JPS61927A - Light disk inspecting device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To inspect drop-out distributed on inner and outer peripheries of a disk accurately by providing a means that detects dust, defect etc. of information tracks according to diameter of inner and outer peripheries of the light disk, and controlling said means, CONSTITUTION:Laser beam emitted from a laser beam source 1 follows information tracks of a disk 7, and reflected light enters a photo detector 15. Address signals are read by an address reading circuit 19 from information signals obtained from output of the photo detector 15. A microcomputer 20 sets data to make output of a D/A convertor linearly variable according to address signals between outermost periphery and innermost periphery. Thus, detection of drop- out is made by a drop-out comparator circuit 16 at drop-out detection level corresponding to diameter of inner and outer peripheries of information tracks of the light disk 7, and number of drop-out etc. can be counted and inspected by a drop-out counter circuit 17.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ビデオディスク等の光ディスクのゴミ、欠陥
等によるドロップアウトを検査する光ディスク検査装置
に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an optical disc inspection device for inspecting dropouts due to dust, defects, etc. on optical discs such as video discs.

従来例の構成とその問題点 光ディスクにおいては、製造工程上でのゴミの付着や欠
陥等によるドロップアウトが光ディスクの品質を左右す
るため、ドロップアウトの検査が重要である。光ディス
クの製造工程は、第１図に示すような４つの工程よりな
る。第１の工程は光ディスクの原盤を作成する工程で、
普通ガラス円板に７オトレジストを塗布し、それに高パ
ワーのレーザーを照射して情報トラックあるいはトラッ
クアドレス用の溝を形成する。第２の工程はスタンバ工
程で、原盤にニッケル等の電鋳によってスタンバディス
クを作成する。第３の工程はレプリカ工程で、スタンバ
ディスクから紫外線硬化樹脂や射出成形等により情報ト
ラックを写し取り大量のレプリカディスクを作成する。Conventional Structures and Problems In optical discs, dropouts due to adhesion of dust or defects during the manufacturing process affect the quality of the optical disc, so dropout inspection is important. The manufacturing process of an optical disc consists of four steps as shown in FIG. The first step is to create a master optical disc.
An ordinary glass disk is coated with 7-photoresist, and a high-power laser is irradiated onto it to form information tracks or grooves for track addresses. The second step is a standby step, in which a standby disk is created by electroforming nickel or the like onto the master disk. The third step is a replica step, in which information tracks are copied from the standby disk using ultraviolet curing resin or injection molding to create a large number of replica disks.

第４の工程は蒸着工程で、レプリカディスクに記録用光
ディスクの場合は記録材料を蒸着し、再生専用光ディス
クの場合はアルミを蒸着する。以上の４つの工程をへて
光ディスクは完成するが、それぞれの工程においてゴミ
の付着や欠陥が生じ光ディスクのドロップアウトになる
。The fourth step is a vapor deposition step, in which a recording material is vapor-deposited on the replica disk in the case of a recording optical disk, and aluminum is vapor-deposited in the case of a read-only optical disk. An optical disk is completed through the above four steps, but in each step dust and defects occur, resulting in dropouts of the optical disk.

以下に従来のドロップアウトを検査する光ディスク検査
装置について説明する。A conventional optical disk inspection apparatus for inspecting dropouts will be described below.

第２図は従来の光ディスク検査装置の一例の概略図を示
すものであり、１はレーザー光源で半導体レーザーより
なり一定光量のレーザー光を発光する。２はコリメータ
レンズでレーザー光源１からのレーザー光を平行光にす
る。３は偏光ビームスプリッタ、４はλ／４波長板であ
る。５は対物レンズ、６は対物レンズ６を７１−カス及
びトラッキング方向に動作させる光学ピックアップであ
り、ボイスコイルモータ等の既知の駆動手段にて構成さ
れる。７は検査用光ディスク（以下ディスクと呼ぶ）で
ある。８は・・−フミラーでディスク７からの反射光を
分割する。９は集光レンズ、１゜は分割ミラーである。FIG. 2 shows a schematic diagram of an example of a conventional optical disk inspection device, in which numeral 1 denotes a laser light source which is composed of a semiconductor laser and emits a constant amount of laser light. A collimator lens 2 converts the laser beam from the laser light source 1 into parallel light. 3 is a polarizing beam splitter, and 4 is a λ/4 wavelength plate. 5 is an objective lens, and 6 is an optical pickup that moves the objective lens 6 in the 71-cush and tracking directions, and is constituted by known driving means such as a voice coil motor. 7 is an optical disc for inspection (hereinafter referred to as a disc). 8 divides the reflected light from the disk 7 by a mirror. 9 is a condensing lens, and 1° is a dividing mirror.

