JPS6179714A - Laser hardening device - Google Patents

Laser hardening device

Info

Publication number
JPS6179714A
JPS6179714A JP59200541A JP20054184A JPS6179714A JP S6179714 A JPS6179714 A JP S6179714A JP 59200541 A JP59200541 A JP 59200541A JP 20054184 A JP20054184 A JP 20054184A JP S6179714 A JPS6179714 A JP S6179714A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
mirror
output
signal
hardening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59200541A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0140893B2 (en
Inventor
Yoshihide Kanehara
好秀 金原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP59200541A priority Critical patent/JPS6179714A/en
Publication of JPS6179714A publication Critical patent/JPS6179714A/en
Publication of JPH0140893B2 publication Critical patent/JPH0140893B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

PURPOSE:To make uniform the depth of hardening and to execute laser hardening with good quality without surface melting by providing a circuit which drops the output of a laser oscillator in the stage of changing the oscillating direction of a mirror in synchronization with the synchronizing signal from a mirror driving signal generator. CONSTITUTION:The synchronizing signal 20 synchronized with the frequency of the oscillating mirror 6 is inputted from the mirror driving signal generator 8 to a laser output regulator 17. The set value of the 1st laser output setter 1 is set high and the set value of the 2nd laser output setter 19 is set low. The output of the laser light 3 from the laser oscillator 2 is decreased in synchronization with the synchronizing signal of the generator 8 by the regulator 17. The mirror 6 is moved by a mirror driving device 7 in this stage and the output decrease is synchronized with the time for changing the oscillating direction of the mirror. The output decrease time of the laser light 3 is set by a drop time setter 21. The quantity of the heat input to both ends in the hardening part of a work 9 is thus decreased and the laser hardening is executed to the uniform depth.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、被加工物にレーザ光を照射してレーザ焼入
れを行うレーザ焼入れ装置、特にミラーを撮動ζせて反
射したレーザ光の照射方向を変えてレーザ焼入れを行う
ものに関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a laser hardening device that performs laser hardening by irradiating a workpiece with a laser beam, and in particular, a laser hardening device that performs laser hardening by irradiating a workpiece with a laser beam, and in particular, a laser hardening device that performs laser hardening by irradiating a workpiece with a laser beam. This relates to laser hardening by changing the direction.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第5図は従来のレーザ焼入れ装置に関するものである。 FIG. 5 shows a conventional laser hardening device.

図において、(1)はレーザ出力設定器、(2)は、レ
ーザ出力設定器(1)と接続ばれたレーザ発振器で、レ
ーザ出力設定器(1)のレーザ出力指令信号により一定
の出力値のレーザ光(3)を出力するものである。(4
)はレーザ′jt、(31の方向ヲ変えるペンドミラー
、(5)II′iレーザ元(3)を反射して集光させる
集光ミラー、(6)はレーザ光の照射方向を変えるため
振動する撮動ミラーで、シリコン、アルミニウム又は銅
等の金FAを基材にしている。(7)は振動ミラー(6
)を振動メせるミラー駆動装置でミラー供動信号発生器
(8)と接続されており、ミラーfれ動信号発生器(8
)のミラー駆動信号に従って駆動し、振動ミラー(6)
を一定幅で振動略せるものである。(9)は被加工物で
ある。
In the figure, (1) is a laser output setting device, and (2) is a laser oscillator connected to the laser output setting device (1), which has a constant output value according to the laser output command signal of the laser output setting device (1). It outputs laser light (3). (4
) is a pend mirror that changes the direction of the laser ′jt, (31), (5) a focusing mirror that reflects and focuses the II′i laser source (3), and (6) vibrates to change the irradiation direction of the laser beam. It is a photographic mirror and is made of gold FA such as silicon, aluminum or copper.(7) is a vibrating mirror (6
) is connected to the mirror drive signal generator (8), and the mirror f vibration signal generator (8) is connected to the mirror drive signal generator (8).
) is driven according to the mirror drive signal of the vibrating mirror (6).
can be omitted from vibration within a certain width. (9) is the workpiece.

