズごとに微調整が必要となり、構造
が複雑で、かつ、光学系全体として大形となるという問
題点もあった。
この発明は、かような問題点を解消しようとするもので
、入射光の光エネルギー損失が極小で、５重反射による
不必要な光の発生がなく、Ｓ／Ｎ比、分解能のすぐれた
光散乱式粒子計数器を得ることを目的とする。
、入射光の光エネルギー損失が極小で、５重反射による
不必要な光の発生がなく、Ｓ／Ｎ比、分解能のすぐれた
光散乱式粒子計数器を得ることを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
この発明に係る光散乱式粒子計数器は、一定の焦点を有
する非球面鏡を用い、光路が焦点を通らない入射光を非
球面鏡により反射させ、照射領域において、偏平断面形
状の照射光として集光させる。
する非球面鏡を用い、光路が焦点を通らない入射光を非
球面鏡により反射させ、照射領域において、偏平断面形
状の照射光として集光させる。
［作用］
この発明においては、平行光線でなる入射光が非球面鏡
で反射され、照射領域で偏平断面形状の照射光として粒
子流と交差する。
で反射され、照射領域で偏平断面形状の照射光として粒
子流と交差する。
［実施例］
第１図、第２図はこの発明の一実施例を示し、レーザな
どの光源（１１）から出射される平行光線である入射光
（１）は、楕円面鏡のうちの軸外しくｏｆｆ−ａｘｉｓ
）鏡でなる非球面鏡（１２）へ、非球面鏡（１２）の焦
点を通らない光路に沿って入射される。
どの光源（１１）から出射される平行光線である入射光
（１）は、楕円面鏡のうちの軸外しくｏｆｆ−ａｘｉｓ
）鏡でなる非球面鏡（１２）へ、非球面鏡（１２）の焦
点を通らない光路に沿って入射される。
ここで、軸外し鏡とは、楕円面と楕円体の長軸あるいは
短軸が交差しない部位を切出して形成された非球面鏡で
ある。
短軸が交差しない部位を切出して形成された非球面鏡で
ある。
非球面鏡（１２）へ入射した入射光（１）は、非球面鏡
（１２）で反射され、流体と共にノズル（１３）から流
出される粒子流（４） と照射領域（５）において交差
する。ここで、非球面鏡（１２）で反射された入射光（
１）は、照射領域（５）において、断面が偏平形状の集
束光（１４）となる、また、集束光（１４）の断面の長
手方向は、粒子流（４）の流れ方向に対して垂直をなし
ている。
（１２）で反射され、流体と共にノズル（１３）から流
出される粒子流（４） と照射領域（５）において交差
する。ここで、非球面鏡（１２）で反射された入射光（
１）は、照射領域（５）において、断面が偏平形状の集
束光（１４）となる、また、集束光（１４）の断面の長
手方向は、粒子流（４）の流れ方向に対して垂直をなし
ている。
集束光（１４）の断面形状の縦横比は、非球面鏡（１２
）の縦、横方向それぞれの曲率に依存する。
）の縦、横方向それぞれの曲率に依存する。
照射領域（５）における粒子による散乱光は、照射領域
（５）を通過した照射光が入らない位置で、レンズ系（
１５）により集光され、光検知器（１６）によって電気
信号に変換される。
（５）を通過した照射光が入らない位置で、レンズ系（
１５）により集光され、光検知器（１６）によって電気
信号に変換される。
以上の構成により、入射光（１）は、非球面鏡（１２）
の焦点を通らないで非球面鏡（１２）へ入射されるので
、非球面鏡（１２）で反射されて、断面が偏平形状の集
束光（１４）となって粒子を照射する。そのため、散乱
光の測定に関して、Ｓ／Ｎ比、分解能にすぐれ、かつ、
光エネルギーの損失が極小で、多重反射による不要光の
発生も防止される。
の焦点を通らないで非球面鏡（１２）へ入射されるので
、非球面鏡（１２）で反射されて、断面が偏平形状の集
束光（１４）となって粒子を照射する。そのため、散乱
光の測定に関して、Ｓ／Ｎ比、分解能にすぐれ、かつ、
光エネルギーの損失が極小で、多重反射による不要光の
発生も防止される。
また、レンズを用いたものにおける微調整が不要であり
、構造も簡単、小形になしうる。
、構造も簡単、小形になしうる。
なお、計数する粒子は、気体中のものでも液体出１−ｆ
ＸＪ小弔ノド／ →す、 翳ギ１車小ター中１−ｋ
ＩＲＩＩ士散乱測定方式に限らず、前方散乱測定方式
であってもよい。
ＸＪ小弔ノド／ →す、 翳ギ１車小ター中１−ｋ
ＩＲＩＩ士散乱測定方式に限らず、前方散乱測定方式
であってもよい。
また、粒子流に対する照射光の交差角度は、任意に選ぶ
ことができる。さらに、非球面鏡（１２）の曲率は、縦
と横の曲率の重ね合わせと考えること力ｒでき、この組
合わせにより、焦点距離、入射角、偏平率を適宜に選択
することができる。
ことができる。さらに、非球面鏡（１２）の曲率は、縦
と横の曲率の重ね合わせと考えること力ｒでき、この組
合わせにより、焦点距離、入射角、偏平率を適宜に選択
することができる。
以上の実施例は、非球面ｊｆｌ（１２）として、楕円面
鏡のうちの軸外し鏡を用いたが、楕円面鏡のうちの、短
軸が交差する部位を切出してなるトロイダル鏡を用いて
もよく、また、放物面鏡のうちの軸外し鏡を用いてもよ
い、いずれの場合も、これら非球面鏡へ入射する平行光
線が、当該非球面鏡の焦点から外れた光路に沿って入射
する点は同様であり、いずれも同様の効果が得られる。
鏡のうちの軸外し鏡を用いたが、楕円面鏡のうちの、短
軸が交差する部位を切出してなるトロイダル鏡を用いて
もよく、また、放物面鏡のうちの軸外し鏡を用いてもよ
い、いずれの場合も、これら非球面鏡へ入射する平行光
線が、当該非球面鏡の焦点から外れた光路に沿って入射
する点は同様であり、いずれも同様の効果が得られる。
［発明の効果］
この発明は、以上の説明から明らかなように、非球面鏡
の焦点を通らない入射光を非球面鏡で反射させて断面偏
平形状の照射光を得るようにしたので、光エネルギーの
損失を極小とし、多重反射による不必要な光の発生をな
くし、Ｓ／Ｎ比、分解能にすぐれた粒子計数を容易に行