１１はフォーカス制御用光検出器で２分割の光検出器よ
り構成され、各々の光検出器の差動出力にてフォーカス
誤差信号を得、また、光検出器の和出力よりフォーカス
和信号を得る。１２はフォーカス制御回路で１１のフォ
ーカス和信号にてフォーカス系のループゲインを制御し
、フォーカス誤差信号より光学ピックアップ６をフォー
カス方向に動作させる。１３はトラッキング制御用光検
出器でフォーカス制御用光検出器１１と同様な構成にて
トラッキング誤差信号およびトラッキング和信号を得る
。１４はトラッキング制御回路で１２と同様な構成にて
、１３のトラッキング和信号にてトラッキング系のルー
プゲインを制御し、トラッキング誤差信号より光学ピッ
クアップ６をトラッキング方向に動作させる。Reference numeral 11 denotes a focus control photodetector, which is composed of two divided photodetectors, and obtains a focus error signal from the differential output of each photodetector, and obtains a focus sum signal from the sum output of the photodetectors. . 12 is a focus control circuit that controls the loop gain of the focus system using the focus sum signal 11, and operates the optical pickup 6 in the focusing direction based on the focus error signal. A tracking control photodetector 13 has the same configuration as the focus control photodetector 11 and obtains a tracking error signal and a tracking sum signal. Reference numeral 14 denotes a tracking control circuit which has the same configuration as 12, controls the loop gain of the tracking system using the tracking sum signal 13, and operates the optical pickup 6 in the tracking direction based on the tracking error signal.

１５は光検出器でディスク７かもの反射光を受光する。A photodetector 15 receives the reflected light from the disk 7.

１６はドロップアウトコンパレータ回路で光検出器１５
からの信号をドロップアウト検出電圧と比較し、ドロッ
プアウトを検出する。１７はドロップアウトカウンタ回
路でドロップアウトコンパレータ回路１６からの信号を
カウントしてドロップアウト数を表示する。なお、図中
の光学系部に記載した矢印はレーザー光路を示している
。16 is a dropout comparator circuit and photodetector 15
Detect dropouts by comparing the signal from the dropout detection voltage with the dropout detection voltage. A dropout counter circuit 17 counts the signal from the dropout comparator circuit 16 and displays the number of dropouts. Note that the arrow drawn in the optical system section in the figure indicates the laser optical path.

１８はディスクモーターでディスク７が装着されており
一定速度で回転している。18 is a disk motor to which the disk 7 is attached and rotates at a constant speed.

以上のように構成された従来の光ディスク検査装置につ
いて、以下その動作１／Ｃついて説明する。The operation 1/C of the conventional optical disc inspection apparatus configured as described above will be explained below.

