JPS605440A - Optical disk checking device - Google Patents
Optical disk checking deviceInfo
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- JPS605440A JPS605440A JP11309683A JP11309683A JPS605440A JP S605440 A JPS605440 A JP S605440A JP 11309683 A JP11309683 A JP 11309683A JP 11309683 A JP11309683 A JP 11309683A JP S605440 A JPS605440 A JP S605440A
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-
- G—PHYSICS
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はビデオディスク等の光ディスクのゴミ、欠陥等
によるドロップアウトを検査する光デイスク検査装置に
関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an optical disk inspection apparatus for inspecting dropouts due to dust, defects, etc. on optical disks such as video disks.
従来例の構成とその問題点
光ディスクにおいては、製造工程上でのゴミの付着や欠
陥等によるドロップアウトが光ディスクの品質を左右す
るため、ドロップアウトの検査が重要である。光ディス
クの製造工程は第１図に示すような４つの工程よりなる
。第１の工程は光ディスクの原盤を作成する工程で、普
通ガラス円板にフォトレジストを塗布し、それに高・（
ワーのレーザーを照射して情報トラックあるいはトラソ
クアドレス用の溝を形成する。第２の工程はスタンバ工
程で、原盤にニッケル等の電鋳によってスタンイ午
パディスクを形成する。第３の工程はレプリカ工程で、
スタンパディスクから紫外線硬化樹脂や射出成形等によ
り情報トラックを写し取り大量のレプリカディスクを作
成する。第４の工程は蒸着工程で、レプリカディスクに
記録用光ディスクの場合は記録材料を蒸着し、再生専用
光ディスクの場合はアルミを蒸着する。以上の４つの工
程をへて光ディスクは完成するが、それぞれの工程に訃
いてゴミの付着や欠陥が生じ光ディスクのドロップアウ
トになる。Conventional Structures and Problems In optical discs, dropouts due to adhesion of dust or defects during the manufacturing process affect the quality of the optical disc, so dropout inspection is important. The manufacturing process of an optical disk consists of four steps as shown in FIG. The first step is to create a master disc for an optical disc, in which a photoresist is coated on an ordinary glass disc, and a high-temperature (
A laser beam is irradiated to form information tracks or grooves for track addresses. The second step is a standby step, in which a standby disk is formed on the master by electroforming nickel or the like. The third process is the replica process.
Information tracks are copied from the stamper disk using ultraviolet curing resin or injection molding to create a large number of replica disks. The fourth step is a vapor deposition step, in which a recording material is vapor-deposited on the replica disk in the case of a recording optical disk, and aluminum is vapor-deposited in the case of a read-only optical disk. An optical disc is completed after going through the above four steps, but each of the steps results in the adhesion of dust and defects, resulting in dropouts of the optical disc.
以下に従来のドロップアウトを検査する光デイスク検査
装置について説明する。A conventional optical disk inspection apparatus for inspecting dropouts will be described below.
第２図は従来の光デイスク検査装置の一例の概略図を示
すものであり、１はレーザー光源で半導体レーザーより
なり一定光量のレーザー光を発光する。２はコリメータ
レンズでレーザー光源１からのレーザー光を平行光にす
る。３は偏光ビームスプリッタ、４はλ／４波長板であ
る。５は対物レンズ、６は対物レンズ６をフォーカス及
びトラッキング方向に動作させる光学ピックアップであ
り、ボイスコイルモータ等の既知の駆動手段にてからの
反射光を分割する。９は集光レンズ、１０は分割ミラー
である。１１はフォーカス制御用光検出器で２分割の光
検出器より構成され、各々の光検出器の差動出力にてフ
ォーカス誤差信号を得る。１２はトランキング制御用光
検出器で７オ〜カス：ｆｉｌＪ御用光横用光検出器１１
な構成にてトラッキング誤差信号を得る。１３は光検出
器でディスク７からの反射光を受光する。１４はドロッ
プアウトコンパレータ回路で光検出器１３からの信号を
ドロップアウト基準電圧と比較し、ドロップアウトを検
出する。１５はドロップアウトカウンター回路でドロッ
プアウトコンパレータ回路１４からの信号をカウンタし
てドロップアウト数を表示する。なお図中の光学系部に
記載した矢印はレーザー光の光路を示している。FIG. 2 shows a schematic diagram of an example of a conventional optical disk inspection apparatus, in which numeral 1 denotes a laser light source which is composed of a semiconductor laser and emits a constant amount of laser light. A collimator lens 2 converts the laser beam from the laser light source 1 into parallel light. 3 is a polarizing beam splitter, and 4 is a λ/4 wavelength plate. 5 is an objective lens, 6 is an optical pickup that operates the objective lens 6 in the focusing and tracking directions, and splits reflected light from a known driving means such as a voice coil motor. 9 is a condensing lens, and 10 is a dividing mirror. Reference numeral 11 denotes a focus control photodetector, which is composed of two divided photodetectors, and obtains a focus error signal from the differential output of each photodetector. 12 is a photodetector for trunking control;
A tracking error signal is obtained with this configuration. A photodetector 13 receives reflected light from the disk 7. A dropout comparator circuit 14 compares the signal from the photodetector 13 with a dropout reference voltage to detect dropout. A dropout counter circuit 15 counters the signal from the dropout comparator circuit 14 and displays the number of dropouts. Note that the arrow drawn in the optical system section in the figure indicates the optical path of the laser beam.
