JPS62124320A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
- Publication number
- JPS62124320A JPS62124320A JP25985185A JP25985185A JPS62124320A JP S62124320 A JPS62124320 A JP S62124320A JP 25985185 A JP25985185 A JP 25985185A JP 25985185 A JP25985185 A JP 25985185A JP S62124320 A JPS62124320 A JP S62124320A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- gas
- bearing surface
- porous body
- air supply
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- Pending
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発射の詳ＩＩｌな説明
［産業上の利用分野１
本発明は、軸受面に多孔質体を用いた静１Ｆ気体軸受に
関づる。
関づる。
［従来の技術１
この種の多孔質静圧気体軸受の従来例をラジアル軸受を
例にとって第５図と共に説明すると、第５図において情
５１を滑動可能に支１−する軸受部材５２は軸受面に多
孔質体５３をイ）シ、その軸受面の反対側の給気キャビ
ティ５４に給気孔５５から加圧気体を供給して、多孔質
体５３を通して軸受面と軸５１との間の微小な隙間（軸
受面間隙）に前記加圧気体による気体膜を形成往しめ、
これにより＠５１を静圧気体によって極低摩擦係数で軸
受支持するようにしている。
例にとって第５図と共に説明すると、第５図において情
５１を滑動可能に支１−する軸受部材５２は軸受面に多
孔質体５３をイ）シ、その軸受面の反対側の給気キャビ
ティ５４に給気孔５５から加圧気体を供給して、多孔質
体５３を通して軸受面と軸５１との間の微小な隙間（軸
受面間隙）に前記加圧気体による気体膜を形成往しめ、
これにより＠５１を静圧気体によって極低摩擦係数で軸
受支持するようにしている。
このような構造の多孔質静圧気体軸受では、多孔質体の
軸受面側での透過気体流量を均一にして良好４に軸受性
能をもたせるために、給気面側でのｈＯ圧気体の圧力分
布を一定にする必要があり、この点からは給気キトビテ
イ５４をでさるだけ広くづることが望ましいが、給気キ
レビテイ５４をあまり広くするど、給気加圧気体の圧力
により多孔質体５３が軸受面側へ膨む微小変形を起し、
軸受性能の低下を１６り結果どなる。
軸受面側での透過気体流量を均一にして良好４に軸受性
能をもたせるために、給気面側でのｈＯ圧気体の圧力分
布を一定にする必要があり、この点からは給気キトビテ
イ５４をでさるだけ広くづることが望ましいが、給気キ
レビテイ５４をあまり広くするど、給気加圧気体の圧力
により多孔質体５３が軸受面側へ膨む微小変形を起し、
軸受性能の低下を１６り結果どなる。
一方、給気圧力による多孔質体の微小変形を抑えるため
の幻策も考えられており、第６図にその一例を示す。第
６図においＣ１軸６１を滑Ｏ」可能に支持する軸受部材
６２は軸受面に多孔質体６３をｈし、多孔７１休６３の
背面側の給気キトビテイ６４内には、キｔ・ビデイ内を
連通ずる溝を何する支持部６６が適当な開隔Ｃ複数配設
されており、これら支持部６６により給気孔６５からキ
Ｎ７ビテイ６４内に供給された加圧気体にＪ、る多孔質
体の微小変形を防止するよう←二して゛いる。
の幻策も考えられており、第６図にその一例を示す。第
６図においＣ１軸６１を滑Ｏ」可能に支持する軸受部材
６２は軸受面に多孔質体６３をｈし、多孔７１休６３の
背面側の給気キトビテイ６４内には、キｔ・ビデイ内を
