JPS6166936A - 物理パラメータ測定用の光・電気・機械的装置 - Google Patents

物理パラメータ測定用の光・電気・機械的装置

Info

Publication number
JPS6166936A
JPS6166936A JP60194980A JP19498085A JPS6166936A JP S6166936 A JPS6166936 A JP S6166936A JP 60194980 A JP60194980 A JP 60194980A JP 19498085 A JP19498085 A JP 19498085A JP S6166936 A JPS6166936 A JP S6166936A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
receiving
light
emitting
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60194980A
Other languages
English (en)
Inventor
アルマシネ　バルシ　エルジエベト
イストバン　アルマシ
アルパド　トツ
イストバン　ベンケ
アルパド　バイカイ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BANYASATEI AKUNAMERITO BARARAT
BANYASATEI AKUNAMERITO BARARATO
Original Assignee
BANYASATEI AKUNAMERITO BARARAT
BANYASATEI AKUNAMERITO BARARATO
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BANYASATEI AKUNAMERITO BARARAT, BANYASATEI AKUNAMERITO BARARATO filed Critical BANYASATEI AKUNAMERITO BARARAT
Publication of JPS6166936A publication Critical patent/JPS6166936A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
    • G01L1/247—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet using distributed sensing elements, e.g. microcapsules
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K5/00—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material
    • G01K5/48—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid
    • G01K5/56—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid constrained so that expansion or contraction causes a deformation of the solid
    • G01K5/62—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid constrained so that expansion or contraction causes a deformation of the solid the solid body being formed of compounded strips or plates, e.g. bimetallic strip
    • G01K5/70—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid constrained so that expansion or contraction causes a deformation of the solid the solid body being formed of compounded strips or plates, e.g. bimetallic strip specially adapted for indicating or recording
    • G01K5/72—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid constrained so that expansion or contraction causes a deformation of the solid the solid body being formed of compounded strips or plates, e.g. bimetallic strip specially adapted for indicating or recording with electric transmission means for final indication