以上のように構成された従来の光デイスク検査装置につ
いて、以下その動作について説明する。The operation of the conventional optical disk inspection apparatus configured as described above will be described below.
レーザー光源１から出たレーザー光はコリメータレンズ
２を通過し平行光となり偏光ビームスグリツタ３、λ／
４波長板４を介して、対物レンズ６によりディスク７に
形成された情報トラックに集光される。この時、ディス
ク７の情報トラックは面振れ及び偏芯をともなって回転
しているので、所定の情報トラックにレーザー光を集光
させるために、後述するフォーカス誤差信号及びトラッ
キング誤差信号に基づいた駆動電圧を光学ピックアップ
６に加えて対物レンズ５をフォーカス及びトラッキング
方向に動作させ、レーザー光を所定トラックに追従させ
ている。ディスク７からの反射光は入射光路と逆光路を
たどり、λ／４波長板４を２度通過することにより入射
光と９００偏光された光となり偏光ビームスプリッタ３
を直進して、ハーフミラ−８に入る０反射光はヘーフミ
５−８によって２方向に分かれ、一方は集光レンズ９に
他方は光検出器１３に入射する。集光レンズ９を出た反
射光は分割ミラー１０によって分割され一方はフォーカ
ス制御用光検出器１１に集光され、他方はトラッキング
制御用光検出器１２に集光される。フォーカス制御用光
検出器１１及びトラッキング制御用光検出器１２は２分
割の光検出器より構成され、各々の光検出器からの出力
の差動を得ることによりフォーカス誤差信号及びトラッ
キング誤差信号を作シ出す。これらの誤差信号を前述し
た光学ピックアップ６の駆動回路（図示せ一カにフィー
ドバックすることによりフォーカス制御及びトラッキン
グ方向がなされる。一方、光検出器１３は１個の光検出
器より構成され、ディスク７の情報トランクからの反射
光量に比例した出力が得られる。例えばディスク７の情
報トラックにゴミが付着していればその部分での反射光
量が減り、光検出器１３には光量変化として検出される
。The laser light emitted from the laser light source 1 passes through the collimator lens 2 and becomes a parallel beam, which is polarized by the polarizing beam sinter 3, λ/
The light is focused through a four-wavelength plate 4 onto an information track formed on a disk 7 by an objective lens 6. At this time, since the information track of the disk 7 is rotating with surface runout and eccentricity, in order to focus the laser beam on a predetermined information track, driving is performed based on a focus error signal and a tracking error signal, which will be described later. A voltage is applied to the optical pickup 6 to operate the objective lens 5 in the focusing and tracking directions, thereby causing the laser beam to follow a predetermined track. The reflected light from the disk 7 follows the incident optical path and the reverse optical path, passes through the λ/4 wavelength plate 4 twice, and becomes light that is 900 polarized with the incident light, and is transmitted to the polarizing beam splitter 3.
