JPS62108943A - クリ−ンル−ム制御装置 - Google Patents
クリ−ンル−ム制御装置Info
- Publication number
- JPS62108943A JPS62108943A JP60249342A JP24934285A JPS62108943A JP S62108943 A JPS62108943 A JP S62108943A JP 60249342 A JP60249342 A JP 60249342A JP 24934285 A JP24934285 A JP 24934285A JP S62108943 A JPS62108943 A JP S62108943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- inverter
- room
- output
- fan
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本光明は、半導体の製造などのため清浄空間をつくりだ
すクリーンルーム制御ｉｐ装置に関するものである。
すクリーンルーム制御ｉｐ装置に関するものである。
従来の技術
近年、ＬＳＩの高密度化にともないクリーンルームの超
ｆＪか度空間か要求されている。またクリーンルーム運
転の省エネルギー性も製造原価低域のため非常に重要視
されている。
ｆＪか度空間か要求されている。またクリーンルーム運
転の省エネルギー性も製造原価低域のため非常に重要視
されている。
このような従来のクリーンルームについて第２図を用い
て説明する。第２図にａｊいで、１はクリーンル−ムで
あり、このクリーンル−ム１の大月２には、超高性能の
フィルター３６よび給気ダクト４が設けられ、給気ダク
ト４の風上側には一定な回転数で運転される循環ファン
５が接ＨされＣいる。６は環気ダクトで、クリーンルー
ム１のグレーチング床７の下側から循環ノ１ン５に接続
されている。
て説明する。第２図にａｊいで、１はクリーンル−ムで
あり、このクリーンル−ム１の大月２には、超高性能の
フィルター３６よび給気ダクト４が設けられ、給気ダク
ト４の風上側には一定な回転数で運転される循環ファン
５が接ＨされＣいる。６は環気ダクトで、クリーンルー
ム１のグレーチング床７の下側から循環ノ１ン５に接続
されている。
クリーンルーム１内の空気の大部分（よ、グレーチング
床７より環気ダクト６を通り、循環ファン５に向う。循
環ファン５を出た空気は、給気ダクト４を通り、超高Ｕ
能のフィルター３にて浄化された後、クリーンルーム１
内へ再廓供給される。
床７より環気ダクト６を通り、循環ファン５に向う。循
環ファン５を出た空気は、給気ダクト４を通り、超高Ｕ
能のフィルター３にて浄化された後、クリーンルーム１
内へ再廓供給される。
このようにクリーンルーム１内の空気を循環）戸ン５に
て循環させることにより、ｒ＃！埃は超高性能のフィル
ター３にて除塵され、清浄反が維持されていた。
て循環させることにより、ｒ＃！埃は超高性能のフィル
ター３にて除塵され、清浄反が維持されていた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記従来の構成では、循環ファン５の回転
数が一定であるため、クリーンルーム１内の清浄度に最
大の影響をもたらす入室もの変化に夕・１応できヂ、入
室者が多い場合には清浄度が管理限界から外れたり、ま
た入室者が少ない場合には必要以上の循環風量を循環フ
ァン５より送風することになり、省エネルギー性に問題
点を有していた。
数が一定であるため、クリーンルーム１内の清浄度に最
大の影響をもたらす入室もの変化に夕・１応できヂ、入
室者が多い場合には清浄度が管理限界から外れたり、ま
た入室者が少ない場合には必要以上の循環風量を循環フ
ァン５より送風することになり、省エネルギー性に問題
点を有していた。
本発明は上記従来の問題点を解消するもので、常に清浄
度を維持しかつ省エネルギー性を向上させることのでき
るクリーンルーム制御Ｉ装置を提供することを目的とす
る。
度を維持しかつ省エネルギー性を向上させることのでき
るクリーンルーム制御Ｉ装置を提供することを目的とす
る。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため、本発明のクリーンルーム制
御装置は、フィルターを介してクリーンルーム内の空気
を循環させる循環ファンと、この循環ファンの回転数を
制御するインバータと、前記クリーンルームの室内に入
室している人０数をカウントする入室者カウンターと、
この入室者カウンターからの出力信号により前記インバ
ータの出力値を決定するインバータ出力決定手段とを備
えた構成としたものである。
御装置は、フィルターを介してクリーンルーム内の空気
を循環させる循環ファンと、この循環ファンの回転数を
制御するインバータと、前記クリーンルームの室内に入
室している人０数をカウントする入室者カウンターと、
この入室者カウンターからの出力信号により前記インバ
ータの出力値を決定するインバータ出力決定手段とを備
えた構成としたものである。
作用
上記構成によれば、入室者カウンターは、クリーンルー
ム内に入室している人員数をカウントし、そのカウント
値をインバータ出力決定手段に出力する。インバータ出
力決定手段は、入室者カウンターからの信号により、ク