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
    • G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、種々の物理ノ９ラメータを、特に圧力や力を
直線状変位に変換した後に、測定するための光伊電気−
機械的装置（ｏｐｔｇｌｅｅｔｒｏｍｅｃｈａｎｌａａ
ｌａｐｐａｒａｔｕｓ）に関する。本発明により提案さ
れる装置は、光発出装置と、光ファイバを有する光受理
装置とを含む。
（従来技術、および発明が解決しようとする問題点）測
定学における知られている原理の一つは、物理ノ９ラメ
ータは核物理パラメータを直線状変位に変換してから測
定し得るというものである。該直線状変位は検出要素を
変形するために適用され、該直線状変位による変形は、
測定しようとする物理ノタラメータにとりて特徴的なも
のである。測定は連続的な方法で行うこともできる。従
来技術においては、小変形の測定には、成る種の半導電
性要素が有用であることが考慮される。半導電性要素の
適用に関連する不利益点は、温度変化に対する感度の九
めに適用温度範囲が比較的狭い範囲に限られること、お
よび成る種の環境要因、特に産業における環境要因に対
する感度があることである。これら不利益点を回避する
ために、または有害な影響を制限するために、種々の方
法が知られている。
従来技術には、直線状変位を測定するための、光ファイ
バからなる光・電気・機械的装置が幾つか見られる。こ
のような測定を行うための装置は、２本の光ファイバを
含む。該光ファイバのうち１本は、光源に結合された光
発出装置として働き、他の１本はデータ処理用の各種要
素に結合された光受理装置として働く。該光受理装置は
、光発出装置の出力に対面し、該光受理装置における光
強度の便化を検出することができる。これら装置は異な
る部分に配置されるので、高精度に設置されなければな
らない。一般に、プリズム光要素が、光発出装置の出力
と光受理装置の入力との光結合に使用される。このプリ
ズム光要素も高精度で配置されなければならない。該プ
リズム要素には、２枚のレンズが固着される。一般に、
この２枚のレンズは、それぞれの装置の光ファイバに面
するように、前記プリズム要素に固着される。該レンズ
は、光の焦点を合せ、光発出装置から光受理装置に光を
伝送しなければガら々い。この解決方法の短所は、高精
度条件を満足させるような配置としなければならないこ
と、！リズム光要素および他の光要素をよごれから守る
ことが難しいことである。該よごれは光出力を減少させ
、それにより測定に制御不能な要因を構成する。
本発明の目的は、前記不利益点のない、超高温環境以外
のほぼいかなる産業上の環境においても各種測定が実行
可能な、高精度で高信頼の測定値を保証する装置を提供
することである。本発明が提案する光・電気・機械訂装
置は、簡単な技術による製造を可能にするものである。
（問題点を解決するための手段） 本発明は、物理的・母うメータの影響下で変形している
同一の単一な機械的構造上に、光発出装置および光受理
装置のファイ・々を配置する必要があり、光発出装置の
出力と光受理装置の入力との間には、間隙を設ける必要
があるとの認識に基づいている。変形する機械的構造は
、閉じた収容体内に配置し、よごれをもたらし測定を妨
げるような環境要因から保護することができる。
本発明が提案する装置は、入力側に光源を結合させた発
出用光ファイバと、出力側に、例えば信号処理手段のよ
うな測定値評価用装置を結合させた受理用光ファイ・ぐ
とを含む。本発明の基本として、高精度測定を行うため
に、本装置はさらに、発出用光ファイバと受理用光ファ
イバとを支持する弾性部材を含む支持体からなり、受理
用光ファイバの入力と発出用光ファイバの出力とは間隙
を通して有効に光結合させる。また本装置は、光源の検
出と受理用光ファイバの光出力の検出とをそれぞれ行う
ための、例えばフォトダイオードのような第１と第２の
受光素子からなる処理手段からなる。
本発明に基づく光・電気・機械的装置の優れた実施例に
おいて、受理用光ファイバの入力と発出用光ファイバの
出力とは、対向して配置され、間隙によって分離される
。
本発明が提案する光・電気・機械的装置における光結合
は、他の有用な方法でも実現できる。すなわち、受理用
光ファイバと発出用光ファイバとは、間隙の反対側に配
置した反射要素に対向させ、間隙の同一側に配置する。
前記反射要素は、例えばバネ片寄せ案内装置のような弾
性可動要素によって前記支持体に接続され、受理用光フ
ァイバと発出用光ファイバとの前を直線に沿って案内さ
れる。
本発明の光・電気・機械的装置の好適実施例において、
