JPS6193283A

JPS6193283A - 往復動式完全気密真空ポンプ

Info

Publication number: JPS6193283A
Application number: JP60161310A
Authority: JP
Inventors: ダニエル・ポテイエ; レミ・ルクレール; ポール・ヴユリエ
Original assignee: Normande dEtude et dExploitation SA NORMETEX
Current assignee: Normande dEtude et dExploitation SA NORMETEX
Priority date: 1984-07-23
Filing date: 1985-07-23
Publication date: 1986-05-12
Also published as: FR2567970A1; ATE35025T1; JPH0315038B2; FR2567970B1; EP0173601A1; EP0173601B1; ZA855368B; DE3563242D1; CA1317576C; US4718836A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は完全乾式気密真空ポンプに関する。

（従来の技術）金属ベローにより気密となる完全乾式の渦巻タイプのポ
ンプは公知である。この種のポンプは特に、フランス特
許２，１４１，４０２及び２，１５３，１２９、並びに
対応する西ドイツ特許２，２２５，３２７及び米国特許
３，８０２，８０９に記載されている。これらのポンプ
は大気圧で排出可能であるが、残余限定真空度約１０Ｐ
ａ　　（１０−’ｍｂ）を達成スル。

これらの特許は、乾式渦巻ポンプを合成材料のダイアフ
ラムを持つポンプと組合せて、約１Ｏ−ＩＰａ　　（１
０’ｍｂ）の限定真空度を達成可能にする提案をしてい
る。

しかし、この解決法は合成材料のダイアフラムと適合す
る気体の排出に制限される。腐蝕性または放射性の気体
の排出、例えばポンプ動作部が完全に金属でできている
もののみが使用される。ウラン凝縮や核融合反応に使わ
れる気体の排出には適用できない。

金属ベローの交互の圧縮を利用し、前記のタイプの渦巻
ポンプと組合せて、腐蝕性及び放射性ガスを同程度の限
定真空度（１０’Ｐａ）まで排出することを可能にする
乾式ポンプも公知である。

しかし、これらのベロータイプのポンプの性能はベロー
の近くに必然的に残る残余ｍのために制限される。

最後に、例えばフランス特許１，４５７，６８８または
米国特許２，０２１，１５６に記載される異なるタイプ
のダイアフラム・ポンプが公知である。

これらの特許に記載された装置は、ダイアフラムの内側
折曲部に遊嵌される１つか複数の硬直な輪を含んでいる
。合成材料のダイアフラムの使用により発生する上述し
た欠点を別にしても、この輪の存在はダイアフラムの急
速な損耗を引起こし、特に本発明の説明で明らかにする
適用には不適当である。

本発明の目的は、ポンプ動作部が金属製で性能が改良さ
れた新しいタイプの真空ポンプを提供することにある。

本発明は、簡単で頑丈な構成にしてトラブルの少ない作
動を特徴とする新しい往復動式乾式ポンプであって、圧
縮サイクル毎に吸引された気体をほぼ全て排気すること
によって限定真空の点で高性能を達成し得るポンプに向
けられている。

本発明は更に、上述のタイプの乾式渦巻ポンプと組合せ
て、腐蝕性及び放射性気体を含む全ての気体に使用でき
、公知の乾式ポンプに比べて限定真空及び排気圧の点で
著しく改良した往復動式乾式ポンプに向けられている。

（問題点を解決するための手段）本発明によれば、吸入口、吐出口、軸方向の固定端壁及
び軸方向の可動端壁を有する少なくとも１つの可変容量
ポンプ室と、該吸入口から該吐出口へ一方向に流体を流
す逆流防止手段と、該ポンプ寮内に配され該ポンプ室の
堅牢部に固定された外側部を有しかつ該端壁の１つに嵌
合するよう形成された少なくとも１つの径方向に堅く軸
方向に柔軟な環状金属部材と、該環状金属部材か固定さ
れかつ該端壁が離間した位置と該端壁が閉じた位置との
間を軸方向に往復運動する可動部とからなり、該環状金
属部材とこれに嵌合する該端壁か該端壁が閉じた位置に
おいてほぼ同じ断面形状を有することにより、それらの
間の残余スペースか可及的に小さくなるところの、完全
乾式気密真空ポンプが提供される。

ポンプ室の堅牢部の断面を、端壁が閉じた位置において
柔軟な金属部材がなり断面に一致さぼることにより、ポ
ンプ室にあるカスをほぼ全部排気することができ、ポン
プ室の残余価はこの方法で最小になる。