従来のレーザ焼入れ装置は、上記のように構成―れ、レ
ーザ出力設定器(11のレーザ出力指令信号によってレ
ーザ発S器(2)は一定の出力値のレーザ光(3)を出
力する。そのレーザ光(3)はペンドミラー(4)によ
って集光ミラー(5)に導かれ、集光ミラー(5)で集
光ばれた反射光となる0その反射光は振動している振動
ミラー(6)で再び反射しながら、その照射方向を変化
メぜて被加工物(9)に照射し、焼入れを行う。その振
動ミラー(6)はミラー駆動装!(7)により、ミラー
駆動信号発生器(8)のミラー駆動信号に従つ1一定幅
で撮動する。従って、振動ミラー(6)で反射したレー
ザ光(3)は振動ミラー(6)によって一定の振幅にそ
の照射方向が変化するように駆動ζせられる、このとき
のミラー駆動信号発生器(8)のミラー駆V信号は一般
に第6図(alに示すような三角波である。
A conventional laser hardening device is configured as described above, and the laser generator (2) outputs a laser beam (3) with a constant output value in response to a laser output command signal from a laser output setting device (11). The laser beam (3) is guided to the condenser mirror (5) by the pend mirror (4), and the condensed mirror (5) becomes reflected light.The reflected light is reflected by the vibrating oscillating mirror (6). While reflecting again, the irradiation direction is changed and the workpiece (9) is irradiated for hardening.The vibrating mirror (6) is driven by a mirror drive signal generator (7). Photographing is performed at a constant width according to the mirror drive signal (8).Therefore, the laser beam (3) reflected by the vibrating mirror (6) changes its irradiation direction to a constant amplitude by the vibrating mirror (6). The mirror drive V signal of the mirror drive signal generator (8) at this time, which is driven by ζ, is generally a triangular wave as shown in FIG. 6 (al).

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上記のような従来のレーザ焼入れ装置では、ミラー駆動
装置(7)によって駆動される撮動ミラー(6)はシリ
コン、アルミニウム筐たは銅等の金属を基材に使用した
1童のあるミラーであり、また大出力レーザになれば冷
却装置も必要となって重くなる。このため、撮動ミラー
(6)の実際の動きは、第6図(b)に示すように撮動
ミラー(6)の振動方向の転換部分(10、(2)では
、撮動ミラー(6)が50〜61:lBj程度の高速で
撮動させられているために慣性によって方向が急に変わ
ることができず、移動速度や≦遅くなる。
In the conventional laser hardening device as described above, the photographing mirror (6) driven by the mirror drive device (7) is a mirror made of silicon, aluminum, or metal such as copper as a base material. However, if the laser has a high output, a cooling device is also required, which increases the weight. Therefore, the actual movement of the photographing mirror (6) is as shown in FIG. 6(b). ) is photographed at a high speed of about 50 to 61:1Bj, the direction cannot change suddenly due to inertia, and the moving speed becomes slower.

それ故、振動ミラー(6)によってこのような振幅を持
つレーザ光(3)が被万ロエ物(7)に照射謬れて焼入
れが行われると、第7図に示す被加工物(9)における
暁入れ面の断面で焼入れ部分@の両端α3.α◆けそれ
ぞえ入熱が多くなるため均一にならず、その両端部、負
〜の表面部分(2)、Qeは表面が溶融して表面状態を
悪くしてしまう等の問題点があった。
Therefore, when the workpiece (7) is hardened by being irradiated with the laser beam (3) having such an amplitude by the vibrating mirror (6), the workpiece (9) shown in FIG. The cross section of the hardened surface at both ends α3 of the hardened part @. α◆ is not uniform because the heat input increases, and there are problems such as the surfaces at both ends, the negative ~ surface area (2), and Qe melting and worsening the surface condition. Ta.