測定値を効果的に処理するために、光源は基準光ファイ
バを通して第１の受光素子に接続される。第１の受光素
子の出力と第２の受光素子の出力とは、比較器のそれぞ
れの入力に接続される。
受理用光ファイバと発信用光ファイバとの端部を類似形
とし、円筒形レンズを形成させれば、本光・電気・機械
的装置は雑音の多い条件で吃有効に作動する。
温度測定の場合１本発明の光・電気・機械的装置の支持
体は、・々イメタル要素の形体とすることが望ましい。
本発明に基づくさらに別に好適実施例において、受理用
光ファイバと発出用光ファイバとは、少なくとも発出用
光ファイバの入力領域と受理用光ファイバの出力領域と
において、共に結合され、これら２本の光ファイバは前
記の領域にお−て一体化光ファイバを形成する。水元・
電気・機械的装置の光システムは、受理用光ファイバと
発出用光ファイバとを全長にわたって共に結合して一体
化光ファイバを形成すれば、極めて単純化できる。
このように単純化された光システムは、半透明反射要素
からなる。核半透明反射要素は、例えば発出用光ファイ
バの入力領域の前に配置した適当な光学層を有するミラ
ーである。該光学層は、第１の受光素子に光源の光を反
射させる。第２の受光素子は、一体化光フアイ・１の出
力に光結合されている。
本発明の光・電気・機械的装置のさらに別の好適実施例
は、適轟な変動率特性を調整するための異なる調整手段
にも適用できる。この場合、本装置は、少なくとも２本
の発出用光ファイバと、少なくとも２本の受理用光ファ
イバとが、支持要素上で間隙の両側に平行に配置されて
なる。該支持要素は支持体に接続され、支持要素の一つ
は可撓材料で作られることが望ましい。
水元・電気・機械的装置において、受理用光ファイ・ず
の少なくとも１本と、発出用光ファイバの少なくとも１
本とを異なる平行線に沿って配置し、可撓支持要素は、
例えばありみぞ案内部を含むようにすれば、別の特性を
考慮することができる。
（実施例） 本発明の目的と、特徴と、長所とは、いくつかの好適実
施例についての下記説明により明らかとなろう。下記好
適実施例は、例示的なものであり、本発明を制限するも
のではない。説明は、添付図面を参照しながら行う。
第１図〜第６図は、物理的パラメータを測定するための
光・電気・機械的装置の実際寸法を示すものではない。
閉じた収容体または開いた収容体１の、内部または壁面
には、弾性材料からなるまたは弾性的に支持された支持
要素２があり、有効な位置に間隙１５がある。一般に、
間隙１５は収容体１内に作られた溝であり、通常は直線
である。
発信用光ファイ・４３は光源４に接続されており、該フ
ァイ・ぐの自由端は間隙１５の一側面に至る。
発信用光ファイバ３に対向して間隙１５の反対側には、
受理用光ファイバ３０がある。発出用光ファイバ３と受
理用光ファイバ３０との一部または全部に沿って両者を
一体化した、一体化光ファイバ１６を使用することもで
きる。本発明に基づく光・電気・機械的装置では、発出
用光ファイバ３の数、受理用光ファイバ３０の数、また
は全般に測定を行うための光ファイバの数は限定されて
いない。数が２本以上である場合、ファイ・マ３および
３０は、常にベアを作る必要はなく、それぞれ整列させ
る必要もない。そ九ぞれ数が異なってもかまわない。光
源４が放射する光は、発出用光ファイバ３の自由端から
、例えば第１のフォトダイオード６のような第１の受光
素子に放射される。
受理用光ファイノ々３０の光は、例えば第２のフォトダ
イオード５のような第２の受光素子に伝送される。第１
の受光素子は、半透明ミラー１７（第２図）または基準
光ファイバ７（第１図、第３図〜第６図）によって光源
４に接続される。フォトダイオード５および６のような
受光素子は、例えば比較器８のようなデータ処理手段に
接続される。
比較器８は、二つの受光素子の出力信号間の差に比例す
る出力信号１、または明確な係数に基づく差に応する出
力信号を発生する。
本発明の光・電気・機械的装置において、光源４と、フ
ォトダイオード４および５のような受光素子とは、収容
体１の内部（第３図、第５図）または外部（第４図、第
６図）のどちらにでも配置できる。配置は常に適用条件
による。弾性支持要素２は、金属層９とともにバイメタ
ル要素（第５図）を形成することができ、゛または変形
可能層１９（第６図）とともに湿度変化を決定するため
の測定要素を形成できる。弾性支持要素２が膜（第３図
）を形成する場合、本発明に基づく装置は圧力または圧
力差を測定できるようになる。測定質量１０（第４図）
を適用することもでき、これに基づき本装置は力または
加速の値を測定できる。
受理用光ファイバ３０に伝送される光の量を増加させる
ために、レンズ１１を使用できる。レンズ１１は、特定
の要素を形成するか、光ファイバ３および３０のそれぞ
れの端部で構成できる（第７図）。このようにして、発
出用光ファイバ３の低い光出力は集中され、受理用光フ
ァイバ３０の出力を増加させる。この方法は、光源の出
