JPS6173802A - プラズマ重合膜でコ−テイングされた金属超徴粒子の製造法 - Google Patents
プラズマ重合膜でコ−テイングされた金属超徴粒子の製造法Info
- Publication number
- JPS6173802A JPS6173802A JP19636184A JP19636184A JPS6173802A JP S6173802 A JPS6173802 A JP S6173802A JP 19636184 A JP19636184 A JP 19636184A JP 19636184 A JP19636184 A JP 19636184A JP S6173802 A JPS6173802 A JP S6173802A
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- polymerized film
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はアルゴン、ヘリウム、窒素等の不活性ガスとス
チレン等の有機化合物の蒸気との混合気体の１．０Ｔｏ
ｒｒから３．０Ｔｒｒの低圧中で亜鉛、錫、カドミウム
、アルミウム、鉄、ニッケル、コバルト。
チレン等の有機化合物の蒸気との混合気体の１．０Ｔｏ
ｒｒから３．０Ｔｒｒの低圧中で亜鉛、錫、カドミウム
、アルミウム、鉄、ニッケル、コバルト。
銅、銀、金等の金属を加熱蒸発すると同時に２周波数１
３．５６ＭＨｚの高周波電源、または平行平板方式によ
るグロー放電により、低温プラズマを発生させ、蒸発金
属が気相中で冷却凝結して生じた超微粒子を核としてプ
ラズマ重合反応を進め、 ３ｎｍから１μｍまでの厚さ
のプラズマ重合膜でコーティングされた平均粒径１０ｎ
ｍから５μｍの金属超微粒子の製造法である。または、
酸素ガスと有機物蒸気との低圧混合ガスを用いて同様に
金属を加熱蒸発し、低温プラズマを発生させることによ
り、プラズマ重合膜でコーティングされた金属酸化物の
超微粒子を製造する方法である。
３．５６ＭＨｚの高周波電源、または平行平板方式によ
るグロー放電により、低温プラズマを発生させ、蒸発金
属が気相中で冷却凝結して生じた超微粒子を核としてプ
ラズマ重合反応を進め、 ３ｎｍから１μｍまでの厚さ
のプラズマ重合膜でコーティングされた平均粒径１０ｎ
ｍから５μｍの金属超微粒子の製造法である。または、
酸素ガスと有機物蒸気との低圧混合ガスを用いて同様に
金属を加熱蒸発し、低温プラズマを発生させることによ
り、プラズマ重合膜でコーティングされた金属酸化物の
超微粒子を製造する方法である。
金属を不活性ガス中で加熱蒸発し、その蒸気をガス中で
冷却凝結させて得られる金属の超微細粒子は、純度が高
く粒度の揃った完全な結晶微粒子を生じる。また、不活
性ガスの圧力や金属の加熱温度により数ｎｕｎから数十
μｍまでの粒径の超微粒子が得られる。金属の超微粒子
は比表面積が大きく表面活性が大であるため、導電塗料
、導電性ゴム・プラスチックなどの複合材、磁性材料、
センサー、触媒等への用途などが考えられ、近年応用研
究が広く試みられるようになっている。金属は超微粒子
になるほど体積に比べ表面層の占める割合が著しく増大
し、超微粒子集合体の物性には表面効果が影響を与え、
金属バルク自体の物性と異なってくることが予想され、
新素材としての応用が期待されている。
冷却凝結させて得られる金属の超微細粒子は、純度が高
く粒度の揃った完全な結晶微粒子を生じる。また、不活
性ガスの圧力や金属の加熱温度により数ｎｕｎから数十
μｍまでの粒径の超微粒子が得られる。金属の超微粒子
は比表面積が大きく表面活性が大であるため、導電塗料
、導電性ゴム・プラスチックなどの複合材、磁性材料、
センサー、触媒等への用途などが考えられ、近年応用研
究が広く試みられるようになっている。金属は超微粒子
になるほど体積に比べ表面層の占める割合が著しく増大
し、超微粒子集合体の物性には表面効果が影響を与え、
金属バルク自体の物性と異なってくることが予想され、
新素材としての応用が期待されている。
しかし、比表面積が著しく大きく表面活性であることは
、ガス等を吸着しやすく逆に超微粒子の取扱いを困難に
する欠点ともなる０例えば２反応容器内で作成した金属
超微粒子を空気中に取り出すと、金属によっては直ちに
表面が酸化されて金属酸化物で覆われ、ときには酸化反
応により発熱して燃焼することもある。また、不活性ガ
ス中で生じた微粒子は相互作用により融合して、塊状や
鎖状に連なり９個々の孤立した微粒子としては得難くな
る。このような凝集塊は先に述べた有機物や高分子材料
と混合して複合材として用いる場合。
、ガス等を吸着しやすく逆に超微粒子の取扱いを困難に
する欠点ともなる０例えば２反応容器内で作成した金属
超微粒子を空気中に取り出すと、金属によっては直ちに
