JPS62130905A - Disk supply/takeout device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To perform supply and takeout of disks efficiently by delivering a plurality of cassettes, which parallelly accommodate disks supplied to the standby position, one after another to a rotary standup member, whereby each is stood up, and then the disks are taken out one after another while an elevating/ sinking member is sinking. CONSTITUTION:A plurality of cassettes 1 accommodating disk 2 are transported with the faces looking up, and supplied to a standby position 6, where they are held for a while, and if a belt conveyor 7 is operated, the front cassette 1 is sent off for one of the rotary standup member 10, at which time, a belt conveyor 12 for these rotary standup members 10 is also actuated to transfer the cassette concerned 1 onto the appropriate rotary standup member 10. Here a location control boss 1a on the cassette 1 is fitted in a detent groove 13 in the support part 11 of the standup member 10, and a cylinder device is elongated to turn the standup member 10 into upright attitude, and the cassette 1 takes the attitude lateral to a processing device 4 while the disk 2 takes horizontal position, wherein the lowermost disk 2 is taken in the processing device 4 by a takein means provided in the same device 4. This accomplishes unmanned supply and takeout of disks efficiently.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は牛導体ウェハや光ディスクなどの各種ディスク
を適宜処理装置に供給したり取出したりするディスクの
供給取出装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a disk supply/take-out device for appropriately feeding and taking out various disks such as conductor wafers and optical disks to and from a processing device.

従来の技術 従来から、上記各種ディスクの処理装置に対してディス
クを供給したり、処理済みのディスクを取出したりする
のに、複数のディスクを隙間をあけて並列状態で保持す
るカセットが用いられでおり、ディスクを収容保持した
このカセットを手作業又は高度のロボットを用いて処理
装置の治共にセットしている。又、そのセット時にはデ
ィスクの取出や収容を容易にするために、カセットを上
向きから横向きに姿勢変更させ、ディスクが水平姿勢に
なるようにセットしている。Conventional Technology Traditionally, cassettes that hold multiple discs in parallel with gaps have been used to supply discs to the various disc processing devices mentioned above and to take out processed discs. The cassette containing the disks is then set in the processing device manually or by using a sophisticated robot. Further, when setting the cassette, the position of the cassette is changed from upward to sideways in order to facilitate removal and storage of the disk, and the disk is set in a horizontal position.

発明が解決しようとする問題点 ところが、人手による作業の場合は人件費がかさむばか
りでなく、ディスクの処理は一般にクリーンルームで行
う必要があり、その面でも人が取り扱うとほこりを発生
し易いため好ましくないという問題がある。また、高度
のロボットによる場合は動作速度が遅く能率が悪いとい
う問題がある。Problems to be Solved by the Invention However, if the work is done manually, it not only increases labor costs, but also requires that disk processing be carried out in a clean room, which is not desirable since it tends to generate dust when handled by humans. The problem is that there is no. In addition, when using a highly advanced robot, there is a problem that the operation speed is slow and efficiency is low.

さらに、いずれの場合もカセットを待機させておいて連
続的にセットすることができないので、カセットの入換
えに時間を要し、能率が悪ν１と（１う問題がある。Furthermore, in either case, it is not possible to keep the cassettes on standby and set them continuously, so it takes time to replace the cassettes, resulting in a problem of poor efficiency.

本発明は上記従来の問題点を解消して、自動的に能率良
くディスクを処理装置に供給したり取出したりすること
ができるディスクの供給取出装置を提供することを目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and to provide a disk supply/take-out device that can automatically and efficiently feed and take out disks to and from a processing device.

