JPS62139345A - 半導体チツプ塔載用基板の製造方法 - Google Patents
半導体チツプ塔載用基板の製造方法Info
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- JPS62139345A JPS62139345A JP28136285A JP28136285A JPS62139345A JP S62139345 A JPS62139345 A JP S62139345A JP 28136285 A JP28136285 A JP 28136285A JP 28136285 A JP28136285 A JP 28136285A JP S62139345 A JPS62139345 A JP S62139345A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体チップを塔載する基板の製造方法に関
するものである。
するものである。
従来の技術
近年、電子部品の実装方法は多様化しており、と9わけ
、半導体チップの塔載方法は様々な形で実施されている
。
、半導体チップの塔載方法は様々な形で実施されている
。
その一方法の基板として、リードレステップキャリア方
式の基板製造方法を、第3図に示す。第3図イに示すス
リットライン2tL、2b、20゜2(1,26,2f
、2g、2hにより複数の区画に分割され、その各区画
に予め定められた形状の複数のスルーホール3を有する
セラミック基板1に、第3図口に示すように半導体チッ
プが載置される導電層4を、メッキあるいは厚膜印刷法
によ多形成するとともに、同時にスルーホール3に導電
体6を充てんし、しかる後に前記スリットライン21L
、2b、・・・・・・、2hに従い分割し、複数の半導
体チップ塔載用基板を得るものである。
式の基板製造方法を、第3図に示す。第3図イに示すス
リットライン2tL、2b、20゜2(1,26,2f
、2g、2hにより複数の区画に分割され、その各区画
に予め定められた形状の複数のスルーホール3を有する
セラミック基板1に、第3図口に示すように半導体チッ
プが載置される導電層4を、メッキあるいは厚膜印刷法
によ多形成するとともに、同時にスルーホール3に導電
体6を充てんし、しかる後に前記スリットライン21L
、2b、・・・・・・、2hに従い分割し、複数の半導
体チップ塔載用基板を得るものである。
発明が解決しようとする問題点
ところが、この様な半導体チップ塔載用基板の製造方法
は、大量生産するには、平面的に大きさの限られたセラ
ミック基板を用いるので、取υ数を向上させるために、
セラミック基板と半導体チップ塔載用基板小片の形状、
大きさの関係を、設計段階でその都度検討しなければな
らない。そして、この取り数回上のために半導体チップ
塔載用基板小片の形状、大きさが決定され、そのために
細線化パターンとなり、材料、設備(パターンマスク、
セラミック基板等)の寸法精度を上けなければならない
が、非常に困難である。さらにセラミックが基板である
ために、半導体チップ動作時の熱放散にも限度があり、
塔載する半導体チップが限定される問題があった。
は、大量生産するには、平面的に大きさの限られたセラ
ミック基板を用いるので、取υ数を向上させるために、
セラミック基板と半導体チップ塔載用基板小片の形状、
大きさの関係を、設計段階でその都度検討しなければな
らない。そして、この取り数回上のために半導体チップ
塔載用基板小片の形状、大きさが決定され、そのために
細線化パターンとなり、材料、設備(パターンマスク、
セラミック基板等)の寸法精度を上けなければならない
が、非常に困難である。さらにセラミックが基板である
ために、半導体チップ動作時の熱放散にも限度があり、
塔載する半導体チップが限定される問題があった。
本発明は、この様な従来の問題点を解決するものであり
、簡単な構成で、自由な設計で、材料。
、簡単な構成で、自由な設計で、材料。
設備の高度寸法精度を必要とせず、また、塔載する半導
体チップが特に限定されない、すぐれた半導体チップ塔
載用基板を得る製造方法を提供するものである。
体チップが特に限定されない、すぐれた半導体チップ塔
載用基板を得る製造方法を提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
この目的を達成するために、本発明の半導体チップ塔載
用基板の製造方法は、互いに平行に配置された導電材料
よりなる複数本の棒状体を、絶縁性の樹脂材料により一
体的にモールドした後、前記棒状体の長手方向に直角な
面で順次切断して、複数個の半導体チップ塔載用基板を
得ることを特徴とするものである。
用基板の製造方法は、互いに平行に配置された導電材料
よりなる複数本の棒状体を、絶縁性の樹脂材料により一
体的にモールドした後、前記棒状体の長手方向に直角な
面で順次切断して、複数個の半導体チップ塔載用基板を
得ることを特徴とするものである。
作用
上述のような製造方法によれば、切断する厚さを調整す
ることで取り数の加減、又、中心の棒状導電材料の太さ
で、塔載する半導体チップの大きさに対応できる。従来
例のようにセラミック基板の形状に限定されることなく
、自由にその大きさを設定できるだめ、パターンを細線
化する必要がなく、材料、設備の高度な寸法精度も必要
