JPS62124320A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
- Publication number
- JPS62124320A JPS62124320A JP25985185A JP25985185A JPS62124320A JP S62124320 A JPS62124320 A JP S62124320A JP 25985185 A JP25985185 A JP 25985185A JP 25985185 A JP25985185 A JP 25985185A JP S62124320 A JPS62124320 A JP S62124320A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- gas
- bearing surface
- porous body
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3、発射の詳IIlな説明
[産業上の利用分野1
本発明は、軸受面に多孔質体を用いた静1F気体軸受に
関づる。
関づる。
[従来の技術1
この種の多孔質静圧気体軸受の従来例をラジアル軸受を
例にとって第5図と共に説明すると、第5図において情
51を滑動可能に支1−する軸受部材52は軸受面に多
孔質体53をイ)シ、その軸受面の反対側の給気キャビ
ティ54に給気孔55から加圧気体を供給して、多孔質
体53を通して軸受面と軸51との間の微小な隙間(軸
受面間隙)に前記加圧気体による気体膜を形成往しめ、
これにより@51を静圧気体によって極低摩擦係数で軸
受支持するようにしている。
例にとって第5図と共に説明すると、第5図において情
51を滑動可能に支1−する軸受部材52は軸受面に多
孔質体53をイ)シ、その軸受面の反対側の給気キャビ
ティ54に給気孔55から加圧気体を供給して、多孔質
体53を通して軸受面と軸51との間の微小な隙間(軸
受面間隙)に前記加圧気体による気体膜を形成往しめ、
これにより@51を静圧気体によって極低摩擦係数で軸
受支持するようにしている。
このような構造の多孔質静圧気体軸受では、多孔質体の
軸受面側での透過気体流量を均一にして良好4に軸受性
能をもたせるために、給気面側でのhO圧気体の圧力分
布を一定にする必要があり、この点からは給気キトビテ
イ54をでさるだけ広くづることが望ましいが、給気キ
レビテイ54をあまり広くするど、給気加圧気体の圧力
により多孔質体53が軸受面側へ膨む微小変形を起し、
軸受性能の低下を16り結果どなる。
軸受面側での透過気体流量を均一にして良好4に軸受性
能をもたせるために、給気面側でのhO圧気体の圧力分
布を一定にする必要があり、この点からは給気キトビテ
イ54をでさるだけ広くづることが望ましいが、給気キ
レビテイ54をあまり広くするど、給気加圧気体の圧力
により多孔質体53が軸受面側へ膨む微小変形を起し、
軸受性能の低下を16り結果どなる。
一方、給気圧力による多孔質体の微小変形を抑えるため
の幻策も考えられており、第6図にその一例を示す。第
6図においC1軸61を滑O」可能に支持する軸受部材
62は軸受面に多孔質体63をhし、多孔71休63の
背面側の給気キトビテイ64内には、キt・ビデイ内を
連通ずる溝を何する支持部66が適当な開隔C複数配設
されており、これら支持部66により給気孔65からキ
N7ビテイ64内に供給された加圧気体にJ、る多孔質
体の微小変形を防止するよう←二して゛いる。
の幻策も考えられており、第6図にその一例を示す。第
6図においC1軸61を滑O」可能に支持する軸受部材
62は軸受面に多孔質体63をhし、多孔71休63の
背面側の給気キトビテイ64内には、キt・ビデイ内を
連通ずる溝を何する支持部66が適当な開隔C複数配設
されており、これら支持部66により給気孔65からキ
N7ビテイ64内に供給された加圧気体にJ、る多孔質
