JPS619614A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
- Publication number
- JPS619614A JPS619614A JP12920484A JP12920484A JPS619614A JP S619614 A JPS619614 A JP S619614A JP 12920484 A JP12920484 A JP 12920484A JP 12920484 A JP12920484 A JP 12920484A JP S619614 A JPS619614 A JP S619614A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- lens
- sample
- optical system
- microscope
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、大きな試料を検鏡し得るようにした小型の構
成の顕微鏡に関する。
成の顕微鏡に関する。
従来技術
一般に顕微鏡は基本的には対物レンズ、接眼レンズ及び
試料を保持するための載物台等から構成されておシ、試
料の検鏡位置を変える場合には載物台上に保持された試
料または載物台自体を光軸に対して垂直な方向に移動さ
せていた。しかしな試料が多くなってきているので、こ
れらの大きな試料を観察する場合には該試料を載置した
載物台を広い範囲即ち第２図において観察すべき範囲Ａ
の四倍の範囲Ｂに亘って移動しなければならず、そのた
め載物台を含む顕微鏡全体の強度が要求され且つ載物台
の移動機構も大きなものとなり、而も例えば観察すべき
試料の大きさが二倍になると載物台の移動範囲は四倍に
なることから、顕微鏡全体がますます大型になってしま
い、載物台自体の慣性も大きくなるため位置精度の制御
が一層困難になる。
試料を保持するための載物台等から構成されておシ、試
料の検鏡位置を変える場合には載物台上に保持された試
料または載物台自体を光軸に対して垂直な方向に移動さ
せていた。しかしな試料が多くなってきているので、こ
れらの大きな試料を観察する場合には該試料を載置した
載物台を広い範囲即ち第２図において観察すべき範囲Ａ
の四倍の範囲Ｂに亘って移動しなければならず、そのた
め載物台を含む顕微鏡全体の強度が要求され且つ載物台
の移動機構も大きなものとなり、而も例えば観察すべき
試料の大きさが二倍になると載物台の移動範囲は四倍に
なることから、顕微鏡全体がますます大型になってしま
い、載物台自体の慣性も大きくなるため位置精度の制御
が一層困難になる。
これに対して、特開昭５９−８６０２０号公報によれば
、第一対物レンズ及び第二対物レンズを設け、該第一対
物レンズのみを光軸に対して垂直な方向に移動させるこ
とにより試料の検鏡位置を変える方法が提案されている
が、この方法により大きな試料の検鏡位置を広い範囲に
亘って変えるためには非常に大きな対物レンズが必要に
なり、而も対物レンズの倍率により観察可能な範囲が変
化してしまい、さらに接眼レンズの視野数によりあまり
大きな観察範囲が得られないという欠点があった。
、第一対物レンズ及び第二対物レンズを設け、該第一対
物レンズのみを光軸に対して垂直な方向に移動させるこ
とにより試料の検鏡位置を変える方法が提案されている
が、この方法により大きな試料の検鏡位置を広い範囲に
亘って変えるためには非常に大きな対物レンズが必要に
なり、而も対物レンズの倍率により観察可能な範囲が変
化してしまい、さらに接眼レンズの視野数によりあまり
大きな観察範囲が得られないという欠点があった。
目的
本発明は、以上の点に鑑み、大きな試料を検鏡する際に
試料の広い範囲に亘って検鏡位置を変え得るようにした
小型の構成の顕微鏡を提供することを目的としている。
試料の広い範囲に亘って検鏡位置を変え得るようにした
小型の構成の顕微鏡を提供することを目的としている。
概要
この目的は、観察光学系の一部がアフォーカル系として
構成されておシ、該アフォーカル系の一部が対物レンズ
の光軸に対して垂直に配設されていて且つその光路長が
伸縮可能であるようにして、対物レンズがその光軸に対
して垂直方向に移動可能に配設されていることを特徴と
する、顕微鏡ニより解決される。
構成されておシ、該アフォーカル系の一部が対物レンズ
の光軸に対して垂直に配設されていて且つその光路長が
伸縮可能であるようにして、対物レンズがその光軸に対
して垂直方向に移動可能に配設されていることを特徴と
する、顕微鏡ニより解決される。
実施例
以下図面に示した実施例に基づき本発明を説明すれば、
第１図において、１は顕微鏡の図示しない載物台上に載
置された観察すべき試料、２は無限遠対物レンズ、３は
ミラー、４はハーフミラ−１５は結像レンズ、６は接眼
レンズ、７は照明光源、８はコレクターレンズであって
、対物レンズ２及びミラー３は、ミラー３とハーフミラ
−４との間の光軸に沿って進退可能に配設されている。
第１図において、１は顕微鏡の図示しない載物台上に載
置された観察すべき試料、２は無限遠対物レンズ、３は
ミラー、４はハーフミラ−１５は結像レンズ、６は接眼
レンズ、７は照明光源、８はコレクターレンズであって
、対物レンズ２及びミラー３は、ミラー３とハーフミラ
−４との間の光軸に沿って進退可能に配設されている。
本案実施例は以上のように構成されているから、照明光
源から出た光は、コレクターレンズ８を介してハーフミ
ラ−４を透過し且つミラー３で反射されて対物レンズ２