がない。
ることで取り数の加減、又、中心の棒状導電材料の太さ
で、塔載する半導体チップの大きさに対応できる。従来
例のようにセラミック基板の形状に限定されることなく
、自由にその大きさを設定できるだめ、パターンを細線
化する必要がなく、材料、設備の高度な寸法精度も必要
がない。
さらに、半導体チップを導電材料に塔載し、その導電材
料は、半導体チップ塔載用基板を貫通してメインプリン
ト板と半田付けができ、半導体チップ動作時の熱放散が
非常によい。
料は、半導体チップ塔載用基板を貫通してメインプリン
ト板と半田付けができ、半導体チップ動作時の熱放散が
非常によい。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を参照に説明す
る。第1図は、本発明の製造方法の一実施例の一工程に
おける半導体チップ塔載用基板の棒状体の長手方向に直
角の切断面を示すものである。第1図において、5は銅
、銀等の良導電体の金属よりなる棒状の導電材料であり
、その断面形状は、半導体チップを塔載するのに適した
形状に成形されている。6& 、6b 、・・・・・・
、6mは同様な金属よりなり、前記導電材料6よシ細い
導電材料であり、前記導電材料5と互いに平行になるよ
うに配置されている。3は前記2種類の棒状導電材料を
モールドするエポキシ樹脂、フェノール樹脂等の樹脂よ
りなる絶縁材料である。これを前記棒状導電材料の長手
方向(軸方向)に直角な面で、順次切断する事により、
複数の半導体チップ塔載用基板ができる。この切断時に
厚さを調整することにより、取り数の増減ができる。ま
た、中心の導電材料6の太さを変えることにより、塔載
する半導体チップの大きさに対応できる。さらに、その
ことにより、細線パターン化の必要がなく、設備、材料
の高度な寸法精度も必要ない。
る。第1図は、本発明の製造方法の一実施例の一工程に
おける半導体チップ塔載用基板の棒状体の長手方向に直
角の切断面を示すものである。第1図において、5は銅
、銀等の良導電体の金属よりなる棒状の導電材料であり
、その断面形状は、半導体チップを塔載するのに適した
形状に成形されている。6& 、6b 、・・・・・・
、6mは同様な金属よりなり、前記導電材料6よシ細い
導電材料であり、前記導電材料5と互いに平行になるよ
うに配置されている。3は前記2種類の棒状導電材料を
モールドするエポキシ樹脂、フェノール樹脂等の樹脂よ
りなる絶縁材料である。これを前記棒状導電材料の長手
方向(軸方向)に直角な面で、順次切断する事により、
複数の半導体チップ塔載用基板ができる。この切断時に
厚さを調整することにより、取り数の増減ができる。ま
た、中心の導電材料6の太さを変えることにより、塔載
する半導体チップの大きさに対応できる。さらに、その
ことにより、細線パターン化の必要がなく、設備、材料
の高度な寸法精度も必要ない。
第2図に、本発明の一実施例における半導体チップ塔載
用基板を用いて半導体チップを塔載し、メインプリント
板に実装した断面図を示す。第2図において、7は本発
明の半導体チップ塔載用基板、8は半導体チップであり
、前記導電材料S上に、金共晶あるいは半田等によりミ
気的1機械的に接合されている。9は半導体チップ8の
電極と半導体チップ塔載用基板の各導電材料e a r
e bを電気的に結ぶワイヤー、10は半導体チップ
封止用−1−+ yプ、11&、11b、110は半導
体チップ塔載用基板の各導電材料s、ea−,sbとメ
インプリント板12を電気的1機械的に結ぶ半田である
。半導体チップをダイボンドした中心の導電材料は、半
導体チップ塔載用基板下面まであるので、メインプリン
ト板に半田付けでき、半導体チップの熱放散が非常に良
好である。
用基板を用いて半導体チップを塔載し、メインプリント
板に実装した断面図を示す。第2図において、7は本発
明の半導体チップ塔載用基板、8は半導体チップであり
、前記導電材料S上に、金共晶あるいは半田等によりミ
気的1機械的に接合されている。9は半導体チップ8の
電極と半導体チップ塔載用基板の各導電材料e a r
e bを電気的に結ぶワイヤー、10は半導体チップ
封止用−1−+ yプ、11&、11b、110は半導
体チップ塔載用基板の各導電材料s、ea−,sbとメ
インプリント板12を電気的1機械的に結ぶ半田である
。半導体チップをダイボンドした中心の導電材料は、半
導体チップ塔載用基板下面まであるので、メインプリン
ト板に半田付けでき、半導体チップの熱放散が非常に良
好である。
なお、本実施例では半導体チップ1個塔載用としたが、
本実施例を2個以上並べた形、又、中心の導電材料を太
くし半導体チップを2個以上塔載できる形でもよい。
本実施例を2個以上並べた形、又、中心の導電材料を太
くし半導体チップを2個以上塔載できる形でもよい。
発明°の効果
以上のように本発明によれば、切断する厚さを調整する
ことで取り数の加減ができ、中心の棒状導電材料の太さ
で塔載する半導体テップの大きさに対応でき、又、自由
にその犬き゛さを設定できるので、パターンの細線化を
必要とせず、材料、設備の高度な寸法は不要である。さ
らに、導電材料はメインプリント板と半田付けでき、半
導体チップ動作時の熱放散が非常によく、本発明の実用
的効果は大なるものがある。
ことで取り数の加減ができ、中心の棒状導電材料の太さ