リーンルーム内の清浄度を維持するための最少量の循環
風量に対応する出力値を演算し、インバータに出力する
。循環ファンは、インバータからの出力にもとづいて、
清浄ｒＪ！維持に必要な最少循環風量を送風する。
ム内に入室している人員数をカウントし、そのカウント
値をインバータ出力決定手段に出力する。インバータ出
力決定手段は、入室者カウンターからの信号により、ク
リーンルーム内の清浄度を維持するための最少量の循環
風量に対応する出力値を演算し、インバータに出力する
。循環ファンは、インバータからの出力にもとづいて、
清浄ｒＪ！維持に必要な最少循環風量を送風する。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例におけるクリーンルーム制御
装置を採用したクリーンルームの構成図で、第２図に示
す構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付してそ
の説明を省略する。第１図において、８はインバータ、
９は入室者カウンター、１０はインバータ出力決定手、
段である。前記インバータ８は、循環ファン５の回転数
を、インバータ８への入力信号に対応して変化させる。
装置を採用したクリーンルームの構成図で、第２図に示
す構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付してそ
の説明を省略する。第１図において、８はインバータ、
９は入室者カウンター、１０はインバータ出力決定手、
段である。前記インバータ８は、循環ファン５の回転数
を、インバータ８への入力信号に対応して変化させる。
前記入室者カウンター９は、クリーンルーム１に入室あ
るいは退室する人数をカウントすることにより、クリー
ンルーム１内に在室する人員数を演算し、信号としてイ
ンバータ出力決定手段１０に出力する。
るいは退室する人数をカウントすることにより、クリー
ンルーム１内に在室する人員数を演算し、信号としてイ
ンバータ出力決定手段１０に出力する。
前記インバータ出力決定手段１０は、入室者カウンター
９からの信号にもとづいて、クリーンルーム１の清浄度
を維持する最少循環風量に対応する出力値を演算し、イ
ンバータ８に出υする。
９からの信号にもとづいて、クリーンルーム１の清浄度
を維持する最少循環風量に対応する出力値を演算し、イ
ンバータ８に出υする。
クリーンルーム１への入室者の発１！！ｆｆｉは、１人
当り０．３μｍ以上の粒子で５０〜７５Ｘ１０５個／ｆ
ｔ３であり、クリーンルーム１の清浄度変化は入室者数
の増減にほぼ比例する。発ｆ！１ｆｆｉに対するクリー
ンルーム１の清浄度維持に必要な最少循環風量は、実験
的に求まるので、クリーンルーム１の入室者数に対する
循環ファン５のａｍ、つまりインバータ８の出力値が判
明する。
当り０．３μｍ以上の粒子で５０〜７５Ｘ１０５個／ｆ
ｔ３であり、クリーンルーム１の清浄度変化は入室者数
の増減にほぼ比例する。発ｆ！１ｆｆｉに対するクリー
ンルーム１の清浄度維持に必要な最少循環風量は、実験
的に求まるので、クリーンルーム１の入室者数に対する
循環ファン５のａｍ、つまりインバータ８の出力値が判
明する。
そこで、クリーンルーム１の入室者数に対応するインバ
ータ８への出力値の関係式をインバータ出力決定手段１
０に記憶させておき、クリーンルーム１の入室者数が変
化した場合、入室者カウンター９からの出力信号にもと
づき最少循環風量となるインバータ８への出力値をイン
バータ出力決定手段１０にて演算させる。その演算結果
に従って、循環ファン５が回転数制御されるため、清浄
１豆に影響をおよぼすクリーンルーム１の入室者数変化
に対応して最少循環風量が循環ファン５にて送風される
。したがって、常に所定の清浄度が確保されると同時に
、省エネルギー化を図れる。
ータ８への出力値の関係式をインバータ出力決定手段１
０に記憶させておき、クリーンルーム１の入室者数が変
化した場合、入室者カウンター９からの出力信号にもと
づき最少循環風量となるインバータ８への出力値をイン
バータ出力決定手段１０にて演算させる。その演算結果
に従って、循環ファン５が回転数制御されるため、清浄
１豆に影響をおよぼすクリーンルーム１の入室者数変化
に対応して最少循環風量が循環ファン５にて送風される
。したがって、常に所定の清浄度が確保されると同時に
、省エネルギー化を図れる。
発明の効果
以上述べたごとく本発明によれば、クリーンルームへの
入室者数に応じて循環ファンの回転数を制御するように
したので、清ａ一度が管理限界外へ出ることを確実に防
止できると同時に、常に最少循環風量を送風するため省
エネルギー性の向上を図ることができる。
入室者数に応じて循環ファンの回転数を制御するように
したので、清ａ一度が管理限界外へ出ることを確実に防
止できると同時に、常に最少循環風量を送風するため省
エネルギー性の向上を図ることができる。
第１図は本発明の一実施例におけるクリーンルーム制御
装置を採用したクリーンルームの構成図、第２図は従来
のクリーンルームの構成図である。 １・・・クリーンルーム、３・・・フィルター、５・・
・循環ファン、８・・・インバータ、９・・・入室者カ
ウンター、１０・・・インバータ出力決定手段代理人
森 本 義 弘 第１′？。 第２図
装置を採用したクリーンルームの構成図、第２図は従来
のクリーンルームの構成図である。 １・・・クリーンルーム、３・・・フィルター、５・・