力が低い場合、または環境が汚染されている場合に、高
感度を保障できる。
間隙１５の両側に支持要素１２および１３を配置し、１
本以上の発出用光ファイバ３と１本以上の受理用光ファ
イバ３０とを支持させることもできる（第８図）。もち
ろん、支持要素１２および１３の長さは、本装置に使用
される光ファイバの数による。間隙１５のそれぞれの側
における光ファイ・々３または３０け、一般に平行線に
配置される。支持要素の一つ、例えば１３（第９図）は
直線であり、他の支持要素、この場合１２は可撓性であ
り湾曲している（第１０図）。可撓支持要素１２を有す
る装置は、必ずしも発出用光ファイバ３の線をカバーし
ないように配設された受信用光ファイバ３０からなる。
可撓支持要素１２の形状変化は、受理用光ファイバ３０
の光入力の変化を引き起すが、この変化は発出用光ファ
イバ３の光出力に比例しない。この場合、例えば比較器
のような検出手段の、最も高い感度の範囲に基づいて光
ファイバのシステムを調整し、選択範囲値に対応する信
号を発生させることができる。これは、異なる処理を調
整するシステムに本発明の装置を使用する場合、特に有
用である。可撓支持要素１２の形状は、その内部にある
案内部１４によっても変更できる。案内部１４は１例え
ばありみぞ形状である。案内部１４は、案内要素または
可撓要素に取り付けられ、これに基づき可撓支持要素１
２の形状が調整できる。
本発明に基づく装置は、発出用光ファイバとして動作す
る一体化光ファイバ１６で構成することもできる（第２
図、第１２図、第１３図）。各一体化光フアイ・１１６
の入力は、前記したように、半透明ミラー１７に接続さ
れる。光源４の光出力は装置の他方の要素に導かれ、光
ファイバの光出力は受光素子に導かれる。一体化光ファ
イバ１６は、直線部分の後、二つの別個の部分に分割さ
れ（第２図）、発出用光ファイ・々３と受理用光ファイ
バ３０とを形成する。発出用光ファイバ３と受理用光フ
ァイバ３０とを全長に浴って一体化して形成する一本の
光ファイバのみを使用することもできる。−組の受理用
および発振用光ファイ・譬の代用をする一体化光ケーブ
ル１６は、一端が光源４にあてがわれ、他端が該他端に
対向して配置される反射要素３１にあてがわれ、間隙１
５を閉じる。例えばミラー等の反射要素３１け、測定し
ようとする・９ラメータを決定する外部条件の影響下に
おりて、前記他端の前を移動できるように配置される（
第１２図）。反射要素３１は、細いファイバ３２と共同
動作させ得る。ファイバ３２は、圧力の変化に従うよう
に可撓支持要素２の間に配置され、バネ３３によって緊
張される。圧力の影響下で、細いファイバ３２は変形さ
れ、この変形は、一体化光ファイバ１６の前において、
反射要素３１を移動させる（第１３図）。この場合、実
際にはバネ１５は必要々い。
本発明に基づく装置の動作は、下記の通シである。
光源４の光出力は、第１および第２のフォトダイオード
６および５に伝送される。第１のフォトダイオード６は
、光源４の光を受理する。第２のフォトダイオード５は
、測定しようとする・母うメータについての情報を有す
る光を受理する。発信用光ファイバ３と受理用光ファイ
バ３０との間の光結合、または反射要素３１による一体
化光ファイバ１６自体の光結合は、測定しようとする・
やう（１６〕 メータについての情報を安全に保護するものである。該
情報は、収容体１の変形を発生させた物理的過程の特徴
を示すものである。フォトダイオード５および６は、対
応光入力に対応する信号を発生する。比較器８または他
の処理手段は、出力信号がこの差についての特徴を確実
に示すようにする。収容体１の変形を引き起すような外
部影響が人い場合、フォトダイオード５および６は、一
般に同一の光入力を受理する。収容体および支持体２と
、支持要素１２および１３との変形は、第２のフォトダ
イオード５の光入力を変化させ、これによって比較器８
は対応する出力信号を与える。
この出力信号は、前記変化を引き起こした力に明確に対
応するものである。支持体２に異なる材料を使用すれば
、測定装置は異なる・平うメータ（圧力、温度、力、加
速、湿度）を決定することが可能となり、絶対値および
差を測定することもできる。測定値を決定するための装
置は、多くの既知の電子装置をもとにして構成できる。
前記したように、水元・電気・機械的装置では多数の受
理用光ファイバ３０を配置することが可能であ怜、これ
に対向させて、しかしこれに必ずしも整列させずに、多
数の発出用光ファイバ３を配置することが可能である。
発出用光ファイバ３の数は、例えば１０以上であり、こ
れに対向する受理用光ファイバの数は同一または異なる
ものとする。可撓支持要素１２によって、または光フア
イバ間の距離を異なるように選択して、第２のフォトダ
イオードの光入力が、光度に対して非線形に、例えば調
整装置への適用において最適であるよう力曲線に宿って
、変化するようにできる。案内部１４を使用すれば、本
測定装置は、調整装置の・ンラメータに従って調整でき
る。
本発明に基マく光・電気・機械的装置は、様々の条件に