で塔載する半導体テップの大きさに対応でき、又、自由
にその犬き゛さを設定できるので、パターンの細線化を
必要とせず、材料、設備の高度な寸法は不要である。さ
らに、導電材料はメインプリント板と半田付けでき、半
導体チップ動作時の熱放散が非常によく、本発明の実用
的効果は大なるものがある。
第1図は、本発明の一実施例の製造中一工程における半
導体チップ塔載用基板の棒状体の長手方向に直角t=:
n牝だ斜視図、第2図は、本発明の一実施例における半
導体チップ基板を用いて半導体チップを塔載し、メイン
プリント板に実装した断面図、第3図イは、従来のリー
ドレスチップキャリア用基板のセラミック基板が完成し
た製造工程の斜視図、第3図口は、小片に切断する前の
製造工程の斜視図である。 3・・・・・・絶縁性の樹脂材料、5161L、6b・
・・・・・。 6m・・・・・・棒状体の導電材料、7・・・・・・半
導体チップ塔載用基板、8・・・・・・半導体チップ、
9・・・・・・ワイヤー、1o・・・・・・封止用キャ
ップ、111L、11b。 110・・・・・・半田、12・・・・・・メインプリ
ント板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名簿
1 図 6a、Ab−一一導
電材料捲 2 図
導体チップ塔載用基板の棒状体の長手方向に直角t=:
n牝だ斜視図、第2図は、本発明の一実施例における半
導体チップ基板を用いて半導体チップを塔載し、メイン
プリント板に実装した断面図、第3図イは、従来のリー
ドレスチップキャリア用基板のセラミック基板が完成し
た製造工程の斜視図、第3図口は、小片に切断する前の
製造工程の斜視図である。 3・・・・・・絶縁性の樹脂材料、5161L、6b・
・・・・・。 6m・・・・・・棒状体の導電材料、7・・・・・・半
導体チップ塔載用基板、8・・・・・・半導体チップ、
9・・・・・・ワイヤー、1o・・・・・・封止用キャ
ップ、111L、11b。 110・・・・・・半田、12・・・・・・メインプリ
ント板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名簿
1 図 6a、Ab−一一導
電材料捲 2 図
Claims (1)
- 互いに平行に配置された導電材料よりなる複数本の棒
状体を、絶縁性の樹脂材料により一体的にモールドした
後、前記棒状体の長手方向に直角な面で順次切断して、
複数個の半導体チップ塔載用基板を得ることを特徴とす
る半導体チップ塔載用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28136285A JPS62139345A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 半導体チツプ塔載用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28136285A JPS62139345A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 半導体チツプ塔載用基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62139345A true JPS62139345A (ja) | 1987-06-23 |
Family
ID=17638054
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28136285A Pending JPS62139345A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 半導体チツプ塔載用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62139345A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0690505A2 (en) * | 1994-07-01 | 1996-01-03 | Shinko Electric Industries Co. Ltd. | Sintered body for and manufacture of ceramic substrates |
EP0691682A3 (en) * | 1994-07-04 | 1996-08-07 | Shinko Electric Ind Co | Sintered material for substrate and its manufacture |
-
1985
- 1985-12-13 JP JP28136285A patent/JPS62139345A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0690505A2 (en) * | 1994-07-01 | 1996-01-03 | Shinko Electric Industries Co. Ltd. | Sintered body for and manufacture of ceramic substrates |
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