JPS6185060A

JPS6185060A - 非接触位置決め装置

Info

Publication number: JPS6185060A
Application number: JP59204850A
Authority: JP
Inventors: Hajime Sudo; 肇須藤; Hiroshi Takahashi; 博高橋
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1984-09-29
Filing date: 1984-09-29
Publication date: 1986-04-30
Also published as: JPH0424946B2; EP0177274A3; EP0177274B1; US4644205A; DE3584814D1; EP0177274A2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、物体を磁気力を用いて非接触に支承するとと
もに、この磁気力を用いて上記物体の空量的６泣置を調
整する非接触位置決め装置に関する。

〔発明の技術的背崇とその問題点〕

従来、物体の二次元的または三次元的な位置を比較的精
度良く定める方法の一つとして、滑らかなガイドに載置
されたプレートを精密ボールネジで移動させる方法が知
られている。しかしながら、このように憬械的な位置決
めを行なう方法は、部品を極めて高い精度で加工しなけ
ればならず、たとえ部品の高精度な加工が可能であると
しても、ボールネジのいわゆるバックラッシュを完全に
回避することができない。このため、従来のこの種の位
置決め装置では高い精度で位置決めを行なうことができ
なかった。また、このような装置で三次元的な位置決め
を行なう場合には、空間の持つ自由度の数と同数の６個
の位置決め装置を併せて用いなければならず、全体とし
て大型で高価なものになっていた。

そこで、このような欠点を克服し得る位置決め装置とし
て、電磁石あるいは永久磁石の磁気的吸引力を利用して
、物体を非接触状態で位置決めさせるようにした非接触
位置決め装置が提案されている。しかしながら、磁気的
吸引力を利用した位置決め装置にあっては、吸引部材と
被吸引部材との間の吸引力が、両者の距離に対して非線
形変化を示すので、これを制御するための制御電流も非
線形に変化させる必要がある。このため、高精度な位置
制御を実現するには、バイアス用の磁気力供給源や線形
化装置を必要としなければならず、装置の複雑化や信頼
性の低下をもたらすという問題があった。

〔発明の目的〕

本発明は、かかる問題点に鑑みなされたものであり、そ
の目的とするところは、機械的な誤差の少ない非接触位
置決め装置にあって、磁気空隙に関し無依存であり、線
形的な制御を可能化し、もって構造の簡単化および信頼
性の向上化が図れる非接触位置決め装置を提供すること
にある。

〔発明の概要〕

本発明は、浮揚体を、磁気的吸引力によって支承あるい
は位置調整の為に駆動させるのではなく、磁界と、該磁
界中に配置された導電部材に流れる電流との間に生ずる
電磁気的な相互作用によって支承あるいは位置調整の為
に駆動させるようにじたことを特徴としている。

すなわち本発明は、固定体と、この固定体に非接触状態
で嵌合する浮揚体と、前記固定体に対する前記浮揚体の
位置を磁気的に調整する浮揚***置調整手段とを備えた
非接触位置決め装置において、前記浮揚***置調整手段
が、磁界発生手段と、この磁界発生手段で発生した磁界
内に配置された導電部材と、この導電部材に電流を供給
する手段とを具備したものであり、前記Ｓ置部材に流れ
る電流の方向および前記磁界発生手段で発生した磁界の
方向と直交する方向に生ずる前記磁界発生手段と前記導
電部材との間の相対的な電磁力によって前記浮揚体を前
記固定体に対して移動させるものであることを特徴とし
ている。

〔発明の効果〕

上記の如き構成であると、機械的な誤差を回避できると
いう非接触位置決め装置特有の効果が得られることは勿
論のこと、次のような効果を奏することができる。

すなわち、位置決め対象である浮揚体は、磁気的吸引力
によって支承あるいは駆動されるのではなく、磁界と、
該磁界中に配置された導電部材に流れる電流との間の電
磁気的な相互作用によって支承あるいは駆動されるので
、上記支承力および駆動力は、浮揚体と固定体との間の
磁気間隙とは全く無依存である。したがって、導電部材
に供給する電流を非線形に制御する必要がなくなる。し
たがって、本発明によれば、新たに線形化装置やバイア
ス付与手段を付加する必要がないので、構造の簡単化お
よび信頼性の向上化、更には精度の向上化を図ることが
できる。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照し本発明の実施例について説明する。