問題点を解決するための手段 本発明に係るディスクの供給取出装置は、複数のディス
クを隙間をあけて並列状態で保持可能なカセットを複数
待機させ得る待機部を上下に配設するとともにこれら待
機部の一端側に両待機部の間を昇降可能な昇降体を設け
、この昇降体に前記待Ｗ１部に接続する姿勢とその姿勢
から垂直に起立した姿勢との間で回動可能でかつ起立姿
勢のときカセットを支持する支持部を形成された起立回
動体を設け、前記待機部と起立回動体の間でカセットを
移動させる移動手段を設けたことを特徴とするものであ
る。Means for Solving the Problems A disk supply/take-out device according to the present invention has standby sections arranged above and below that can stand by a plurality of cassettes that can hold a plurality of disks in parallel with gaps between them. An elevating body is provided on one end side of the part and can be moved up and down between the two waiting parts, and the elevating body is rotatable between a posture connected to the waiting W1 part and a posture vertically erected from that posture. The present invention is characterized in that an erecting rotating body is provided with a support portion that supports the cassette in the posture, and a moving means is provided for moving the cassette between the standby portion and the erecting rotating body.

作用 本発明は上記構成を有するので、ディスクを収容した複
数のカセットを上方の待機部に供給しておくと、カセッ
トが順次起立回動体に送り出された後起立姿勢に回動さ
れ、次に昇降体が逐次下降する間に上記カセットに保持
されたディスクが順次取出されて処理装置に供給され、
カセットが空になるとその位置で起立回動体が元の姿勢
に復帰するだけで下方の待機部に接続され、カセットは
そのまま待機部に送り出され、その後起立回動体が上昇
して次のカセットを受取ることができ、以下同様に動作
することによってディスクを処理装置に能率的に供給で
きるのである。また、ディスクを処理装置から取出す場
合は、上記と逆の動作によって下方の待機部に供給した
空カセ７）に順次ディスクが収容されて上方の待機部に
送出されるのである。Operation Since the present invention has the above configuration, when a plurality of cassettes containing discs are supplied to the upper waiting section, the cassettes are sequentially delivered to the upright rotating body, rotated to the upright position, and then raised and lowered. While the body is sequentially lowered, the disks held in the cassette are sequentially taken out and supplied to the processing device,
When the cassette becomes empty, the erecting rotating body simply returns to its original position at that position and is connected to the waiting section below, and the cassette is directly sent to the waiting section, after which the erecting rotating body rises to receive the next cassette. By performing similar operations, disks can be efficiently supplied to the processing device. Further, when taking out the disks from the processing device, the disks are sequentially accommodated in the empty trays 7) supplied to the lower waiting section by an operation opposite to the above, and then sent to the upper waiting section.

実施例 以下、本発明の一実施例を第１図及び＠２図に基づいて
説明する。１はカセットで、複数枚の半導体ウェハなど
のディスク２が板面を垂直にしかつ互いに隙間をあけて
並列した状態で収容保持されている。３はディスク２を
収容保持したカセット１を供給することによってそのデ
ィスク２に所定の処理を施す処理設備であって、処理装
置４と、二の処理装ａ４にディスク２を供給する供給Ｗ
１５と、処理済みのディスク２を取出す取出部（図示せ
ず）とを備えている。前記供給部５には、複数のカセッ
ト１を収容可能な待機部６．８が上下に配設されており
、各待機部にはカセット１の移動手段としてのベルトコ
ンベア７．９がそれぞれ配設され、カセット１を処理装
置４　ｉ［１１に移動させ得るように構成されている。EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described based on FIGS. 1 and 2. Reference numeral 1 denotes a cassette in which a plurality of disks 2 such as semiconductor wafers are accommodated and held in parallel with their plate surfaces vertical and spaced apart from each other. Reference numeral 3 denotes processing equipment that performs predetermined processing on the disk 2 by supplying the cassette 1 containing and holding the disk 2, and includes a processing device 4 and a supply W that supplies the disk 2 to the second processing device a4.
15, and an ejecting section (not shown) for ejecting the processed disk 2. In the supply section 5, standby sections 6.8 capable of accommodating a plurality of cassettes 1 are arranged above and below, and each standby section is provided with a belt conveyor 7.9 as a means for moving the cassettes 1. It is configured such that the cassette 1 can be moved to the processing device 4 i[11.