応用できる。該装置の寿命は長く、測定・卆うメータに
特徴的な過程以外の外部的影響には低い感度を示す。
本発明に基づく光・電気・機械的装置は、前記実施例に
なんら限定されるものではない。保護の範囲は、特許請
求の範囲によって決定され、実施例によっては決定され
ない。該実施例に基づき、保護の範囲を逸脱することな
く、欅々の目的について多くの有利な実施例が実現可ｉ
ヒであり、前記以外の測定を行うための実施例も可能で
ある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明に基づく光・′電気・機械的装置の、
３本の光ファイバからなる基本実施例を示す図であり、
部分的に断面を示す図、 第２図は、本発明の光・電気・機械的装置の、２本の光
ファイバからなる基本実施例を示す図であり、部分的に
断面を示す図、 第３図は、圧力または圧力差を測定するための、本発明
に基づく光・電気・機械的装置の実施例を示す図、 紀４図は、加速の測定に使用するための、本発明の光・
電気・機械的装置の実施例を示す図、第５図は、温度測
定のための、本発明の光・電気・機械的装置の別の好適
実施例を示す図、第６図は、空気の湿度を測定するため
の、本発明の九・電気・機械的装置の別の実施例を示す
図、第７図は、光学レンズを形成する光ファイバを有す
るような本発明の光・電気・機械的装置の一部を示す図
であり、部分的に断面を示す図、第８図は、支持要素が
形成する間隙の両側に、１本以上の光ファイバを配置し
てなる、別の基本実施例を示し、光ファイバの側から見
た図、第９図は、第８図に基づ〈実施例に使用するため
の、発出用光ファイバを有する不可撓支持要素の断面図
、 第１０図は、第８図に基づ〈実施例に使用するための、
受理用光ファイバを有する可撓支持要素の断面図、 第１１図は、第８図に基づ〈実施例に使用するための、
受理用光ファイバの位置を変更する案内を設けた可撓支
持要素の断面図、 第１２図は、１本の光ファイバのみからなる、本発明の
光・電気・機械的装置の側面図であり、部分的に断面を
示す図、および 第１３図は、圧力差の測定を行うための、本発明の光・
電気・機械的装置の断面図である。 （２０〕 １・・・収容体、２・・・支持要素、３・・・発信用光
ファイバ、４・・・光源、５．６・・・フォトダイオー
ド、７・・・基準光ファイバ、８・・・比較器、１５・
・・間隙、１６・・・一体化光ファイバ、１７・・・半
透明ミラー、３０・・・受信用光ファイバ。

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）圧力、力などの物理的パラメータを測定するため
    の光・電気・機械的装置であって、光源に入力側を接続
    した発出用光ファイバと、信号処理手段に入力側を接続
    した受理用光ファイバとからなり、さらに前記発出用お
    よび受理用光ファイバ（３、３０）を支持するための弾
    性部材を含む支持体（２）からなり、前記受理用光ファ
    イバ（３０）の入力は前記発出用光ファイバ（３）の出
    力と光結合されており、前記処理手段は前記光源（４）
    の光と前記受理用光ファイバ（３０）の光出力とをそれ
    ぞれ検出するための第１および第２の受光素子からなる
    光・電気・機械的装置。
  2. （２）前気受理用光ファイバ（３０）の入力と前記発出
    用光ファイバ（３）の出力とは、対向して配置され、間
    隙（１５）で分離される、特許請求の範囲第１項記載の
    装置。
  3. （３）前記受理用光ファイバ（３０）と前記発出用光フ
    ァイバ（３）とは、反射要素（３１）に対向して間隙（
    １５）の同一側に配置され、前記反射要素（３１）は前
    記支持体（２）に接続される、特許請求の範囲第１項記
    載の装置。
  4. （４）前記反射要素（３１）は、弾性可動要素によって
    前記支持体（２）に接続され、前記受理用および発出用
    光ファイバ（３、３０）の前を直線に沿って案内される
    、特許請求の範囲第３項記載の装置。
  5. （５）前記光源（４）は基準光ファイバ（７）を通して
    前記第１の受光素子に接続され、前記第１と第２の受光
    素子の出力は比較器（８）のそれぞれの入力に接続され
    る、特許請求の範囲第１〜第４項のいずれかに記載の装
    置。
  6. （６）前記受理用光ファイバ（３０）と前記発出用光フ
    ァイバ（３）とは、円筒形レンズを形成する端部（１１
    ）からなる、特許請求の範囲第１〜第５項のいずれかに
    記載の装置。
  7. （７）前記支持体（２）は、温度測定用のバイメタル要
    素形状に作られる、特許請求の範囲第１〜第６項のいず
    れかに記載の装置。
  8. （８）前記受光素子は、フォトダイオード（５、６）で
    ある、特許請求の範囲第１〜第７項記載の装置。
  9. （９）前記受理用光ファイバ（３０）と前記発出用光フ