連通ずる溝を何する支持部６６が適当な開隔Ｃ複数配設
されており、これら支持部６６により給気孔６５からキ
Ｎ７ビテイ６４内に供給された加圧気体にＪ、る多孔質
体の微小変形を防止するよう←二して゛いる。
しかしながらこの第６図に示すような対策を施したしの
ｃは、多孔質体６３の給気面側の給気キＸ・ビｊイＧ４
内Ｃ支持部６Ｇの接する部分とそうでない部分と（こ圧
力の差が生じ、その結果、軸受面Ｃの１１１１］−気体
の透過流量の分イ１ｉが均一でなくなり、回転ｆｉ’ｉ
Ｉａ ＜’ｃどの軸受性能の低下が避けられない。
ｃは、多孔質体６３の給気面側の給気キＸ・ビｊイＧ４
内Ｃ支持部６Ｇの接する部分とそうでない部分と（こ圧
力の差が生じ、その結果、軸受面Ｃの１１１１］−気体
の透過流量の分イ１ｉが均一でなくなり、回転ｆｉ’ｉ
Ｉａ ＜’ｃどの軸受性能の低下が避けられない。
またキャビティ５４０部分を気孔率の十分大きな別の多
孔質体で形成す゛る方法も考えられる。この場合はυｌ
】圧気体の透過流量の分布はほぼ均−Ｃ微小変形早すあ
る程度抑えられる。しかし２つの多孔質の境Ｖｌぐ（。
孔質体で形成す゛る方法も考えられる。この場合はυｌ
】圧気体の透過流量の分布はほぼ均−Ｃ微小変形早すあ
る程度抑えられる。しかし２つの多孔質の境Ｖｌぐ（。
１人さ４ｄｌ−力差が発生するのｒ軸受を形成４−る様
な加圧気体を給気すると境界付近に歪が生じる１、この
場合両者の弾性率の差から境界部に亀裂等の破損が牛じ
やすい。これを防ぐ為には両者の弾性率を等しくする必
要があるが１．１２泪秋困難である。
な加圧気体を給気すると境界付近に歪が生じる１、この
場合両者の弾性率の差から境界部に亀裂等の破損が牛じ
やすい。これを防ぐ為には両者の弾性率を等しくする必
要があるが１．１２泪秋困難である。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明の課題は、前述の従来技術の欠点を除去して、多
孔質体の給気圧による微小変形を起しにくい構造を持ら
、軸受面での加圧気体の圧力分布を一定にして一様な気
体膜を形成し、かつ多孔質体内に大きな圧力差と弾性率
差を生じさせない構造にすることにより給気形態にさく
Ｊど影響されない一定の軸受性能を得ることのできる多
孔質体による静圧気体軸受を提供することひある。
孔質体の給気圧による微小変形を起しにくい構造を持ら
、軸受面での加圧気体の圧力分布を一定にして一様な気
体膜を形成し、かつ多孔質体内に大きな圧力差と弾性率
差を生じさせない構造にすることにより給気形態にさく
Ｊど影響されない一定の軸受性能を得ることのできる多
孔質体による静圧気体軸受を提供することひある。
［問題点を解決するための手段］
本発明によれば、前述の課題を達成するために、多孔質
体の気孔率を給気面側から軸受面側へ徐々に小さくした
多孔質静圧気体軸受が提供される。
体の気孔率を給気面側から軸受面側へ徐々に小さくした
多孔質静圧気体軸受が提供される。
ひとつの実施ｉ ＬＭにおいては前記多孔質体の粒度が
軸受面側から給気面側へ徐々に大きくされている。
軸受面側から給気面側へ徐々に大きくされている。
［作 用］
本発明の静圧気体軸受においては、その軸受面の多孔質
体の気孔率が給気面側で大となるようにされているので
、給気時の加圧気体の圧力が多孔°自体内の気孔率の変
化に従って分散され、多孔質体内に１６いて圧力分布が
均一化されることにより、軸受面側に一様な圧力分布の
気体膜を形成η−る。
体の気孔率が給気面側で大となるようにされているので
、給気時の加圧気体の圧力が多孔°自体内の気孔率の変
化に従って分散され、多孔質体内に１６いて圧力分布が
均一化されることにより、軸受面側に一様な圧力分布の
気体膜を形成η−る。
１、た、本発明では多孔質体内の大気孔率部分が給気二
１ ｔ−＋でティの１儲１」をするので広いキ（・ビテ
イを設（Ｊる必敷かなく、従つＣ多孔質体の変形強度を
充分大さくしで給気ＬＦによるその微小変形を生じ１．
