JPS6186606A - 非接触形状測定方法 - Google Patents
非接触形状測定方法Info
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- JPS6186606A JPS6186606A JP59208244A JP20824484A JPS6186606A JP S6186606 A JPS6186606 A JP S6186606A JP 59208244 A JP59208244 A JP 59208244A JP 20824484 A JP20824484 A JP 20824484A JP S6186606 A JPS6186606 A JP S6186606A
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- JP
- Japan
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- coordinate system
- measured
- light
- detection sensor
- measurement
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の利用分野〕
本発明はレーザ元号光を用いた光点検出センサにより物
体形状を測定する測定方法に係わり、特に物体の加工誤
差全市単に測定できる非接触形状測定方法に関する。
体形状を測定する測定方法に係わり、特に物体の加工誤
差全市単に測定できる非接触形状測定方法に関する。
近時、オプト・エレクト”ロニクスの急激な発展に伴い
、物体形状の測定にレーザ光等を利用した光点検出セン
サを柑いた装置が開発埒nている。
、物体形状の測定にレーザ光等を利用した光点検出セン
サを柑いた装置が開発埒nている。
例えば、センサ技術、1983年2月号の”光点検出セ
ンサによる物体形状の6ii足2にも、その−例が論じ
られている。
ンサによる物体形状の6ii足2にも、その−例が論じ
られている。
この楢の計測装置は、物体の加工後の形状を測定し、設
計した形状と比較することによってカロエ誤差を議論す
るために用いられることが多い。この比較を行うにらた
っては、物体の設計値が存在する物体座伸系と、測定装
置のもつ測定座標系との相対的位置関係を、前もって把
握しておく必斐がりる。
計した形状と比較することによってカロエ誤差を議論す
るために用いられることが多い。この比較を行うにらた
っては、物体の設計値が存在する物体座伸系と、測定装
置のもつ測定座標系との相対的位置関係を、前もって把
握しておく必斐がりる。
本発明の目的は、この両座標系間の相対的位置関係を求
め、その結果を用いて簡単かつ自動的に被測定物体の加
工誤差を両足しようとするものである。
め、その結果を用いて簡単かつ自動的に被測定物体の加
工誤差を両足しようとするものである。
本発明は、上記の目的を達成するため、光点横比センサ
のもつ距離測定の機能だけでなく、物体表面に光点を照
射できる機能をも有効に利用して、両座標系IU1の相
対的位置関係を把握すると共に、加工誤差を演算によシ
自動的に求めるようにしたものである。
のもつ距離測定の機能だけでなく、物体表面に光点を照
射できる機能をも有効に利用して、両座標系IU1の相
対的位置関係を把握すると共に、加工誤差を演算によシ
自動的に求めるようにしたものである。
11411ち、その%微とするところは、測定装置を光
を用いて非接触で被測定物体との距離を測定する光点検
出センサと、この光点検出センサの照射角度を変化させ
る角度変化機構と、前記角度変化機構を取付けて光点検
出セ/すを3次元的に駆動する3次元1iA動機構と、
光点検出センサによる距離の測定値と3次元駆動機構の
駆動諷及び光点検出センサの照射角度とを入力して演算
すると共に、これらの動きを制御する演算制御装置とで
構成し、この測定装置で被測定物体の形状を測定する測
定方法において、被測定物体の形状を規定する物体座標
系と測定装置の動きを規定する測定座標系との関係につ
いて被測定物体上に物体座標系での座標値が既知である
1点ないしは複数点の基準点を設け、この基漁点を光点