この発明け、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、被加工物の焼入れ面における暁入れ深シを均一に
し、更に表面溶融のない良質なレーザ焼入れができるレ
ーザ焼入れ装置を得ることを目的とする。
This invention was made to solve these problems, and aims to provide a laser hardening device that can uniformize the depth of hardening on the hardened surface of a workpiece and further perform high-quality laser hardening without surface melting. purpose.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明に係るレーザ燐入fl装置け、ミラー駆動手段
を駆動ばせるミラー駆動発生器〃1らの同期信号に同期
してレーザ発振器の出力をミラーの振動方向転換時に降
下シせるよう制御する制御回路を備えるように構成した
ものである。
In the laser phosphor injection fl device according to the present invention, the output of the laser oscillator is controlled to be lowered when the vibration direction of the mirror is changed in synchronization with the synchronization signal of the mirror drive generator 1 for driving the mirror drive means. It is configured to include a circuit.

〔作 用] この発明に釦いては、制御回路によってミラー駆動手段
を駆動ζせるミラー駆動発生器からの同期信号に同期し
てレーザ発振器の出力ヲミラーの振動方向転換時に降下
させ、振動ミラーの移動速度が遅くなる振動方向の転換
部分へのレーザ光の照射エネルギーを低下略せて被加工
物の焼入f′L部分の両端における入熱を少くシ、焼入
部分全体に均一な入熱を行っている。
[Function] According to the present invention, the output of the laser oscillator is lowered when the vibration direction of the mirror is changed in synchronization with a synchronization signal from the mirror drive generator that drives the mirror drive means by the control circuit, and the movement of the vibrating mirror is controlled. By reducing the irradiation energy of the laser beam to the part where the vibration direction changes where the speed is slow, the heat input at both ends of the hardened f'L part of the workpiece can be reduced, and the heat input can be uniformly applied to the entire hardened part. ing.

〔実施例〕〔Example〕

第1図はこの発明の一実施例を示す一部ブロック図を含
む斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view including a partial block diagram showing an embodiment of the present invention.

図において従来例と同一の構成は、同一符号を付して重
複した説明を省略する。qηはレーザ発振器(2)にレ
ーザ出力指令信号(lat−送るレーザ出力調整器で、
レーザ発振器(2)に接続されている。七のレーザ出力
調整器αηにはレーザ発振器(2)から出力これるレー
ザ出力を所定の出力値に設定する第ル−ザ出力設定器(
1)と第2レーザ出力設定器四とがそれぞれ接続されて
いる。更に、レーザ出力調整器CL、)にはミラー駆動
信号発生器(8)が接続づれており、ミラー駆動信号発
生5(8)から振動ミラー(6)の恨動数に同期した同
期信号−が入力これる0更に捷た、レーザ出力調整器α
ηにはパルス幅を調整する降下時間設定器に)か接続謬
れている。第2図はレーザ出力調整器αηの回路図であ
る。このレーザ出力調整器αηは単安定マルチノ(イブ
レータ四と切換スイッチ四とから構成これている。
In the drawings, the same components as those in the conventional example are given the same reference numerals and redundant explanations will be omitted. qη is a laser output regulator that sends a laser output command signal (lat-) to the laser oscillator (2),
Connected to a laser oscillator (2). The seventh laser output adjuster αη includes a laser output setting device (2) that sets the laser output output from the laser oscillator (2) to a predetermined output value.
1) and a second laser output setting device 4 are connected to each other. Furthermore, a mirror drive signal generator (8) is connected to the laser output regulator CL,), and a synchronization signal synchronized with the number of vibrations of the vibrating mirror (6) is input from the mirror drive signal generator 5 (8). Laser output adjuster α that is even better than 0
η is connected to a fall time setting device that adjusts the pulse width. FIG. 2 is a circuit diagram of the laser output regulator αη. This laser output regulator αη is composed of a monostable multi-noise (four ibrators and four changeover switches).

