JPS6162740A - クリ−ントンネル送風清浄装置 - Google Patents
クリ−ントンネル送風清浄装置Info
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- JPS6162740A JPS6162740A JP59182735A JP18273584A JPS6162740A JP S6162740 A JPS6162740 A JP S6162740A JP 59182735 A JP59182735 A JP 59182735A JP 18273584 A JP18273584 A JP 18273584A JP S6162740 A JPS6162740 A JP S6162740A
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- Japan
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- air
- tunnel
- clean
- port
- duct
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、クリーントンネルに清浄空気を供給する送
風清浄装置に関する。
風清浄装置に関する。
「従来の技術」
一般に、半導体ウェハーなどの高度な清浄度を要求され
る搬送物を搬送するため、搬送用自走台車を運行する搬
送用トンネル部内を清浄空気で充満するクリーントンネ
ルが使用されているが、その送風清浄装置として従来か
ら用いられているものは１例えば第５図以下に示すよう
なものがめる。
る搬送物を搬送するため、搬送用自走台車を運行する搬
送用トンネル部内を清浄空気で充満するクリーントンネ
ルが使用されているが、その送風清浄装置として従来か
ら用いられているものは１例えば第５図以下に示すよう
なものがめる。
角筒状をしたクリーントンネル１の本体２上部に全幅全
長にわたって空気区画２にとその下にＨｇＰ入フィルタ
３とが設けられてχす、送風手段（図示省略）により外
部から送られた空気は、前記本体２の一方の側ｉ２ｓの
上部に穿設された複数個の給気口４がら空気区画２にへ
送り込まれ、ｆ（Ｅ Ｐ Ａフィルタ３を通りｅ過され
て清浄空気の層流となって底板２ｂの中央に走行レール
５を敷設した搬送用トンネル部２を内へ吹き出し充満す
る。次いで前記給気口４に対応した箇所で底板２ｂと走
行レール５とを貫通して設けられた排気口６から排風手
段（図示省略）によって吸引され、外部へ排出される。
長にわたって空気区画２にとその下にＨｇＰ入フィルタ
３とが設けられてχす、送風手段（図示省略）により外
部から送られた空気は、前記本体２の一方の側ｉ２ｓの
上部に穿設された複数個の給気口４がら空気区画２にへ
送り込まれ、ｆ（Ｅ Ｐ Ａフィルタ３を通りｅ過され
て清浄空気の層流となって底板２ｂの中央に走行レール
５を敷設した搬送用トンネル部２を内へ吹き出し充満す
る。次いで前記給気口４に対応した箇所で底板２ｂと走
行レール５とを貫通して設けられた排気口６から排風手
段（図示省略）によって吸引され、外部へ排出される。
そして空気系統は、第６図に示すように、大気を吸入し
て送る送風機７からクリーントンネル１に平行して主送
風管８が敷設されており、更に、該主送風管８から複数
本の枝送風管９が分岐してそれぞれ前記給気口４に連通
してなる送風手段１０と、一方、各排気口６は、枝排気
管１１を介して主排気管１２に連通され、該主排気管１
２は。
て送る送風機７からクリーントンネル１に平行して主送
風管８が敷設されており、更に、該主送風管８から複数
本の枝送風管９が分岐してそれぞれ前記給気口４に連通
してなる送風手段１０と、一方、各排気口６は、枝排気
管１１を介して主排気管１２に連通され、該主排気管１
２は。
クリーントンネル１に平行して排風機１３に導かれ、自
走台車１５の走行に伴なって発生する摩耗粉塵を含む清
浄空気を大気へ放出する排風手段１４とから構成されて
いる。
走台車１５の走行に伴なって発生する摩耗粉塵を含む清
浄空気を大気へ放出する排風手段１４とから構成されて
いる。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、このような従来の送風清浄装置にあって
は、空気配管が複雑で、クリーントンネル全体が大型化
するばかりか、搬送用トンネル部に吹き出す清浄空気層
流の気速か送風機からの遠近によって不斉となり、また
、摩耗粉塵を含むとはいえ折角の清浄空気を大気中へ放
出してしまうという無駄がある。
は、空気配管が複雑で、クリーントンネル全体が大型化
するばかりか、搬送用トンネル部に吹き出す清浄空気層
流の気速か送風機からの遠近によって不斉となり、また
、摩耗粉塵を含むとはいえ折角の清浄空気を大気中へ放