この待８！部６．８と処理装置４との間には送り出され
たカセット１を受けてそのディスク２が水平姿勢になる
ように起立回動可能な起立回動体１０が配設されるとと
もに、この起立回動体１０を上方の待機部６と下方の待
機部の間で昇降させる昇降体１４が配役されている。前
記起立回動体１０には起立姿勢のカセット１を支持する
支持部１１が一体的に形成されているとともにカセット
１を受渡しするベルトコンベア１２が設けられている。This wait 8! Between the section 6.8 and the processing device 4, there is disposed an upright rotating body 10 which can stand up and turn to receive the delivered cassette 1 and place the disk 2 in a horizontal position. An elevating body 14 is provided to raise and lower the moving body 10 between the upper standby section 6 and the lower standby section. The upright rotating body 10 is integrally formed with a support portion 11 that supports the cassette 1 in an upright position, and is also provided with a belt conveyor 12 that transfers the cassette 1.

また、前記支持部１２にはカセット１の前面に突設され
た位置規制突部１ａが係合する係合溝１３が形成されて
いる。Furthermore, an engagement groove 13 is formed in the support portion 12, and is engaged with a position regulating protrusion 1a protruding from the front surface of the cassette 1.

前記起立回動体１０及び昇降体１４の動作機構を第２図
により説明すると、昇降体１４はボールねじ紬１５の上
端に固定され、このボールねじ紬１５に螺合するナツト
１６がベースフレーム２０上に回転自在に配置され、さ
らにこのナツト１６に外嵌固定された伝動歯車１７に噛
合するピニオン１８がベースフレーム２０の下面に設置
された正逆回転可能な昇降用モータ１９の出力軸に取付
けられている。前記昇降体１４の待機部６．８ｉ１１１
端部に枢支突部２１が突設され、支軸２２を介して前記
起立回動体１０が回動自在に取付けられている。また、
昇降体１４の側面から垂下された取付片２３の下端と起
立回動体１０の支持部１２の側面との間にシリンダ装置
２４が介装され、その伸縮動作によって起立回動体１０
が待機部との接続姿勢と起立姿勢との間で回動駆動可能
に構成されている。The operation mechanism of the up-and-down rotating body 10 and the elevating body 14 will be explained with reference to FIG. A pinion 18 that is rotatably disposed on the base frame 20 and meshes with a transmission gear 17 that is externally fitted and fixed to the nut 16 is attached to the output shaft of a vertically rotatable lifting motor 19 that is installed on the lower surface of the base frame 20. ing. Standby section 6.8i111 of the elevating body 14
A pivot protrusion 21 is provided protruding from the end, and the upright rotating body 10 is rotatably attached via a support shaft 22. Also,
A cylinder device 24 is interposed between the lower end of the mounting piece 23 hanging down from the side surface of the elevating body 14 and the side surface of the support portion 12 of the upright rotating body 10, and its expansion and contraction action causes the upright rotating body 10 to
is configured to be rotatable between a connection position with the standby section and an upright position.

なお、処理装置４のディスク受入部が待ｌｆ１部６、８
の延長方向に無く、起立回動体１０の向きを変更する必
要がある場合は、第２図に仮想線で示すように、ベース
フレーム２０上にボールねじ軸１５と同一軸心回りに回
動自在に設けられた回動レバー２５を設けるとともにこ
れに穿設された通孔２５ａに昇降体１４から垂下した連
動杆２６を貫通係合させ、かつこの回動レバー２５を回
動駆動するシリング装置２７が設けられる。Note that the disk receiving section of the processing device 4 is
If it is not in the extension direction of the ball screw shaft 15 and it is necessary to change the direction of the upright rotating body 10, it is necessary to change the direction of the upright rotating body 10, as shown by the imaginary line in FIG. A silling device 27 is provided with a rotary lever 25 provided in the rotary lever 25, and has an interlocking rod 26 hanging down from the elevating body 14 penetrated and engaged with a through hole 25a bored therein, and rotatably drives the rotary lever 25. will be provided.