レーザ出力調整器αηの単安定マルチノ(イブレータ翰
の入力側に降下時間設定器121)か接VCされ、単安
定マルチバイブレータ翰のトリガ入力(ハ)にはミラー
駆動信号発生器(8)の同期信号を送る出力側カ五接続
されている。
The monostable multi-node of the laser output regulator αη (fall time setting device 121 on the input side of the ibrator head) is connected to VC, and the trigger input (c) of the monostable multivibrator head is connected to the synchronization of the mirror drive signal generator (8). The output side that sends the signal is connected to the five.

1だ、切換スイッチ−〇出力側である可動接点(23a
 )はレーザ出力指令信号翰を伝えるためにレーザ発振
器(2)に接続ばれており、切換スイッチ(財)の第1
固定接点(25b)は第ル−ザ出力設定器(1)に接続
され、その第2固定接点(23c)は第2レーザ出力設
定器(6)に接続されている。そして、この切換スイッ
チHF!可動接点(23a)か常時は第1固定接点(2
3a )と接触しており、単安定マルチノ(イブレータ
翰からのパルス波の)(ルス出力信号によって、励磁コ
イル(23d3が励磁これて第2固定接点(23c)に
接触プせられるリレースイッチとじ工構成されているO 単安定マルチノくイブレータ翰はミラー駆動信号発生器
(8)からの同期信号に同期したノ(ルス波カミ発生す
るものが選定され、その同期信号の時間間隔は振動ミラ
ー(6)の振動数によって決定でれる。
1, selector switch - movable contact (23a) on the output side
) is connected to the laser oscillator (2) to transmit the laser output command signal, and the first
The fixed contact (25b) is connected to the first laser output setting device (1), and the second fixed contact (23c) thereof is connected to the second laser output setting device (6). And this changeover switch HF! The movable contact (23a) or the first fixed contact (23a)
3a), and is in contact with the monostable multi-noise (pulse wave from the ibrator) (Rus output signal), which excites the excitation coil (23d3), which contacts the second fixed contact (23c). The configured monostable multi-node oscillator is selected to generate a pulse wave signal synchronized with the synchronization signal from the mirror drive signal generator (8), and the time interval of the synchronization signal is determined by the synchronization signal from the vibrating mirror (6). ) is determined by the frequency of vibration.

なお、この実施例のレーザ発振器(2)は放電励起強度
を変化謬せてV−ザ出力を匍制御できるものであり、使
用されるものとしては高速度応答できるものが望ましい
The laser oscillator (2) of this embodiment is capable of controlling the V-laser output by varying the discharge excitation intensity, and it is desirable that the laser oscillator (2) used be capable of high-speed response.

上記のように構成されたレーザ焼入れ装置においては、
まず、ミラー駆動発生器(8)力島ら同期信号が出力濾
れない場合には、単安定マルチノくイブV−タ翰は動作
せず、可動接点(23a)は第1固定接点(23&)と
接触したままであり、第ル−ザ出力設定器(1)によっ
てレーザ光(3)を所定の出力値に設定するレーザ出力
指令信号CL8pfレーザ発振器(2)に送られ、レー
ザ発振器(2)は従来f11と同様な所定の出力値のレ
ーザ光(3)を出力する。
In the laser hardening device configured as above,
First, if the mirror drive generator (8) Rikishima et al. synchronization signal cannot be output, the monostable multi-node V-tahan will not operate, and the movable contact (23a) will become the first fixed contact (23&). The laser output command signal CL8pf is sent to the laser oscillator (2) by the laser output setting device (1) to set the laser beam (3) to a predetermined output value. outputs a laser beam (3) with a predetermined output value similar to the conventional f11.