本発明では更に、安全ベローを柔軟な金属部材の回りに
設けて堅牢部に取付けることにより、外気から２重の金
属による遮蔽を有する乾式ポンプが提供される。その結
果、気密の環状学内に外気圧より実質的に低い入念に選
ばれた圧力が生じ、これにより次の２つの注目すべき成
果を得ることができる。

１、この気密至を圧力監視及び閃報スイッチと連結する
ことにより、いずれかの柔軟な金属部材からのどんな不
慮の漏出をも監視する。

２、柔軟な金属部材がその外側部分を直接外気圧に晒し
た場合□に受ける疲労を減少する。

柔軟な金属部材はほぼトロイド形の横断面を有する環状
形をなし得るが、その場合には該部材は、ベロ一部のよ
うに単一部分として形成されるか、またはほぼ半トロイ
ド形断面を有する、即ら径方向外側に開口する（第１，
２図参照）、２つの予め成形された金属ダイアフラムを
その内側縁部に沿って接着することで形成される。はぼ
トロイド形柔軟部材のこのタイプは、可動ポンプ動作部
の行程が比較的短い場合に、また比較的高い排気圧を達
成するために、より適している。

乾式ポンプのこのタイプは、好ましくは、応力を受けな
い状態で予め形成された円盤から形成される切形の柔軟
な金属部材を装備し１ｑるが、その断面形状は軸方向の
柔軟性の点で最良の牲０ピを与え、疲労を最小限にする
。この円盤の２つを中央部で背中合ぼに結合することに
より、ポンプ室の容量を２倍にしながら、各々に同じ小
の行程を行なわせて上述の柔軟性の利点を医持させるこ
とが可能となる。この２つの円盤の中央部を固定する場
合には、同じポンプ室の２つの部分を連通させるための
穴を設けなければならない。

上述のように、本発明に係る真空ポンプの使用は、上述
の渦巻タイプのポンプと組合ゼる場合、特に有利となる
。

この場合、１０’　〜１０−”Ｐａ　　（１０−’　〜
１０−５ｍｂ）の完全に乾燥した限定真空が、使用され
る柔軟部材のタイプ次第で、極めて高い排気圧と共に達
成できる。

（実　施　例）本発明の特徴と利点は、添附の図を参照に本発明の実施
例の記載から明白、どなるであろう。

第１図は、本発明の好適な実施例としての、腐蝕性及び
放射性流体までも含む全ての種類の流体に使用可能な往
復直線型圧縮タイプの完全乾式気密真空ポンプの一部を
示す。

ポンプはポンプ室１を有し、その可変容量は、この実施
例では特に環状である円形のほぼトロイド形の横断面を
持つ、金属部材内に画成されていて、該金属部材は外側
に開口しかつ軸方向に柔軟性を有し、この実施例では２
つの柔軟な金属環状ダイアフラム２，３を背中合せにそ
の内側環状縁部４で結合することにより形成されている
。このポンプ室は軸方向に対面する堅牢部５．６により
限定され、この堅牢部はポンプ室の軸方向の端壁を形成
し、軸Ａ−Ａに沿って相互に離間した位置と閉じた位置
の間で往復直線軸運動をする。環状部材２，３は例えば
、外側部７．８において各々堅牢部に溶接される。この
堅牢部は、軸方向に対面する互いに補足的な形状を有す
る中心面９．１０と、これらと環状部材の取付部との間
に環状凹所９Ａ、１０Ａを含む。この凹所９ＡとＩＯＡ
の形状は非常に正確に形成され、閉じた状態の時、環状
部材２，３と非常に小さな隙間を除いて正確に嵌合し、
かつ中心面９．１０（第１図では平坦である）もまた非
常に小さな隙間を除いては一致させなければならない。

この構成によりポンプ室１の残余出は最小に減少される
。

第１図の実施例によるポンプでは、上方堅牢部５はフレ
ームＢに固定される。

下方堅牢部は、いわゆる゛フレーム″タイプの偏心引１
１により駆動される可動装置Ｍの一部をなし、この機溝
の軸Ｘ−Ｘは軸Ａ−Ａと直交する。図示のように１４Ｍ
１１は、ボールベアリング１１Ｃ内に係合する偏心輪１
１Ｂに固定され、軸ｘ−Ｘと直線上にある駆動＠１１Ａ
を含む。可動堅牢部６は中心面１０に平行な２つの支持
面５ａ。