検出センサの光点が照射するように駆動して基準点の測
定座標系での座標値を求め、しかる後、この座標値と前
記物体座標系に対する座標値とを用いて両座標系間の相
対的位置関係を演算制御装置により求め、この求めた値
とあらかじめ入力しておいた基準値とを比較して被測定
物体の加工誤差を求めて々る非接触形状測定方法にある
。
を用いて非接触で被測定物体との距離を測定する光点検
出センサと、この光点検出センサの照射角度を変化させ
る角度変化機構と、前記角度変化機構を取付けて光点検
出セ/すを3次元的に駆動する3次元1iA動機構と、
光点検出センサによる距離の測定値と3次元駆動機構の
駆動諷及び光点検出センサの照射角度とを入力して演算
すると共に、これらの動きを制御する演算制御装置とで
構成し、この測定装置で被測定物体の形状を測定する測
定方法において、被測定物体の形状を規定する物体座標
系と測定装置の動きを規定する測定座標系との関係につ
いて被測定物体上に物体座標系での座標値が既知である
1点ないしは複数点の基準点を設け、この基漁点を光点
検出センサの光点が照射するように駆動して基準点の測
定座標系での座標値を求め、しかる後、この座標値と前
記物体座標系に対する座標値とを用いて両座標系間の相
対的位置関係を演算制御装置により求め、この求めた値
とあらかじめ入力しておいた基準値とを比較して被測定
物体の加工誤差を求めて々る非接触形状測定方法にある
。
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。第1
図はその全体構成を示したものでお)、固定具1に&置
された被測定物体2に相対して、レーザ光を利用した光
点検出センサ3が配置され、この光点検出センf3は角
度変化機構4を介して3次元駆動機構5の取付部6に結
合されている。
図はその全体構成を示したものでお)、固定具1に&置
された被測定物体2に相対して、レーザ光を利用した光
点検出センサ3が配置され、この光点検出センf3は角
度変化機構4を介して3次元駆動機構5の取付部6に結
合されている。
この取付部6はモータ7により図中のY軸(左右)方向
に駆動可能に構成されてム゛る。また、光点検出センサ
3の図中の2軸(上下)方向の駆動は、モータ8に結合
された縦送りねじ9とアーム10に滑合きれたギアボッ
クス11とにより行われる。
に駆動可能に構成されてム゛る。また、光点検出センサ
3の図中の2軸(上下)方向の駆動は、モータ8に結合
された縦送りねじ9とアーム10に滑合きれたギアボッ
クス11とにより行われる。
きらに、光点検出セ/す3のXa(紙面に画面ン方向の
駆動は、基台]2にa置された3次元駆動機構全体を、
モータ13により行う構造となっている。したがって、
光点恨出セ/す3は、被測定物体2の周りで3次元的(
X、 Y、 Z4tt1方向)に移動可nヒであると共
に、角度変化機構4にょυ、破測定¥21坏2の形状に
応じて、図中の破線の矢印で示し′fc照射光の巨財角
度を変更できるようになってい、り。
駆動は、基台]2にa置された3次元駆動機構全体を、
モータ13により行う構造となっている。したがって、
光点恨出セ/す3は、被測定物体2の周りで3次元的(
X、 Y、 Z4tt1方向)に移動可nヒであると共
に、角度変化機構4にょυ、破測定¥21坏2の形状に
応じて、図中の破線の矢印で示し′fc照射光の巨財角
度を変更できるようになってい、り。
仄いで、第2しl+−1光点検出センサ3の概略構造を
示したものである。レーザ光は、光源21より射出され
、照射レンズ22を通って照射光軸上を進み、被測定物
体2の表面上のP点に光点を結ぶ。
示したものである。レーザ光は、光源21より射出され
、照射レンズ22を通って照射光軸上を進み、被測定物
体2の表面上のP点に光点を結ぶ。
P点からの反射光は、照射光軸と一足の角度をなす受光
光軸上に配置された集光レンズ23により集光され、受
光器24により検出される。距離測定の原理は、被測定
物体2と光点検出センサ3との距!?lILがLl。あ
るいはL□8のように変化すると、受光器24上の受光
位置が変化するので、この変化を電気的に検出すること
によっている。
光軸上に配置された集光レンズ23により集光され、受