レーザー光源１から出たレーザー光はコリメータレンズ
２を通過し平行光となり偏光ビームスプリッタ３、λ／
４波長板４を介し、対物レンズ５によりディスク７に形
成された情報トラックに集光される。この時、ディスク
７の情報トラックは面振れ及び偏芯をともなって回転し
ているので、所定の情報トラックにレーザー光を集光さ
せるために、後述するフォーカス誤差信号及びトラッキ
ング誤差信号に基づいた駆動電圧を光学ピックアップ６
Ｋ　加ｔて対物レンズ５をフォーカス及びトラッキング
方向に動作させ、レーザー光を所定のトラックに追従さ
せている。ディスク７からの反射光は入射光路と逆光路
をたどり、λ／４波長板４を２度通過することにより入
射光と９０°偏光された光となり偏光ビームスプリッタ
３を直進して、・・−フミラー８に入いる。反射光はハ
ーフミラ−８によって２方向に分かれ、一方は集光レン
ズ９に他方は光検出器１５に入射する。集光レンズ９を
出た反射光は分割ミラー１ｏによって分割され、一方は
フォーカス制御用光検出器１１に集光され、他方はトラ
ッキング制御用光検出器１３に集光される。フォーカス
制御用光検出器１１及びトラッキング制御用光検出器１
３は２分割の光検出器より構成され、各々の光検出器か
らの出力の差動を得ることによりフォーカス誤差信号及
びトラッキング誤差信号を作り出し、また、各々の光検
出器からの出力の和信号よりフォーカス和信号及びトラ
ッキング和信号を作り出す。フォーカス誤差信号を前述
した光学ピックアップ６をフォーカス方向に駆動しフィ
ードバックするフォーカス制御回路１２にてフォーカス
制御がなされる。さらに、フォーカス制御回路１２にお
いて、フォーカス制御用検出器１１のフォーカス和信号
より、前述のフォーカス系のフィードバック制御のルー
プゲインの制御がなされる。同様にトラッキング制御用
光検出器１３からの出力よりトラッキング制御回路１４
にて、トラッキング差動出力よりトラッキング誤差信号
を得て光学、ピックアップ６をトラッキング方向に駆動
しフィードバックし、また、トランキング和信号にてフ
ィードバックループゲインの制御を行ないトラッキング
制御がなされ、所望の情報トランクに追従している。一
方、光検出器１６は１個の光検出器より構成され、ディ
スク７の情報トラックからの反射光量に比例した出力が
得られる。例えばディスク７の情報トラックにゴミが付
着していればその部分での反射光量が減り、光検出器１
５には光量変化として検出される。The laser light emitted from the laser light source 1 passes through the collimator lens 2 and becomes a parallel beam, which is transmitted to the polarizing beam splitter 3, λ/
The light is focused through a four-wave plate 4 onto an information track formed on a disk 7 by an objective lens 5. At this time, since the information track of the disk 7 is rotating with surface runout and eccentricity, in order to focus the laser beam on a predetermined information track, driving is performed based on a focus error signal and a tracking error signal, which will be described later. Voltage optical pickup 6
In addition, the objective lens 5 is operated in the focusing and tracking directions to cause the laser beam to follow a predetermined track. The reflected light from the disk 7 follows the incident optical path and the reverse optical path, passes through the λ/4 wavelength plate 4 twice, becomes light polarized by 90 degrees with the incident light, and goes straight through the polarizing beam splitter 3, and... Enter Humira 8. The reflected light is split into two directions by the half mirror 8, and one enters the condenser lens 9 and the other enters the photodetector 15. The reflected light exiting the condensing lens 9 is split by a splitting mirror 1o, one of which is focused on a focus control photodetector 11, and the other focused on a tracking control photodetector 13. Focus control photodetector 11 and tracking control photodetector 1
3 is composed of a two-divided photodetector, and generates a focus error signal and a tracking error signal by obtaining the differential output from each photodetector, and also generates a sum signal of the outputs from each photodetector. A focus sum signal and a tracking sum signal are then generated. Focus control is performed by a focus control circuit 12 which drives the aforementioned optical pickup 6 in the focus direction and feeds back the focus error signal. Further, in the focus control circuit 12, the loop gain of the feedback control of the focus system described above is controlled based on the focus sum signal of the focus control detector 11. Similarly, the tracking control circuit 14 receives the output from the tracking control photodetector 13.
, a tracking error signal is obtained from the tracking differential output, and the optical pickup 6 is driven in the tracking direction and fed back. Also, the feedback loop gain is controlled using the trunking sum signal, and tracking control is performed to obtain the desired information. It follows the trunk. On the other hand, the photodetector 16 is composed of one photodetector, and can obtain an output proportional to the amount of light reflected from the information track of the disk 7. For example, if dust adheres to the information track of the disk 7, the amount of reflected light at that part will decrease, and the photodetector 1
5, it is detected as a change in the amount of light.

この光検出器１５からの出力をドロップアウトコンパレ
ータ回路１６に入力し、ドロップアウト検出電圧と比較
してドロップアウトを検出し、しかる後ドロップアウト
カウンタ回路１７にてドロップアウト個数等を計数して
表示する。The output from this photodetector 15 is input to a dropout comparator circuit 16, which compares it with the dropout detection voltage to detect dropouts.Then, the dropout counter circuit 17 counts and displays the number of dropouts, etc. do.

しかしながら上記のような構成では、レーザー光源１か
ら発光するレーザー光量が一定であり、またディスクモ
ーターが一定速度で回転しているため、ディスク７の内
周と外周とでは欠陥の大きさが同一であっても前述した
光学系で検出されるドロップアウトの振幅が内周と外周
とでは差を生Ｖる。このためドロップアウトコンパレー
タ回路１６のドロップアウト基準電圧が内外周と゛も一
定であるとすると、ディスク上に同一の大きさのゴミ、
欠陥等を生じていても内外周の分布によりドロップアウ
ト計数も異なり、正しい検出が行なえないことになる。However, in the above configuration, the amount of laser light emitted from the laser light source 1 is constant and the disk motor rotates at a constant speed, so the size of the defect is the same on the inner and outer circumferences of the disk 7. Even if there is a dropout, the amplitude of the dropout detected by the above-mentioned optical system differs between the inner circumference and the outer circumference. For this reason, if the dropout reference voltage of the dropout comparator circuit 16 is constant on both the inner and outer circumferences, there will be dust of the same size on the disk.
Even if a defect or the like occurs, the dropout count will differ depending on the distribution of the inner and outer peripheries, and correct detection will not be possible.