６ｂを含み、この両面間にボールベアリング１１Ｃの外
輪が隙間をおいて係合する。

偏心輪１１が第１図に示される下方位置から回転すると
、装置Ｍに軸方向上方の押圧力を及ぼすが、径方向の摩
擦はボールベアリング１１Ｇが支持面６ａに対して回転
することによって消去される。この上昇運動が閉じた状
態に対応する位置まで続いた後、偏心輪１１の回転は可
動装置Ｍの下降運動をおこし、これが周期的に続く。装
置Ｍの軸方向の変位は偏心輪１１の偏心率“ｅＩ＋によ
り表わされる。

堅牢部５．６にはボール型の逆止弁１２．１３が設けら
れ、吸入口１４Ａと吐出口１４Ｂからなる管１４中を流
体が一方向に流れるようにしている。

実動作では、可動装置Ｍの上昇運動が開始すると、環状
部材２，３は非常に小さな隙間を除いてはポンプ室の部
分９Ａ、１０△の面と次第に嵌合し、それと同時にポン
プ室の中心面９．１０もまた非常に小さな隙間を除いて
相互に嵌合する。このようにして、はぼ全ての気体が吐
出口より排出される。

第２図は、上述のタイプの２つのポンプ室１゜１−が背
中合せに配置された構成をなす本発明に係るポンプを示
す。上方ポンプ室１に関しては、第１図のと同じ構成部
には同じ符号を付し、ダッシュが付いた同様の符号は下
部ポンプｖ１′の対応する構成部を示す。

ポンプ室１．１′は同軸Ａ−Ａに沿って中心があり、か
つ整列し、可動部６，６′は固定堅牢部５．５′と環状
部材２，３．２−１３−と共にポンプ室を形成し、共に
可動装置Ｍに固定され、また可動装置は環状部材２，３
．２”、３′により、特にその径方向に硬直であること
によりフレームＢに対し軸方向に案内される。その結果
、これらの室は交互に圧縮サイクルを行ない、室１−か
ら１へと連続的に排気が引起こされる。

管１４Ａは可動部Ｍ＠貫き、ポンプ室１用の吸入口及び
ポンプ室１′用の吐出口をなし、またポンプ室１−は管
１４Ａ、１４Ｂと直線上にある吸入管１４Ｃに通じ、ま
た１４Ｂはポンプ室１の吐出管を形成する。

安全対策として、環状部材つまり柔軟な金属のポンプ動
作部２，３．２′、３−は、この環状部材が固定されて
いる固定及び可動堅牢部５．６に固定された金属ベロー
１５．１５−によって囲まれることが望ましい。この環
状部材とベローは環状安全Ｗ１５Ａ、１５”Ａを画成し
、外部の環境からポンプ室を遮断する。この環状室は好
ましくは連結管１７Ａ、１７Ｂにより圧力スイッチ１６
に連結され、この圧力スイッチは環状室内に封じ込めら
れた指示ガスの圧力を感知するが、この圧力は一定の上
・下限値内に収まっていなければならず、もし許容範囲
外の狛を示す場合には、何らかの制御及び安全システム
が作動されるべく、圧力スイッチが動く。このように圧
力スイッチは、ポンプＴ内部と外部環境を直接に連通さ
せることなく、環状部材やベローの破損を発見すること
を可能とする。これにより、危険な気体を排気する場合
に高い安全水準を達成する。

都合のよいことに、この同じ構成は、柔軟な金属ポンプ
動作部２，３．２′、３−が、その外側面を大気圧に直
接晒した場合に受ける疲労応力を、安全？１５．１５′
Ａ内の指示ガスを大気圧より実質的に低い圧力に保つこ
とにより減少させる。

この都合良さは柔軟な金属ポンプ動作部の耐用年数を増
し、またそれ故ポンプ装置全体の信頼度を増すことにな
る。

第３図は硬直な円盤から作られる金属ポンプ動作部１８
を示し、軸方向に最大の柔軟性、つまり軸方向の最小の
力に対して最大の軸方向の変位を生じるような断面形状
を持つよう形成される。

詳細には、金属部材１８の要求される形は、硬直な金属
円盤の一方の面に所定の水圧を加えることによって決定
され、円盤は外周と円形中心部３３で固定させておく。

この４１純な形成プロセスは軸方向に最大の柔軟性を生
じる断面形状をｉｑることを可能にしているが、柔軟部
材１８を工業的に製造する場合に必ずしも使用される必
要はない。

