JPS614906A - 線幅測定方法 - Google Patents
線幅測定方法Info
- Publication number
- JPS614906A JPS614906A JP12611584A JP12611584A JPS614906A JP S614906 A JPS614906 A JP S614906A JP 12611584 A JP12611584 A JP 12611584A JP 12611584 A JP12611584 A JP 12611584A JP S614906 A JPS614906 A JP S614906A
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- JP
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- film
- light
- line width
- grating
- wavelength
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は微細加工により形成されたパターンの線幅測定
方法に関するものである。
方法に関するものである。
（従来技術とその問題点）
従来、微細加工により得られたパターンの線幅を測定す
るには、パターン上方から集光した光を照射し、パター
ン各部からの光の反射率を測定することにより行なわれ
てきた。しかし、光の反射率はパターンエツジにおいて
急峻には変化せず、このために得られたパターン線幅の
測定値が真のパターン線幅とは等しくならず、０．１μ
ｍ程度の不確定性があった。
るには、パターン上方から集光した光を照射し、パター
ン各部からの光の反射率を測定することにより行なわれ
てきた。しかし、光の反射率はパターンエツジにおいて
急峻には変化せず、このために得られたパターン線幅の
測定値が真のパターン線幅とは等しくならず、０．１μ
ｍ程度の不確定性があった。
（発明の目的）
本発明の目的は、上記のような欠点を除去し、測定誤差
の小さい線幅測定方法を提供することにある。
の小さい線幅測定方法を提供することにある。
（発明の構成）
すなわち、本発明は基板上の、屈折率と膜厚とが既知の
、パターニングされた可透光性材質膜にグレーティング
を２か所に形成し、一方のグレーティングを通して鉄膜
に光を導波せしめ、次に、導波せしめた光及びこれと偏
光方向が異なる光とが鉄膜から他方のグレーティングを
通して同じ出射角で出射するような光の波、長を求め、
この波長と光の伝搬定数、膜の形状、屈折率の間に成り
た □つ式から膜の加工線幅を求めることを特徴とする
線幅測定方法である。
、パターニングされた可透光性材質膜にグレーティング
を２か所に形成し、一方のグレーティングを通して鉄膜
に光を導波せしめ、次に、導波せしめた光及びこれと偏
光方向が異なる光とが鉄膜から他方のグレーティングを
通して同じ出射角で出射するような光の波、長を求め、
この波長と光の伝搬定数、膜の形状、屈折率の間に成り
た □つ式から膜の加工線幅を求めることを特徴とする
線幅測定方法である。
（本発明の原理）
以下に本発明を図面を参照しながら説明する。
第１図に示すように、屈折率ｎ１、厚さｔで線幅Ｗに加
工された膜１が、屈折率ｎ２の物質２（この場合は基板
）と屈折率ｎ０の物質（例えば空気あるいは液体）３と
の間にはさまれている場合において、まず膜１の表面に
周期Ｓ′のグレーティング４及び周期Ｓのグレーティン
グ５を形成する６次に、グレーティング４を通して波長
λの光６を膜１中に導波させ、グレーティング５を通し
て光を出射角θで出射させる。なお、グレーティングの
周期Ｓ及びＳ′はｌ＋λ／Ｓ及びｌ＋λ／Ｓ’が、”Ｏ
ｒ ”２より大きく、λ／８及びλ／Ｓ’がｎ、より小
さいことが必要である。
工された膜１が、屈折率ｎ２の物質２（この場合は基板
）と屈折率ｎ０の物質（例えば空気あるいは液体）３と
の間にはさまれている場合において、まず膜１の表面に
周期Ｓ′のグレーティング４及び周期Ｓのグレーティン
グ５を形成する６次に、グレーティング４を通して波長
λの光６を膜１中に導波させ、グレーティング５を通し
て光を出射角θで出射させる。なお、グレーティングの
周期Ｓ及びＳ′はｌ＋λ／Ｓ及びｌ＋λ／Ｓ’が、”Ｏ
ｒ ”２より大きく、λ／８及びλ／Ｓ’がｎ、より小
さいことが必要である。
この時、ＴＥ波について、各変数間Ｉこは式（１）から
（４）の関数が成り立つ、、／Ｍ、／９ＥはそれぞれＴ
Ｍ波、ＴＥ波の伝搬定数。
（４）の関数が成り立つ、、／Ｍ、／９ＥはそれぞれＴ
Ｍ波、ＴＥ波の伝搬定数。
（Ａ／ｋ ）” ＋ ＵＭ／ｋ 戸”ｊ ＝ Ｓ”θ＋
λ／Ｓ −（３）ｋ−２π／λ
−（４）また、ＴＭ波については前記式（３）（
４）及び式＋５）（６）が成り立つ。
λ／Ｓ −（３）ｋ−２π／λ
−（４）また、ＴＭ波については前記式（３）（
４）及び式＋５）（６）が成り立つ。
また、特定の波長λにおいては、式（１）から（６）が
同時に成り立ち、グレーティング５を通して偏光方向の
異なる光が同じ出射光角θで出射する。従って、波長λ
を変えてグレーティング５を通して偏光方向が異なる光
が同じ出射角で出射する波長λを測定し、式（１）から
（６）を解くことにより、パターンの線幅Ｗを求めるこ
とができる。
同時に成り立ち、グレーティング５を通して偏光方向の
異なる光が同じ出射光角θで出射する。従って、波長λ
を変えてグレーティング５を通して偏光方向が異なる光
が同じ出射角で出射する波長λを測定し、式（１）から
（６）を解くことにより、パターンの線幅Ｗを求めるこ
とができる。
なお、第１図ではまっすぐなパターンの線幅を測る例を
示しているが、線幅が一定であればまがったパターンで
も測定できる。
示しているが、線幅が一定であればまがったパターンで
も測定できる。
（実施例）
以下、本発明の実施例を記載する。