・循環ファン、８・・・インバータ、９・・・入室者カ
ウンター、１０・・・インバータ出力決定手段代理人
森 本 義 弘 第１′？。 第２図
Claims (1)
- １、フィルターを介してクリーンルーム内の空気を循環
させる循環ファンと、この循環ファンの回転数を制御す
るインバータと、前記クリーンルームの室内に入室して
いる人員数をカウントする入室者カウンターと、この入
室者カウンターからの出力信号により前記インバータの
出力値を決定するインバータ出力決定手段とを備えたク
リーンルーム制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60249342A JPS62108943A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | クリ−ンル−ム制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60249342A JPS62108943A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | クリ−ンル−ム制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62108943A true JPS62108943A (ja) | 1987-05-20 |
Family
ID=17191592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60249342A Pending JPS62108943A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | クリ−ンル−ム制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62108943A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106839270A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-06-13 | 安徽育安实验室装备有限公司 | 一种实验室自动化通风控制*** |
-
1985
- 1985-11-06 JP JP60249342A patent/JPS62108943A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106839270A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-06-13 | 安徽育安实验室装备有限公司 | 一种实验室自动化通风控制*** |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0250596B1 (en) | Clean room | |
| US4497242A (en) | Ventilation control system | |
| US20030045226A1 (en) | Fan filter unit control system and clean room provided with same | |
| JPS625031A (ja) | 部分的に清浄度の異なるクリ−ンル−ム | |
| JPH0331637A (ja) | 室内環境維持装置 | |
| JP7436556B2 (ja) | クリーンルーム装置 | |
| JP2015197267A (ja) | 清浄化空調システム | |
| JPH0322547B2 (ja) | ||
| JPS62108943A (ja) | クリ−ンル−ム制御装置 | |
| US5069113A (en) | Stacked and cross-connected recirculating fans in a semiconductor manufacturing cleanroom | |
| JP2947272B1 (ja) | クリーンルーム室圧調整方法及びその装置 | |
| JP2001033072A (ja) | 換気システム | |
| JP2019128128A (ja) | 空気清浄システム | |
| JPH0694261A (ja) | クリーンルームの室圧制御装置 | |
| JPS59183231A (ja) | 室内空気清浄装置 | |
| JPS6124933A (ja) | 空気調和システム | |
| JPH03263534A (ja) | 空気清浄室 | |
| JPH05172378A (ja) | クリーンルーム | |
| JPS62138637A (ja) | クリ−ンル−ム制御装置 | |
| JPH03175224A (ja) | クリーンルームにおける清浄度制御装置 | |
| JP3350890B2 (ja) | クリーンルーム内清浄度制御装置 | |
| JPS63156964A (ja) | エア・カーテン装置 | |
| JP2000314544A (ja) | クリーンルーム | |
| JP3279363B2 (ja) | ダウンフロー方式のクリーンルームの拍動気流制御方法及びその装置 | |
| JPH0719527A (ja) | クリーンルーム空気調和システム |