例えば、上述のようにして決定された要求される断面を
再現するように形成された圧断礪を使用して、同様の円
盤を打ち出すことによって得られる。

このポンプ動作部１８は外周端７を固定部５に、また中
心部３３を適宜な方法で可動部Ｍに固定づるようになっ
ている（第５図）。

第４図は柔軟な金属部材が第３図のそれと同一の２つの
部分１８からなり、その各中心部３３で互いに結合され
、その断面形状は変位の軸方向に直交する面に関してほ
ぼ対称形である。外周端７゜８は、各々堅牢部５，６に
、例えば溶接などで気密に固定されるよう設計され、ま
た中心部３３はこのようにして形成されたポンプ室の２
つの部分間を連通ずる通路３４を含む。

第５図は第２図に示されたものと類似した乾式ポンプを
示ずが、２つのポンプ室１．１−は第３図に示されたよ
うに予め形成された金属円盤からなるポンプ動作部と固
定部５，５−間に形成される。これらの単一部材１８．
１８＝は外周部７゜７′において固定部５．５′に取り
付けられ、その交互の軸方向運動は、３３．３３′にお
いて固定される可動部Ｍによりそれらに伝達される。こ
の構成において、屈曲部１８は言わば可変容量室の軸方
向可動端壁を形成する。この実施例は、第２図を参照し
て既に記載された細部、特にベロー１５．１５−による
二重囲い、圧力スイッチ１６によるスペース１５Ａ、１
５′Ａの監視、閉じ込められた偏心機構を構成する偏心
輪１１等の部分を含む。第２図と異なり気体吸入及び吐
出管はポンプ本体の外にあり、フラップまたはブレード
タイプの逆止弁１４ａを協えているが、これらの通常の
解決法は往復ポンプに特有のものである。

このタイプの完全乾式ポンプの信頼度及び性能は、１８
等の柔軟部材の軸方向における相当な柔軟性に、また気
密環状スペース１５Ａ、１！！Ａで柔軟部材の外表面を
軽度に与圧することにより柔軟部材が受ける疲労効果を
減することに、基ずく。

第６図は、ポンプ動作部が第４図に示された中心部３３
において固定された２つの要素１８からなる点を除いて
は、第５図に示されたものと同じ乾式ポンプの構造を示
している。これらの要素１８．１８−は、各々の外周部
７．７−１８．８−が固定部５．５′と可動部Ｍの一部
を形成づる部分６に固定され、またこの可動部は偏心１
３１ｍにより作動されて交互の軸方向運動を柔軟要素に
伝達する。

このように構成された２要索１８かうなる部分の各々が
同じ作業出力をするため、ポンプ室１の容量は、第５図
に示すような、単一の要素１８を装備するポンプ室の容
ωに比べて２倍となることに注目すべきである。要素１
８が離間した位置と閉じた位置の間を動く時、ポンプ室
１の２つの部分間を連通ずる通路３４は気体を全部排出
することを可能にしている。この設計は第２図と第５図
に図示した構成に関して上述した様々の有利な組合せか
ら利益を得る。

上述タイプの完全乾式気密ポンプは単独で使用されても
よいが、例えば他の上述の渦巻タイプのポンプと組合せ
ることも有利である。第７図及び第８図は、この種類の
渦巻ポンプ１９Ａと、第５図を参照に上述したタイプの
ポンプ１９Ｂとの組合せを示す。

渦巻ポンプ１９Ａは、前述の特許（特にフランス特許２
，１４１，４０２、フランス特許２．１５３．１２９、
西ドイツ特許２，２２２，５３７、米国特許３　、８０
２　、８０９　）からその主要部は良く知られているの
で、概要だけ後述する。

これは、鐘状部２６及び二重ベローアセンブリ２７によ
り閉鎖された囲いの中の、気体吸入管２５にプレート２
４Ａを介して取付けられた固定渦巻２４と、この渦巻に
仲秋まれ、これとこれに組合せられるベースプレート２
４Ａに対して径方向及び軸方向に一定の非富に小さな隙
間を保ちつつ正確な円形並進運動を行なうよう駆動され
る可０ｊ禍巻２２とからなる。この円形並進運動は、同
じ偏心率ｉｉｏ＋＋を有する３つの（−０輪２３により
伝達されるが、この偏心輪は３つの平行シャフト２０に
固定され、可動渦巻２２を担持する部分２２Ａの軸方向
の凹所にベアリングを介して挿入される。