出してしまうという無駄がある。
［問題点を解決するための手段」
この発明は、叙上の問題点に着目１−てなされたもので
、搬送用トンネル部を、搬送物蓋なし収納ケースを走行
駆動部に立設した支柱筒上方に載設した搬送用自走台車
を運行するため、搬送物用トンネル部と走行駆動部用ト
ンネル部とに区分したクリーントンネルに対する送風清
浄装置として。
、搬送用トンネル部を、搬送物蓋なし収納ケースを走行
駆動部に立設した支柱筒上方に載設した搬送用自走台車
を運行するため、搬送物用トンネル部と走行駆動部用ト
ンネル部とに区分したクリーントンネルに対する送風清
浄装置として。
送風機を内設したダクトによりなる送風手段の複数を所
望の間隔をもってクリーントンネルの側壁に載設し、清
浄空気の循環路を設けるとともに、前記ダクトに補助給
気口を、搬送物用トンネル部に補助排気口をそれぞれ設
けた構成とすることにより、これらの問題点を解決した
ものである。
望の間隔をもってクリーントンネルの側壁に載設し、清
浄空気の循環路を設けるとともに、前記ダクトに補助給
気口を、搬送物用トンネル部に補助排気口をそれぞれ設
けた構成とすることにより、これらの問題点を解決した
ものである。
「作用」
したがって、送風機から出た空気ばＨＥＰ入フィルタに
より清浄空気となり、搬送物用トンネル部と走行駆動部
用トンネル部とを通って大部分のものは再び送風機に戻
抄、清浄空気の循環流を形成するが一部は補助排気口か
ら大気中に放出されその放出分を補うように補助給気口
から大気が補充てれてクリーントンネル内の清浄化を図
ることができる。
より清浄空気となり、搬送物用トンネル部と走行駆動部
用トンネル部とを通って大部分のものは再び送風機に戻
抄、清浄空気の循環流を形成するが一部は補助排気口か
ら大気中に放出されその放出分を補うように補助給気口
から大気が補充てれてクリーントンネル内の清浄化を図
ることができる。
「実施例」
以下、この発明の一実施例を第１図及び第２図に基づい
て説明する。
て説明する。
まず、構成を述べる。
この送風清浄装置を適用するクリーントンネル２１は、
第１図に示すように、走行駆動部２５ｒに立設した支柱
筒２５ｓＫａｔ器部２５ｋ及び搬送物蓋なし収納ケース
２５ｃを載設してなる搬送用の自走台車２５を運行する
ため、搬送用トンネル部２３を、走行駆動部用トンネル
部２３ｒと搬送物用トンネル部２３にとに区分するよう
に、前記支柱筒２５ｓを通行させる中央空気路２４ｃと
一対の側方空気路２４８とを形成したセパレータ２４を
設けたものである。
第１図に示すように、走行駆動部２５ｒに立設した支柱
筒２５ｓＫａｔ器部２５ｋ及び搬送物蓋なし収納ケース
２５ｃを載設してなる搬送用の自走台車２５を運行する
ため、搬送用トンネル部２３を、走行駆動部用トンネル
部２３ｒと搬送物用トンネル部２３にとに区分するよう
に、前記支柱筒２５ｓを通行させる中央空気路２４ｃと
一対の側方空気路２４８とを形成したセパレータ２４を
設けたものである。
そして、この実施例の送風清浄装置は、クリーントンネ
ル２１の本体２２の一方の側壁２２ｓ外面に適当な間隔
をもって配設された複数の送風手段３０と、該送風手段
３０にそれぞれ対応して前記側壁２２ｓに穿設された空
気区画２２にの給気口２６及び走行駆動部用トンネル部
２３ｒの排気口２７と、搬送物用トンネル部２３ｈの開
閉可能な重錘付き調整板２８を具備する補助排気口２９
と、前記空気区画２２にと、その下に設けられたＨＥＰ
Ａフィルタ３とから構成されたものである。
ル２１の本体２２の一方の側壁２２ｓ外面に適当な間隔
をもって配設された複数の送風手段３０と、該送風手段
３０にそれぞれ対応して前記側壁２２ｓに穿設された空
気区画２２にの給気口２６及び走行駆動部用トンネル部
２３ｒの排気口２７と、搬送物用トンネル部２３ｈの開
閉可能な重錘付き調整板２８を具備する補助排気口２９
と、前記空気区画２２にと、その下に設けられたＨＥＰ
Ａフィルタ３とから構成されたものである。
なお、送風手段３０は、送風機３１を垂設した間仕切板
３２ｍにより送風ダクト３２ｓと吸入ダクト３２にとに
区分されたダクト３２からなり、送風ダク）３２ｓは前
記給気０２６に連通し、吸入ダク）３２ｋには前記排気
口２７が連通し、かつ、下面に大気を吸入する補助吸入
口３３が開口している。また、前記調整板２８は、送風
手段３０の近くに開口した方形の補助排気口２９の上辺
に蝶番３４をもって外方へ啓開可能となっており。
３２ｍにより送風ダクト３２ｓと吸入ダクト３２にとに
区分されたダクト３２からなり、送風ダク）３２ｓは前
記給気０２６に連通し、吸入ダク）３２ｋには前記排気
口２７が連通し、かつ、下面に大気を吸入する補助吸入
口３３が開口している。また、前記調整板２８は、送風
手段３０の近くに開口した方形の補助排気口２９の上辺