光器24により検出される。距離測定の原理は、被測定
物体2と光点検出センサ3との距!?lILがLl。あ
るいはL□8のように変化すると、受光器24上の受光
位置が変化するので、この変化を電気的に検出すること
によっている。
このように、光点検出センサ3は、物体との距離を測定
する機能をもつばかりでなく、物体表面に光点を照射す
る機能を有することがわかる。
する機能をもつばかりでなく、物体表面に光点を照射す
る機能を有することがわかる。
次に、第3図によシ、物体形状の測定方法について説明
する。光点検出センサ3の照射元軸(破線の矢印)は、
角度変化機構4のモニタ31によリS1s+s+tわり
に回転可能となっている。一方、゛1度変化機構4/”
13次元駆動機構5への取付けは、フランジ状の取付部
6を結合することにより行われるが、これら各構成部品
は図示のT軸上に配置されている。なお、上述のS軸及
びT軸は、それぞれ3次元駆動機構5のZ軸及びT軸に
平行に設定されている。
する。光点検出センサ3の照射元軸(破線の矢印)は、
角度変化機構4のモニタ31によリS1s+s+tわり
に回転可能となっている。一方、゛1度変化機構4/”
13次元駆動機構5への取付けは、フランジ状の取付部
6を結合することにより行われるが、これら各構成部品
は図示のT軸上に配置されている。なお、上述のS軸及
びT軸は、それぞれ3次元駆動機構5のZ軸及びT軸に
平行に設定されている。
上述のように構成された本実施例においては、仮測定物
体2の形状は、3次元駆動機構5の駆動位置、角度変化
機構4の回転角度及び光点検出センサ3の距離の測定値
の3要素により測定される。
体2の形状は、3次元駆動機構5の駆動位置、角度変化
機構4の回転角度及び光点検出センサ3の距離の測定値
の3要素により測定される。
すなわち、3次元駆動機括5の駆動位置、を示すT軸と
S軸の交点Nの座標を(XN 、 Ys 、 ZN )
。
S軸の交点Nの座標を(XN 、 Ys 、 ZN )
。
N点と照射究明1との距離をtl、角度変化機構4の回
転角度をθ、また光点検出センサ3の距離の測定値をL
とすると、被測定物体2表面の光点Pの座昏(Xp 、
Yp 、 Zp )は、次式により求めることができ
る。
転角度をθ、また光点検出センサ3の距離の測定値をL
とすると、被測定物体2表面の光点Pの座昏(Xp 、
Yp 、 Zp )は、次式により求めることができ
る。
したがって、光点検出センサ3を物体層シに鹿勤しなが
ら、必要な間隔で光点Pの圧椴を演算制伺装fi(図示
せず)により(1)式を用いて求めれば、物体形状はこ
れら光点の座標の集合として測定できることがわかる。
ら、必要な間隔で光点Pの圧椴を演算制伺装fi(図示
せず)により(1)式を用いて求めれば、物体形状はこ
れら光点の座標の集合として測定できることがわかる。
さて、こうして得られた形状−1−夕は、3次元駆動機
構5の動きを規定する測定座標系(図示のo−XYZ)
に対するものである。一方、機械加工物等の場合は、物
体の形状は独自の物体座標系(図示のQ−xyz)に対
して規定されている。
構5の動きを規定する測定座標系(図示のo−XYZ)
に対するものである。一方、機械加工物等の場合は、物
体の形状は独自の物体座標系(図示のQ−xyz)に対
して規定されている。
したがって、物体形状を測定し、それが設計値どうりに
加工されているか全チェックするためには、上記2つの
座標系の間の相対的位置関係を求め(座標系のリンケー
ジをとり)、一方の座標系の値を他方の座標系の([j
に変換して、同じ座標系の値同志で比較する必要がある
。
加工されているか全チェックするためには、上記2つの
座標系の間の相対的位置関係を求め(座標系のリンケー
ジをとり)、一方の座標系の値を他方の座標系の([j
に変換して、同じ座標系の値同志で比較する必要がある
。
本発明による装置では、この座標系のリンケージを以下
に示す手順で行うようにしている。
に示す手順で行うようにしている。
(1) ′4測定物体2上に、物体座標系での座標値
が既知である基準点を1〜3個設定する。
が既知である基準点を1〜3個設定する。
(2) これらの基準点の測定座標系における座標値