によシ試料１を照明し、かくして照明された試料１から
出た光は対物レンズ２によりアフォーカルな光となりミ
ラー３．ハーフミラ−４で反射され結像レンズ５により
位置Ｐに結像し、この像が接眼レンズ６によって観察さ
れる。ここで、対物レンズ２．ミラー３．ハーフミラ−
４，結像レンズ５及び接眼レンズ６から成る観察光学系
は、対物レンズ２と結像レンズ５との間がアフォーカル
系になっており、対物レンズ２及びミラー３をミラー３
とハーフミラ−４との間の光軸に沿って進退させること
によシ、ミラー３とハーフミラ−４との間の光路長全変
更しても、位置Ｘにおける結像状態は変化せず、従って
試料１の任意の位置の観察を行なうことができる。この
場合対物レンズ２の移動範囲Ｃは第３図に示されている
ように観察すべき範囲Ａと同じでよい。
源から出た光は、コレクターレンズ８を介してハーフミ
ラ−４を透過し且つミラー３で反射されて対物レンズ２
によシ試料１を照明し、かくして照明された試料１から
出た光は対物レンズ２によりアフォーカルな光となりミ
ラー３．ハーフミラ−４で反射され結像レンズ５により
位置Ｐに結像し、この像が接眼レンズ６によって観察さ
れる。ここで、対物レンズ２．ミラー３．ハーフミラ−
４，結像レンズ５及び接眼レンズ６から成る観察光学系
は、対物レンズ２と結像レンズ５との間がアフォーカル
系になっており、対物レンズ２及びミラー３をミラー３
とハーフミラ−４との間の光軸に沿って進退させること
によシ、ミラー３とハーフミラ−４との間の光路長全変
更しても、位置Ｘにおける結像状態は変化せず、従って
試料１の任意の位置の観察を行なうことができる。この
場合対物レンズ２の移動範囲Ｃは第３図に示されている
ように観察すべき範囲Ａと同じでよい。
第４図は本発明の第二の実際的な実施例を示しておシ、
１０は対物レンズ２と共に例えば蟻接ぎ等のＸ軸ガイド
１１に沿ってＸ軸方向に摺動可能に配設されている第一
のミラー、１２は対物レンズ２．第一のミラー１０及び
Ｘ軸ガイド１１と一体的に該Ｘ軸ガイド１１と同様に構
成されたＹ軸ガイド１３に沿ってＹ軸方向に摺動可能に
配設されている第二のミラーで、第１図に示された実施
例と同様に試料１から出た光は対物レンズ２によシアフ
ォーカルな光となり第一のミラー１０によりＸ軸方向に
反射し且つ第二のミラー１２によりＹ軸方向に反射して
さらにハーフミラ−４で反射した後結像レンズ５により
結像し、この像が接眼レンズ６によって観察される。従
って第一のミラー１０と第二のミラー１２との間の光路
長−４ｘ軸ガイド１１により、第二のミラー１２とハー
フミラ−４との間の光路長をＹ軸ガイド１３によシ適宜
に調整することによって、結像状態を変化させることな
く対物レンズ２はＸ軸方向及びＹ軸方向に移動され得、
試料１の任意の位置の観察を行なうことができる。
１０は対物レンズ２と共に例えば蟻接ぎ等のＸ軸ガイド
１１に沿ってＸ軸方向に摺動可能に配設されている第一
のミラー、１２は対物レンズ２．第一のミラー１０及び
Ｘ軸ガイド１１と一体的に該Ｘ軸ガイド１１と同様に構
成されたＹ軸ガイド１３に沿ってＹ軸方向に摺動可能に
配設されている第二のミラーで、第１図に示された実施
例と同様に試料１から出た光は対物レンズ２によシアフ
ォーカルな光となり第一のミラー１０によりＸ軸方向に
反射し且つ第二のミラー１２によりＹ軸方向に反射して
さらにハーフミラ−４で反射した後結像レンズ５により
結像し、この像が接眼レンズ６によって観察される。従
って第一のミラー１０と第二のミラー１２との間の光路
長−４ｘ軸ガイド１１により、第二のミラー１２とハー
フミラ−４との間の光路長をＹ軸ガイド１３によシ適宜
に調整することによって、結像状態を変化させることな
く対物レンズ２はＸ軸方向及びＹ軸方向に移動され得、
試料１の任意の位置の観察を行なうことができる。
発明の効果
以上述べたように本発明によれば、観察光学系の一部を
アフォーカル系として構成し、該アフォーカル系の一部
を対物レンズの光軸に対して垂直に配設し且つその光路
長を伸縮可能にして、対物レンズをその光軸に対して垂
直方向に移動可能に配設したから、対物レンズの移動範
囲は試料の観察範囲と同じでよいので、脳切片、大径の
シリコンウェハ等の大きな試料を検鏡する際に試料の広
い範囲に亘って検鏡位置を変え得ると共に顕微鏡全体を
小型に構成することができ、従って顕微鏡自体の製造コ
ストも低く而も省スペースの点からも非常に好ましい等
、極めて効果的な顕微鏡が得られる。
アフォーカル系として構成し、該アフォーカル系の一部
を対物レンズの光軸に対して垂直に配設し且つその光路
長を伸縮可能にして、対物レンズをその光軸に対して垂
直方向に移動可能に配設したから、対物レンズの移動範
囲は試料の観察範囲と同じでよいので、脳切片、大径の
シリコンウェハ等の大きな試料を検鏡する際に試料の広
い範囲に亘って検鏡位置を変え得ると共に顕微鏡全体を
小型に構成することができ、従って顕微鏡自体の製造コ
ストも低く而も省スペースの点からも非常に好ましい等
、極めて効果的な顕微鏡が得られる。
第１図は本発明による顕微鏡の一実施例を示す概略図、
第２図は従来の載物台の移動範囲を示す図、第３図は本
発明による対物レンズの移動範囲を示す図、第４図は本
発明の第二の実施例を示す斜視図である。 １・・・・試料、２・・・・対物レンズ、３・・・・ミ
ラー、４・・・・ハーフミラ−１５・・・・結像レンズ
、６・・・・接眼レンズ、７・・・・照明光源、８・・
・・コレクターレンズ、１０・・・・第一のミラー、１