The 0-reflected light that travels straight ahead and enters the half mirror 8 is split into two directions by the Heifumi 5-8, one of which enters the condenser lens 9 and the other that enters the photodetector 13. The reflected light exiting the condensing lens 9 is divided by a splitting mirror 10, and one part is focused on a focus control photodetector 11, and the other part is focused on a tracking control photodetector 12. The focus control photodetector 11 and the tracking control photodetector 12 are composed of two divided photodetectors, and generate a focus error signal and a tracking error signal by obtaining a differential output from each photodetector. Put it out. Focus control and tracking direction are performed by feeding back these error signals to the drive circuit (not shown) of the optical pickup 6 described above.On the other hand, the photodetector 13 is composed of one photodetector, and An output proportional to the amount of light reflected from the information trunk 7 can be obtained.For example, if dust adheres to the information track of the disk 7, the amount of reflected light at that part will decrease, and the photodetector 13 will detect this as a change in the amount of light. Ru.
この光検出器１３からの出力をドロップアウトコンパレ
ータ回路１４に入力し、ドロップアウト基準電圧と比較
してドロップアウトを検出し、しかる後ドロップアウト
カウンター回路１５にてドロツブアウト個数を計数して
表示する。The output from the photodetector 13 is input to a dropout comparator circuit 14 and compared with a dropout reference voltage to detect dropouts, and then a dropout counter circuit 15 counts and displays the number of dropouts.
しかしながら上記のような構成では、レーザー光源１か
ら発光するレーザー光量が一定であり、かつドロップア
ウトコンパレータ回路１４のドロップアウト基準電圧が
一定であるため、同一の反射率からなる光ディスクでな
ければ、平均反射光量が異なり従ってゴミ、欠陥等によ
る光検出器１３の出力電圧も異なりドロップアウト計数
も変化し、正しい検査が行なえないことになる。特に、
光ディスクのドロップアウトの原因は前述したように原
盤、スタンパ、レプリカ、蒸着の４つの工程でのゴミの
付着や欠陥によるものであり、各々の工程でのドロップ
アウトの出方が正確に把握できれば、工程の改善が容易
に行なえるが、一般には４つの工程に訃けるディスクの
反射率は異なっており、従来の光デイスク検査装置では
正しいドロップアウト検査が不可能であり、的確な工程
改善が行なえないという問題を有していた。However, in the above configuration, since the amount of laser light emitted from the laser light source 1 is constant and the dropout reference voltage of the dropout comparator circuit 14 is constant, unless the optical discs have the same reflectance, the average Since the amount of reflected light is different, the output voltage of the photodetector 13 is also different due to dust, defects, etc., and the dropout count is also changed, making it impossible to perform a correct inspection. especially,
As mentioned above, the causes of dropouts on optical discs are due to the adhesion of dust and defects in the four processes of master, stamper, replica, and vapor deposition, and if we can accurately understand how dropouts occur in each process, Process improvements can be easily made, but in general, the reflectance of discs that fail in the four processes differs, making it impossible to perform correct dropout inspection with conventional optical disc inspection equipment, making it difficult to make accurate process improvements. The problem was that there was no.
発明の目的
本発明は上記従来の問題点を解消するもので、反射率の
異なる原盤、スタンノく、レプリカ、蒸着の各工程にお
けるディスクのドロ・ノブアウト検査を一台の装置にて
正確に行なえる光デイスク検査装置を提供することを目
的とする。Purpose of the Invention The present invention solves the above-mentioned problems of the conventional technology, and enables accurate inspection of disc dross and knob-out in each process of master discs with different reflectances, blanking, replicas, and vapor deposition using a single device. The purpose is to provide an optical disk inspection device.
発明の構成
本発明は光デイスク上に形成された情報トラノザー光量
制御手段を有する光デイスク検査装置であり、光ディス
クからの平均反射光量を一定にすることにより、反射率
の異なる光ディスクのドロップアウトを正確に検査する
ことができるものである。Structure of the Invention The present invention is an optical disk inspection device having an information tranometer light amount control means formed on an optical disk, and by keeping the average amount of reflected light from the optical disk constant, dropout of optical disks with different reflectances can be accurately detected. It is something that can be inspected.