を測定する。具体的には、3次元駆動機構5及び角度変
化機0!4を駆動して、光点検出センサ3の光点がこれ
ら基準点を照射するようにすればよい。
を測定する。具体的には、3次元駆動機構5及び角度変
化機0!4を駆動して、光点検出センサ3の光点がこれ
ら基準点を照射するようにすればよい。
(3)各基準点に対するこれら両座標系における座り:
領を演其制御装置(図示せず)に入力し、両座標糸の相
対的位IIL関係を演りにより求める。
領を演其制御装置(図示せず)に入力し、両座標糸の相
対的位IIL関係を演りにより求める。
以下、示準焦の数が1〜3点の場合一対し、具体的なリ
ンケージ方法を、図を引用しながら説明する。先ず、第
4図は物体座体系0−xyzの各座標軸が、tfill
定座体系0−XYZの各座標軸と平行になるように肢定
でれているので、唯一の基助点Aのみを必振とする場合
を示す。この場合、両とi桿糸の間には並進量をr (
a、b、c)とすると、PL砦^快マトリクスを用いて
、以下の関係式が既立する。
ンケージ方法を、図を引用しながら説明する。先ず、第
4図は物体座体系0−xyzの各座標軸が、tfill
定座体系0−XYZの各座標軸と平行になるように肢定
でれているので、唯一の基助点Aのみを必振とする場合
を示す。この場合、両とi桿糸の間には並進量をr (
a、b、c)とすると、PL砦^快マトリクスを用いて
、以下の関係式が既立する。
ixl 、’100a’ ix’1
ここで、8測定′lO体2上の任りの位iに設定された
が準焦Aの物俸厘0λ糸でのん(4を(X^。
が準焦Aの物俸厘0λ糸でのん(4を(X^。
)’AT ZA)、また九点恢出センサ3を照射して切
らオt7cI118弓足服似系での広椋を(X^、Yム
。
らオt7cI118弓足服似系での広椋を(X^、Yム
。
ZA)とする。これらの数値を(2)式に代入すれば、
未知数でおった並進量(a、b、c)が簡単に求まる。
未知数でおった並進量(a、b、c)が簡単に求まる。
すなわち、物体座標系と測定座標系の相対的位置関係が
、把握できることがわかる。
、把握できることがわかる。
次いで、物体の設置のされ方として、物体座標系の1座
標軸のみが、対応する測定座標系の座標軸と平行で心り
、リンケージをとるのに相異なる2個の基準点が必要の
場合を考える。第5図には、このような例として、物体
座標系のZ軸が測定座標系のZ@と平行でおり、x、y
軸が2軸まわりにα2だけ回転しているi合を示す。こ
の場合、物体座標系0− x’ y’ z’と測定座標
系0−XYZO間には、以下の関係式が成立する。
標軸のみが、対応する測定座標系の座標軸と平行で心り
、リンケージをとるのに相異なる2個の基準点が必要の
場合を考える。第5図には、このような例として、物体
座標系のZ軸が測定座標系のZ@と平行でおり、x、y
軸が2軸まわりにα2だけ回転しているi合を示す。こ
の場合、物体座標系0− x’ y’ z’と測定座標
系0−XYZO間には、以下の関係式が成立する。
この(2)式において、未知数は並進Q(a+ b+C
)及び回転角α!の4@であるので、す/ケージに必要
な基準点の数は1点のみでは不十分で、図示のようにA
、Bの2点が必要となる。これらA、13点の物体座標
系における座標をそれぞれ(XA、 yA、Zh )+
(Xs + Ym + ”l )Xまた光点全照
射して得られる測定座標系での座標をそれぞれ(XA
、YA、ZA)、(X農、Y、。
)及び回転角α!の4@であるので、す/ケージに必要
な基準点の数は1点のみでは不十分で、図示のようにA
、Bの2点が必要となる。これらA、13点の物体座標
系における座標をそれぞれ(XA、 yA、Zh )+
(Xs + Ym + ”l )Xまた光点全照
射して得られる測定座標系での座標をそれぞれ(XA
、YA、ZA)、(X農、Y、。
(ノフ
Znlとすれば、(9)式よυ計6個の関係式が得られ
るので、これらを連立して解けば4個の未知数の11へ
かA<する。すガわち、物体座(票系と測定座標系の相
対位置関係が把握できることがわかる。なお、−組の平
行な軸が2軸と2軸以外のS台でも、同様な方法を用い
てり/ケージをとることができる。
るので、これらを連立して解けば4個の未知数の11へ