うことができる。
の焦点を通らない入射光を非球面鏡で反射させて断面偏
平形状の照射光を得るようにしたので、光エネルギーの
損失を極小とし、多重反射による不必要な光の発生をな
くし、Ｓ／Ｎ比、分解能にすぐれた粒子計数を容易に行
うことができる。
第１図はこの発明の一実施例の要部斜視図、第２図は当
該実施例の概略側面図、第３図は従来の光散乱式粒子計
数器の光学系要部の概略斜視図である。 （１）・・・入射光、（４）・・・粒子流、（５）・・
・照射領域、（１１）・・・光源、（１２）・・・非球
面鏡、（１４）・・・集束光（照射光） 、（１５）・
・・レンズ系、（１６）・・・光検知器。 第１図 第２図
該実施例の概略側面図、第３図は従来の光散乱式粒子計
数器の光学系要部の概略斜視図である。 （１）・・・入射光、（４）・・・粒子流、（５）・・
・照射領域、（１１）・・・光源、（１２）・・・非球
面鏡、（１４）・・・集束光（照射光） 、（１５）・
・・レンズ系、（１６）・・・光検知器。 第１図 第２図
Claims (4)
- （１）一定の焦点を有する非球面鏡と、前記焦点を通ら
ない平行光線でなる入射光を形成するための光源と、前
記非球面鏡による前記入射光の集束位置にある照射領域
と、この照射領域における断面が偏平形状の照射光の粒
子流による散乱光を検知する光検知手段とを備えてなる
光散乱式粒子計数器。 - （２）照射光の断面の長手方向が、粒子流の方向に対し
て垂直である特許請求の範囲第１項記載の光散乱式粒子
計数器。 - （３）非球面鏡が、楕円面鏡および放物面鏡のいずれか
のうちの軸外し鏡である特許請求の範囲第１項記載の光
散乱式粒子計数器。 - （４）非球面鏡が、トロイダル鏡である特許請求の範囲
第１項記載の光散乱式粒子計数器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152343A JPS6214036A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 光散乱式粒子計数器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152343A JPS6214036A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 光散乱式粒子計数器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6214036A true JPS6214036A (ja) | 1987-01-22 |
| JPH0476425B2 JPH0476425B2 (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=15538464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60152343A Granted JPS6214036A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 光散乱式粒子計数器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6214036A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54130186A (en) * | 1978-03-20 | 1979-10-09 | Coulter Electronics | Radiant ray collector using elliptical and rotary conical reflecting surfaces |
| JPS54130187A (en) * | 1978-03-20 | 1979-10-09 | Coulter Electronics | Method and device for collecting radiant ray |
| JPS56128556U (ja) * | 1980-02-29 | 1981-09-30 | ||
| JPS59107238A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-21 | Hitachi Ltd | 光散乱を用いた粒子測定装置 |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP60152343A patent/JPS6214036A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54130186A (en) * | 1978-03-20 | 1979-10-09 | Coulter Electronics | Radiant ray collector using elliptical and rotary conical reflecting surfaces |
| JPS54130187A (en) * | 1978-03-20 | 1979-10-09 | Coulter Electronics | Method and device for collecting radiant ray |
| JPS56128556U (ja) * | 1980-02-29 | 1981-09-30 | ||
| JPS59107238A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-21 | Hitachi Ltd | 光散乱を用いた粒子測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0476425B2 (ja) | 1992-12-03 |
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