実施例の説明
第３図は本発明の第１の実施例における光デイスク検査
装置の概略図を示すものである。なお、第３図において
第２図と同一番号の部品は従来の構成と同一部品を示し
ており説明は省略する。第３図において、１６はローノ
くスフイルター回路で、光検出器１３からの出力の低周
波成分を取り出す。DESCRIPTION OF EMBODIMENTS FIG. 3 shows a schematic diagram of an optical disk inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. Note that in FIG. 3, parts with the same numbers as in FIG. 2 indicate the same parts as in the conventional configuration, and a description thereof will be omitted. In FIG. 3, reference numeral 16 denotes a low-frequency filter circuit that extracts low frequency components of the output from the photodetector 13.
１７は基準電圧発生回路で、基準の反射率の光ディスク
によって得られる光検出器の平均出力電圧に基準電圧を
設定する。１８は比較回路で、ローパスフィルタ回路１
６の電圧と基準電圧発生回路１７の電圧を比較してその
差分の電圧を出力する。Reference numeral 17 denotes a reference voltage generation circuit, which sets the reference voltage to the average output voltage of the photodetector obtained by an optical disc having a reference reflectance. 18 is a comparison circuit, and low-pass filter circuit 1
6 and the voltage of the reference voltage generating circuit 17, and outputs the difference voltage.
１９はレーザー光源駆動回路で、比較回路１８からの電
圧に基づいてレーザー光源１への駆動電流を制御してレ
ーザー光源１から発光するレーザー光量を可変する。Reference numeral 19 denotes a laser light source drive circuit that controls the drive current to the laser light source 1 based on the voltage from the comparison circuit 18 to vary the amount of laser light emitted from the laser light source 1.
以上のように構成されたこの実施例の光デイスク検査装
置について、以下その動作を説明する。The operation of the optical disk inspection apparatus of this embodiment configured as described above will be explained below.
光ディスク７に基準の反射率と異なる光ディスクが搭載
されている場合を考える。通常基準の反射率に見合った
レーザー光量がレーザー光源から発光しているため、デ
ィスク７からの反射光量は基準の光ディスクと異なり光
検出器１３に入射する。光検出器１３の出力はドロップ
アウトコンノくレータ回路１４とローノくスフィルタ回
路１６に分配される。ただし、この時点においてはドロ
ップアウトコンパレータ回路１４は動作しないようにし
ておく。光検出器１３の出力はローパスフィルタ回路１
６を通ることにより、ゴミ、欠陥等のいわゆるドロップ
アウト成分や情報トランクにあるアドレス信号等の高周
波成分が除去され光ディスク７の情報トランクの平均反
射光量の電圧が出力される。この電圧を基準電圧発生回
路１７からの基準電圧と比較回路１８にて比較して差分
の電圧を出力し、レーザー光源駆動回路１９に入力され
る。レーザー光源駆動回路１９では比較回路１８からの
出力電圧に比例した制御用駆動電流をレーザー光源１へ
供給する駆動電流に重畳させ、レーザー光源１から発光
するレーザー光量を可変させる。以上説明したレーザー
光量制御手段は閉ループ制御系にて構成されており、上
記の動作が繰返され比較回路１８の差分出力が０になり
、光検出器１３には光ディスク７の反射率の相異にかか
わらず一定の平均反射光量が得られる。かかる時点にお
いて、例えば比較回路１８の差分出力○を検知してドロ
ップアウトコンパレータ回路１４を動作させれば、ドロ
ップアウトを検査することができる。Consider a case where the optical disc 7 is loaded with an optical disc having a reflectance different from the reference reflectance. Since the amount of laser light corresponding to the reflectance of the standard is normally emitted from the laser light source, the amount of reflected light from the disc 7 is different from that of the standard optical disc and is incident on the photodetector 13. The output of the photodetector 13 is distributed to a dropout converter circuit 14 and a low-nox filter circuit 16. However, at this point, the dropout comparator circuit 14 is not operated. The output of the photodetector 13 is sent to the low-pass filter circuit 1
6, so-called dropout components such as dust and defects, and high frequency components such as address signals in the information trunk are removed, and the voltage of the average reflected light amount of the information trunk of the optical disk 7 is output. This voltage is compared with the reference voltage from the reference voltage generation circuit 17 in the comparison circuit 18, and the difference voltage is outputted and inputted to the laser light source drive circuit 19. The laser light source drive circuit 19 superimposes a control drive current proportional to the output voltage from the comparator circuit 18 on the drive current supplied to the laser light source 1, thereby varying the amount of laser light emitted from the laser light source 1. The laser light amount control means described above is configured by a closed loop control system, and the above operation is repeated until the difference output of the comparator circuit 18 becomes 0, and the photodetector 13 detects the difference in the reflectance of the optical disk 7. A constant average amount of reflected light can be obtained regardless of the amount of light reflected. At this point in time, dropout can be detected by detecting, for example, the differential output of the comparison circuit 18 and operating the dropout comparator circuit 14.