特に、光ディスクのドロップアウトの原因は前述したよ
うに原盤、スタンパ、レプリカ、蒸着の４つの工程での
ゴミの付着や欠陥によるものであり、各々の工程でのド
ロップアウトの出方がディスクの内外周にわたって正確
に把握できれば、工程の改善が容易に行なえるが、従来
の光ディスク検査装置では正しいドロップアウトの検出
が不可能であり、的確なディスクの評価、工程改善が行
なえないという問題を有していた。In particular, as mentioned above, dropouts in optical discs are caused by dust adhesion and defects in the four processes of master, stamper, replica, and vapor deposition, and the way dropouts occur in each process depends on the inside and outside of the disc. If accurate information can be obtained over the entire circumference, process improvements can be easily made, but conventional optical disc inspection equipment cannot accurately detect dropouts, which poses the problem of not being able to accurately evaluate discs and make process improvements. was.

発明の目的 本発明は上記従来の問題点を解消するもので、原盤、ス
タンバ、レプリカ、蒸着の各工程、または、同一工程で
生じたディスクの内外周のドロップアウト検出を一台の
装置について正確に行なえる光ディスク検査装置を提供
することを目的とする。OBJECT OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned conventional problems.It is an object of the present invention to accurately detect dropouts on the inner and outer peripheries of a disk that occur in each of the master, standby, replica, and vapor deposition processes, or in the same process, using a single device. The purpose of the present invention is to provide an optical disc inspection device that can perform the following tests.

発明の構成 本発明は光ディスクの内外周の径に応じて情報トラック
のゴミ、欠陥等を検出する手段を制御する検出制御手段
を備えた光ディスク検査装置であり、光ディスクの内外
周の径に応じてドロップアウト検出レベルを制御するこ
とにより、内外周にわたる光ディスクのドロップアウト
を正確に検査することができるものである。Structure of the Invention The present invention is an optical disc inspection device equipped with a detection control means for controlling a means for detecting dust, defects, etc. on an information track according to the diameters of the inner and outer circumferences of the optical disc. By controlling the dropout detection level, it is possible to accurately test for dropouts on the optical disc over the inner and outer circumferences.

実施例の説明 第３図は本発明の第１の実施例における光ディスク検査
装置の概略図を示すものである。なお、第３図において
第２図と同一番号の部品は従来の構成と同一部品を示し
ており説明は省略する。第３において、光検出器１５か
らの出力より情報信号を得、アドレス信号読み出し回路
１９にて情報トラックの内外周に対応してつけられてい
るアドレス信号を読みとる。２０はマイクロコンピュー
タ−（以下マイコンと呼ぶ）で、本装置の制御を行なう
。２０のマイコンはアドレス信号読み出し回路１９のア
ドレス信号より、ディスク７の内外周を検知し、内外周
に応じたデータをＤ／Ａ変換器２１に設定する。Ｄ／Ａ
変換器２１ではディジタル信号をアナログ信号に変換し
、ドロップアウトコンパレータ回路１６の検出電圧とす
る。DESCRIPTION OF EMBODIMENTS FIG. 3 shows a schematic diagram of an optical disk inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. Note that in FIG. 3, parts with the same numbers as in FIG. 2 indicate the same parts as in the conventional configuration, and a description thereof will be omitted. In the third step, an information signal is obtained from the output from the photodetector 15, and an address signal reading circuit 19 reads address signals attached corresponding to the inner and outer peripheries of the information track. A microcomputer (hereinafter referred to as microcomputer) 20 controls the apparatus. The microcomputer 20 detects the inner and outer circumferences of the disk 7 from the address signal from the address signal reading circuit 19, and sets data in the D/A converter 21 according to the inner and outer circumferences. D/A
The converter 21 converts the digital signal into an analog signal and uses it as a detection voltage for the dropout comparator circuit 16.

以上のように構成されたこの実施例の光ディスク検査装
置について、以下その動作を説明する。The operation of the optical disk inspection apparatus of this embodiment configured as described above will be explained below.