次に、ミラー駆動発生器(8)−a>ら同期信号〃;出
力サすタ場合には、その同期信号はレーザ出力調整器(
llηの単安定マルチノ(イブレータ翰のト1ツガ入力
(ハ)に入力ばれ、単安定マルチノ(イブレータ四は)
くルス波のパルス出力信号を発生させる。なお、七のパ
ルス出力信号は、降下時間設定器Q℃によって所定のパ
ルス幅を有するノくルス出力信号に設定される。
Next, the synchronization signal from the mirror drive generator (8)-a>; if the output is suppressed, the synchronization signal is sent to the laser output regulator
The monostable Martino of llη (is input to the first hemlock input (c) of the ibrator), and the monostable Martino (the fourth of the ibrator)
Generates a pulse output signal of a pulse wave. The seventh pulse output signal is set to a Norx output signal having a predetermined pulse width by a fall time setting device Q°C.

このように単安定マルチノ(イブレータ(イ)2)Eノ
(ルス出力信号を発生すると、その)くルス出力信号に
ヨッて切換スイッチ(2)の励磁コイル(23d ) 
25(励5fれされて第1固定接点(23b )に接触
していた可動接点(23a)が可動して第2固定接点(
23c)に接触する。可動接点(23a)が第2固定接
点L23c)に接触している時間はパルス出力信号のノ
くルス幅の時間である0また、ノ(ルス出力信号の)く
ルス間隔の時間には励磁コイル(23d )は励iこれ
ず、可動接点L23a)は復帰して第1固定接AC23
b)と接触するO従って、可動接A(23a)か七〇ノ
くルス出力信号によって一定間隔で第1固定接点(23
b)と第2固定接点(23C)との間で、スイッチング
動作を行う、そして、可動接点(23a)が第1固定接
点(23b )に接触しているときには第ル−ザ出力設
定器(1ンによってレーザ発振器(2)に所定のレーザ
出力値を出力させるレーザ出力指令信号翰がレーザ発!
 ! (2)へ送られ、可動接点(23a)が第2固定
接点+23c)に接触しているときには第2レーザ出力
設定器(至)によってレーザ発振器(2)に所定のレー
ザ出力値を出力濾せるレーザ出力指令信号a8がレーザ
発振器(2)へ送られ、レーザ発振器(2)の発するレ
ーザ光(3)の出力を制御する。このとき、例えば第ル
−ザ出力設定器(1)の設定値を高くしておき、第2レ
ーザ出力設定器(6)の設定値を第ル−ザ出力設定器(
1)の設定値よりも低くしておけば、第3図(clに示
すようなパルス波のレーザ出力指令信号C18となり、
その信号−のうちパルス幅(wl D部分が第1のレー
ザ出力設定器(1)の設定値を表わし、信号側のうちパ
ルス間隔即ち降下時間I鴫(tJの部分が第2のレーザ
出力設定器部の設定値を表わし、第2のレーザ出力設定
器(イ)によって設定された設定値のときにレーザ光(
3)の出力が低下ζせらnることがわρ)る。
In this way, when the monostable multi-noise (ibrator (A) 2) generates an E-no (Russian output signal), the excitation coil (23d) of the selector switch (2)
25 (excited 5f), the movable contact (23a) which was in contact with the first fixed contact (23b) moves and contacts the second fixed contact (23b).
23c). The time during which the movable contact (23a) is in contact with the second fixed contact (L23c) is the time of the pulse width of the pulse output signal. (23d) is not energized, and the movable contact L23a) returns to the first fixed contact AC23.
b) Therefore, the movable contact A (23a) or the first fixed contact (23
b) and the second fixed contact (23C), and when the movable contact (23a) is in contact with the first fixed contact (23b), the switching operation is performed between the movable contact (23a) and the first fixed contact (23b). The laser output command signal wire that causes the laser oscillator (2) to output a predetermined laser output value is emitted by the laser!
! (2), and when the movable contact (23a) is in contact with the second fixed contact +23c), the second laser output setting device (to) allows the laser oscillator (2) to output a predetermined laser output value. A laser output command signal a8 is sent to the laser oscillator (2) to control the output of the laser beam (3) emitted by the laser oscillator (2). At this time, for example, the set value of the laser output setter (1) is set high, and the set value of the second laser output setter (6) is set high.
If it is set lower than the setting value of 1), the pulse wave laser output command signal C18 as shown in Fig. 3 (cl) will be obtained.
The pulse width (wl) of the signal represents the setting value of the first laser output setting device (1), and the pulse interval, that is, the fall time I (t) of the signal side (tJ) represents the setting value of the first laser output setting device (1). It shows the setting value of the device, and the laser beam (
It can be seen that the output of 3) decreases ζn.