表面が酸化されて金属酸化物で覆われ、ときには酸化反
応により発熱して燃焼することもある。また、不活性ガ
ス中で生じた微粒子は相互作用により融合して、塊状や
鎖状に連なり９個々の孤立した微粒子としては得難くな
る。このような凝集塊は先に述べた有機物や高分子材料
と混合して複合材として用いる場合。
マトリックス中への金属微粒子の均一な分散を困難にす
る。
る。
本発明によるプラズマ重合膜でコーティングした金属超
微粒子は、不活性ガス中で金属の超微粒子を形成し、直
ちに均一なピンホールのないプラズマ重合膜でコーティ
ングされるので、金属表面は外気の影響を受けず長期に
わたり作成時の表面性質を維持することができる。また
、こわらの金属超微粒子は金属の蒸発速度、真空度、気
体の種類、グロー放電の出力等の条件により、孤立した
粒子から連鎖状粒子まで種々の構造をとるが、プラズマ
重合によりその状態のまま重合膜でコーティングされる
。したがって、有機溶剤や高分子溶液と混合すると２重
合膜のマイクロカプセルにより金属超微粒子は作成時の
構造のままマトリックス中に均一に分散する利点がある
。
微粒子は、不活性ガス中で金属の超微粒子を形成し、直
ちに均一なピンホールのないプラズマ重合膜でコーティ
ングされるので、金属表面は外気の影響を受けず長期に
わたり作成時の表面性質を維持することができる。また
、こわらの金属超微粒子は金属の蒸発速度、真空度、気
体の種類、グロー放電の出力等の条件により、孤立した
粒子から連鎖状粒子まで種々の構造をとるが、プラズマ
重合によりその状態のまま重合膜でコーティングされる
。したがって、有機溶剤や高分子溶液と混合すると２重
合膜のマイクロカプセルにより金属超微粒子は作成時の
構造のままマトリックス中に均一に分散する利点がある
。
以上のように金属超微粒子はプラズマ重合膜でコーティ
ングされることにより、導電塗料、導電性ゴム・プラス
チック、磁気テープへの利用等。
ングされることにより、導電塗料、導電性ゴム・プラス
チック、磁気テープへの利用等。
有機溶剤や高分子材料との複合化、医学への利用に効果
を発揮することが期待される。
を発揮することが期待される。
以下、更に実施例について説明する。
実施例１゜
金属亜鉛の塊を反応容器中のタングステン線のバスケッ
ト型ヒーター中に入れ、排気後、スチレン蒸気分圧１．
０Ｔｏｒｒとアルゴン１．５Ｔｏｒｒの混合気体を導入
し、全圧２．５Ｔｏｒｒの容器中で亜鉛を加熱する。亜
鉛が蒸発はじめると同等に２周波数１３、５６ＭＨｚ
、出力３０Ｗの高周波無電極放電により混合気体の低温
プラズマを発生させる。亜鉛の蒸発分子は冷却凝集して
超微細粒子を形成し、有機ガスプラズマ中を通過してガ
ラス板上に補集され粒径が約０．２μｍ以下の六角板状
や鼓型の結晶で。
ト型ヒーター中に入れ、排気後、スチレン蒸気分圧１．
０Ｔｏｒｒとアルゴン１．５Ｔｏｒｒの混合気体を導入
し、全圧２．５Ｔｏｒｒの容器中で亜鉛を加熱する。亜
鉛が蒸発はじめると同等に２周波数１３、５６ＭＨｚ
、出力３０Ｗの高周波無電極放電により混合気体の低温
プラズマを発生させる。亜鉛の蒸発分子は冷却凝集して
超微細粒子を形成し、有機ガスプラズマ中を通過してガ
ラス板上に補集され粒径が約０．２μｍ以下の六角板状
や鼓型の結晶で。
その表面は約２０ｎｍの一様な厚さのプラズマ重合スチ
レン膜でコーティングされた亜鉛超微粒子を得た。スチ
レンモノマーの分圧がアルゴンの分圧より高いときは、
スチレン単独の球状の重合物を生じする。さらにスチレ
ンモノマーの分圧が増大すると、スチレン重合物は油状
となる。また、放電出力が高くなると、アルゴンプラズ
マにより亜鉛粒子は結晶化せず約１０ｎｒｎの不定形の
超微粒子となり。
レン膜でコーティングされた亜鉛超微粒子を得た。スチ
レンモノマーの分圧がアルゴンの分圧より高いときは、
スチレン単独の球状の重合物を生じする。さらにスチレ
ンモノマーの分圧が増大すると、スチレン重合物は油状
となる。また、放電出力が高くなると、アルゴンプラズ
マにより亜鉛粒子は結晶化せず約１０ｎｒｎの不定形の
超微粒子となり。
プラズマ重合物でコーティングされなくなる。
実施例２゜
金屑亜鉛の塊を反応容器中のタングステン線のバスケッ
ト型ヒーター中に入れ、排気後、ベンゼン蒸気分圧１．
５Ｔｏｒｒと酸素ガス１．０Ｔｏｒｒの混合気体を導入
し、全圧２．５Ｔｏｒｒの容器中で亜鉛を加熱する。亜
鉛が蒸発しはじめると同時に、高周波無電極放電にによ
り低温プラズマを発生させ、蒸発金属粒子をプラズマ中
を通すその表面は約１ｎｍ厚のプラズマ重合膜によりコ
ーティングされた２粒子表面は酸化されている２粒径数
十ｎｒｏの不定形の亜鉛超微粒子を得た。
ト型ヒーター中に入れ、排気後、ベンゼン蒸気分圧１．
５Ｔｏｒｒと酸素ガス１．０Ｔｏｒｒの混合気体を導入