第１図乃至第３図は、本発明の一実施例に係る非接触位
置決め装置の構成を示す図であり、第１図は本装置を一
部切欠した分解斜視図、第２図は本［１を第３図におけ
るＡ−Ａ線に沿って切断した矢視断面図、第３図は本装
置を第２図におけるＢ−Ｂ線に沿って切断した矢視断面
図である。これら各図に示すように、本装置は、固定体
上と、この固定体上に非接触状態で嵌合する浮揚体、２
−と、固定体１に対する浮揚体、２−の位置を電磁気的
に調整する浮揚***置調整手段３−とで構成されている
。

固定体上は、同軸配置された外円筒６および内円筒７と
、これら内円筒６，７の下端部間を一体的に結合する環
状底壁８と、上記内円筒７の上端部を閉塞する上端壁９
とで構成されており、例えば非磁性材料で形成されたも
のである。

浮揚体、２−は、固定体上の外円筒６の外周面を非接触
状態で覆う如く設けられた外円筒１１と、上記固定体上
の外円・筒６と内円筒７との間の空間に非接触状態で嵌
合される如く設けられた内円筒１２と、これら内円筒１
１．１２の上端部を一体的に閉塞する上端壁１３とで構
成されており、例えば、高透磁率材料でかつ電磁遮断材
料である珪素鋼で形成されたものである。

また、浮揚***置調整手段３−は、次のように構成され
ている。すなわち、上記浮揚体２−の内円筒１２の外周
面でかつ上部位置には、適当な広がり角を有する永久磁
石１６ａ　、　１６ｂ　、　１６ｃ　、　１６ｄが、周
方向に略９０＠の位相ピッチで取着されている。また、
上記浮揚体、２−の内円筒１２の外周面でかつ下部位置
には、適当な広がり角を有する永久磁石１７ａ。

１７ｂ　、　１７ｃ　、　１７ｄが、上記永久磁石１６
ａ　〜１８ｄと周方向位置を同じくするように略９０’
の位相ピッチで取着されている。これら永久磁石１６ａ
〜１６ｄ。

１７ａ〜１７ｄは、それぞれ半径方向に着磁されている
。この着磁は、例えば軸心線方向に隣接する２個の永久
磁石−によって、後述するところの１組の磁気ループが
形成されるように、軸心線方向に隣接する１組の永久磁
石が互いに逆向きとなる如く着磁される。一方、前記固
定体上の外円筒６の内周部で、かつ前記永久磁石１６ａ
〜１６ｄおよび前記永久磁石１７ａ〜１７ｄと対向する
軸方向位置には、それぞれ周方向に延びる溝１８．１９
が形成されている。これら溝１８．１９には、周方向に
巻回された軸方向制御コイル２０．２１が装着されてい
る。また、固定体上の外筒６の外周面で、かつ前記永久
磁石１６ａ〜１６ｄおよび前記永久磁石１７ａ〜１７ｄ
の各周方向端部と対向する位置には、径方向に僅か延出
する計１６個の凸部２２ａ　〜２２ｈ　、　２３ａ　〜
２３ｈ　　（但し、２３ａ　、　２３ｃ〜２３ｇは図示
せず）が形成されている。

そして、これら凸部のうち、凸部、２２ａ　、　２２ｃ
　。

２２ｅ　、　２２ｇ　、　２３ａ　、　２３ｃ　、　２
３ｅ　、　２３ｇには、それぞれ半径方向制御コイル２
４ａ〜２４ｈが巻装されている。また、これら凸部のう
ち、凸部２２ｂ　、　２２ｄ　。

２２ｆ　、　２２ｈ　、　２３ｂ　、　２３ｄ　、　２
３ｆ　、　２３ｈ　１．：ハ、それぞれ周方向（中心軸
回り方向）制御コイル２５ａ〜２５ｈが巻装されている
。これら各制御コイル２０゜２１、２４ａ　〜２４ｈ　
、　２５ａ　〜２５ｈと、永久磁石１６ａ〜１６ｄ　、
　１７ａ〜１７ｄとの関係位置は、第４図に示す如くと
なる。なお、この図は第３図におけるＣ矢視図である。

この図から明らかなように、例えば永久磁石１６ａから
発生する磁界は、軸心線を中心として巻回された軸方向
制御コイル２０と、径方向を中心として巻回された半径
方向制御コイル２４ａおよび周方向制御コイル２５ａの
軸方向に延びる部分とにそれぞれ直交するように貫通し
ている。各制御コイルの数は、要求される力の大きさに
応じて任意に設定することができ、更に前記各制御コイ
ルを取着する部位も、対応する永久磁石から発生される
磁界の方向に対して直交し、かつ要求方向の力が発生す
る場所であれば自由に設定できる。