体の微小変形を防止するよう←二して゛いる。
しかしながらこの第6図に示すような対策を施したしの
cは、多孔質体63の給気面側の給気キX・ビjイG4
内C支持部6Gの接する部分とそうでない部分と(こ圧
力の差が生じ、その結果、軸受面Cの1111]−気体
の透過流量の分イ1iが均一でなくなり、回転fi’i
Ia <’cどの軸受性能の低下が避けられない。
cは、多孔質体63の給気面側の給気キX・ビjイG4
内C支持部6Gの接する部分とそうでない部分と(こ圧
力の差が生じ、その結果、軸受面Cの1111]−気体
の透過流量の分イ1iが均一でなくなり、回転fi’i
Ia <’cどの軸受性能の低下が避けられない。
またキャビティ540部分を気孔率の十分大きな別の多
孔質体で形成す゛る方法も考えられる。この場合はυl
】圧気体の透過流量の分布はほぼ均−C微小変形早すあ
る程度抑えられる。しかし2つの多孔質の境Vlぐ(。
孔質体で形成す゛る方法も考えられる。この場合はυl
】圧気体の透過流量の分布はほぼ均−C微小変形早すあ
る程度抑えられる。しかし2つの多孔質の境Vlぐ(。
1人さ4dl−力差が発生するのr軸受を形成4−る様
な加圧気体を給気すると境界付近に歪が生じる1、この
場合両者の弾性率の差から境界部に亀裂等の破損が牛じ
やすい。これを防ぐ為には両者の弾性率を等しくする必
要があるが1.12泪秋困難である。
な加圧気体を給気すると境界付近に歪が生じる1、この
場合両者の弾性率の差から境界部に亀裂等の破損が牛じ
やすい。これを防ぐ為には両者の弾性率を等しくする必
要があるが1.12泪秋困難である。
[発明が解決しようとする問題点]
本発明の課題は、前述の従来技術の欠点を除去して、多
孔質体の給気圧による微小変形を起しにくい構造を持ら
、軸受面での加圧気体の圧力分布を一定にして一様な気
体膜を形成し、かつ多孔質体内に大きな圧力差と弾性率
差を生じさせない構造にすることにより給気形態にさく
Jど影響されない一定の軸受性能を得ることのできる多
孔質体による静圧気体軸受を提供することひある。
孔質体の給気圧による微小変形を起しにくい構造を持ら
、軸受面での加圧気体の圧力分布を一定にして一様な気
体膜を形成し、かつ多孔質体内に大きな圧力差と弾性率
差を生じさせない構造にすることにより給気形態にさく
Jど影響されない一定の軸受性能を得ることのできる多
孔質体による静圧気体軸受を提供することひある。
[問題点を解決するための手段]
本発明によれば、前述の課題を達成するために、多孔質
体の気孔率を給気面側から軸受面側へ徐々に小さくした
多孔質静圧気体軸受が提供される。
体の気孔率を給気面側から軸受面側へ徐々に小さくした
多孔質静圧気体軸受が提供される。
ひとつの実施i LMにおいては前記多孔質体の粒度が
軸受面側から給気面側へ徐々に大きくされている。
軸受面側から給気面側へ徐々に大きくされている。
[作 用]
本発明の静圧気体軸受においては、その軸受面の多孔質
体の気孔率が給気面側で大となるようにされているので
、給気時の加圧気体の圧力が多孔°自体内の気孔率の変
化に従って分散され、多孔質体内に16いて圧力分布が
均一化されることにより、軸受面側に一様な圧力分布の
気体膜を形成η−る。
体の気孔率が給気面側で大となるようにされているので
、給気時の加圧気体の圧力が多孔°自体内の気孔率の変
化に従って分散され、多孔質体内に16いて圧力分布が
均一化されることにより、軸受面側に一様な圧力分布の
気体膜を形成η−る。
1、た、本発明では多孔質体内の大気孔率部分が給気二
1 t−+でティの1儲1」をするので広いキ(・ビテ
イを設(Jる必敷かなく、従つC多孔質体の変形強度を
充分大さくしで給気LFによるその微小変形を生じ1.
二りい(14)青を1宋用i=J能である。
1 t−+でティの1儲1」をするので広いキ(・ビテ
イを設(Jる必敷かなく、従つC多孔質体の変形強度を
充分大さくしで給気LFによるその微小変形を生じ1.