    ァイバ（３）とは、少なくとも前記発出用光ファイバ（
    ３）の入力領域と前記受理用光ファイバ（３０）の出力
    領域とにおいて共に接続され、前記光ファイバ（３、３
    ０）はこれら領域で一体化光ファイバ（１６）を形成す
    る、特許請求の範囲第１〜第７項記載の装置。
  10. （１０）前記受理用光ファイバ（３０）と前記発出用光
    ファイバ（３）とは、全長にわたって共に接続されて前
    記一体化光ファイバ（１６）を形成する、特許請求の範
    囲第９項記載の装置。
  11. （１１）前記発出用光ファイバ（３）の入力領域の前に
    配置され、前記第１の受光素子に前記光源（４）の光を
    反射する層を有するような半透明ミラー（１７）からな
    り、前記第２の受光素子は前記一体化光ファイバ（１６
    ）の出力と光結合されている、特許請求の範囲第９また
    は第１０項記載の装置。
  12. （１２）少なくとも２本の発出用光ファイバ（３）と、
    少なくとも２本の受理用光ファイバ（３０）とが、前記
    間隙（１５）の両側において、支持要素（１２、１３）
    上に平行線に配置され、前記支持要素（１２、１３）は
    前記支持体（２）に接続される、特許請求の範囲第１項
    記載の装置。
  13. （１３）前記支持要素の一つは、可撓材料で作られる、
    特許請求の範囲第１２項記載の装置。
  14. （１４）前記受理用光ファイバ（３０）の少なくとも１
    本と、前記発出用光ファイバ（３）の少なくとも１本と
    は、前記支持要素上の異なる平行線に沿って配置される
    、特許請求の範囲第１２または第１３項記載の装置。
  15. （１５）前記可撓支持要素（１２）は、ありみぞ形状の
    案内部を含む、特許請求の範囲第１２〜第１４項のいず
    れかに記載の装置。
JP60194980A 1984-09-06 1985-09-05 物理パラメータ測定用の光・電気・機械的装置 Pending JPS6166936A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
HU2251/3370/84 1984-09-06
HU843370A HU196259B (en) 1984-09-06 1984-09-06 Optoelktromechanical measuring transducer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6166936A true JPS6166936A (ja) 1986-04-05

Family

ID=10963776

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60194980A Pending JPS6166936A (ja) 1984-09-06 1985-09-05 物理パラメータ測定用の光・電気・機械的装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4674900A (ja)
JP (1) JPS6166936A (ja)
CH (1) CH671631A5 (ja)
DE (1) DE3530093A1 (ja)
FR (1) FR2569841A1 (ja)
GB (2) GB8520389D0 (ja)
HU (1) HU196259B (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
HU200507B (en) * 1987-04-10 1990-06-28 Gabor Szabo Circuit arrangement for controlling differential measurements based on light intensity
US4806016A (en) * 1987-05-15 1989-02-21 Rosemount Inc. Optical displacement sensor
DE8710040U1 (de) * 1987-07-22 1988-05-05 Felten & Guilleaume Energietechnik AG, 5000 Köln Einrichtung zur Dämpfungsmessung von Lichtwellenleiter-Sensoren
DE3733549A1 (de) * 1987-10-03 1989-04-20 Messerschmitt Boelkow Blohm Faseroptischer sensor
FR2623900B1 (fr) * 1987-12-01 1991-01-04 Vauge Christian Capteur de micro-deplacements a fibres optiques
US4976157A (en) * 1989-11-08 1990-12-11 The Babcock & Wilcox Company Fiber optic flow sensor