かA<する。すガわち、物体座(票系と測定座標系の相
対位置関係が把握できることがわかる。なお、−組の平
行な軸が2軸と2軸以外のS台でも、同様な方法を用い
てり/ケージをとることができる。
さらに、物体座標系と測定座標系のどの軸も平行でなで
、リンケージをとるのに同一直線上にない相!′4なる
3点の基準点が必披な場合を考える。
、リンケージをとるのに同一直線上にない相!′4なる
3点の基準点が必披な場合を考える。
第6図はこの場合を示したものであるが、物体座標系0
−xyzのどの座標軸も、測定座標系0−XYZの座樟
軸と平行ではない。この場合、基準点が3個必要となる
理由は、図示の2つの基準点A、Hのみでは、被測定物
体2の姿勢が一義的に決甘らないためである。すなわち
、基助点が2点のみであると被測定物体2i”j、基準
点A、Bを通る図示のt軸まわりで回転が許容されてし
まう。これを避けるために1−1、図示のようにt軸上
に無い第3の基糸点Cを追加し、被測定物体2の位置及
び姿勢を一義的に決めなくてはいけない。なお、この場
せにも、これらに、B、Cの基111点の物体座標系に
対する彫件値(XA、yAI”A)+(Xe+ Ym
+ zB)、(Xc、Yc、zc ll”i、前もって
求まっている必戦かあり、また測定座標系に対する各基
糸点の座標値(XA、YA、Z−9(Xi、Ym、 z
++ )、(Xc、Yc、Zc )は、光点検出センサ
3の光点全これら基準点に照射して得られる測定値であ
る。これらの各座標1直を用いて演算することにより、
両座標系の相対位置関係、すなわち並進遣(a、b、c
)及び両座υ系の各相の方向を把握できることがわかる
。
−xyzのどの座標軸も、測定座標系0−XYZの座樟
軸と平行ではない。この場合、基準点が3個必要となる
理由は、図示の2つの基準点A、Hのみでは、被測定物
体2の姿勢が一義的に決甘らないためである。すなわち
、基助点が2点のみであると被測定物体2i”j、基準
点A、Bを通る図示のt軸まわりで回転が許容されてし
まう。これを避けるために1−1、図示のようにt軸上
に無い第3の基糸点Cを追加し、被測定物体2の位置及
び姿勢を一義的に決めなくてはいけない。なお、この場
せにも、これらに、B、Cの基111点の物体座標系に
対する彫件値(XA、yAI”A)+(Xe+ Ym
+ zB)、(Xc、Yc、zc ll”i、前もって
求まっている必戦かあり、また測定座標系に対する各基
糸点の座標値(XA、YA、Z−9(Xi、Ym、 z
++ )、(Xc、Yc、Zc )は、光点検出センサ
3の光点全これら基準点に照射して得られる測定値であ
る。これらの各座標1直を用いて演算することにより、
両座標系の相対位置関係、すなわち並進遣(a、b、c
)及び両座υ系の各相の方向を把握できることがわかる
。
次に、上述のように物体座標系と測定座標系の相対位置
関係が把握された後に、漬p制御装置を用いて加工誤差
を演算により求める方法について、第5トjを例にとり
説明する。
関係が把握された後に、漬p制御装置を用いて加工誤差
を演算により求める方法について、第5トjを例にとり
説明する。
IQ+図において、P点の物体座標系0− x’ y’
z’に対する設計値t (x/、 、 Y’p 、
z/、 )とする。これらヲ(乞式へ代入すれば、P点
の座標は下式のように測定座標系に変換される。ここに
、a、b。
z’に対する設計値t (x/、 、 Y’p 、
z/、 )とする。これらヲ(乞式へ代入すれば、P点
の座標は下式のように測定座標系に変換される。ここに
、a、b。
C及びαzi’lL、既に座標系のリンケージによって
Zぬられている値でろる。
Zぬられている値でろる。
X p =Cn5αZX’P−SlllαZY’p
+a >1’ p =s+nαz X’p+C05
(Iz y’p +b ・=−・(4)Zp=
z/、−1−Cラ一方、P点を実際に測
定して得られた座標を、測定座標系で(XPI 、 Y
PI 、 ZP! ) とすると、測定座標系におけ
る誤差(ΔX、ΔY、ΔZ)は下式により求められる。
+a >1’ p =s+nαz X’p+C05
(Iz y’p +b ・=−・(4)Zp=
z/、−1−Cラ一方、P点を実際に測