さらに、図示は省略しているが、処理装置４カ・ら排出
されたディスク２を空のカセット１に収容保持して取り
出すための取出部も、上記供給部５と同様の構成である
。Further, although not shown in the drawings, an ejecting section for storing and holding the disk 2 ejected from the processing apparatus 4 in the empty cassette 1 and ejecting it therefrom also has the same structure as the supply section 5 described above.

以上の構成において、ディスク２を収容保持した複数の
カセット１を上向きのまま搬送してきて待機部６上に供
給しておくと、ベルトコンベア７が作動して最前部のカ
セット１が起立回動体１０に向かって送り出され、同時
に起立回動体１０のベルトコンベア１２も作動してカセ
ット１はこの起立回動体１０上に移載される。そのとき
カセット１の位置規制突部ＩＩＬが起立回動体１０の支
持部１１の係合溝１３に嵌入係合する。次に、シリング
装置２４が伸展動作して起立回動体１０が起立姿勢に回
動し、カセット１は処理装置４側に向かって横向きにな
り、ディスク２は水平姿勢となる。この状態で、最下段
に位置するディスク２が処理装置４に設けられた引取り
手段（図示せず）にて処理装置４内に取り込まれ、所定
の処理が行なわれる。次に、昇降体１４がディスク２の
収容ピッチ分下降し、次のディスク２が前記引取り手段
にて処理装置４内に取り込まれ、以降カセット１のディ
スク２が無くなるまで上記動作が繰り返される。ディス
ク２が無くなると、前記シリング装置２４が収縮動作し
、起立回動体１０が元の姿勢に復帰して下方の待機部８
に接続された状態となり、この起立回動体１０のベルト
コンベア１２及び待機部８のベルトコンベア９が上記と
は逆方向に回動駆動されて空のカセット１はｔ８８！部
８上に移載される。In the above configuration, when a plurality of cassettes 1 holding discs 2 are transported while facing upward and are supplied onto the standby section 6, the belt conveyor 7 is operated and the frontmost cassette 1 is moved to the upright rotating body 10. At the same time, the belt conveyor 12 of the erecting rotating body 10 also operates, and the cassette 1 is transferred onto this erecting rotating body 10. At this time, the position regulating protrusion IIL of the cassette 1 fits into and engages with the engagement groove 13 of the support portion 11 of the upright rotating body 10. Next, the shilling device 24 is extended and the upright rotating body 10 is rotated to the upright position, the cassette 1 is turned sideways toward the processing device 4, and the disk 2 is placed in a horizontal position. In this state, the disk 2 located at the lowest stage is taken into the processing apparatus 4 by a taking means (not shown) provided in the processing apparatus 4, and predetermined processing is performed. Next, the elevating body 14 is lowered by the accommodation pitch of the disks 2, and the next disk 2 is taken into the processing device 4 by the taking-up means, and the above operation is repeated until there are no more disks 2 in the cassette 1. When the disk 2 disappears, the sillage device 24 contracts, and the upright rotating body 10 returns to its original position, and the lower standby section 8
The belt conveyor 12 of the upright rotating body 10 and the belt conveyor 9 of the standby section 8 are rotated in the opposite direction to the above, and the empty cassette 1 is moved to t88! Transferred to Section 8.

以上の動作が連続的に繰り返される一方、上方の待Ｗｉ
部６のカセット１が無くなる前にディスク２を収容され
たカセット１が新たに供給され、それと同時に下方の待
［ＩＳ８の空のカセット１が回収される。While the above operations are repeated continuously, the upper waiting Wi
Before the cassette 1 in the section 6 runs out, a new cassette 1 containing the disk 2 is supplied, and at the same time, the empty cassette 1 in the lower waiting area IS8 is collected.

また、処理装置４で処理されたディスク２は、図示しな
い取出部において、上述とは逆の動作によって下方の待
機部８に供給された空のカセット１にディスク２が収容
されて上方の待機部６に取り出されるのである。Further, the disk 2 processed by the processing device 4 is stored in the empty cassette 1 supplied to the lower waiting section 8 by an operation opposite to that described above in the unillustrated ejecting section, and then transferred to the upper waiting section. It will be taken out on the 6th.

