JPS614662A - 平面研摩装置の被加工物保持機構 - Google Patents
平面研摩装置の被加工物保持機構Info
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- JPS614662A JPS614662A JP59124743A JP12474384A JPS614662A JP S614662 A JPS614662 A JP S614662A JP 59124743 A JP59124743 A JP 59124743A JP 12474384 A JP12474384 A JP 12474384A JP S614662 A JPS614662 A JP S614662A
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- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 37
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
- B23Q1/545—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces
- B23Q1/5456—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces with one supplementary rotating pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、平面研摩装置の被加工物保持機構、特に薄板
の表面を研摩するだめの平面研摩装置の被加工物保持機
構に関する・ 〔従来技術とその問題点〕 一般に、平面研摩装置の被加工物保持機構は、平面研摩
装置の研摩面上の被加工物を保持する保持部を含んで構
成され、研摩面上において被加工物を摺動させて、被加
工物の表面を研摩している。
の表面を研摩するだめの平面研摩装置の被加工物保持機
構に関する・ 〔従来技術とその問題点〕 一般に、平面研摩装置の被加工物保持機構は、平面研摩
装置の研摩面上の被加工物を保持する保持部を含んで構
成され、研摩面上において被加工物を摺動させて、被加
工物の表面を研摩している。
第8図に従来の平面研摩装置の被加工物保持機構を示す
。第8図において、平面研摩装置の円盤lは軸2を中心
として回転させられる。一方、平面研摩装置のフレーム
3にはスリーブ4が回転自在に取り付けられ、このスリ
ーブ4の中心孔にスプライン軸5が軸方向に移動自在に
、かつ軸回りにスリーブ4と一体となって回転するよう
に取り付ケられている。フレーム3のエアシリンダ6に
取シ付けられたレバー7はスプライン軸5に回転自在に
係合している。また、フレーム3に設けたモータ8に取
り付けた歯車9はスリーブ4に設けた歯車10と噛み合
っている。
。第8図において、平面研摩装置の円盤lは軸2を中心
として回転させられる。一方、平面研摩装置のフレーム
3にはスリーブ4が回転自在に取り付けられ、このスリ
ーブ4の中心孔にスプライン軸5が軸方向に移動自在に
、かつ軸回りにスリーブ4と一体となって回転するよう
に取り付ケられている。フレーム3のエアシリンダ6に
取シ付けられたレバー7はスプライン軸5に回転自在に
係合している。また、フレーム3に設けたモータ8に取
り付けた歯車9はスリーブ4に設けた歯車10と噛み合
っている。
スプライン軸5の先端に設けた球面状の凹部5aに半球
体11が摺動自在に係合している。半球体11に抑圧板
12が固着され、押圧板12には枠13が設けられてい
る。枠13に設けられたビン14は、スプライン軸5の
先端部に設けた溝15に係合している。
体11が摺動自在に係合している。半球体11に抑圧板
12が固着され、押圧板12には枠13が設けられてい
る。枠13に設けられたビン14は、スプライン軸5の
先端部に設けた溝15に係合している。
スプライン軸5と枠13との間に設けられた圧縮ばね1
6は半球体11をスプライン軸5に押し付けるように作
用し、スリーブ軸5が上昇したときに半球体11が落下
するのを防止している。
6は半球体11をスプライン軸5に押し付けるように作
用し、スリーブ軸5が上昇したときに半球体11が落下
するのを防止している。
抑圧板12に設けられだ導通孔17及び半球体11と抑