屈折率１．４５７の石英ガラス上にポリメチルメタアク
リル酸（ＰＭＭＡ） を塗布し、偏光解析法で測定し
た所、ＰＭＭＡの屈折率は１，４９１ 、 、［厚は０
．８μｍであった。次にＰＭＭＡ を線状パターンに
加工後、ＰＭＭＡ表面ｌ表面筋１μｍのグレーティング
を２か所に形成する。次に、空気（屈折率ｉ、ｏｏｏ
＞中より、一方のグレーティングを通して、ローダミン
Ｂ色素レーザ光を全部波長を６０００〜６４００ Ａの
範囲で変化させてＰＭＭＡ中に導波させ、他方のグレー
ティングから光を出射させた所、波長６３２８ＡでＴＥ
波及びＴＭ波が出射角５４．５１度で出射した。従って
、式＋１＋から（６）よりＷを求めることによって、加
工後のＰＭＭＡのパターンの線幅は１．２２μｍである
ことが判った。
リル酸（ＰＭＭＡ） を塗布し、偏光解析法で測定し
た所、ＰＭＭＡの屈折率は１，４９１ 、 、［厚は０
．８μｍであった。次にＰＭＭＡ を線状パターンに
加工後、ＰＭＭＡ表面ｌ表面筋１μｍのグレーティング
を２か所に形成する。次に、空気（屈折率ｉ、ｏｏｏ
＞中より、一方のグレーティングを通して、ローダミン
Ｂ色素レーザ光を全部波長を６０００〜６４００ Ａの
範囲で変化させてＰＭＭＡ中に導波させ、他方のグレー
ティングから光を出射させた所、波長６３２８ＡでＴＥ
波及びＴＭ波が出射角５４．５１度で出射した。従って
、式＋１＋から（６）よりＷを求めることによって、加
工後のＰＭＭＡのパターンの線幅は１．２２μｍである
ことが判った。
（発明の効果）
したがって１本発明によれば、グレーティ〉・グを用い
てパターンに導波した光の波長を測定するのみで、パタ
ーンの線幅を正確に求めることができる効果を有するも
のである。
てパターンに導波した光の波長を測定するのみで、パタ
ーンの線幅を正確に求めることができる効果を有するも
のである。
第１図は膜の加工後の線幅を測定する方法を説明するた
めの斜視図である。 １・・・測定対象となる膜、２・・・屈折率ｎ２の物質
、３・・・屈折率ｎｏの物質、４・・・入射グレーティ
ング、５・・・出射グレーティング、６・・・光。 −〇− 代理人弁理士 内 原 晋 ７． ２′ ７１−１ 図
めの斜視図である。 １・・・測定対象となる膜、２・・・屈折率ｎ２の物質
、３・・・屈折率ｎｏの物質、４・・・入射グレーティ
ング、５・・・出射グレーティング、６・・・光。 −〇− 代理人弁理士 内 原 晋 ７． ２′ ７１−１ 図
Claims (1)
- （１）基板上の、屈折率と膜厚とが既知である、パター
ニングされた可透光性材質膜にグレーティングを２か所
に形成し、一方のグレーティングを通して該膜に光を導
波せしめ、次に、導波せしめた光及びこれと偏光方向が
異なる光とが該膜から他方のグレーティングを通して同
じ出射角で出射するような光の波長を求めて、この波長
と光の伝搬定数、膜の形状、屈折率の間に成りたつ式か
ら膜の加工線幅を求めることを特徴とする線幅測定方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12611584A JPS614906A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 線幅測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12611584A JPS614906A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 線幅測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614906A true JPS614906A (ja) | 1986-01-10 |
Family
ID=14927004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12611584A Pending JPS614906A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 線幅測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614906A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5336466A (en) * | 1991-07-26 | 1994-08-09 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Heat resistant magnesium alloy |
| US7859659B2 (en) | 1998-03-06 | 2010-12-28 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP12611584A patent/JPS614906A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5336466A (en) * | 1991-07-26 | 1994-08-09 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Heat resistant magnesium alloy |
| US7859659B2 (en) | 1998-03-06 | 2010-12-28 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
| US7898661B2 (en) | 1998-03-06 | 2011-03-01 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
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