一方、固定体上の内円筒７の外周面で、上下位置には、
浮揚体、？−の内円筒１２の内周面に対向するように半
径方向位置検出器３１ａ　、　３１ｂ　、　３２ａ　、
　３２ｂが突設されている。また、同内円筒７の外周面
で、中央位置には、浮揚体２の内円筒１２に形成された
切欠窓３３ａ　、　３３ｂにそれぞれ対向するように互
いに１８０″離間させて周方向（軸心線回り方向）位置
検出器３４ａ　、　３４ｂが突設されている。さらに、
同内円筒７の上端部を閉塞する上端壁９には、浮揚体、
２−の上端壁１３の内面に対向するように軸方向位置検
出器３５が突設されている。そして、半径方向位置検出
器３１ａ　、　３１ｂ　、　３２ａ　、　３２ｂおよび
軸方自位置検出器３５は、浮揚体、２−の対向面との距
離を非接触に検出し、周方向位置検出器３４ａ　、　３
４ｂは、その検出面とこの検出面に対向する切欠窓３３
ａ。

３３ｂとの間の相対位置変動によって上記検出面を覆う
部材の面積変動を感知して浮揚体の周方向位置を検出す
る。なお、周方向位置を検出するのに２個の周方向位置
検出器３４ａ　、　３４ｂを使用しているのは、浮揚体
、２−の半径方向および軸方向の変位と周方向の変位と
を区別させる為である。さらに検出精度を高めたい場合
には、各々の制御軸方向の位置検出器の組を増加させれ
ば良い。なお、各位置検出器および各ＩＩ　Ｉｌｌコイ
ルは信号線３６を介して別途設置された制御装置３７と
電気的に接続されており、各位置検出器からの検出信号
に基づいて各制御コイルが付勢されるようになっている
。以上が浮揚***置調整手段３−の概略構成である。

次に、このように構成された本実施例に係る非接触位置
決め装置の作用について説明する。

永久磁石１６ａ〜１６ｄ、１７ａ〜１７ｄのうち、例え
ば永久磁石１６ａ　、　１７ａから供給される磁束は１
．第２図に示すように、永久磁石１６ａ〜軸方向制御コ
イル２０〜固定体上ｐ外円筒６〜半径方向制御コイル２
４ａおよび周方向制御コイル２５ａ〜浮揚体、２−の外
円筒１１〜半径方向制御コイル２４ｅおよび周方向制御
コイル２５ｅ〜固定体上ｐ外円筒６〜軸方向制御コイル
２１〜永久磁石１７ａ〜浮揚体、２−の内円、筒１２〜
永久磁石１６ａの経路を通る磁気ループＭ１を形成する
。このように、本装置においては軸方向に隣接する２つ
で１組の永久磁石によって、周方向に９０°の間隔をあ
けて４つの磁気ループＭ１〜Ｍ４が形成される。そして
、各磁気ループＭ１〜Ｍ４は、半径方向制御コイル２４
ａ〜２４ｈおよび周方向制御コイル２５ａ〜２５ｈの軸
方向に延びる２つの部分のうち永久磁石１６ａ〜１６ｄ
と対向する一方の部分、ざらには軸方向制御コイル２０
．２２に略直交して貫通する。

ところで、周知の如く、定常磁界中に設置された導電部
材に電流を流すと、該導電部材は、上記磁界中を横切る
導電部材の長さと、該導電部材に流す電流値とに比例し
た大きさで、かつフレミングの左手の法則に従う向きの
電磁力を受ける。この実施例のように浮揚体、２−に磁
界供給源である永久磁石１６ａ　〜１６ｄ　、　１７ａ
　、　１７ｂを設置し、固定体上に導電部材である制御
コイルを取着した場合、上記各制御コイルには、上記法
則に従った力が付与される−わけであるが、上記導電部
材の取着された一定体工は静止しているので、結果的に
前記浮揚体、２−がこの反力を受けて移動する。勿論、
浮揚体、２−に制御コイルが取着され、かつ固定体上に
磁界供給源が取着される場合には、上記浮揚体、２−に
直接電磁力が付与されることは言うまでもない。