圧板12の間に設けられた導通孔18は、管19を介し
て真空ポンプ(図示省略)に連通され、被加工物である
磁気デスクの素材20を押圧板12に真空吸着するだめ
のものである。また、素材20の位置を決めるために押
圧板12にリング21が固設されている。
圧板12の間に設けられた導通孔18は、管19を介し
て真空ポンプ(図示省略)に連通され、被加工物である
磁気デスクの素材20を押圧板12に真空吸着するだめ
のものである。また、素材20の位置を決めるために押
圧板12にリング21が固設されている。
この平面研摩装置で素材20の表面を研摩するには、エ
アシリンダ6を作動させて押圧板12を上昇させ、素材
20を押圧板12の下面のりング21の内側に真空吸着
させる。次に、モータ8により回転させながら押圧板1
2をエア7リンダ6により下降させ、素材20を円盤l
の研摩面22に押し付ける。また、図には示していない
が、研摩面22には研摩液が散布されている。従って素
材20の下面は、自からの回転及び円盤lの回転による
摺動で研摩される。
アシリンダ6を作動させて押圧板12を上昇させ、素材
20を押圧板12の下面のりング21の内側に真空吸着
させる。次に、モータ8により回転させながら押圧板1
2をエア7リンダ6により下降させ、素材20を円盤l
の研摩面22に押し付ける。また、図には示していない
が、研摩面22には研摩液が散布されている。従って素
材20の下面は、自からの回転及び円盤lの回転による
摺動で研摩される。
円盤lの研摩面22は、平面になるように加工されてい
るが、実際には僅かであるがうねりが残されている場合
が多い。従って素材20を研摩面22に常に密着させて
滑らかに研摩するには、素材20及び押圧板12を研摩
面22のうねり5に従って多少傾くことができるように
する必要がある。この傾きは半球体11とスプライン軸
5の球状の凹部5aとの摺動で得られ、しかも半球体1
1の球面の中心Cが素材20の下面に位置するように設
定されているので、素材20は中心Cを中心として傾き
、傾いても素材20の下面の位置は変化せずに研摩する
ことができる。
るが、実際には僅かであるがうねりが残されている場合
が多い。従って素材20を研摩面22に常に密着させて
滑らかに研摩するには、素材20及び押圧板12を研摩
面22のうねり5に従って多少傾くことができるように
する必要がある。この傾きは半球体11とスプライン軸
5の球状の凹部5aとの摺動で得られ、しかも半球体1
1の球面の中心Cが素材20の下面に位置するように設
定されているので、素材20は中心Cを中心として傾き
、傾いても素材20の下面の位置は変化せずに研摩する
ことができる。
なお、管19は弾性を有し半球体11の多少の傾きは吸
収できる。また半球体11がスプライン軸5に対し摺動
するため、ピン14と溝15の係合により押圧板12及
び素材20マでモータ8による回転が伝わるようにして
いる。
収できる。また半球体11がスプライン軸5に対し摺動
するため、ピン14と溝15の係合により押圧板12及
び素材20マでモータ8による回転が伝わるようにして
いる。
しかし、エアシリンダ6により素材20を研摩面22に
押し付ける力によりスプライン軸5と半球体11との摺
動には大きな摩擦力が働くこと、及び半球体11、抑圧
板12の傾き運動をする部分の重量、すなわち慣性が大
きくなるため、抑圧板12が研摩面22のうねりに追従
して傾むくことができず、円滑に研摩することができな
い場合があるという欠点があった。また、スプライン軸
5及び半球体11の球面を高精度に滑めらかに加工する
のが困難であるという欠点もあった。
押し付ける力によりスプライン軸5と半球体11との摺
動には大きな摩擦力が働くこと、及び半球体11、抑圧
板12の傾き運動をする部分の重量、すなわち慣性が大
きくなるため、抑圧板12が研摩面22のうねりに追従
して傾むくことができず、円滑に研摩することができな
い場合があるという欠点があった。また、スプライン軸
5及び半球体11の球面を高精度に滑めらかに加工する
のが困難であるという欠点もあった。
本発明の目的は上記欠点を除去し、被加工物の傾きの研
摩面のうねりに対する追従性がよく、円滑に被加工物を
研摩することが可能な平面研摩装置の被加工物保持機構
を提供することにある。
摩面のうねりに対する追従性がよく、円滑に被加工物を
研摩することが可能な平面研摩装置の被加工物保持機構