二りい（１４）青を１宋用ｉ＝Ｊ能である。
１ ｔ−＋でティの１儲１」をするので広いキ（・ビテ
イを設（Ｊる必敷かなく、従つＣ多孔質体の変形強度を
充分大さくしで給気ＬＦによるその微小変形を生じ１．
二りい（１４）青を１宋用ｉ＝Ｊ能である。
史に、本発明は多孔質体内の気孔率が徐々に変化してい
るので気体圧力も徐々に変化していさ、急ｍ ％圧力差
を発（Ｌする所がなく、同時に弾ｔｌｌ率ら徐々に変化
しでいくので、給気圧によって部分的に亀裂等の破１（
コが牛じる事の４ρい４７４ 造が可能である。
るので気体圧力も徐々に変化していさ、急ｍ ％圧力差
を発（Ｌする所がなく、同時に弾ｔｌｌ率ら徐々に変化
しでいくので、給気圧によって部分的に亀裂等の破１（
コが牛じる事の４ρい４７４ 造が可能である。
Ｉ実施例１
第１図は、本発明の第１実施例でラジアル軸受に使用す
る多孔質静圧気体軸受を示しており、１１（よ軸、１２
は軸受部十Ａ、＋３ｉよ円筒状多孔質体で軸受部材１２
の内部に嵌着されでいる。多孔質体１３は、その軸受面
１３ｂ側から給気面１’３ａ側へ徐々に気孔率が大きく
なっており、その両端面１７は気体の洩れを防止するた
めの９ｕＩ！Ｊ！が施されている。又１５は給気孔であ
る。
る多孔質静圧気体軸受を示しており、１１（よ軸、１２
は軸受部十Ａ、＋３ｉよ円筒状多孔質体で軸受部材１２
の内部に嵌着されでいる。多孔質体１３は、その軸受面
１３ｂ側から給気面１’３ａ側へ徐々に気孔率が大きく
なっており、その両端面１７は気体の洩れを防止するた
めの９ｕＩ！Ｊ！が施されている。又１５は給気孔であ
る。
給気孔１５から加圧気体が供給されると、円筒状多孔質
体１３の気孔率の大きい給電面１３ａ側から送り込まれ
た加圧気体は多孔質体内で仝休にわたり分散され、これ
により多孔質体内部において給気圧力弁イ■が均一とな
り、軸受面１３ｂへ向うにつれて徐々に絞られて均一な
圧力分布で軸受面１３ｂから噴出し、軸１１どの間の微
小すさまに均一な気体膜を形成する。
体１３の気孔率の大きい給電面１３ａ側から送り込まれ
た加圧気体は多孔質体内で仝休にわたり分散され、これ
により多孔質体内部において給気圧力弁イ■が均一とな
り、軸受面１３ｂへ向うにつれて徐々に絞られて均一な
圧力分布で軸受面１３ｂから噴出し、軸１１どの間の微
小すさまに均一な気体膜を形成する。
第２図【３１本発明の第２実施例どしてスラスト軸受に
使用する多孔質静圧気体軸受を示しており、環状の多孔
質体２３はその円筒面２７に気体の洩れを防止するため
の処即が施されている。軸受部材２２の給気孔２５から
ＩＪ１１圧気体が供給されると、多孔質体２３の気孔率
の大きい給電面２３ａ側から加圧気体が多孔質体内全体
にわたり分散され、圧力’ｔ） イｌ；が多孔質体内部
においＣ均一と４【す、軸受面２３ｂへ向うにつれ徐々
に絞られて、均一な圧力分布で軸受面２３ｂから噴出し
、軸受面２３１〕ど＠２１のフランジ２１ａどの間の微
小すきまに均一な気体膜を形成する。
使用する多孔質静圧気体軸受を示しており、環状の多孔
質体２３はその円筒面２７に気体の洩れを防止するため
の処即が施されている。軸受部材２２の給気孔２５から
ＩＪ１１圧気体が供給されると、多孔質体２３の気孔率
の大きい給電面２３ａ側から加圧気体が多孔質体内全体
にわたり分散され、圧力’ｔ） イｌ；が多孔質体内部
においＣ均一と４【す、軸受面２３ｂへ向うにつれ徐々
に絞られて、均一な圧力分布で軸受面２３ｂから噴出し
、軸受面２３１〕ど＠２１のフランジ２１ａどの間の微
小すきまに均一な気体膜を形成する。
第３図は本発明の第３実施例としてスラス１へラジアル
軸受に使用する多孔質静圧気体軸受を示して１１３つ、
円筒状の多孔質体３３はスラスト軸受面３３ｃ部分Ｊ３
Ｊ＝びラジアル軸受面３３ｂから給気面３３ｃ部分へ徐
々に気孔率が大きくなっている。軸受部材３２の給気孔
３５から加圧気体が供給されると、円筒状多孔質体３３
の気孔率の人さい給気面３３ｃ部分から加圧気体が多孔