DE4312692C2 (de) * 1993-04-20 1998-07-02 Richter Thomas Meßvorrichtung zur Erfassung von Schwingungen, Impulsen, Stößen, Beschleunigungen oder seismischen Erregungen und Verwendungen dieser Meßvorrichtung
DE4321254C2 (de) * 1993-06-25 2000-11-30 Horst Ahlers Kraftsensor
US5812251A (en) * 1994-06-13 1998-09-22 Manesh; Ali Electro-optic strain gages and transducer
ATE164004T1 (de) * 1994-07-16 1998-03-15 Felten & Guilleaume Energie Verfahren zur auswertung optisch rückgestreuter signale zur bestimmung eines streckenabhängigen messprofils eines rückstreumediums
US5832157A (en) 1996-07-12 1998-11-03 Mcdermott Technology, Inc. Fiber optic acoustic emission sensor
US6097478A (en) * 1998-04-02 2000-08-01 Mcdermott Technology, Inc. Fiber optic acoustic emission sensor
US6776543B1 (en) * 2003-02-04 2004-08-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fiber optic print media thickness sensor and method
US20040252290A1 (en) * 2003-06-10 2004-12-16 Ferguson Gary W. Optical strain gauge and methods of use including a wind measurement device
NL1024171C2 (nl) * 2003-08-27 2005-03-01 Amc Amsterdam Krachtsensor en laparoscopisch instrument voorzien van een dergelijke krachtsensor.
DE102006028158A1 (de) * 2006-06-16 2007-12-20 Kokemor, Manfred, Dipl.-Ing. (FH) Verfahren zur gleichzeitigen Ermittlung und Überwachung von Positionen, Niveaus, Räumen oder Gegenständen mittels optischem Kombisensor
US20120033710A1 (en) * 2009-08-26 2012-02-09 Optopower Co., Ltd. Optical temperature sensor
US20120024062A1 (en) * 2010-07-30 2012-02-02 Tiefel Simeon E Low Cost Optical Accelerometer

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2034344A1 (de) * 1970-07-10 1972-01-13 Ulrich H Einrichtung zur Messung physikalischer Großen durch Messung der Intensität eines Lichtstrahlenbundels
US3686958A (en) * 1971-02-22 1972-08-29 Ladd Res Ind Fiber optic pressure detector
GB1546080A (en) * 1975-12-18 1979-05-16 Plessey Co Ltd Fibre optic pressure sensor
GB1504331A (en) * 1976-01-16 1978-03-22 Ross A Measurement of gaps
CH639196A5 (de) * 1977-11-23 1983-10-31 Asea Ab Messgeraet zum messen von physikalischen groessen mittels optischer mittel.