以上のようにこの実施例によれば、光検出器１３の出力
をローパスフィルタ回路１６を通し基準電圧発生回路１
７の基準電圧と比較回路１８にて比較してその差分電圧
をレーザー光源駆動回路１９に入力してレーザー光源１
から発光するレーザー光量を可変することにより、異な
る反射率の光ディスク７からの平均反射光量を一定にす
ることができるため、異なる反射率の光ディスク７のド
ロップアウトを同一条件にて検査でき、特に光デイスク
製造工程における反射率の異なる原盤ディスク、スタン
パディスク、レプリカディスク、記録材料蒸着後の完成
ディスクのドロップアウトの出方を正確に検査できる。As described above, according to this embodiment, the output of the photodetector 13 is passed through the low-pass filter circuit 16 to the reference voltage generation circuit 1.
The comparison circuit 18 compares the voltage with the reference voltage of 7 and inputs the difference voltage to the laser light source drive circuit 19 to drive the laser light source 1.
By varying the amount of laser light emitted from the optical disc 7, the average amount of reflected light from the optical discs 7 with different reflectances can be made constant. It is possible to accurately inspect the appearance of dropouts in master disks, stamper disks, replica disks, and finished disks with different reflectances during the disk manufacturing process, as well as finished disks after recording material deposition.
上記実施例にかいては光検出器１３を別個に設けたが、
これをフォーカス制御用光検出器１１あるいはトラッキ
ング制御用光検出器１２と兼用してもよい。この場合、
フォーカス制御用光検出器１１及びトラッキング制御用
光検出器１２の２分割の光検出器の和信号にて代用する
。Although the photodetector 13 was provided separately in the above embodiment,
This may also be used as the focus control photodetector 11 or the tracking control photodetector 12. in this case,
The sum signal of the two divided photodetectors, the focus control photodetector 11 and the tracking control photodetector 12, is used instead.
発明の効果
本発明の光デイスク検査装置は光デイスク上に形成され
た情報トラックからの平均反射光量が一定になるように
レーザー光源から発光するレーザー光量を制御するレー
ザー光量制御手段を・有することにより、反射率の異な
る光ディスクのドロップアウトを同一条件下で検査でき
るため、特に光デイスク製造工程における反射率の異な
る原盤ディスク、スタンパディスク、レプリカディスク
、記録材料蒸着後の完成ディスク各々のドロップアウト
を一台の光デイスク検査装置にて検査できるので光学系
の相異等に起因するドロップアウトの出方のバラツキが
なく正確な検査が行なえ、光デイスク製造工程のドロッ
プアウトの要因が把握しやすく、その実用的効果は大き
い。Effects of the Invention The optical disk inspection apparatus of the present invention has a laser light amount control means for controlling the amount of laser light emitted from the laser light source so that the average amount of reflected light from the information tracks formed on the optical disk is constant. Since the dropouts of optical disks with different reflectances can be inspected under the same conditions, it is especially possible to check the dropouts of master disks, stamper disks, replica disks, and finished disks with different reflectances in the optical disk manufacturing process, as well as finished disks after recording material deposition. Since the inspection can be performed using a standard optical disk inspection device, accurate inspection can be performed without variations in the appearance of dropouts due to differences in optical systems, etc., and it is easy to understand the causes of dropouts in the optical disk manufacturing process. The practical effects are great.