に蝶番３４をもって外方へ啓開可能となっており。
下辺に付設された重錘２８ｊにより常には補助排気口２
９を閉鎖している。（第２図参照）そして、各給気口２
６の断面積を１００とした場合、排気口２７は８０、補
助排気口２９及び補助給気口３３は２０の割合となるよ
うに形成されている。
９を閉鎖している。（第２図参照）そして、各給気口２
６の断面積を１００とした場合、排気口２７は８０、補
助排気口２９及び補助給気口３３は２０の割合となるよ
うに形成されている。
次に１作用を述べる。
送風機３１を起動すると、該送風機３１から出た空気は
、送風ダクト３２ｓ 、給気口２６を通って空気区画２
２ｋに入り、ｆ（ＭＰＡフィルタ３にｆ過され、気迷０
．５ｍ／ｓはどの清浄空気層流となって搬送物用トンネ
ル部２３ｈ内へ流入し、セパレータ２４によって流下を
制限されているため、内部空気圧は上昇する。そして外
部の空気圧よりも高くなり、調整板２８の閉鎖状態を維
持しようとする重錘作用に打ち克つと、該調整板２８を
外方に開いて内部の清浄空気を、循環空気量のほぼ２０
％の割合で外部へ浴出させる。一方、セパレータ２４に
形成された前記空気路２４ｃ、２４ｓからは大部分の清
浄空気が、約４ ｍ ／ ｓの気迷となって走行駆動部
用トンネル部２３ｒ内へ流入し、排気口２７から吸入ダ
ク）３２にへ循環空気量のほぼ８０％の割合で吸入され
、補助吸入口３３から吸入式れる循環空気量のほぼ２０
％に相当する量の大気とともに送風機３１に吸い込まれ
、再び送風ダク）３２ｓから空気区画２２ｋに送られる
。
、送風ダクト３２ｓ 、給気口２６を通って空気区画２
２ｋに入り、ｆ（ＭＰＡフィルタ３にｆ過され、気迷０
．５ｍ／ｓはどの清浄空気層流となって搬送物用トンネ
ル部２３ｈ内へ流入し、セパレータ２４によって流下を
制限されているため、内部空気圧は上昇する。そして外
部の空気圧よりも高くなり、調整板２８の閉鎖状態を維
持しようとする重錘作用に打ち克つと、該調整板２８を
外方に開いて内部の清浄空気を、循環空気量のほぼ２０
％の割合で外部へ浴出させる。一方、セパレータ２４に
形成された前記空気路２４ｃ、２４ｓからは大部分の清
浄空気が、約４ ｍ ／ ｓの気迷となって走行駆動部
用トンネル部２３ｒ内へ流入し、排気口２７から吸入ダ
ク）３２にへ循環空気量のほぼ８０％の割合で吸入され
、補助吸入口３３から吸入式れる循環空気量のほぼ２０
％に相当する量の大気とともに送風機３１に吸い込まれ
、再び送風ダク）３２ｓから空気区画２２ｋに送られる
。
すなわち、清浄空気の以上一連の循環気流は、はぼ２０
％ずつ大気と入れ替りつつ循環するわけであるが、これ
は循環気流の温度上昇を防止する冷却処置であるばかり
か流量をほぼ一定に維持する方策でもある。
％ずつ大気と入れ替りつつ循環するわけであるが、これ
は循環気流の温度上昇を防止する冷却処置であるばかり
か流量をほぼ一定に維持する方策でもある。
なお、他の実施例として第３図に示すような構成として
もよい。この実施例は、送風手段３０′の送風ダクト３
２’ｓ内に１−ＩＥＰＡフィルタ３′を設置し送風機３
１からの給気を該フィルタ３′によりｆ過した後、給気
口２６を介して空気区画２２にへ送り込み、クリーント
ンネル２１内のＨｇＰ入フィルタ３は排除して代りに設
けた整流板３５全通して清浄空気層流を搬送物用トンネ
ル部２３ｈへ吹き出でせるものである。
もよい。この実施例は、送風手段３０′の送風ダクト３
２’ｓ内に１−ＩＥＰＡフィルタ３′を設置し送風機３
１からの給気を該フィルタ３′によりｆ過した後、給気
口２６を介して空気区画２２にへ送り込み、クリーント
ンネル２１内のＨｇＰ入フィルタ３は排除して代りに設
けた整流板３５全通して清浄空気層流を搬送物用トンネ
ル部２３ｈへ吹き出でせるものである。
したがって、ＨＥＰＡフィルタ３の占める容積分だけク
リーントンネル２１全長にわたって小型化することが可
能となり、かつ、Ｈ１８ＰＡフィルタの顕著な節約を図
ることができるばかりか、ＨｇＰＡフィルタの交換も極
めて容易になるという効果が得られる。
リーントンネル２１全長にわたって小型化することが可
能となり、かつ、Ｈ１８ＰＡフィルタの顕著な節約を図
ることができるばかりか、ＨｇＰＡフィルタの交換も極
めて容易になるという効果が得られる。
なお、第４図にこの発明の送風清浄装置を装備したクリ
ーントンネル２１の設置状態を示す。４１ｄ、エンバイ
ロメンタルチャンバー、４２は、ライン型クリーンベン
チ、４３は、簡易型クリーンブースである。
ーントンネル２１の設置状態を示す。４１ｄ、エンバイ
ロメンタルチャンバー、４２は、ライン型クリーンベン
チ、４３は、簡易型クリーンブースである。
「発明の効果」
以上説明してきたように、この発明は、クリーントンネ
ルの側壁外に所望の間隔をもって、送風機を内設する送