を提供することにある。
本発明の他の目的は、球面の加工を必要とせず、容易に
製作することができる平面研摩装置の被加工物保持機構
を提供することにある・ 〔発明の構成〕 本発明は平面研摩装置の研摩面上の被加工物を保持する
保持部と、姿勢を一定に保って設けられた支持部と、一
端が前記支持部に傾動可能に連結され他端が前記保持部
に傾動可能に連結され軸心延長部が前記被加工物の被加
工面上の一点を通り、かつ一平面上に位置しないように
設けられた3本のリンクと、前記保持部と前記支持部と
の間を軸方向並びに軸と直交する方向の相対変位を許容
して回転方向に両者を一体に結合する継手とを有するこ
とを特徴とする平面研摩装置の被加工物保持機構である
。
製作することができる平面研摩装置の被加工物保持機構
を提供することにある・ 〔発明の構成〕 本発明は平面研摩装置の研摩面上の被加工物を保持する
保持部と、姿勢を一定に保って設けられた支持部と、一
端が前記支持部に傾動可能に連結され他端が前記保持部
に傾動可能に連結され軸心延長部が前記被加工物の被加
工面上の一点を通り、かつ一平面上に位置しないように
設けられた3本のリンクと、前記保持部と前記支持部と
の間を軸方向並びに軸と直交する方向の相対変位を許容
して回転方向に両者を一体に結合する継手とを有するこ
とを特徴とする平面研摩装置の被加工物保持機構である
。
〔実施例の説明〕
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第1図は、本発明の第1の実施例を示す縦断面図である
。円盤1、軸2、フレーム3、スリーブ4、エアシリン
ダ6、レバー7、モータ8、歯車9.10は、第8図に
示すものと同じである。スプライン軸31は、軸方向に
摺動自在に、かつ軸回わりに一体となって回転するよう
にスリーブ4に取り付けられている。保持部としての押
圧板34はリンク33によってスプライン軸31の下端
に設けられたフランジ32、すなわち支持部に連結して
いる。
。円盤1、軸2、フレーム3、スリーブ4、エアシリン
ダ6、レバー7、モータ8、歯車9.10は、第8図に
示すものと同じである。スプライン軸31は、軸方向に
摺動自在に、かつ軸回わりに一体となって回転するよう
にスリーブ4に取り付けられている。保持部としての押
圧板34はリンク33によってスプライン軸31の下端
に設けられたフランジ32、すなわち支持部に連結して
いる。
抑圧板34に設けた導通孔35は、管19を介して真空
ポンプ(図示省略)に連通され、素材20を押圧板34
に吸着するためのも゛のである。まだ、素材20の位置
を決めるため押圧板34にリング21が固設されている
。第2図はこの実施例のフランジ32から上の部分を取
り除いた状態の平面図である。
ポンプ(図示省略)に連通され、素材20を押圧板34
に吸着するためのも゛のである。まだ、素材20の位置
を決めるため押圧板34にリング21が固設されている
。第2図はこの実施例のフランジ32から上の部分を取
り除いた状態の平面図である。
リンク33は3本からなり、それぞれのリンク33は球
面からなる一端36でフランジ32に取付けられ、フラ
ンジ32に対しどんな方向にも傾くことができる。丑た
そノtぞれリンク33は、同様に球面からなる他端37
で押圧板34に取り付けられ、抑圧板34に対しどんな
方向にも傾くことができる。3本のリンク33の軸心a
は素材20の被加工面上の点である中心Cを通り、しか
も3本のリンク33の軸心aが一平面上にないように配
設されている。従って、リンク33によってリモート
センター コンプライアンス(Remote Cent
er Compliance)の機構が構成されフラン
ジ32を固定すれば、押圧板34及び素材20は微小な
範囲丙で中心Cを中心として傾く。
面からなる一端36でフランジ32に取付けられ、フラ
ンジ32に対しどんな方向にも傾くことができる。丑た
そノtぞれリンク33は、同様に球面からなる他端37
で押圧板34に取り付けられ、抑圧板34に対しどんな
方向にも傾くことができる。3本のリンク33の軸心a
は素材20の被加工面上の点である中心Cを通り、しか
も3本のリンク33の軸心aが一平面上にないように配
設されている。従って、リンク33によってリモート
センター コンプライアンス(Remote Cent
er Compliance)の機構が構成されフラン
ジ32を固定すれば、押圧板34及び素材20は微小な