３つのシャフト２０の１つ２ＯＡは、モータ２１の回転
により駆動され、また他のシャフトは可動渦巻２２を正
確に案内するためだけに動く。このアセンブリはフレー
ムＢ１の内側に位置する。

排出されるべき気体は、排気されるべき室に連結された
ホース（図示せず）を通して管２５の通路２８内に吸入
される。気体は外周部で渦巻の間に入り、渦巻間で圧縮
された後、管２５と二重ベローアセンブリ間の環状室２
９内に軸方向へ排出される。

この気体は、次に管３０を介してポンプ１９Ｂのポンプ
室１．１−に導入される。

このポンプ１９Ｂは、第５図に示すポンプと同゛　　様
であって、第７図の断面は第５図の断面と直交しており
、対応する構成部分は第５図と同じ参照番号を付す。

上述のように、このポンプは気体を大気、容器、または
回路内へ、本発明に従い及び使用される柔軟部材のタイ
プ次第で、大気圧より高い圧力で排気することができる
。

ポンプ１９．Ｂの偏心輪１１（偏心率ｅ、を有す）は、
モータ２１に駆動されるシャフト２ＯＡと同直線上のシ
ャフト３２の回転により駆動される。

シャフト２０と３２間は、直接にまたは減速装置を介し
て連結されるが、主なポンプ作業が渦巻ポンプにより、
小流量の気体が加圧下に排出される場合には、圧縮往復
ポンプ１９Ｂは減速連結においても充分な効率を保持す
る。

二重ベローアセンブリ２７の２つのベロー間の室は管１
７Ｇを介して、柔軟部材１８．１８−とベロー１５．１
５−間の室１５Ａ、１５−Ａと同様に、部材２７．１８
−１８＝、１５−１５−からの漏れを見地する圧力スイ
ッチ１６に連結され得る。

テスト用に気密環状スペース１５Ａ、１５′Ａを数１０
ｍｂに制限して加圧設定した場合、柔軟部材１８の外側
面が大気圧の作用からこのように保護され、柔軟部材の
疲労度を著しく減少させることができる。

以上、本発明をその好適な実施例を参照にして記載した
が、本発明はそれに限られることなく種々の変更が可能
である。柔軟性金属ポンプ動作部の具体的構成、同じポ
ンプ内の種々のポンプ室配置、及び本発明に係るポンプ
と伯のポンプ、特に、しかし限定するものではないが、
瀞巻タイプのポンプと組合せる構造などについては、特
にこのことが当てはまる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、２つのダイアフラムを結合して形成されるほ
ぼトロイド形の横断面を有する環状部材からなる柔軟な
金属ポンプ部材が、固定堅牢部と可動堅牢部との間に配
されて、環状部材と２つの堅牢部の間のスペースの排気
を行なう所の、本発明に係るポンプの軸方向部分断面図
、第２図は第１図に示されたポンプ部分を複製し、一方
のポンプ室が最小の容儀の時、他方が最大の容量となり
、連続してポンプ動作をするように形成されたポンプの
第１図に類似の断面図、第３図は１つの金属盤を予め成
形して得られる柔軟な金属ポンプ部材５の断面図、第４
図は第３図と同じもの２つを結合して形成される柔軟な
金属部材の断面図、第５図は２つのポンプ室の各々が第
３図に示される１つの柔軟な金属部材を有しかつ第２図
とは異なった弁の構成を有する第２図に示されたポンプ
と同様なポンプの断面図、第６図は第４図に示された二
重金属部材を有する第５図と同様の断面図、第７図は第
５図に示されたポンプと円形並進運動する渦巻ポンプを
組合せて構成される完全乾式気密ポンプセットを示す第
８図の■−■線に治って切断された断面図、第８図は第
７図の■−■線に治って切断された断面図である。１・・・・・・・・・ポンプ室２．３．１８・・・・・・環状金属部材４・・・・・・
・・・内側環状縁部　５・・・・・・・・・固定堅牢部
６・・・・・・・・・可動堅牢部　　７，８・・・外側
部９．１０・・・中心面　　　９Ａ、１０Ａ・・・環状
凹所１１・・・・・・偏心礪溝１１Ｇ・・・ボールベアリング１２．１３・・・逆止弁　　１４・・・・・・管１４Ａ
、１４Ｇ・・・吸入口１４Ｂ・・・吐出口　　　　１５・・・・・・金属ベロ
ー１５Ａ・・・環状安全至　　１６・・・・・・圧力ス
イッチ１９Ａ・・・渦巻ポンプ　　２０・・・・・・シ
ャフト２１・・・・・・モータ　　　　２２・・・・・
・可動渦巻２３・・・・・・偏心輪　　　　２４・・・
・・・固定渦巻３２・・・・・・シャフト　　　３３・
・・・・・中心部３４・・・・・・通　路　　　　Ａ−
Ａ・・・軸Ｍ・・・・・・・・・可動部