二りい(14)青を1宋用i=J能である。
史に、本発明は多孔質体内の気孔率が徐々に変化してい
るので気体圧力も徐々に変化していさ、急m %圧力差
を発(Lする所がなく、同時に弾tll率ら徐々に変化
しでいくので、給気圧によって部分的に亀裂等の破1(
コが牛じる事の4ρい474 造が可能である。
るので気体圧力も徐々に変化していさ、急m %圧力差
を発(Lする所がなく、同時に弾tll率ら徐々に変化
しでいくので、給気圧によって部分的に亀裂等の破1(
コが牛じる事の4ρい474 造が可能である。
I実施例1
第1図は、本発明の第1実施例でラジアル軸受に使用す
る多孔質静圧気体軸受を示しており、11(よ軸、12
は軸受部十A、+3iよ円筒状多孔質体で軸受部材12
の内部に嵌着されでいる。多孔質体13は、その軸受面
13b側から給気面1’3a側へ徐々に気孔率が大きく
なっており、その両端面17は気体の洩れを防止するた
めの9uI!J!が施されている。又15は給気孔であ
る。
る多孔質静圧気体軸受を示しており、11(よ軸、12
は軸受部十A、+3iよ円筒状多孔質体で軸受部材12
の内部に嵌着されでいる。多孔質体13は、その軸受面
13b側から給気面1’3a側へ徐々に気孔率が大きく
なっており、その両端面17は気体の洩れを防止するた
めの9uI!J!が施されている。又15は給気孔であ
る。
給気孔15から加圧気体が供給されると、円筒状多孔質
体13の気孔率の大きい給電面13a側から送り込まれ
た加圧気体は多孔質体内で仝休にわたり分散され、これ
により多孔質体内部において給気圧力弁イ■が均一とな
り、軸受面13bへ向うにつれて徐々に絞られて均一な
圧力分布で軸受面13bから噴出し、軸11どの間の微
小すさまに均一な気体膜を形成する。
体13の気孔率の大きい給電面13a側から送り込まれ
た加圧気体は多孔質体内で仝休にわたり分散され、これ
により多孔質体内部において給気圧力弁イ■が均一とな
り、軸受面13bへ向うにつれて徐々に絞られて均一な
圧力分布で軸受面13bから噴出し、軸11どの間の微
小すさまに均一な気体膜を形成する。
第2図【31本発明の第2実施例どしてスラスト軸受に
使用する多孔質静圧気体軸受を示しており、環状の多孔
質体23はその円筒面27に気体の洩れを防止するため
の処即が施されている。軸受部材22の給気孔25から
IJ11圧気体が供給されると、多孔質体23の気孔率
の大きい給電面23a側から加圧気体が多孔質体内全体
にわたり分散され、圧力’t) イl;が多孔質体内部
においC均一と4【す、軸受面23bへ向うにつれ徐々
に絞られて、均一な圧力分布で軸受面23bから噴出し
、軸受面231〕ど@21のフランジ21aどの間の微
小すきまに均一な気体膜を形成する。
使用する多孔質静圧気体軸受を示しており、環状の多孔
質体23はその円筒面27に気体の洩れを防止するため
の処即が施されている。軸受部材22の給気孔25から
IJ11圧気体が供給されると、多孔質体23の気孔率
の大きい給電面23a側から加圧気体が多孔質体内全体
にわたり分散され、圧力’t) イl;が多孔質体内部
においC均一と4【す、軸受面23bへ向うにつれ徐々
に絞られて、均一な圧力分布で軸受面23bから噴出し
、軸受面231〕ど@21のフランジ21aどの間の微
小すきまに均一な気体膜を形成する。
第3図は本発明の第3実施例としてスラス1へラジアル
軸受に使用する多孔質静圧気体軸受を示して113つ、
円筒状の多孔質体33はスラスト軸受面33c部分J3
J=びラジアル軸受面33bから給気面33c部分へ徐
々に気孔率が大きくなっている。軸受部材32の給気孔
35から加圧気体が供給されると、円筒状多孔質体33
の気孔率の人さい給気面33c部分から加圧気体が多孔
質体内全体にわたり分散され、圧力弁71iが多孔質体
内部にJ3いて均一どなり、軸受面33b j3よび3
3c側へ向うにつれ徐々に絞られて均一な圧力分布で各
軸受面33bおよび33cから噴出し、軸31とラジア
ル軸受面33bとの間、J5よびフランジ31aとスラ
スト軸受面33cどの間の微小1ノさ′まに均一な気体
膜を形成する。
軸受に使用する多孔質静圧気体軸受を示して113つ、
円筒状の多孔質体33はスラスト軸受面33c部分J3
J=びラジアル軸受面33bから給気面33c部分へ徐
々に気孔率が大きくなっている。軸受部材32の給気孔
35から加圧気体が供給されると、円筒状多孔質体33
の気孔率の人さい給気面33c部分から加圧気体が多孔
質体内全体にわたり分散され、圧力弁71iが多孔質体
内部にJ3いて均一どなり、軸受面33b j3よび3
3c側へ向うにつれ徐々に絞られて均一な圧力分布で各
軸受面33bおよび33cから噴出し、軸31とラジア
ル軸受面33bとの間、J5よびフランジ31aとスラ
スト軸受面33cどの間の微小1ノさ′まに均一な気体
膜を形成する。
第4図は本発明の第4実施例としC直線スライド軸受に
使用する多孔質静圧気体軸受を示しており、多孔質体4
3はその給気面43aからスライド軸受面431)へ向
っで徐々に気孔率が小さくされ、外周47には空気洩れ
の防止処置がなされている。軸受部材42の給気孔45