このことは、レーザ発振器(2)から出力でれるし−ザ
元(3)の出力は、レーザ出力調整器(6)によってミ
ラー駆動信号発生器(9)の同期信号に同期してレーザ
出力が低下情せられ、そのレーザ出力が低下ジせられる
ときは、ミラー駆動製置(7)によって第6図(blに
示すように振動ミラー(6)が動きその摂動方向が転換
するときと一致させられていることを意味する。な)、
レーザ光(3)の出力が降下している時間は降下時間設
定器シυで設定される。
This can be seen as an output from the laser oscillator (2). When the laser output is decreased, the oscillating mirror (6) is moved by the mirror drive arrangement (7) as shown in FIG. means that it is being
The time during which the output of the laser beam (3) is falling is set by the falling time setting device υ.

そこで、レーザーyt(3)の出力を第1及び@2レー
ザ出力設定器(1)、α場で予め適正な値に設定してお
き、また、レーザ光(3)の出方が低下する時間を降下
時間設定器?ηで適正な値に設定しておけば、第4因に
示″′tように被刀ロエ物(7)における焼入れ面で暁
入れ部分(ハ)の両端への入熱iを少なくてることがで
き、それによっτ、焼入れ部分(ハ)全体が均一に入熱
されて焼入れ栗孕は均一となり、表面溶融もなくなる。
Therefore, the output of the laser yt (3) is set in advance to an appropriate value using the first and @2 laser output setters (1) and the α field, and the time period during which the output of the laser beam (3) decreases is determined. A descent time setter? If η is set to an appropriate value, the heat input i to both ends of the hardened part (c) on the hardened surface of the workpiece (7) to be cut can be reduced, as shown in the fourth factor. As a result, the entire quenched part (c) is uniformly heated, the quenched chestnut becomes uniform, and there is no surface melting.