範囲丙で中心Cを中心として傾く。
すなわち微小範囲てはリンク33が一端36を中心とし
て傾くため、他端37は軸心aと直角な平面上で変位す
る。他端37が軸心aと直角な平面上で微小変位するこ
とから、他端37と係合する押圧板34の回転運動の中
心は、軸心a上あるはずということになる。この条件を
3本のリンク33について生じることから、軸心aの交
点である中心Cを中心として抑圧板34は傾くこととな
る。
て傾くため、他端37は軸心aと直角な平面上で変位す
る。他端37が軸心aと直角な平面上で微小変位するこ
とから、他端37と係合する押圧板34の回転運動の中
心は、軸心a上あるはずということになる。この条件を
3本のリンク33について生じることから、軸心aの交
点である中心Cを中心として抑圧板34は傾くこととな
る。
なお、フランジ32、リンク33、押圧板34からなる
機構は、フランジ32を固定しても抑圧板34は任意の
位置に傾き得て位置も不定となるが、エアシリンダ6に
よって素材20が研摩面に押し付けられ素材20及び押
圧板34の傾きが定まれば、押圧板34の位置も定まる
。ただし上記の機構のみでは、抑圧板34の研摩面と直
角な方向を軸とする回転を許すこととなる。
機構は、フランジ32を固定しても抑圧板34は任意の
位置に傾き得て位置も不定となるが、エアシリンダ6に
よって素材20が研摩面に押し付けられ素材20及び押
圧板34の傾きが定まれば、押圧板34の位置も定まる
。ただし上記の機構のみでは、抑圧板34の研摩面と直
角な方向を軸とする回転を許すこととなる。
そこて、本発明は保持部と支持部との間に上下刃向並び
に平面方向に対しての変位を許容するとともに、回転方
向に対して一体的に結合する継手41を介装することに
より素材20の表面形状に追従し、しかもとの押圧板3
4の回転を防止するものである。実施例ではこの継手4
1にオルダム継手を用イーc−1./−1ル。すなわち
、継手41はフランジ32ト一体に設けた上部材42と
、該上部材42の下面に設けた溝43内に摺動自在に係
合する凸条部44を有する中間部材45と、この中間部
材45に設けられ素材2oの被加工面とほぼ平行て凸条
部44と直角な溝46に摺動自在に係合する凸条部47
を有し、抑圧板34と一体である下部材48とからなる
。このオルダム継手41の軸方向に若干の隙間49を設
けておけば、抑圧板34はフランジ32に対し上下方向
への変位も許容さf、微小な傾きが可能となシ、しかも
研摩面と直角な方向を軸とする回転は防止される。
に平面方向に対しての変位を許容するとともに、回転方
向に対して一体的に結合する継手41を介装することに
より素材20の表面形状に追従し、しかもとの押圧板3
4の回転を防止するものである。実施例ではこの継手4
1にオルダム継手を用イーc−1./−1ル。すなわち
、継手41はフランジ32ト一体に設けた上部材42と
、該上部材42の下面に設けた溝43内に摺動自在に係
合する凸条部44を有する中間部材45と、この中間部
材45に設けられ素材2oの被加工面とほぼ平行て凸条
部44と直角な溝46に摺動自在に係合する凸条部47
を有し、抑圧板34と一体である下部材48とからなる
。このオルダム継手41の軸方向に若干の隙間49を設
けておけば、抑圧板34はフランジ32に対し上下方向
への変位も許容さf、微小な傾きが可能となシ、しかも
研摩面と直角な方向を軸とする回転は防止される。
素材2oを研摩面22に押し付けて研摩するときに、研
摩面22のうねりに従って押圧板34及び素材2oは、
中心Cを中心として傾き、傾きによる素材2oの被加工
面の位置ずれが生じず、清めらかに研摩することができ
る。
摩面22のうねりに従って押圧板34及び素材2oは、
中心Cを中心として傾き、傾きによる素材2oの被加工
面の位置ずれが生じず、清めらかに研摩することができ
る。
また、第8図に示す従来の平面研摩装置の被加工物保持
機構では、エアシリンダ6による素材2゜を研摩面22
に押し付けるための力を伝達するために半球体11とス
プライン軸5との間に発生する摩擦力により半球体11
、押圧板12及び素材20を傾けるのに要するトルクが
非常に大きくなるのに対し、第1図に示す平面研摩装置
の被加工物保持機構では、リンク33の一端36及び他
端37の球面に摩擦力が作用するか、この一端36及び
他端37の球面の半径を小さくてきるため、押圧板34