レーザー光源１から発光したレーザー光が、光学系を介
して、ディスク７の情報トラックに追従している。ディ
スク７からの反射光が光検出器１６に入射し、光検出器
１５の出力はドロップアウトコンパレータ回路１６とア
ドレス信号読み出し回路１９に分配される。光検出器１
５の出力から得られた情報信号よりアドレス読み出し回
路１９にてアドレス信号を読みとる。マイコン１９はア
ドレス信号に応じてＤ／Ａ変換器２１のデータ設定を制
御する。一般にディスクモーター１８が一定速度で回転
している場合、光学系の絞シ特性より、ドロップアウト
の大きさが同一でもディスクの外周のドロップアウトの
振幅の方が内周のそれと比較して大きく検出される。従
ってマイコン２０はアドレス信号が外周のときはＤ／Ａ
変換器２１の出力が高電圧となるようにデータ設定を行
ないドロップアウトコンパレータ回路１６の比較設定電
圧を高レベルとする。同様にしてアドレス信号が内周の
ときは逆にコンパレータ回路１６の比較設定電圧を低レ
ベルとする。このようにしてマイコン２０は最外周と最
内周との間者アドレス信号に応じてＤ／Ａ変換器２１の
出力がリニアに可変となるようデータを設定する。以」
二より、光ディスク７の情報トラックの内外周の径に応
じたドロップアウト検出レベルでドロップアウトコンパ
レータ回路１６にてドロップアウトの検出を行ない、ド
ロップアウトカウンタ回路１７にてドロップアウト個数
等を計数し検査することができる。Laser light emitted from a laser light source 1 follows an information track on a disk 7 via an optical system. The reflected light from the disk 7 enters a photodetector 16, and the output of the photodetector 15 is distributed to a dropout comparator circuit 16 and an address signal readout circuit 19. Photodetector 1
An address readout circuit 19 reads out an address signal from the information signal obtained from the output of 5. The microcomputer 19 controls data setting of the D/A converter 21 according to the address signal. Generally, when the disk motor 18 is rotating at a constant speed, the amplitude of the dropout on the outer circumference of the disk is detected to be larger than that on the inner circumference, even if the size of the dropout is the same, due to the aperture characteristics of the optical system. be done. Therefore, when the address signal is on the outer periphery, the microcomputer 20 uses the D/A
Data is set so that the output of the converter 21 becomes a high voltage, and the comparison setting voltage of the dropout comparator circuit 16 is set to a high level. Similarly, when the address signal is in the inner range, the comparison setting voltage of the comparator circuit 16 is set to a low level. In this manner, the microcomputer 20 sets data so that the output of the D/A converter 21 is linearly variable in accordance with the address signals between the outermost and innermost circumferences. I”
Second, the dropout comparator circuit 16 detects dropouts at a dropout detection level corresponding to the diameter of the inner and outer circumferences of the information track of the optical disc 7, and the dropout counter circuit 17 counts and inspects the number of dropouts. can do.

以上のようにこの実施例によれば、光検出器１５の出力
をアドレス信号読み出し回路１９を介して、アドレス信
号を検出し、４イコン２０にてアドレス信号に対応した
ドロップアウトコンパレータ回路１６の比較設定電圧を
制御することにより、光ディスク７の内外周の径に対応
したドロップアウト検出レベルを設定することができる
ため、光ディスク７のドロップアウトを正確に検査でき
る。As described above, according to this embodiment, the output of the photodetector 15 is passed through the address signal readout circuit 19 to detect the address signal, and the dropout comparator circuit 16 corresponding to the address signal is compared in the fourth icon 20. By controlling the set voltage, it is possible to set a dropout detection level corresponding to the diameters of the inner and outer circumferences of the optical disc 7, so that dropouts of the optical disc 7 can be accurately inspected.

上記実施例においては、ディスク７の内外周の径を求め
るのにアドレス信号読み出し回路１９を設けたが、前述
した光学系の移動方向に応じた電圧を出力する例えば差
動トランスからなるリニアスケールを用いてもよい。In the above embodiment, the address signal readout circuit 19 was provided to determine the diameters of the inner and outer circumferences of the disk 7, but a linear scale made of, for example, a differential transformer that outputs a voltage according to the direction of movement of the optical system described above may be used. May be used.