なお、この実施例では、集光ミラー(5)を使用してい
るが、集光ミラー(5)の代わりに集光レンズ全使用し
ても実施し得ることは勿論である。また、この実施例で
は振動ミラー(6)に反射面が平面のものを使用してい
るが、反射面が凹面のいわゆる集光ミラーを使用しても
良く、同様の作用Φ効果を#するこ七は勿論である。
Although this embodiment uses a condensing mirror (5), it is of course possible to use all condensing lenses instead of the condensing mirror (5). Further, in this embodiment, a vibrating mirror (6) with a flat reflecting surface is used, but a so-called condensing mirror with a concave reflecting surface may also be used, and the same Φ effect can be obtained. Seven, of course.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明は、以上説明したとおり、被加工物にレーザ光
を照射するミラーを振動させるミラー駆動手段を駆動ζ
せるミラー駆動発生器からの同期信号に同期してレーザ
発振器の出力をミラーの振動方向転換時に制御回路によ
って降下させるようにしたので、振動ミラーの振動方向
の転換部分でのレーザ光の照射エネルギー即ち出力は低
くなり、被加工物における焼入れ部分全体に均一な入熱
がなこれ、それによって均一な焼入れ深ζが得られ、ま
た表面溶融のない良質なレーザ焼入れが得られるという
効果がある。
As explained above, this invention drives a mirror driving means that vibrates a mirror that irradiates a workpiece with a laser beam.
Since the output of the laser oscillator is lowered by the control circuit when the vibration direction of the mirror is changed in synchronization with the synchronization signal from the mirror drive generator, the irradiation energy of the laser beam at the point where the vibration direction of the vibrating mirror is changed is reduced. The output power is lowered, and the heat input is uniform over the entire hardened part of the workpiece, which has the effect of obtaining a uniform hardening depth ζ and high-quality laser hardening without surface melting.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例を示すレーザ焼入れ装置の
一部ブロック図を含む斜視図、第2図は同装置のレーザ
出力を制御する制御回路の回路図、第6図は同装置の動
作を説明するためのタイミングチャート、第4図は同装
置にょ94!IA入れされた被加工物の断面図、第5図
は従来のレーザ焼入れ装置を示す斜視図、第6図は同装
置の動作を説明するためのタイミングチャート、第7図
は同装置により焼入れされた被加工物の断面図である。 スにおいて、(2iFiレ一ザ発娠器、(51#i集光
ミラー(集光手段)、(6)は振動ミラー、(7)はミ
ラー駆動装置(ミラ−4駆動手段)、(8)はミラー駆
動信号発生器、α7)はレーザ出力調整器(制御回路〕
、21)は降下時間設定器(?1i11何回路)である
、なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 〜0■トの 辷& 、    、        。ン −■N              AOり
FIG. 1 is a perspective view including a partial block diagram of a laser hardening device showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram of a control circuit that controls the laser output of the device, and FIG. 6 is a diagram of the same device. A timing chart for explaining the operation, Fig. 4, shows the timing chart of the same device. 5 is a perspective view showing a conventional laser hardening device, FIG. 6 is a timing chart to explain the operation of the device, and FIG. 7 is a cross-sectional view of a workpiece that has been hardened by the same device. FIG. (2iFi laser generator), (51#i condensing mirror (condensing means), (6) is a vibrating mirror, (7) is a mirror drive device (mirror 4 drive means), (8) is the mirror drive signal generator, α7) is the laser output adjuster (control circuit)
, 21) is a fall time setting device (?1i11-what circuit). In each figure, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts. Agent: Patent Attorney Sanro Kimura ~ N-■N AOri

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)レーザ発振器と、該レーザ発振器からのレーザ光
を集光する集光手段と、該集光手段により集光されたレ
ーザ光を反射して被加工物に照射するミラーと、該ミラ
ーを振動させるミラー駆動手段と、該ミラー駆動手段に
ミラー駆動手段を駆動するためのミラー駆動信号を送る
ミラー駆動信号発生器とからなるレーザ焼入れ装置にお
いて、前記ミラー駆動信号発生器からの同期信号に同期
して前記レーザ発振器のレーザ出力を前記ミラーの振動
方向転換時に降下させるように制御する制御回路を設け
たことを特徴とするレーザ焼入れ装置。
(1) A laser oscillator, a focusing means for focusing laser light from the laser oscillator, a mirror for reflecting the laser light focused by the focusing means and irradiating it onto the workpiece, and the mirror. In a laser hardening apparatus comprising a mirror drive means for vibrating and a mirror drive signal generator that sends a mirror drive signal to the mirror drive means for driving the mirror drive means, the laser hardening device is synchronized with a synchronization signal from the mirror drive signal generator. and a control circuit for controlling the laser output of the laser oscillator to decrease when the vibration direction of the mirror is changed.
(2)前記制御回路はレーザ発振器のレーザ出力を所定
の値に設定する二つのレーザ出力設定器と、パルス波の
パルス幅を所定の値に設定する降下時間設定器と、ミラ
ー駆動信号発生器からの同期信号と降下時間設定器から
の信号とを受けて同期信号に同期し、且つ所定の値にパ
ルス幅が設定されたパルス波のパルス出力信号を発生さ
せ、該パルス出力信号によって二つのレーザ出力設定器
からのレーザ出力信号を適宜選択してミラーの振動方向
転換時にレーザ出力を低下させるように指令するレーザ
出力指令信号をレーザ発振器に送るレーザ出力調整器と
からなることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
レーザ焼入れ装置。
(2) The control circuit includes two laser output setters that set the laser output of the laser oscillator to a predetermined value, a fall time setter that sets the pulse width of the pulse wave to a predetermined value, and a mirror drive signal generator. It receives the synchronization signal from the synchronization signal and the signal from the fall time setting device, generates a pulse output signal of a pulse wave that is synchronized with the synchronization signal and has a pulse width set to a predetermined value, and uses the pulse output signal to It is characterized by comprising a laser output adjuster which selects the laser output signal from the laser output setting device as appropriate and sends a laser output command signal to the laser oscillator to instruct the laser output to be reduced when the vibration direction of the mirror changes. A laser hardening device according to claim 1.
JP59200541A 1984-09-27 1984-09-27 Laser hardening device Granted JPS6179714A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59200541A JPS6179714A (en) 1984-09-27 1984-09-27 Laser hardening device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59200541A JPS6179714A (en) 1984-09-27 1984-09-27 Laser hardening device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6179714A true JPS6179714A (en) 1986-04-23
JPH0140893B2 JPH0140893B2 (en) 1989-09-01