及び素材20を傾けるのに要するトルクを小さくするこ
とができる。
機構では、エアシリンダ6による素材2゜を研摩面22
に押し付けるための力を伝達するために半球体11とス
プライン軸5との間に発生する摩擦力により半球体11
、押圧板12及び素材20を傾けるのに要するトルクが
非常に大きくなるのに対し、第1図に示す平面研摩装置
の被加工物保持機構では、リンク33の一端36及び他
端37の球面に摩擦力が作用するか、この一端36及び
他端37の球面の半径を小さくてきるため、押圧板34
及び素材20を傾けるのに要するトルクを小さくするこ
とができる。
−また、従来の平面研摩装置の被加工物保持機構の半球
体11及びスプライン軸5の球面の加工が困難であるの
に対し、第1図に示す平面研摩装置の被加工物保持機構
におけるリンク33の一端36及び他端37は球面を有
する構造であるか、市販の球面継手又は自動調心の玉軸
受等を利用して容易に得ることができる。
体11及びスプライン軸5の球面の加工が困難であるの
に対し、第1図に示す平面研摩装置の被加工物保持機構
におけるリンク33の一端36及び他端37は球面を有
する構造であるか、市販の球面継手又は自動調心の玉軸
受等を利用して容易に得ることができる。
第3図、第4図は本発明の第2の実施例を示すものであ
る。スプライン軸31より上部は第2図と同じであり、
この図では省略しである。この実施例ではオルダム継手
51は環状に構成し、3本のすンク33の外周に設けて
あり、フランジ32と一体に設けた上部材52と、中間
部材55と、押圧板34と一体に設けた下部材58とか
らなる。上部材52に素材20の被加工面とほぼ平行な
溝53に中間部材55に設けた凸条部54が摺動自在に
係合し、中間部材55に素材20の被加工面とほぼ平行
で凸条部54と直角に設けた溝56に下部材58の凸条
部57が摺動自在に係合している。まだ、フランジ32
に対し押圧板34が微小に傾き得るようにオルダム継手
51の軸方向には若干の隙間59を設けである。この実
施例では、オルダム継手51の直径を大きくできるため
、フランジ32に対する押圧板34の回転の遊びをより
小さくすることができる・ 第5図、第6図は本発明の第3の実施例を示すものであ
る。図において、円盤1、軸2、フレーム3、スリーブ
4、エアシリンダ6、レバー7、モータ8、歯車9,1
0は、第8図に示すものと同じである。スプライン軸3
1は、軸方向に摺動自在に、かつ軸回わ9に一体となっ
て回転するようにスリーブ4に取り付けられている。抑
圧板34はリンク33によってスプライン軸31の下端
に設けられたフランジ32、すなわち支持部に連結して
いる。
る。スプライン軸31より上部は第2図と同じであり、
この図では省略しである。この実施例ではオルダム継手
51は環状に構成し、3本のすンク33の外周に設けて
あり、フランジ32と一体に設けた上部材52と、中間
部材55と、押圧板34と一体に設けた下部材58とか
らなる。上部材52に素材20の被加工面とほぼ平行な
溝53に中間部材55に設けた凸条部54が摺動自在に
係合し、中間部材55に素材20の被加工面とほぼ平行
で凸条部54と直角に設けた溝56に下部材58の凸条
部57が摺動自在に係合している。まだ、フランジ32
に対し押圧板34が微小に傾き得るようにオルダム継手
51の軸方向には若干の隙間59を設けである。この実
施例では、オルダム継手51の直径を大きくできるため
、フランジ32に対する押圧板34の回転の遊びをより
小さくすることができる・ 第5図、第6図は本発明の第3の実施例を示すものであ
る。図において、円盤1、軸2、フレーム3、スリーブ
4、エアシリンダ6、レバー7、モータ8、歯車9,1
0は、第8図に示すものと同じである。スプライン軸3
1は、軸方向に摺動自在に、かつ軸回わ9に一体となっ
て回転するようにスリーブ4に取り付けられている。抑
圧板34はリンク33によってスプライン軸31の下端
に設けられたフランジ32、すなわち支持部に連結して
いる。
抑圧板34に設けた導通孔35は、管19を介して真空
ポンプ(図示省略)に連通され、素材20を押圧板34
に吸着するだめのものである。また、素材20の位置を
決めるため押圧板34にリング21が固設されている。
ポンプ(図示省略)に連通され、素材20を押圧板34
に吸着するだめのものである。また、素材20の位置を
決めるため押圧板34にリング21が固設されている。