質体内全体にわたり分散され、圧力弁７１ｉが多孔質体
内部にＪ３いて均一どなり、軸受面３３ｂ ｊ３よび３
３ｃ側へ向うにつれ徐々に絞られて均一な圧力分布で各
軸受面３３ｂおよび３３ｃから噴出し、軸３１とラジア
ル軸受面３３ｂとの間、Ｊ５よびフランジ３１ａとスラ
スト軸受面３３ｃどの間の微小１ノさ′まに均一な気体
膜を形成する。
軸受に使用する多孔質静圧気体軸受を示して１１３つ、
円筒状の多孔質体３３はスラスト軸受面３３ｃ部分Ｊ３
Ｊ＝びラジアル軸受面３３ｂから給気面３３ｃ部分へ徐
々に気孔率が大きくなっている。軸受部材３２の給気孔
３５から加圧気体が供給されると、円筒状多孔質体３３
の気孔率の人さい給気面３３ｃ部分から加圧気体が多孔
質体内全体にわたり分散され、圧力弁７１ｉが多孔質体
内部にＪ３いて均一どなり、軸受面３３ｂ ｊ３よび３
３ｃ側へ向うにつれ徐々に絞られて均一な圧力分布で各
軸受面３３ｂおよび３３ｃから噴出し、軸３１とラジア
ル軸受面３３ｂとの間、Ｊ５よびフランジ３１ａとスラ
スト軸受面３３ｃどの間の微小１ノさ′まに均一な気体
膜を形成する。
第４図は本発明の第４実施例としＣ直線スライド軸受に
使用する多孔質静圧気体軸受を示しており、多孔質体４
３はその給気面４３ａからスライド軸受面４３１）へ向
っで徐々に気孔率が小さくされ、外周４７には空気洩れ
の防止処置がなされている。軸受部材４２の給気孔４５
から加ロー気体が供給されると、多孔質体４３の気孔率
の大きい給気面４３ａ側から加ＩＦ気体が多孔質体内全
体にわたり分散され、圧力分布が多孔質体内部にＪ３い
Ｃ均一となり、ＩＮＩ受而４面ｂへ向うにつれ徐々に絞
られて均一な圧力弁（１１で軸受面４３ｂから噴出し、
軸受面４３ｂとスライド面４１との間の微小すきまに均
一イ１気体膜を形成づる。
使用する多孔質静圧気体軸受を示しており、多孔質体４
３はその給気面４３ａからスライド軸受面４３１）へ向
っで徐々に気孔率が小さくされ、外周４７には空気洩れ
の防止処置がなされている。軸受部材４２の給気孔４５
から加ロー気体が供給されると、多孔質体４３の気孔率
の大きい給気面４３ａ側から加ＩＦ気体が多孔質体内全
体にわたり分散され、圧力分布が多孔質体内部にＪ３い
Ｃ均一となり、ＩＮＩ受而４面ｂへ向うにつれ徐々に絞
られて均一な圧力弁（１１で軸受面４３ｂから噴出し、
軸受面４３ｂとスライド面４１との間の微小すきまに均
一イ１気体膜を形成づる。
第１図から第４図までに示した実施例は、１へて給気面
から軸受面へ気孔率が徐々に変化しているので、大きな
圧力差を牛しる所、弾性率が急激に変化づる所は存在せ
ず、従って給気圧により部分的に亀裂等の破損が発生す
る事はない。
から軸受面へ気孔率が徐々に変化しているので、大きな
圧力差を牛しる所、弾性率が急激に変化づる所は存在せ
ず、従って給気圧により部分的に亀裂等の破損が発生す
る事はない。
以上に述べた各実施例においでは給気孔を１ケ所どじで
いるが、本発明はこれに限定されるものではむく、複数
側の給気孔を設けてもよいことは述べるよｃしない。ま
た給気孔と共に簡単な給気キャビティを設けてもよい。
いるが、本発明はこれに限定されるものではむく、複数
側の給気孔を設けてもよいことは述べるよｃしない。ま
た給気孔と共に簡単な給気キャビティを設けてもよい。
さらに第２実施例にＪ３いては多孔質体２３を環状とし
でいるが、この代りに適当な形状の多孔黄体を円周−Ｌ
に数箇所別々に設けるように形成しても同様のスラス１
〜軸受を構成することができる。
でいるが、この代りに適当な形状の多孔黄体を円周−Ｌ
に数箇所別々に設けるように形成しても同様のスラス１
〜軸受を構成することができる。
［発明の効果１
以−１ニ説明したように、本発明によれば、気孔率が給
気面側から軸受面側へ徐々に小さくなる多孔ｔ′１体を
多孔質静圧軸受の軸受面に用いているので、多孔質体へ
の給気形態を簡＋１に、すなわら給気キＶビデイを不要
とすることができ、このため、軸受部材と多孔質体の接