１・・・・Ｘ軸ガイド、１２・°°°第二のミラー、１
３・・・・Ｙ軸ガイド。 オｎ図 第２図 第４図 手続補正書（自発） １．事件の表示 特願昭５９−１２９２０４号２、発明
の名称 顕 微 鏡 ４、代 理 人 〒１０５東京都港区新橋５の
１９電話 東京（４３２） ４５７６ （６５８２）弁理士篠原泰司 ５、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄及び発明の詳細な説明の欄
。 ６、補正の対象 （１）特許請求の範囲を別紙添付の通り訂正する。 （２）明細書第１頁１３〜１４行目の「大きな試料を・
・・・構成の」を「試料を広い範囲に二って検鏡し得る
ようにした」と訂正する。 （３）明細書筒３頁６〜８行目の「大きな試料を・・・
・構成の」を「試料を検鏡する際に試料の広い範囲に互
って検鏡位置を得るようにした」と訂正する。 （４）明細書第３頁１１〜１６行目の「観察光学系の・
・・・配設されている」を「観察光学系のうち、対物光
学系を視野平面に対して平行に移動し、接眼光学系を固
定した顕微鏡において、観察光学系の一部の光路長を伸
縮自在にした」と訂正する。 （５）明細書第６頁８〜１９行目の「観察光学系の・・
・・好ましい等、」を「観察光学系のうち、対物光学系
を視野平面に対して平行に移動し、接眼光学系を固定し
た顕微鏡において、観察光学系の一部の光路長を伸縮自
在に構成したから、脳切片、大径のシリコンウェハ等の
大きな試料を検鏡する際に試料の広い範囲に互って検鏡
位置を変え得る、Ｊと訂正する。 特許請求の範囲 観察光学系のうち、対物光学系を視野平面に対して平行
に移動し、接眼光学系を固定した顕微鏡において、観察
光学系の一部の光路長を伸縮自在にしたことを特徴とす
る、顕微鏡。
第２図は従来の載物台の移動範囲を示す図、第３図は本
発明による対物レンズの移動範囲を示す図、第４図は本
発明の第二の実施例を示す斜視図である。 １・・・・試料、２・・・・対物レンズ、３・・・・ミ
ラー、４・・・・ハーフミラ−１５・・・・結像レンズ
、６・・・・接眼レンズ、７・・・・照明光源、８・・
・・コレクターレンズ、１０・・・・第一のミラー、１
１・・・・Ｘ軸ガイド、１２・°°°第二のミラー、１
３・・・・Ｙ軸ガイド。 オｎ図 第２図 第４図 手続補正書（自発） １．事件の表示 特願昭５９−１２９２０４号２、発明
の名称 顕 微 鏡 ４、代 理 人 〒１０５東京都港区新橋５の
１９電話 東京（４３２） ４５７６ （６５８２）弁理士篠原泰司 ５、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄及び発明の詳細な説明の欄
。 ６、補正の対象 （１）特許請求の範囲を別紙添付の通り訂正する。 （２）明細書第１頁１３〜１４行目の「大きな試料を・
・・・構成の」を「試料を広い範囲に二って検鏡し得る
ようにした」と訂正する。 （３）明細書筒３頁６〜８行目の「大きな試料を・・・
・構成の」を「試料を検鏡する際に試料の広い範囲に互
って検鏡位置を得るようにした」と訂正する。 （４）明細書第３頁１１〜１６行目の「観察光学系の・
・・・配設されている」を「観察光学系のうち、対物光
学系を視野平面に対して平行に移動し、接眼光学系を固
定した顕微鏡において、観察光学系の一部の光路長を伸
縮自在にした」と訂正する。 （５）明細書第６頁８〜１９行目の「観察光学系の・・
・・好ましい等、」を「観察光学系のうち、対物光学系
を視野平面に対して平行に移動し、接眼光学系を固定し
た顕微鏡において、観察光学系の一部の光路長を伸縮自
在に構成したから、脳切片、大径のシリコンウェハ等の
大きな試料を検鏡する際に試料の広い範囲に互って検鏡
位置を変え得る、Ｊと訂正する。 特許請求の範囲 観察光学系のうち、対物光学系を視野平面に対して平行
に移動し、接眼光学系を固定した顕微鏡において、観察
光学系の一部の光路長を伸縮自在にしたことを特徴とす
る、顕微鏡。
Claims (1)
- 観察光学系の一部がアフオーカル系として構成されてお
り、該アフオーカル系の一部が対物レンズの光軸に対し
て垂直に配設されていて且つその光路長が伸縮可能であ
るようにして、対物レンズがその光軸に対して垂直方向
に移動可能に配設されていることを特徴とする、顕微鏡
。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59129204A JP2501098B2 (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 顕微鏡 |
| AT85107775T ATE52347T1 (de) | 1984-06-25 | 1985-06-23 | Mikroskop. |
| DE8585107775T DE3577355D1 (de) | 1984-06-25 | 1985-06-23 | Mikroskop. |
| EP85107775A EP0169387B1 (en) | 1984-06-25 | 1985-06-23 | Microscope |
| US06/928,682 US4744642A (en) | 1984-06-25 | 1986-11-07 | Microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59129204A JP2501098B2 (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS619614A true JPS619614A (ja) | 1986-01-17 |