第6図はこの実施例のフランジ32がら上の部分を取り
除いた状態の平面図である。
除いた状態の平面図である。
リンク33は3本からなシ、それぞれのリンク33が球
面からなる一端36でフランジ32に取り付けられ、フ
ランジ32に対しどんな方向にも傾くことができる。ま
たそれぞれリンク33は同様に球面からなる他端37で
押圧板34に取り付けられ、抑圧板34に対しどんな方
向にも傾くことができる。3本のリンク33の軸心aは
素材20の被加工面上の点である中心Cを通るように、
しかも3本のリンク33の軸心aが一平面上にないよう
に配設されている。
面からなる一端36でフランジ32に取り付けられ、フ
ランジ32に対しどんな方向にも傾くことができる。ま
たそれぞれリンク33は同様に球面からなる他端37で
押圧板34に取り付けられ、抑圧板34に対しどんな方
向にも傾くことができる。3本のリンク33の軸心aは
素材20の被加工面上の点である中心Cを通るように、
しかも3本のリンク33の軸心aが一平面上にないよう
に配設されている。
従って、リンク33によってリモート センターコンプ
ライア7 ス(Remote Center Comp
liance)の機構が構成され、フランジ32を固定
すれば、押圧板34及び素材20は、微小な範囲内では
中心Cを中心として傾く。すなわち、微小範囲ではリン
ク33が一端36を中心として傾くため、他端37は軸
心aと直角な平面上で変位する。他端37が軸心aと直
角な平面上で微小変位゛することから、他端37と係合
する抑圧板34の回転運動の中心は、軸心a上あるはず
ということになる。この条件を3本のリンク33につい
て生じることから軸心aの交点である中心Cを中心とし
て抑圧板34は傾くこととなる。
ライア7 ス(Remote Center Comp
liance)の機構が構成され、フランジ32を固定
すれば、押圧板34及び素材20は、微小な範囲内では
中心Cを中心として傾く。すなわち、微小範囲ではリン
ク33が一端36を中心として傾くため、他端37は軸
心aと直角な平面上で変位する。他端37が軸心aと直
角な平面上で微小変位゛することから、他端37と係合
する抑圧板34の回転運動の中心は、軸心a上あるはず
ということになる。この条件を3本のリンク33につい
て生じることから軸心aの交点である中心Cを中心とし
て抑圧板34は傾くこととなる。
なお、フランジ32、リンク33、押圧板34からなる
機構はフランジ32を固定しても抑圧板34は任意の位
置に傾き得て位置も不定となるが、エアシリンダ6によ
って素材20が研摩面に押し付けられ、素材20及び押
圧板34の傾きが定まれば押圧板34の位置も定まる。
機構はフランジ32を固定しても抑圧板34は任意の位
置に傾き得て位置も不定となるが、エアシリンダ6によ
って素材20が研摩面に押し付けられ、素材20及び押
圧板34の傾きが定まれば押圧板34の位置も定まる。
ただし上記機構のみでは、抑圧板34の研摩面と直角な
方向を軸とする回転を許すこととなる。そこで抑圧板3
4の回転を防止する必要がある。
方向を軸とする回転を許すこととなる。そこで抑圧板3
4の回転を防止する必要がある。
前実施例では前記保持部と支持部との間を軸方向並びに
平面方向の相対変位を許容し、かつ回転方向に両者を一
体に結合する継手としてオル身ム継手を用いたが、本実
施例は前記継手としてベローズを用いたものである。す
なわち、ベローズ6゜の一端をフランジ32に他端を押
圧板34に取付け、該ベローズ60により押圧板34の
回転を防止している。ベローズ60は軸回わ9のねじ9
に対しては剛性が大きいのに対し、軸方向の伸縮及び曲
げに対しては十分な柔軟性があるため、抑圧板34の傾
きに対して障害となることはない。
平面方向の相対変位を許容し、かつ回転方向に両者を一
体に結合する継手としてオル身ム継手を用いたが、本実
施例は前記継手としてベローズを用いたものである。す
なわち、ベローズ6゜の一端をフランジ32に他端を押
圧板34に取付け、該ベローズ60により押圧板34の
回転を防止している。ベローズ60は軸回わ9のねじ9
に対しては剛性が大きいのに対し、軸方向の伸縮及び曲
げに対しては十分な柔軟性があるため、抑圧板34の傾
きに対して障害となることはない。
素材20を研摩面22に押し付けて研摩するときに、研
摩面22のうねりに従って押圧板34及び素材2oは、
中心Cを中心として傾き、傾きによる素材2oの被加工