第１図は光ディスクの製造工程を示すブロック図、第２
図は従来例における光デイスク検査装置の概略図、第３
図は本発明の一実施例における光デイスク検査装置の概
略図である。
１・・・・・・レーザー光源、２・・・・・・コリレー
タレンズ、３・・・・偏光ビームスプリッタ、４・・・
・・・λ／４波長板、５・・・・・対物レンズ、６・・
・・・・光学ピックアップ、了・・・・・光ティスフ、
８・・・・・・ハーフミラ−１９・・・・・・集光レン
ズ、１０・・・・・分割ミラー、１１・・・・・フォカ
ス制御用光検出器、１２・・・・・トラッキング制御用
光検出器、１３・・・・光検出器、１４・・・・・ドロ
ップアウトコンパレータ回路、１５ ・・・ドロップア
ウトカウンター回路、１６・・・・・・ローパスフィル
タ回路、１７・・・・・・基準電圧発生回路、１８・・
・・・・比較回路、１９・・・・・・レーザー光源駆動
回路。
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
３図
／７Figure 1 is a block diagram showing the manufacturing process of optical discs, Figure 2
The figure is a schematic diagram of a conventional optical disk inspection device.
The figure is a schematic diagram of an optical disk inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 1... Laser light source, 2... Correlator lens, 3... Polarizing beam splitter, 4...
...λ/4 wavelength plate, 5...Objective lens, 6...
...optical pickup, finished...optical tisf,
8...Half mirror 19...Condenser lens, 10...Division mirror, 11...Photodetector for focus control, 12...Tracking control 13...Photodetector, 14...Dropout comparator circuit, 15...Dropout counter circuit, 16...Low pass filter circuit, 17... ...Reference voltage generation circuit, 18...
... Comparison circuit, 19 ... Laser light source drive circuit. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person No. 1
Figure 3/7
Claims (3)
介して光デイスク上に形成された情報トラックに照射し
、この情報トラックからの反射光を光検出器に受光して
前記情報トラックのゴミ、欠陥等を検査するよう構成し
、前記情報トラックからの平均反射光量が一定になるよ
うにレーザー光量を制御するレーザー光量制御手段を設
けた光デイスク検査装置。(1) Laser light emitted from a laser light source is irradiated via an optical system onto an information track formed on an optical disk, and the reflected light from this information track is received by a photodetector to remove dust and debris from the information track. An optical disk inspection apparatus configured to inspect defects, etc., and provided with a laser light amount control means for controlling the amount of laser light so that the average amount of reflected light from the information track is constant.
成分を取り出すローパスフィルター回路と、基準電圧発
生回路と前記ローパスフィルター回路からの電圧と前記
基準電圧発生回路からの電圧を比較する比較回路と、こ
の比較回路からの電圧に応じて前記レーザー光源からの
レーザー光量を可変させるレーザー光源駆動回路とによ
り構成した特許請求の範囲第１項記載の光デイスク検査
装置。(2) The laser light amount control means includes a low-pass filter circuit that extracts low frequency components from the photodetector, a reference voltage generation circuit, and a comparison circuit that compares the voltage from the low-pass filter circuit with the voltage from the reference voltage generation circuit. and a laser light source drive circuit that varies the amount of laser light from the laser light source in accordance with the voltage from the comparison circuit.
トラックに制御するためのフォーカス制御用光検出器あ
るいはトラッキング制御用光検出器の少なくとも一方を
兼用するようにした特許請求の範囲第１項または第２項
記載の光デイスク検査装置。(3) Claim 1, wherein the photodetector doubles as at least one of a focus control photodetector and a tracking control photodetector for controlling laser light onto an information track on an optical disk. Or the optical disk inspection device according to item 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11309683A JPS605440A (en) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | Optical disk checking device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11309683A JPS605440A (en) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | Optical disk checking device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS605440A true JPS605440A (en) | 1985-01-12 |
Family
ID=14603371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11309683A Pending JPS605440A (en) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | Optical disk checking device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS605440A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61204845A (en) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | Sanyo Electric Co Ltd | Optical reader |
| JPS6284433A (en) * | 1985-10-08 | 1987-04-17 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Inspecting device for optical disk |
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| US5275891A (en) * | 1990-10-04 | 1994-01-04 | Hitachi Metals, Ltd. | R-TM-B permanent magnet member having improved corrosion resistance and method of producing same |
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1983
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