し、全圧２．５Ｔｏｒｒの容器中で亜鉛を加熱する。亜
鉛が蒸発しはじめると同時に、高周波無電極放電にによ
り低温プラズマを発生させ、蒸発金属粒子をプラズマ中
を通すその表面は約１ｎｍ厚のプラズマ重合膜によりコ
ーティングされた２粒子表面は酸化されている２粒径数
十ｎｒｏの不定形の亜鉛超微粒子を得た。
実施例３゜
純鉄の塊を反応容器中のタングステン線のバスケット型
ヒーター中に入九、排気後、スチレン蒸気分圧１．５Ｔ
ｏｒｒとアルゴン１．０Ｔｏｒｒの混合気体を導入し、
全圧２．５Ｔｏｒｒ中で鉄を加熱する。鉄が蒸発しはじ
めると同時に、グロー放電によりプラズマを発生させ、
蒸発鉄粒子はプラズマ中を通す。
ヒーター中に入九、排気後、スチレン蒸気分圧１．５Ｔ
ｏｒｒとアルゴン１．０Ｔｏｒｒの混合気体を導入し、
全圧２．５Ｔｏｒｒ中で鉄を加熱する。鉄が蒸発しはじ
めると同時に、グロー放電によりプラズマを発生させ、
蒸発鉄粒子はプラズマ中を通す。
平均ＬＯｎｍの径の粒子が鎖状に連なってその表面を非
常に薄いプラズマ重合膜でコーティングされた鉄超微粒
子を得た。
常に薄いプラズマ重合膜でコーティングされた鉄超微粒
子を得た。
特訳−出願人 板耳 幸蔵
Claims (1)
- アルゴン、ヘリウム、窒素等の不活性ガス、または酸素
の０．１ ２．０Ｔｏｒｒの低圧ガス中で、亜鉛、錫、
カドミウム、アルミウム、鉄、ニッケル、コバルト、銅
、銀、金等の金属を加熱蒸発すると同時に、ベンゼン、
スチレン、ピリジン、ピコリン、アクリルニトリル等の
有機化合物の蒸気を加えた１．０ ３．０Ｔｏｒｒの低
圧混合気体中で、グロー放電により低温プラズマを発生
しプラズマ重合させることを特徴とする、有機物のプラ
ズマ重合膜でコーティングされた金属超微粒子の製造法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19636184A JPS6173802A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | プラズマ重合膜でコ−テイングされた金属超徴粒子の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19636184A JPS6173802A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | プラズマ重合膜でコ−テイングされた金属超徴粒子の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6173802A true JPS6173802A (ja) | 1986-04-16 |
Family
ID=16356564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19636184A Pending JPS6173802A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | プラズマ重合膜でコ−テイングされた金属超徴粒子の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6173802A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1938340B1 (de) * | 2005-09-05 | 2015-07-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum herstellen eines metallpulvers und eines elektrisch isolierenden kunststoffverbundwerkstoffes, kunststoffverbundwerkstoff und elektronisches bauteil |
-
1984
- 1984-09-19 JP JP19636184A patent/JPS6173802A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1938340B1 (de) * | 2005-09-05 | 2015-07-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum herstellen eines metallpulvers und eines elektrisch isolierenden kunststoffverbundwerkstoffes, kunststoffverbundwerkstoff und elektronisches bauteil |
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