本発明は上記実施例に限定されるものではなく、例えば
起立回動体１０や昇降体１４の動作機構は他の種々の機
構に改変することが°でき、又カセットの移動手段もベ
ルトコンベアに限らず押し出し機構等、他の手段に変更
することも可能である。The present invention is not limited to the above-described embodiments; for example, the operating mechanisms of the upright rotating body 10 and the elevating body 14 can be modified to various other mechanisms, and the means for moving the cassettes is also limited to a belt conveyor. It is also possible to use other means such as a push-out mechanism.

発明の効果 本発明のディスクの供給取出装置によれば、以上のよう
に、カセットを待機部に供給するだけで自動的にディス
クを処理装置に供給したり、または空のカセットにディ
スクを収容して待機部から取出したりすることができ、
無人で能率的にディスクの供給取出しが可能となる。ま
た、待機部が上下に配設されているので、カセットから
ディスクを取出したり収容したりする時の昇降動作がそ
のままカセットのもう一方の待機部への移動と共通化し
、無駄な動作がなく機構が簡単になるとともに効率的に
動作し、しかも複数のカセットを待機し得るようにして
も大きなスペースを必要としない、さらに、カセットは
上向きのまま待機部に供給すれば良いのでカセットの搬
送が容易となる等、大なる効果を発揮する。Effects of the Invention According to the disk supply/take-out device of the present invention, as described above, simply by feeding a cassette to the standby section, the disk can be automatically fed to the processing device, or the disk can be stored in an empty cassette. can be taken out from the standby section.
Discs can be efficiently supplied and removed unattended. In addition, since the standby sections are arranged above and below, the lifting and lowering movements when taking out or storing a disc from a cassette are shared with the movement of the cassette to the other standby section, eliminating unnecessary movement and mechanism. It operates easily and efficiently, and does not require a large space even if multiple cassettes can be held in standby.Furthermore, the cassettes can be easily transported because they can be fed to the standby section facing upwards. It has a great effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明の一実施例の全体概略構成図、第２図は
要部の構成を示す斜視図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・カセッ
ト２・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ディ
スク６．８・・・・・・・・・・・・・・−待機部７．
９・・・・・・・・・・・・・・・ベルトコンベア１０
−・・・・・・・・・・・・・・・・・起立回動体１１
・・・・・・・・・・・・・・・・・・支持部１２・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ベルトコンベア１４
・・・・・・・・・・・・・・・・・・昇降体。 代理人　　　弁理士　中尾敏男　ばか１名第２図FIG. 1 is an overall schematic configuration diagram of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of main parts. １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Cassette 2・・・・・・・・・・・・・・・・・・Disc 6.8・・・・・・・・・・・・・・・・-Standby section 7.
9・・・・・・・・・・・・・・・Belt conveyor 10
−・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ Standing rotating body 11
・・・・・・・・・・・・・・・・・・Support part 12...
・・・・・・・・・・・・・・・Belt conveyor 14
・・・・・・・・・・・・・・・・・・Elevating body. Agent Patent attorney Toshio Nakao One idiot Figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）複数のディスクを隙間をあけて並列状態で保持可
能なカセットを複数待機させ得る待機部を上下に配設す
るとともにこれら待機部の一端側に両待機部の間を昇降
可能な昇降体を設け、この昇降体に前記待機部に接続す
る姿勢とその姿勢から垂直に起立した姿勢との間で回動
可能でかつ起立姿勢のときカセットを支持する支持部を
形成された起立回動体を設け、前記待機部と起立回動体
の間でカセットを移動させる移動手段を設けたことを特
徴とするディスクの供給取出装置。(1) Waiting parts that can hold multiple cassettes that can hold multiple discs in parallel with gaps are arranged above and below, and an elevating body that can be raised and lowered between the two waiting parts on one end side of these waiting parts. and an up-and-down rotating body that is rotatable between a position connected to the standby part and a position vertically erected from that position and is formed with a support part that supports the cassette when in the upright position. 1. A disk supply/takeout device, further comprising a moving means for moving a cassette between the standby section and the upright rotating body.