Claims

【特許請求の範囲】

（１）吸入口、吐出口、軸方向の固定端壁及び軸方向の
可動端壁を有する少なくとも１つの可変容量ポンプ室と
、該吸入口から該吐出口へ一方向に流体を流す逆流防止
手段と、該ポンプ室内に配され該ポンプ室の堅牢部に固
定された外側部を有し、かつ該軸方向の端壁の１つに嵌
合するよう形成された少なくとも１つの径方向に堅く軸
方向に柔軟な環状金属部材と、該環状金属部材が固定さ
れかつ該軸方向の端壁が離間した位置と該軸方向の端壁
が閉じた位置との間を軸方向に往復運動する可動部とか
らなり、該環状金属部材とこれに嵌合する該軸方向の端
壁が該軸方向の端壁が閉じた位置においてほぼ同じ断面
形状を有することにより、それらの間の残余スペースが
可及的に小さくなることを特徴とする完全乾式気密真空
ポンプ。
（２）前記少なくとも１つのポンプ室が前記環状金属部
材の１つだけを含み、該環状金属部材の前記外側部が前
記軸方向の固定端壁に気密的に取付けられ、該環状金属
部材の中央部が前記可動部に固定されることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の完全乾式気密真空ポンプ
。
（３）前記少なくとも１つのポンプ室が２つの前記環状
金属部材を含み、該２つの環状金属部材は同様の中央部
を有し、該環状金属部材の各々の断面形状が横断面に関
してほぼ対称になるように該環状金属部材を該中央部に
おいて相互に結合し該環状金属部材の前記外側部はそれ
ぞれ前記固定端壁と前記可動端壁に気密的に固定され、
該結合中央部に通路が形成されることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の完全乾式気密真空ポンプ。
（４）前記環状金属部材がほぼトロイド形横断面を有す
る環状輪郭を有し、外側に開口して前記固定端壁と前記
可動端壁の堅牢部に各々結合される２つの外側環状縁部
を形成し、該端壁は前記閉じた位置で該環状金属部材の
隣接部とほぼ同じ断面形状を有する環状開口を画成する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の完全乾式
気密真空ポンプ。
（５）前記環状金属部材が２つの柔軟な金属環状ダイア
フラムからなり、該ダイアフラムは背中合せに内側環状
縁部で結合されることを特徴とする特許請求の範囲第４
項記載の完全乾式気密真空ポンプ。
（６）前記少なくとも１つのポンプ室内にある前記少な
くとも１つの環状金属部材を囲む金属ベローを更に有し
、該金属ベローはポンプの固定堅牢部と可動堅牢部に気
密的に固定されて、該ポンプ室を周囲の環境から遮断す
る少なくとも１つの環状安全室を画成することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の完全乾式気密真空ポン
プ。
（７）前記少なくとも１つの環状安全室に連結する圧力
感知装置を更に有することを特徴とする特許請求の範囲
第６項記載の完全乾式気密真空ポンプ。
（８）前記少なくとも１つの環状安全室を、前記周囲の
環境の圧力より実質的に低い圧力に保持する手段を更に
有することを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の完
全乾式気密真空ポンプ。
（９）前記環状金属部材の断面形状が、軸方向に最大の
柔軟性を得るべく、金属円盤をその周辺部と中央部にお
いて固定して所定の水圧を加えることによつて得られる
断面形状と同様であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の完全乾式気密真空ポンプ。
（１０）偏心機構を有し、これにより前記可動部が直線
上を往復運動することを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の完全乾式気密真空ポンプ。
（１１）可動渦巻と、該可動渦巻を挿挾む固定渦巻と、
同じ偏心率を有する３つの偏心輪と、該偏心輪が固定さ
れる３つの平行なシャフトと、該シャフトの１つに連結
されるモータとからなり、これにより該可動渦巻が円形
並進運動する形式の完全乾式気密ポンプと組合され、前
記偏心機構が搭載されかつ該モータに連結された該シャ
フトに直線上に整列するシャフトを更に有し、該偏心機
構は該モータに連結された該シャフトにより回転駆動さ
れることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の完全
乾式気密真空ポンプ。