風手段を複数配設し、補助排気口と補助吸入口とにより
一部の空気量を大気と入れ替えながら清浄空気を循環（
史用する構成としたため、クリーントンネル内の温度を
上昇させることなく、かつ、該トンネルの長ざに無関係
に一定［ｎの循環気流によって各部斉一な高い清浄度を
維持させることができるという効果がある。また、清浄
空気の放出も著しく減少し、清浄化の効率が向上するば
かりか、装置全体もコンパクトになるという利点もある
。
ルの側壁外に所望の間隔をもって、送風機を内設する送
風手段を複数配設し、補助排気口と補助吸入口とにより
一部の空気量を大気と入れ替えながら清浄空気を循環（
史用する構成としたため、クリーントンネル内の温度を
上昇させることなく、かつ、該トンネルの長ざに無関係
に一定［ｎの循環気流によって各部斉一な高い清浄度を
維持させることができるという効果がある。また、清浄
空気の放出も著しく減少し、清浄化の効率が向上するば
かりか、装置全体もコンパクトになるという利点もある
。
第１図は、この発明の一実施例を示す断面図。
第２図は、同じく一部断面斜視図、第３図は、他の実施
例を示す断面図、第４図は、この発明の送風清浄装置を
装備したクリーントンネルの設置状態を示す斜視図、第
５図は、従来の送風清浄装置を示す断面図、第６図は、
従来のクリーントンネル外の空気系統を示す路線図であ
る。 ３・・・・・・・・・Ｈｇ Ｐ Ａフィルタ２１・・・
・・・クリーントンネル ２２ｋ・・・空気区画 ２２ｓ・・・側壁 ２３・・・・・・％送用トンネル部 ２３ｒ・・・走行駆動部用トンネル部 ２３ｈ・・・搬送物用トンネル部 ２４・・・・・・セバレータ ２４ｃ・・・中央空気路 ２４ｓ・・・側方空気路 ２５・・・・・・自走台車 ２５ｓ・・・支柱筒 ２６・・・・・・給気口 ２７・・・・・・排気口 ２８・・・・・・調整板 ２８ｊ・・・重錘 ２９・・・・・・補助排気口 ３０・・・・・・送風手段 ３１・・・・・送風機 ３２・・・・・・ダクト ３２ｓ・・・送風ダクト ３２ｋ・・・吸入ダクト ３２ｍ・・・間仕切板 ３３・・・・・・補助吸入口 第１図 第２図 第３図
例を示す断面図、第４図は、この発明の送風清浄装置を
装備したクリーントンネルの設置状態を示す斜視図、第
５図は、従来の送風清浄装置を示す断面図、第６図は、
従来のクリーントンネル外の空気系統を示す路線図であ
る。 ３・・・・・・・・・Ｈｇ Ｐ Ａフィルタ２１・・・
・・・クリーントンネル ２２ｋ・・・空気区画 ２２ｓ・・・側壁 ２３・・・・・・％送用トンネル部 ２３ｒ・・・走行駆動部用トンネル部 ２３ｈ・・・搬送物用トンネル部 ２４・・・・・・セバレータ ２４ｃ・・・中央空気路 ２４ｓ・・・側方空気路 ２５・・・・・・自走台車 ２５ｓ・・・支柱筒 ２６・・・・・・給気口 ２７・・・・・・排気口 ２８・・・・・・調整板 ２８ｊ・・・重錘 ２９・・・・・・補助排気口 ３０・・・・・・送風手段 ３１・・・・・送風機 ３２・・・・・・ダクト ３２ｓ・・・送風ダクト ３２ｋ・・・吸入ダクト ３２ｍ・・・間仕切板 ３３・・・・・・補助吸入口 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 給気口を有する空気区画及びフィルタを設け、これに連
なる搬送用トンネル部を搬送物用トンネル部と走行駆動
部用トンネル部とに、搬送用自走台車の支柱筒を通行さ
せる中央空気路と側方空気路とを形成したセパレータで
区分したクリーントンネルにおいて、クリーントンネル
の一方の側壁外面に、送風機を垂設した間仕切板により
送風ダクトと吸入ダクトとに区分したダクトによりなる
送風手段複数を、所望の間隔をもつて配設し、送風ダク
トを前記給気口を介して空気区画に連通し、一方、吸入
ダクトには走行駆動部用トンネル部から排気口を介して
連通させるとともに補助吸入口を穿設し、また、前記送
風手段に近い搬送物用トンネルの側壁に、開閉可能な重
錘付き調整板を具備した補助排気口を穿設し、前記給気
口に対し排気口、補助排気口及び補助吸入口の断面積を
それぞれ所望の割合いの大きさに形成して構成したこと
を特徴とするクリーントンネル送風清浄装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182735A JPS6162740A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | クリ−ントンネル送風清浄装置 |