第５図は、浮揚体、２−を半径方向に位置決めする場合
の過程を説明するための図であり、説明に関係しない部
分の構成要素は省略した。すなわち、いま浮揚体、？−
を図中Ｆｘで示すように紙面右向きに変位させたい場合
には、半径方向制御コイル２４ａ　、　２４ｅの磁気ル
ープＭ１を横切る部分に軸方向上向きに電流が流れるよ
うにこれら制御コイル２４ａ　、、　２４ｅを付勢する
とともに、半径方向制御コイル２４ｃ　、　２４ｇの磁
気ループＭ３を横切る部分に軸方向下向きに電流が流れ
るようにこれら制御コイル２４０　、２４ｇを付勢する
。この結果、制御コイル２４ａ　、　２４ｅの上記部分
および制御コイル２４Ｃ２２４ｇ°の上記部分には、変
位させたいｌ”ｘの向きとは逆向きの電磁力ｆａ、　ｒ
ｃが発生する。従って、浮揚体、２−は、その反力とし
てこれら電磁力ｆａ、　ｒｃとは逆向きの力Ｆｘを受け
、この力１”ｘが浮揚体、２−の半径方向の位置調整力
として作用する。なお、制御コイル２４ａ　、　２４ｃ
　、　２４ｅ　、　２４ｇに流す電流の向きを反転させ
れば、浮揚体、？−は上記Ｆｘとは全く逆向きの力を受
けることになる。一方、上記制御コイル２４ａ　、　２
４ｃ　、　２４ｅ　、　２４ｇと９０°位相をずらして
設置された制御コイル２４ｂ　、　２４ｄ　、　２４ｆ
　。

２４ｈにおいても、上述と同様に互いに対向する制御コ
イルに逆向きの電流を流すようにすれば、これら制御コ
イル２４ｂ　、　２４ｄ　、　２４ｆ　、　２４ｈの磁
気ループＭ２　、Ｍ４内に存在する部分は、それぞれｆ
ｂ。

ｆｄの電磁力を受け、その反力として浮揚体をＦｙで示
す向きに変位させることができる。これらの制御を行な
うにあたり、各制御コイルへの電流は、半径方向位置検
出器３１ａ　、　３１ｂ　、　３２ａ　、　３２ｂから
の検出値に基づいて制御装置３１から供給される。

第６図は、浮揚体、２−を中心軸回り、すなわち周方向
に位置決めする場合の過程を説明するための図であり、
この図においても説明に関係しない部分の構成要素は省
略した。すなわち、いま浮揚体、２−を図中Ｆｒで示す
時計回りの向きに回転変位させたい場合には、周方向制
御コイル２５ａ〜２５ｈの各磁気ループＭ１〜Ｍ４を横
切る部分に軸方向上向きの電流が流れるようにこれら制
御コイル２５ａ〜２５ｈを付勢する。この結果、各制御
コイル２５ａ〜２５ｈの上記部分には、反時計回りの向
きの電磁力ｆａ−ｆｄが発生する。従って、浮揚体、２
−は、その反力としてこれら電磁力ｆａ−ｆｄとは逆向
きの力Ｆｒを受け、この力Ｆ「が浮揚体−２−の周方向
の位置調整力として作用する。なお、制御コイル２５ａ
〜２５ｈに流す電流の向きを反転すれば、浮揚体、２−
は上記１”ｒとは全く逆向きの力を受けることになる。

第７図は、浮揚体、２−を軸方向に位置決めする場合の
過程を説明するための図であり、この図においても説明
に関係しない部分の構成要素は省略した。この場合には
、軸方向１１１１０コイル２０を横切る磁束の向きと、
軸方向制御コイル２１を横切る磁束の向きとは各々逆向
きであるから、これら制御コイル２０．２１に流す電流
の向きをそれぞれ逆向きに設定すれば、これら制御コイ
ル２０．２１には、同一の向きの電磁力が付与されるこ
とになる。例えば、ＩＩＪｔＩｌコイル２０には、図中
上方から見て反時社回りの向きに電流を流し、また、制
御コイル２１には、同時計回りの向きに電流を流せば、
これら制御コイル２０．２１には、図中下向きの電磁力
ｆｚａ　、　ｆｚｂが発生し、その結果、浮揚体、２−
は図中上向きの力Ｆｚを受けて該向きに移動する。各Ｉ
ＩＪＩＩｌコイル２０゜２１に流す電流の向きを逆向き
にすれば、浮揚体、２−は逆向きに移動する。