から加ロー気体が供給されると、多孔質体43の気孔率
の大きい給気面43a側から加IF気体が多孔質体内全
体にわたり分散され、圧力分布が多孔質体内部にJ3い
C均一となり、INI受而4面bへ向うにつれ徐々に絞
られて均一な圧力弁(11で軸受面43bから噴出し、
軸受面43bとスライド面41との間の微小すきまに均
一イ1気体膜を形成づる。
使用する多孔質静圧気体軸受を示しており、多孔質体4
3はその給気面43aからスライド軸受面431)へ向
っで徐々に気孔率が小さくされ、外周47には空気洩れ
の防止処置がなされている。軸受部材42の給気孔45
から加ロー気体が供給されると、多孔質体43の気孔率
の大きい給気面43a側から加IF気体が多孔質体内全
体にわたり分散され、圧力分布が多孔質体内部にJ3い
C均一となり、INI受而4面bへ向うにつれ徐々に絞
られて均一な圧力弁(11で軸受面43bから噴出し、
軸受面43bとスライド面41との間の微小すきまに均
一イ1気体膜を形成づる。
第1図から第4図までに示した実施例は、1へて給気面
から軸受面へ気孔率が徐々に変化しているので、大きな
圧力差を牛しる所、弾性率が急激に変化づる所は存在せ
ず、従って給気圧により部分的に亀裂等の破損が発生す
る事はない。
から軸受面へ気孔率が徐々に変化しているので、大きな
圧力差を牛しる所、弾性率が急激に変化づる所は存在せ
ず、従って給気圧により部分的に亀裂等の破損が発生す
る事はない。
以上に述べた各実施例においでは給気孔を1ケ所どじで
いるが、本発明はこれに限定されるものではむく、複数
側の給気孔を設けてもよいことは述べるよcしない。ま
た給気孔と共に簡単な給気キャビティを設けてもよい。
いるが、本発明はこれに限定されるものではむく、複数
側の給気孔を設けてもよいことは述べるよcしない。ま
た給気孔と共に簡単な給気キャビティを設けてもよい。
さらに第2実施例にJ3いては多孔質体23を環状とし
でいるが、この代りに適当な形状の多孔黄体を円周−L
に数箇所別々に設けるように形成しても同様のスラス1
〜軸受を構成することができる。
でいるが、この代りに適当な形状の多孔黄体を円周−L
に数箇所別々に設けるように形成しても同様のスラス1
〜軸受を構成することができる。
[発明の効果1
以−1ニ説明したように、本発明によれば、気孔率が給
気面側から軸受面側へ徐々に小さくなる多孔t′1体を
多孔質静圧軸受の軸受面に用いているので、多孔質体へ
の給気形態を簡+1に、すなわら給気キVビデイを不要
とすることができ、このため、軸受部材と多孔質体の接
する部分を広くして給気時の多孔黄体の変形を抑える構
造が容易に達成でさ、軸受部材に給気キャビティを設(
〕る加工も不要どなり、部品の成形加工が簡単になり、
さらに給気側の形態による軸受面側での圧力弁イ[のバ
ラツキがなくなるので、製品個々の軸受性能が一様に優
れたものと<賞り、また、部分的に亀裂等の破10h(
〈[しにくいので、軸受の耐久t)1能がよいものどな
る。
気面側から軸受面側へ徐々に小さくなる多孔t′1体を
多孔質静圧軸受の軸受面に用いているので、多孔質体へ
の給気形態を簡+1に、すなわら給気キVビデイを不要
とすることができ、このため、軸受部材と多孔質体の接
する部分を広くして給気時の多孔黄体の変形を抑える構
造が容易に達成でさ、軸受部材に給気キャビティを設(
〕る加工も不要どなり、部品の成形加工が簡単になり、
さらに給気側の形態による軸受面側での圧力弁イ[のバ
ラツキがなくなるので、製品個々の軸受性能が一様に優
れたものと<賞り、また、部分的に亀裂等の破10h(
〈[しにくいので、軸受の耐久t)1能がよいものどな
る。
第1図は、本発明の第1の実施例を示す多孔質静圧気体
軸受の断面図、第2図、第3図、第4図は、それぞれ本
発明の池の実施例を示すしので、第4図はスラス1〜軸
受の断面図、第す図はスラスト・ラジアル軸受の断面図
、第6図は直線スライド軸受の断面図、第5図と第6図
は、従来の多孔質静圧気体軸受を示J断面図である。 図中11.21.31は軸、12.22.32.42は
軸受部材、13.23.33.43は多孔質体、41は
スライド面、1!+、 25.35.45は給気孔であ
る。 特訂出腹1人 キ17ノン株式会ン1 代理人 弁理1−151束辰)It 代理人 弁理+ fJ’l東百也 27 21 .21a 第2図 第3図 第4図
軸受の断面図、第2図、第3図、第4図は、それぞれ本
発明の池の実施例を示すしので、第4図はスラス1〜軸
受の断面図、第す図はスラスト・ラジアル軸受の断面図
、第6図は直線スライド軸受の断面図、第5図と第6図
は、従来の多孔質静圧気体軸受を示J断面図である。 図中11.21.31は軸、12.22.32.42は
軸受部材、13.23.33.43は多孔質体、41は
スライド面、1!+、 25.35.45は給気孔であ
る。 特訂出腹1人 キ17ノン株式会ン1 代理人 弁理1−151束辰)It 代理人 弁理+ fJ’l東百也 27 21 .21a 第2図 第3図 第4図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、軸受面に多孔質体を配して該多孔質体を通して軸受