| JP2501098B2 JP2501098B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=15003706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59129204A Expired - Lifetime JP2501098B2 (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2501098B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0527177A (ja) * | 1991-07-25 | 1993-02-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 走査型顕微鏡 |
| JP2009002406A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Shimizu Corp | 部材の接合方法およびパネル構造 |
| US7557988B2 (en) | 2003-06-02 | 2009-07-07 | Nikon Corporation | Microscope system |
| JP2009175754A (ja) * | 2009-04-27 | 2009-08-06 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
| JP2010279437A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Olympus Corp | 対物光学系位置調整装置および観察装置 |
| JP2013519916A (ja) * | 2010-02-19 | 2013-05-30 | ウー ジュン キム | 斜角光経路を形成する光学システム及びその方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8077386B2 (en) * | 2008-10-22 | 2011-12-13 | Microbrightfield, Inc. | Movable objective lens assembly for an optical microscope and optical microscopes having such an assembly |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5986020A (ja) * | 1982-11-09 | 1984-05-18 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 視野可変顕微鏡装置 |
-
1984
- 1984-06-25 JP JP59129204A patent/JP2501098B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5986020A (ja) * | 1982-11-09 | 1984-05-18 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 視野可変顕微鏡装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0527177A (ja) * | 1991-07-25 | 1993-02-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 走査型顕微鏡 |
| US7557988B2 (en) | 2003-06-02 | 2009-07-07 | Nikon Corporation | Microscope system |
| JP2009002406A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Shimizu Corp | 部材の接合方法およびパネル構造 |
| JP2009175754A (ja) * | 2009-04-27 | 2009-08-06 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
| JP2010279437A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Olympus Corp | 対物光学系位置調整装置および観察装置 |
| JP2013519916A (ja) * | 2010-02-19 | 2013-05-30 | ウー ジュン キム | 斜角光経路を形成する光学システム及びその方法 |
| US9075239B2 (en) | 2010-02-19 | 2015-07-07 | Woo Jun Kim | Optical system for forming optical path of oblique angle and method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2501098B2 (ja) | 1996-05-29 |
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