このように、本実施例によれず、空間の有する全ての自
由度に対して浮揚体、２−を移動させ得るように、浮揚
体りを半径方向、周方向および軸方向にそれぞれ独立に
・非接触支承および位置調整のため駆動するようにして
いる。このため、空間の任意の位置への位置決めが可能
になる。そして、この場合には、浮揚体、２−は、磁気
的吸引力によって支承あるいは駆動されるのではなく、
永久磁石１６ａ〜ｌｅｄ　、　１７ａ〜１７ｄが供給す
る定常的な磁界と、各制御コイルに流れる電流との相互
作用によって支承および駆動されるので、各ｔｓｍコイ
ルに供給される電流は、固定体上と浮揚体−１２−との
間の磁気間隙に対し無依存である。したがって、線形化
装置やバイアス手段などを必要とせず、特に制御部分の
大幅な簡略化を図ることができるうえ、位置決め精度の
向上化を図ることができる。また、浮揚体、？−の運動
は、固定体上に固定された位置検出器３１ａ　、　３１
ｂ　、　３２ａ　、　３２ｂ　、　３５ニよって常時モ
ニタされ、この信号が制御装置３７を介して付勢電流と
して制御コイルに供給されるようになっているので、装
置の位置決め精度は、上記位置検出器の位置決め精度と
略同程度のＭ度が確保できる。

さらに、この実施例においては浮揚体°、？−を電磁気
遮断部材で形成し、この浮揚体、２−によって浮揚***
１ｕｌｌ整手段旦−の全体を覆うようにしているので、
浮揚***置調整手段Ω−からの電磁波は、上記浮揚体４
２−よりも外側に漏れることはなく、電磁波の影響を受
は易い装置を近接設置することも可能である。

なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものでは
ない。例えば上記実施例では軸方向に２段の永久磁石１
６ａ　〜１６ｄ　、　１７ａ　〜１７ｄを設け、これら
の永久磁石によって磁界を供給させるようにしたが、第
８図（第９図におけるＤ−Ｄ線に沿って切断した矢視断
面図）および第９図（第８図におけるＥ−Ｅ線に沿って
切断した矢視断面図）に示すように、永久磁石４１ａ　
〜４１ｄ　、　４２ａ　〜４２ｄ　。

４３ａ　〜４３ｄ　　（但し、４１ｃ　、　４３ｂ　〜
４３ｄは図示せず）を浮揚体２の中心軸方向について３
段設けるようにし、軸方向に２段の磁気ループＭａ９Ｍ
ｂを形成するようにしても良い。この例では、各永久磁
石に対応させて半径方向制御コイル４４ａ〜４４ｄ。

４５ａ　〜４５ｄ　、　４６ａ　〜４６ｄ　　（但し、
４４ｄ　、　４５ｂ　。

４６ｂ〜４６ｄは図示せず）および周方向位置制御コイ
ル４７ａ　〜４７ｄ　、　４８ａ　〜４８ｄ　、　４９
ａ　〜４９ｄ　　（但し、４７ｃ　、　４８ａ　、　４
８ｄ　、　４９ａ　、　４９ｃ　、　４９ｄは図示せず
）も３段に設けるようにし、また軸方向制御コイル５０
は最も磁束の集中する永久磁石４２ａ〜４２ｄと対向す
る部分のみに設けるようにしている。そして、第９図に
示すように、半径方向制御コイル４４ａ〜４４ｄ　、　
４５ａ　〜４５ｄ　、　４６ａ　〜４６ｄおよび周方向
制御コイル４７ａ　〜４７ｄ　、　４８ａ　〜４８ｄ　
、　４９ａ　〜４９ｄの巻回数を多くするようにしてい
る。

このような構成であれば、半径方向および周方向に大”
きな付加が印加された場合でも十分な支承力あるいは位
ｆｕｌｌ整の為の駆動力を得ることができる。このよう
に、必要な力に応じた適当な数の制御コイルを配置する
ため、種・々の変形例が考えられる。なお、半径方向と
周方向の制御コイルを区別せずに各々の制御信号を重畳
して用いても良い。

また、先に示した実施例においては、磁界供給源である
永久磁石１６ａ　〜１６ｄ　、　１７ａ　〜１７ｄ−を
浮揚体２の内円筒１２の外周面上にのみ設けるようにし
たが、第１０図に示すように、外円筒１１の内周面にも
前記永久磁石１６ａ〜１６ｄ　、　１７ａ〜１７ｄに対
向させて新たな永久磁石５１ａ　〜５１ｃ！　、　５２
ａ　〜５２ｄ　　（但し、５１ｂ〜５１ｄ　、　５２ｂ
〜５２ｄは図示せず）を設けるようにしても良い。この
ような構成であれば、磁束の漏洩を少なくできることは
もとより、定常磁界の大きさも増加するため、より大き
な支承力あるいは位置調整のための駆動力を得ることか
で・きる。