FR2410809A1 (fr) * 1977-12-05 1979-06-29 Jacques Beaufront Procede et dispositif opto-electronique pour la mesure de grandeurs physiques
CH639217A5 (de) * 1979-04-20 1983-10-31 Benno Perren Fuehler fuer eine ueberwachungseinrichtung.
JPS5635035A (en) * 1979-08-31 1981-04-07 Toshiba Corp Pressure display unit
US4300813A (en) * 1979-09-04 1981-11-17 Sperry Corporation Fiber optic transducer and method of manufacture therefor
JPS575380A (en) * 1980-06-11 1982-01-12 Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> Output light coupling system for semiconductor laser
US4405197A (en) * 1980-11-25 1983-09-20 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Optical fiber tactile sensor
GB2101302B (en) * 1981-06-22 1985-03-27 Ici Plc Optical fibre sensor
DE3148738A1 (de) * 1981-12-04 1983-06-09 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Einrichtung zum messen physikalischer groessen
US4493212A (en) * 1982-09-20 1985-01-15 Aetna Telecommunications Laboratories Fiber optic mass sensor
JPS5963516A (ja) * 1982-10-02 1984-04-11 Yasuro Saito 複数経路の光フアイバ−を用いた検出装置
US4577100A (en) * 1983-12-27 1986-03-18 United Technologies Corporation Temperature compensated optical pressure sensor

Also Published As

Publication number Publication date
GB2165645A (en) 1986-04-16
GB2165645B (en) 1988-05-11
HU196259B (en) 1988-10-28
GB8520389D0 (en) 1985-09-18
DE3530093A1 (de) 1986-03-06
US4674900A (en) 1987-06-23
CH671631A5 (ja) 1989-09-15
FR2569841A1 (fr) 1986-03-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6166936A (ja) 物理パラメータ測定用の光・電気・機械的装置
EP0716291B1 (en) A sensor and a method for measuring distances to, and/or physical properties of,a medium
US5689107A (en) Displacement-based opto-electronic accelerometer and pressure sensor
US4897542A (en) Optical pressure sensor
RU2464537C2 (ru) Волоконно-оптический датчик температуры
EP0415579A1 (en) Touch probe
US4589286A (en) Fused silica diaphragm module for high temperature pressure transducers
US7323678B2 (en) Optical displacement transducer, displacement measurement system and method for displacement detection therefrom
US4822135A (en) Optical wave guide band edge sensor and method
US7714271B1 (en) Simple fiber optic seismometer for harsh environments
US6091497A (en) Sensor and a method for measuring distances to, and/or physical properties of, a medium
US5127733A (en) Integrated optical precision measuring device
CA1203701A (en) Fiber-optic luminescence sensor utilising interference in a thin layer structure
US5661246A (en) Fiber optic displacement sensor for high temperature environment
CN1047662C (zh) 基于法布里－珀罗共振腔的光学压力传感器
US6341526B1 (en) Micromachined diffractive pressure sensor system
US4600836A (en) Diaphragm deflection sensor for fused silica diaphragm module
US3994584A (en) Diffractographic and other sensors utilizing diffraction waves
EP0157606B1 (en) High temperature pressure transducers and systems for determining deflection of pressure transducer diaphragms
US3884581A (en) Diffractographic and other sensors utilizing diffraction waves
RU2180100C2 (ru) Амплитудный волоконно-оптический преобразователь механических величин
RU2113697C1 (ru) Оптический измеритель давления
FR2422932A1 (fr) Jauge de contraintes et de deplacement
SU1760417A1 (ru) Датчик давлени
Braunschweiler et al. Optical position sensor for automatic microassembling operations