する部分を広くして給気時の多孔黄体の変形を抑える構
造が容易に達成でさ、軸受部材に給気キャビティを設（
〕る加工も不要どなり、部品の成形加工が簡単になり、
さらに給気側の形態による軸受面側での圧力弁イ［のバ
ラツキがなくなるので、製品個々の軸受性能が一様に優
れたものと＜賞り、また、部分的に亀裂等の破１０ｈ（
〈［しにくいので、軸受の耐久ｔ）１能がよいものどな
る。
気面側から軸受面側へ徐々に小さくなる多孔ｔ′１体を
多孔質静圧軸受の軸受面に用いているので、多孔質体へ
の給気形態を簡＋１に、すなわら給気キＶビデイを不要
とすることができ、このため、軸受部材と多孔質体の接
する部分を広くして給気時の多孔黄体の変形を抑える構
造が容易に達成でさ、軸受部材に給気キャビティを設（
〕る加工も不要どなり、部品の成形加工が簡単になり、
さらに給気側の形態による軸受面側での圧力弁イ［のバ
ラツキがなくなるので、製品個々の軸受性能が一様に優
れたものと＜賞り、また、部分的に亀裂等の破１０ｈ（
〈［しにくいので、軸受の耐久ｔ）１能がよいものどな
る。
第１図は、本発明の第１の実施例を示す多孔質静圧気体
軸受の断面図、第２図、第３図、第４図は、それぞれ本
発明の池の実施例を示すしので、第４図はスラス１〜軸
受の断面図、第す図はスラスト・ラジアル軸受の断面図
、第６図は直線スライド軸受の断面図、第５図と第６図
は、従来の多孔質静圧気体軸受を示Ｊ断面図である。 図中１１．２１．３１は軸、１２．２２．３２．４２は
軸受部材、１３．２３．３３．４３は多孔質体、４１は
スライド面、１！＋、 ２５．３５．４５は給気孔であ
る。 特訂出腹１人 キ１７ノン株式会ン１ 代理人 弁理１−１５１束辰）Ｉｔ 代理人 弁理＋ ｆＪ’ｌ東百也 ２７ ２１ ．２１ａ 第２図 第３図 第４図
軸受の断面図、第２図、第３図、第４図は、それぞれ本
発明の池の実施例を示すしので、第４図はスラス１〜軸
受の断面図、第す図はスラスト・ラジアル軸受の断面図
、第６図は直線スライド軸受の断面図、第５図と第６図
は、従来の多孔質静圧気体軸受を示Ｊ断面図である。 図中１１．２１．３１は軸、１２．２２．３２．４２は
軸受部材、１３．２３．３３．４３は多孔質体、４１は
スライド面、１！＋、 ２５．３５．４５は給気孔であ
る。 特訂出腹１人 キ１７ノン株式会ン１ 代理人 弁理１−１５１束辰）Ｉｔ 代理人 弁理＋ ｆＪ’ｌ東百也 ２７ ２１ ．２１ａ 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、軸受面に多孔質体を配して該多孔質体を通して軸受
面間隙に加圧気体を供給するようにした静圧気体軸受に
おいて、前記多孔質体の気孔率が給気面側から軸受面側
へ徐々に小さくされている事を特徴とする静圧気体軸受
。 ２、軸受面側から給気面側へ多孔質体の粒度が徐々に大
きくされていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の静圧気体軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25985185A JPS62124320A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | 静圧気体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25985185A JPS62124320A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | 静圧気体軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62124320A true JPS62124320A (ja) | 1987-06-05 |
Family