| US06/771,223 US4660464A (en) | 1984-09-03 | 1985-08-30 | Clean air supply means in a clean tunnel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182735A JPS6162740A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | クリ−ントンネル送風清浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6162740A true JPS6162740A (ja) | 1986-03-31 |
| JPH0311380B2 JPH0311380B2 (ja) | 1991-02-15 |
Family
ID=16123519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59182735A Granted JPS6162740A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | クリ−ントンネル送風清浄装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4660464A (ja) |
| JP (1) | JPS6162740A (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0736418B2 (ja) * | 1986-05-19 | 1995-04-19 | 富士通株式会社 | ウエーハキャリア |
| GB2198413B (en) * | 1986-11-20 | 1990-01-17 | Shimizu Construction Co Ltd | Transporting robot for semiconductor wafers |
| US4880581A (en) * | 1986-12-24 | 1989-11-14 | Alcon Laboratories, Inc. | Means and method for aseptic particle-free production of articles |
| DE3716977A1 (de) * | 1987-05-20 | 1988-12-01 | Siemens Ag | Reinraum-linearachsenkonzept fuer industrieroboter |
| US4934920A (en) * | 1987-06-17 | 1990-06-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Apparatus for producing semiconductor device |
| US4927438A (en) * | 1987-12-01 | 1990-05-22 | Varian Associates, Inc. | Horizontal laminar air flow work station |
| DE3805212A1 (de) * | 1988-02-19 | 1989-08-31 | Hahn Glasbau | Vitrine zur aufbewahrung und/oder zur zurschaustellung von gegenstaenden |
| JPH0756879B2 (ja) * | 1988-03-31 | 1995-06-14 | 日鉄セミコンダクター株式会社 | 半導体の無塵化製造装置 |
| JPH026868A (ja) * | 1988-06-25 | 1990-01-11 | Taikisha Ltd | 塗装ブースにおける塗装装置設置方法と塗装ブースの一部を構成する塗装機操作ユニット |
| US4986715A (en) * | 1988-07-13 | 1991-01-22 | Tokyo Electron Limited | Stock unit for storing carriers |
| US5626820A (en) * | 1988-12-12 | 1997-05-06 | Kinkead; Devon A. | Clean room air filtering |
| US5083558A (en) * | 1990-11-06 | 1992-01-28 | Thomas William R | Mobile surgical compartment with micro filtered laminar air flow |
| US5570987A (en) * | 1993-12-14 | 1996-11-05 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Semiconductor wafer transport container |
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