JPS62120365U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62120365U JPS62120365U JP793486U JP793486U JPS62120365U JP S62120365 U JPS62120365 U JP S62120365U JP 793486 U JP793486 U JP 793486U JP 793486 U JP793486 U JP 793486U JP S62120365 U JPS62120365 U JP S62120365U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- guard ring
- conductivity type
- recess
- shot key
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例によるシヨツトキー
バリアーダイオードの縦断面図、第２図は従来の
技術によるシヨツトキーバリアダイオードの縦断
面図である。 １……高濃度Ｎ型シリコン基板、２……低濃度
Ｎ型エピタキシアル層、３……Ｐ型ガードリング
層、４……シリコン酸化膜、５……凹部、１１…
…シヨツトキーバリア電極、１２……裏面電極。
バリアーダイオードの縦断面図、第２図は従来の
技術によるシヨツトキーバリアダイオードの縦断
面図である。 １……高濃度Ｎ型シリコン基板、２……低濃度
Ｎ型エピタキシアル層、３……Ｐ型ガードリング
層、４……シリコン酸化膜、５……凹部、１１…
…シヨツトキーバリア電極、１２……裏面電極。
Claims (1)
- 一導電型の半導体基板と、該半導体基板の一表
面に形成された他導電型のガードリングと、該ガ
ードリングで囲まれた前記半導体基板表面及び前
記ガードリング表面の一部に前記ガードリングの
深さを越えて形成された凹部と、該凹部内の前記
半導体基板表面に形成されたシヨツトキー電極と
を有する事を特徴とするシヨツトキーバリアーダ
イオード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP793486U JPS62120365U (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP793486U JPS62120365U (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62120365U true JPS62120365U (ja) | 1987-07-30 |
Family
ID=30791850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP793486U Pending JPS62120365U (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62120365U (ja) |
-
1986
- 1986-01-22 JP JP793486U patent/JPS62120365U/ja active Pending