面間隙に加圧気体を供給するようにした静圧気体軸受に
おいて、前記多孔質体の気孔率が給気面側から軸受面側
へ徐々に小さくされている事を特徴とする静圧気体軸受
。 2、軸受面側から給気面側へ多孔質体の粒度が徐々に大
きくされていることを特徴とする特許請求の範囲第1項
に記載の静圧気体軸受。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25985185A JPS62124320A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | 静圧気体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25985185A JPS62124320A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | 静圧気体軸受 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62124320A true JPS62124320A (ja) | 1987-06-05 |
Family
ID=17339856
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25985185A Pending JPS62124320A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | 静圧気体軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62124320A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0362781A2 (de) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Mca Micro Crystal Ag | Hochfrequenzspindel zur Werkstückbearbeitung |
JPH04107320A (ja) * | 1990-08-24 | 1992-04-08 | Ngk Insulators Ltd | 静圧気体軸受け及びその製造法 |
EP0821087A1 (de) * | 1996-07-27 | 1998-01-28 | Rieter Ingolstadt Spinnereimaschinenbau AG | Offenend-Spinnvorrichtung |
DE102013020221A1 (de) * | 2013-11-30 | 2015-06-03 | Festo Ag & Co. Kg | Stator für einen Lineardirektantrieb und Verfahren zum Herstellen eines Stators |
JP2019190591A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 学校法人東京理科大学 | 多孔質静圧空気軸受及びその製造方法 |
-
1985
- 1985-11-21 JP JP25985185A patent/JPS62124320A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0362781A2 (de) * | 1988-10-07 | 1990-04-11 | Mca Micro Crystal Ag | Hochfrequenzspindel zur Werkstückbearbeitung |
JPH04107320A (ja) * | 1990-08-24 | 1992-04-08 | Ngk Insulators Ltd | 静圧気体軸受け及びその製造法 |
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DE102013020221A1 (de) * | 2013-11-30 | 2015-06-03 | Festo Ag & Co. Kg | Stator für einen Lineardirektantrieb und Verfahren zum Herstellen eines Stators |
DE102013020221B4 (de) * | 2013-11-30 | 2020-11-26 | Festo Se & Co. Kg | Stator für einen Lineardirektantrieb und Verfahren zum Herstellen eines Stators |
JP2019190591A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 学校法人東京理科大学 | 多孔質静圧空気軸受及びその製造方法 |
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