定して得られた座標を、測定座標系で(XPI 、 Y
PI 、 ZP! ) とすると、測定座標系におけ
る誤差(ΔX、ΔY、ΔZ)は下式により求められる。
1よλ
もし、物体が設計値通りカロエされていれば、(4)式
の(ΔX、ΔY、Δ2)はそnぞれ0となり、また加工
が設計値通りでなければ、(ΔX、ΔY。
の(ΔX、ΔY、Δ2)はそnぞれ0となり、また加工
が設計値通りでなければ、(ΔX、ΔY。
Δ2)はそれぞれO以外の値をとる。
(4)tf)
政及び(イ)のTJ1算式を1演5↓らり御装立に予じ
めプログラミングしておき、その結果を出力させれば、
下式に示すように設計点と測定点の距離ΔLを用いて行
うことも可能である。
めプログラミングしておき、その結果を出力させれば、
下式に示すように設計点と測定点の距離ΔLを用いて行
うことも可能である。
Δ t =、’(ΔX)2+(ΔY)2+(ΔZ)2
・・・・・・ −6ノ〔発明の効果〕 本発明によれば、被測定物体の形状を規定した物体座標
系と、測定鏡面の動きを規定した測定座標系との相対的
位置関係が求まり、その結果を用いてl¥1]単かつ自
動的に被ニ1」足物体の加工誤差をがり定することめ:
できる。
・・・・・・ −6ノ〔発明の効果〕 本発明によれば、被測定物体の形状を規定した物体座標
系と、測定鏡面の動きを規定した測定座標系との相対的
位置関係が求まり、その結果を用いてl¥1]単かつ自
動的に被ニ1」足物体の加工誤差をがり定することめ:
できる。
1面の1m単な説明
第1図は形状測定装置の全体構成図、第2図11光点検
出センサの構造図、第3図は形状測定の原理を示す匝明
図、第40は基糸点が1点の場合の不発明の実施例を示
す説明図、第5図は基進点−D:2点の場合の本発明の
実施例を示す説明図、第6(≦]は2+”; y”一点
か3点の揚台の本発明の実施例を示す説明図である。
出センサの構造図、第3図は形状測定の原理を示す匝明
図、第40は基糸点が1点の場合の不発明の実施例を示
す説明図、第5図は基進点−D:2点の場合の本発明の
実施例を示す説明図、第6(≦]は2+”; y”一点
か3点の揚台の本発明の実施例を示す説明図である。
1・・・固驚具、2・・・板測定物体、3・・・光点検
出センサ、4・・・角度変化機構、5・・・3次元駆動
機構、6・・・取り付は部、7・・・モータ、8・・・
モータ、9・・・0迭りねじ、10・・・アーム、11
・・・ギアボックス、12・・・ゼ、5台、13・・・
モータ、21・・・光源、22・・・服、躬レンズ、2
3・・・集光レンズ、24・・・受光器、χ1(21 ¥30 葛40 第50
出センサ、4・・・角度変化機構、5・・・3次元駆動
機構、6・・・取り付は部、7・・・モータ、8・・・
モータ、9・・・0迭りねじ、10・・・アーム、11
・・・ギアボックス、12・・・ゼ、5台、13・・・
モータ、21・・・光源、22・・・服、躬レンズ、2
3・・・集光レンズ、24・・・受光器、χ1(21 ¥30 葛40 第50
Claims (1)
- 1、測定装置を光を用いて非接触で被測定物体との距離
を測定する光点検出センサと、この光点検出センサの照
射角度を変化させる角度変化機構と、前記角度変化機構
を取付けて光点検出センサを3次元的に駆動する3次元
駆動機構と、光点検出センサによる距離の測定値と3次
元駆動機構の駆動量及び光点検出センサの照射角度とを
入力して演算すると共に、これらの動きを制御する演算
制御装置とで構成し、この測定装置で被測定物体の形状
を測定する測定方法において、被測定物体の形状を規定
する物体座標系と測定装置の動きを規定する測定座標系
との関係について被測定物体上に物体座標系での座標値
が既知である1点ないしは複数点の基準点を設け、この
基準点を光点検出センサの光点が照射するように駆動し
て基準点の測定座標系での座標値を求め、しかる後、こ
の座標値と前記物体座標系に対する座標値とを用いて両
座標系間の相対的位置関係を演算制御装置により求め、
この求めた値とあらかじめ入力しておいた基準値とを比
較して被測定物体の加工誤差を求めてなることを特徴と
する非接触形状測定方法。
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