Family

ID=16426019

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59200541A Granted JPS6179714A (en) 1984-09-27 1984-09-27 Laser hardening device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6179714A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1358963A1 (en) * 2002-04-29 2003-11-05 C. Stiefelmayer GmbH & Co.KG Method for laser thermal processing, in particular hardening, of workpieces
WO2008053915A1 (en) * 2006-11-02 2008-05-08 Nabtesco Corporation Scanner optical system, laser processing device, and scanner optical device
CN102596483A (en) * 2009-08-11 2012-07-18 万佳雷射有限公司 Capacitive touch panels

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1358963A1 (en) * 2002-04-29 2003-11-05 C. Stiefelmayer GmbH & Co.KG Method for laser thermal processing, in particular hardening, of workpieces
WO2008053915A1 (en) * 2006-11-02 2008-05-08 Nabtesco Corporation Scanner optical system, laser processing device, and scanner optical device
CN102596483A (en) * 2009-08-11 2012-07-18 万佳雷射有限公司 Capacitive touch panels

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0140893B2 (en) 1989-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6034349A (en) Laser machining system for sequential irradiation of machining points
US7599407B2 (en) Laser control method, laser apparatus, laser treatment method used for the same, laser treatment apparatus
WO1988006504A1 (en) Method and apparatus for dull finish of roll with pulse laser
JP2690466B2 (en) Laser beam spinner
JPH10305384A (en) Laser processing apparatus
JPH11170072A (en) Method and device for laser beam machining and for forming circuit of nonconductive transparent substrate
JP3456424B2 (en) Laser welding method and laser welding apparatus
JPS6179714A (en) Laser hardening device
JP4846282B2 (en) Electronic component package sealing method and apparatus
JPH07273387A (en) Output waveform control system
JP2002239772A (en) Method and device for laser beam machining
JP2004174539A (en) Laser beam machining method
JP2002359422A (en) Q-switch laser controller and laser
JPH0145225B2 (en)
SU1053412A1 (en) Unit for laser processing
JP4132014B2 (en) Laser processing apparatus and processing method
JP2004317861A (en) Laser processing system and laser processing method
JP2003188446A (en) Method for stabilizing pulse for laser processing
JP7386073B2 (en) Laser processing equipment and laser processing method
JPS5837074B2 (en) Laser welding method
JP2501594B2 (en) Focus position adjustment method of laser processing machine
JPH0681029A (en) Laser beam heat treatment apparatus
JP4400047B2 (en) Laser marking method and laser marking apparatus
JP2501595B2 (en) Focus position setting method for laser processing machine
JPH06244068A (en) Marking method for semiconductor wafer