ID=17339856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25985185A Pending JPS62124320A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | 静圧気体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62124320A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0362781A2 (de) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Mca Micro Crystal Ag | Hochfrequenzspindel zur Werkstückbearbeitung |
| JPH04107320A (ja) * | 1990-08-24 | 1992-04-08 | Ngk Insulators Ltd | 静圧気体軸受け及びその製造法 |
| EP0821087A1 (de) * | 1996-07-27 | 1998-01-28 | Rieter Ingolstadt Spinnereimaschinenbau AG | Offenend-Spinnvorrichtung |
| DE102013020221A1 (de) * | 2013-11-30 | 2015-06-03 | Festo Ag & Co. Kg | Stator für einen Lineardirektantrieb und Verfahren zum Herstellen eines Stators |
| JP2019190591A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 学校法人東京理科大学 | 多孔質静圧空気軸受及びその製造方法 |
-
1985
- 1985-11-21 JP JP25985185A patent/JPS62124320A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0362781A2 (de) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Mca Micro Crystal Ag | Hochfrequenzspindel zur Werkstückbearbeitung |
| JPH04107320A (ja) * | 1990-08-24 | 1992-04-08 | Ngk Insulators Ltd | 静圧気体軸受け及びその製造法 |
| EP0821087A1 (de) * | 1996-07-27 | 1998-01-28 | Rieter Ingolstadt Spinnereimaschinenbau AG | Offenend-Spinnvorrichtung |
| DE102013020221A1 (de) * | 2013-11-30 | 2015-06-03 | Festo Ag & Co. Kg | Stator für einen Lineardirektantrieb und Verfahren zum Herstellen eines Stators |
| DE102013020221B4 (de) * | 2013-11-30 | 2020-11-26 | Festo Se & Co. Kg | Stator für einen Lineardirektantrieb und Verfahren zum Herstellen eines Stators |
| JP2019190591A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 学校法人東京理科大学 | 多孔質静圧空気軸受及びその製造方法 |
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