JPS6179450U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6179450U JPS6179450U JP16372884U JP16372884U JPS6179450U JP S6179450 U JPS6179450 U JP S6179450U JP 16372884 U JP16372884 U JP 16372884U JP 16372884 U JP16372884 U JP 16372884U JP S6179450 U JPS6179450 U JP S6179450U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tmp
- main body
- exhaust system
- pump
- floor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第1図は従来実施例の磁気浮上形TMPを含む
排気系及び除振機能を有する装置の構成図、第2
図は本案の実施例の装置の構成図である。 1…装置本体、2…荷重板、3…防振ゴム、4
…防振ダンパ、5…磁気浮上形TMP、6…架台
、7…おもり、8…ロータリーポンプ、9…防振
ベロー。
排気系及び除振機能を有する装置の構成図、第2
図は本案の実施例の装置の構成図である。 1…装置本体、2…荷重板、3…防振ゴム、4
…防振ダンパ、5…磁気浮上形TMP、6…架台
、7…おもり、8…ロータリーポンプ、9…防振
ベロー。
Claims (1)
- 床上に設置された架台と除振機構を介して該架
台上に搭載された電子顕微鏡等の粒子線装置の本
体と該本体を真空にする排気系とを有する装置に
おいて、排気系の主排気ポンプにターボ分子ポン
プ(以下TMPと略す)を用い、前記装置本体と
TMP間は伸縮自在な真空部材(TMPの振動を
伝えない部材)で連結し、かつTMPを装置架台
に取付けるか、床上に設置する構造としたことを
特徴としたターボ分子ポンプ排気系を有する装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16372884U JPS6179450U (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16372884U JPS6179450U (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6179450U true JPS6179450U (ja) | 1986-05-27 |
Family
ID=30721590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16372884U Pending JPS6179450U (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6179450U (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62291479A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-18 | Hitachi Ltd | 真空排気装置 |
JPH0448254A (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-18 | Denshi Kagaku Kk | 脱離ガスの検出装置および方法 |
WO2013168220A1 (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-14 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
JP2015018808A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-29 | カール ツァイス マイクロスコーピー エルエルシー | 荷電粒子ビームシステム及びその作動方法 |
WO2016174921A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、設置方法 |
-
1984
- 1984-10-31 JP JP16372884U patent/JPS6179450U/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62291479A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-18 | Hitachi Ltd | 真空排気装置 |
JPH0448254A (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-18 | Denshi Kagaku Kk | 脱離ガスの検出装置および方法 |
WO2013168220A1 (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-14 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
JP2015018808A (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-29 | カール ツァイス マイクロスコーピー エルエルシー | 荷電粒子ビームシステム及びその作動方法 |
WO2016174921A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、設置方法 |
JPWO2016174921A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2017-05-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、設置方法 |
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