また、この実施例においては光ディスクのドロップアウ
ト検査装置として説明したが、情報を書きこむときあら
かじめ書きこむトラックを再生光にて検査し、書きこん
だときエラーを発生するであろうトラック又はセクター
を飛ばして書きこむ、プリチェックライト方式にも適用
してもよいことは言うまでもない。このことは消去でき
ないライト・ワンス型光ディスクにおいて、再生光での
ドロップアウトと実際に書きこんだときのデータエラー
との対応がディスクの内外周にわたって正確にとれ、特
に有効である。In addition, although this embodiment has been described as a dropout inspection device for an optical disk, when writing information, the track to be written is inspected with a reproduction light in advance, and the track or sector that is likely to cause an error when writing is detected. It goes without saying that it may also be applied to the pre-check write method, which skips writing. This is particularly effective for non-erasable write-once optical discs, as it allows accurate correspondence between dropouts in the reproduction light and data errors when actually written to, over the inner and outer circumferences of the disc.

発明の効果 本発明の光ディスク検査装置は光ディスクの内外周の径
に応じて情報トラックのゴミ、欠陥等を検出する手段を
制御する検出制御手段を設けることによシ、ディスクの
内外周に分布しているドロップアウトを正確にその大き
さに対応したものとして正確な検査が行なえ、完成ディ
スクの評価およびディスク製造工程のドロップアウトの
要因が把握しやすく、その実用的効果は大きい。Effects of the Invention The optical disk inspection device of the present invention has detection control means for controlling the means for detecting dust, defects, etc. on the information track according to the diameters of the inner and outer circumferences of the optical disk. It is possible to accurately inspect dropouts that correspond to their sizes, and it is easy to evaluate finished discs and understand the causes of dropouts in the disc manufacturing process, which has a great practical effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は光ディスクの製造工程を示すブロック図、第２
図は従来例における光ディスク検査装置の概略図、第３
図は本発明の一実施例における光ディスク検査装置の概
略図である１゜ １・・・・・・レーザー光源、２・川・・コリメータレ
ンズ、３・・・・・・偏光ビームスプリッタ、４・・・
・・・λ／４波長板、６・・・・・・対物レンズ、６・
・・・・・光学ピックアップ、７・・・・・・光ディス
ク、８・川・・ハーフミラ−１９・川・・集光レンズ、
１０曲・・分割ミラー、１１・・・・・・フォーカス制
御用光検出器、１２・・・・・・フォーカス制御回路、
１３・・・・・・トラッキング制御用光検出器、１４・
・・・・・トラッキング制御回路、１５・川・・光検出
器、１６・・・・・・ドロソファウドコンパレータ回路
、１７・・・・・・ドロップアウトカウンタ回路、１８
・・印・ディスクモーター、１９・・曲アドレス信号読
み出し回路、２ｏ・・・・・マイコン、２１・・・・・
・Ｄ／Ａｆ換器。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　はが１名第１
図 第２図 第３図Figure 1 is a block diagram showing the manufacturing process of optical discs, Figure 2
The figure is a schematic diagram of a conventional optical disk inspection device.
The figure is a schematic diagram of an optical disk inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.・・・
...λ/4 wavelength plate, 6...Objective lens, 6.
...Optical pickup, 7.Optical disk, 8. Half mirror. 19. River. Condensing lens.
10 songs: split mirror, 11: focus control photodetector, 12: focus control circuit,
13...Photodetector for tracking control, 14.
... Tracking control circuit, 15. Photodetector, 16 ... Drossoff comparator circuit, 17 ... Dropout counter circuit, 18
・・Disk motor, 19・・Song address signal readout circuit, 2o・・・Microcomputer, 21・・・・
・D/Af converter. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao (1st person)
Figure 2 Figure 3

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）レーザー光を光学系を介して光ディスク上に形成
された情報トラックに照射し、この情報トラックからの
反射光を光検出器に受光して前記情報トラックのゴミ、
欠陥等を検出する手段と、光ディスクの内外周の径に応
じて前記情報トラックのゴミ、欠陥等を検出する手段を
制御する検出制御手段を設けた光ディスク検査装置。(1) A laser beam is irradiated onto an information track formed on an optical disk through an optical system, and the reflected light from the information track is received by a photodetector to remove dust from the information track.
An optical disk inspection device comprising means for detecting defects, etc., and detection control means for controlling the means for detecting dust, defects, etc. on the information track according to the diameters of the inner and outer circumferences of the optical disk. （２）光ディスクの内外周の径の検出として情報トラッ
クのアドレス信号を用いることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の光ディスク検査装置。(2) The optical disk inspection apparatus according to claim 1, wherein an address signal of an information track is used to detect the diameters of the inner and outer circumferences of the optical disk.