また、これまでの説明では磁界供給源として永久磁石を
用いていたが、永久磁石に替えて第１１図に示すように
電磁石６１ａ　〜６１ｄ　、　６２ａ　〜６２ｄ　　（
但し、６１ｂ　、　６１ｃ　、　６２ｂ　、　６２ｃは
図示せず）を用いるようにしても良い。この場合には、
浮揚体、２−から導線が引出されるが、その影響はそれ
程大きなものではない。

なお、以上述べた内容は、固定体上に設置される要素と
、浮揚体、？−に設置される要素とを交換しても同様の
効果を得ることができる。ざらには、固定体上および浮
揚体−？−を二重同心体とせずにさらに多重化すれば、
より大きな負荷に耐えることができる。また、本発明は
固定体上および浮揚体、２−として回転非対象のものを
用いるようにしても良い。

要するに本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変更
して実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は本発明の一実施例に係る非接触位置
決め装置を説明するための図であり、第１図は同装置を
一部切欠した分解斜視図、第２図は同装置の縦断面図、
第３図は同装置の横断面図、第４図は第３図上おけ゛る
Ｃ矢視図、第５図は同装置の半径方向制御の様子を説明
するための図、第６図は同周方向制御の様子を説明する
ための図、第７図は同中心軸方向制御の様子を説明する
ための図、第８図乃至第１１図４まそれぞれ他の□実施
例に係る非接触位置決め装置を示す図である。工・・・固定体１．？−・・・浮揚体、１・・・浮揚体
位置調整手段、１６ａ　〜ＩＧｄ　、　１７ａ　〜１７
ｄ　、　４１ａ　〜４１ｄ　。４２ａ　〜４２ｄ’、　４３ａ　〜４３ｄ　、　５１ａ
　〜５１ｄ　、　５２ａ　〜５２ｄ・・・永久磁石、２
０．２１．５０・・・軸方向副部コイル、２４ａ　〜２
４ｈ　、　４４ａ　〜４４ｄ　、　４５ａ　〜４５ｄ　
、　４６ａ　〜４６ｄ・・・半径方向制御コイル、２５
ａ〜２５ｈ　、　４７ａ〜４７ｄ　、　４８ａ　〜４８
ｄ　、　４９ａ　〜４９ｄ　−・・周方向１１Ｊ　ｍ　
：）イル、３１ａ　、　３１ｂ　、　３２ａ　、　３２
ｂ　−・・半径方向位置検出器、３４ａ　、　３４ｂ・
・・周方向位置検出器、３５・・・軸方向位置検出器、
３１・・・制御装置、６１ａ〜６１ｄ　、　６２ａ〜６
２ｄ・・・電磁石。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第１図第２図第３図第５図第６図第７図上　　　　　　　　　　　　　　　６第８図第９図第１０図箪１１図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）固定体と、この固定体に非接触状態で嵌合する浮
揚体と、前記固定体に対する前記浮揚体の位置を磁気的
に調整する浮揚***置調整手段とを備えた非接触位置決
め装置において、前記浮揚***置調整手段は、磁界発生
手段と、この磁界発生手段で発生した磁界内に配置され
た導電部材と、この導電部材に電流を供給する手段とを
具備し、前記導電部材に流れる電流の方向および前記磁
界発生手段で発生した磁界の方向と直交する方向に生ず
る前記磁界発生手段と前記導電部材との間の相対的な電
磁力によって前記浮揚体を前記固定体に対して移動させ
るものであることを特徴とする非接触位置決め装置。
（２）前記磁界発生手段は前記浮揚体に固定され、前記
導電部材は前記固定体に固定されているものであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の非接触位置決
め装置。
（３）前記磁界発生手段は前記固定体に固定され、前記
導電部材は前記浮揚体に固定されているものであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の非接触位置決
め装置。
（４）前記導電部材は前記浮揚***置調整手段の有する
前記浮揚体の位置決め自由度に対応させて複数設けられ
、前記磁界発生手段はこれら導電部材に同時に磁界を付
与するものであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項、記載の非接触位置決め装置。
（５）前記浮揚体または前記固定体は前記浮揚***置調
整手段全体を覆う如く設けられ、少なくとも前記浮揚体
位置調整手段を覆う部分は電磁気遮断材料で形成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の非接
触位置決め装置。