面の位置ずれが生じず、清めらかに研摩することができ
る。
摩面22のうねりに従って押圧板34及び素材2oは、
中心Cを中心として傾き、傾きによる素材2oの被加工
面の位置ずれが生じず、清めらかに研摩することができ
る。
また、第8図に示す従来の平面研摩装置の被加工物保持
機構では、エアシリンダ6による素材2゜を研摩面22
に押し付けるだめの刀を伝達するために、半球体11と
スプライン軸5との間に発生する摩擦力によ)半球体1
1、押圧板12及び素材2oを傾けるのに要するトルク
が非常に大きくなるのに対し、第5図に示す平面研摩装
置の被加工物保持機構では、リンク33の一端36及び
他端37の球面に摩擦力が作用するが、この一端36及
び他端37の球面の半径を小さくできるため、押圧板3
4及び素材2゜を傾けるのに要するトルクを小さくする
ことができる。
機構では、エアシリンダ6による素材2゜を研摩面22
に押し付けるだめの刀を伝達するために、半球体11と
スプライン軸5との間に発生する摩擦力によ)半球体1
1、押圧板12及び素材2oを傾けるのに要するトルク
が非常に大きくなるのに対し、第5図に示す平面研摩装
置の被加工物保持機構では、リンク33の一端36及び
他端37の球面に摩擦力が作用するが、この一端36及
び他端37の球面の半径を小さくできるため、押圧板3
4及び素材2゜を傾けるのに要するトルクを小さくする
ことができる。
また、従来の平面研摩装置の被加工物保持機構の半球体
11及びスプライン軸5の球面の加工が困難であるのに
対し、第5図に示す平面研摩装置の被加工物保持機構に
おけるリンク33の一端36及び他端37は球面を有す
る構造であるが、市販の球面継手又は自動調心の玉軸受
等を利用して容易に得ることができる。
11及びスプライン軸5の球面の加工が困難であるのに
対し、第5図に示す平面研摩装置の被加工物保持機構に
おけるリンク33の一端36及び他端37は球面を有す
る構造であるが、市販の球面継手又は自動調心の玉軸受
等を利用して容易に得ることができる。
第7図は本発明の第4の実施例を示す縦断面図である。
ベローズ61は、一端をフランジ32に他端を押圧板3
4に固着されている。第5図に示すベローズ60は3本
のリンク33の外周に設けられているのに対し、本実施
例でのベローズ61は3本のリンク33に囲まれた内側
に設けられ形状を小さくすることができる・ なお、本発明は第5図における円盤1が固定してあって
、フレーム3とともに抑圧板34等が軸2を中心として
旋回するような平面研摩装置にも適用できる。
4に固着されている。第5図に示すベローズ60は3本
のリンク33の外周に設けられているのに対し、本実施
例でのベローズ61は3本のリンク33に囲まれた内側
に設けられ形状を小さくすることができる・ なお、本発明は第5図における円盤1が固定してあって
、フレーム3とともに抑圧板34等が軸2を中心として
旋回するような平面研摩装置にも適用できる。
また、支持部と保持部との間に設ける継手は、必ずしも
ベローズの形状をしている必要がない。
ベローズの形状をしている必要がない。
例えば、ベローズを周囲方向に分割したもの、言い換え
れば、中間を湾曲させた複数の板ばねをリンクの周囲に
並べたものであってもよい。
れば、中間を湾曲させた複数の板ばねをリンクの周囲に
並べたものであってもよい。
本発明の平面研摩装置の被加工物保持機構は、以上説明
したように、保持部と支持部の間に半球体を設ける代わ
りに、この保持部及び支持部に傾き自在に連結し軸心の
延長部が被加工物の被加工面上の一点を通るリンクを設
けることにより、支持部と半球体との間の摩擦をなくし
、また半球体による大きな慣性をなくすことができ、し
かも、保持部と支持部とをオルダム継手やベローズのよ
うな軸方向及び軸と直交する方向の変位を許容して回転
方向に直結する継手を介装したので、リンクの変位にし
たがって自由な方向に追従しつつ回転力を伝達できる。
したように、保持部と支持部の間に半球体を設ける代わ
りに、この保持部及び支持部に傾き自在に連結し軸心の
延長部が被加工物の被加工面上の一点を通るリンクを設
けることにより、支持部と半球体との間の摩擦をなくし
、また半球体による大きな慣性をなくすことができ、し
かも、保持部と支持部とをオルダム継手やベローズのよ
うな軸方向及び軸と直交する方向の変位を許容して回転
方向に直結する継手を介装したので、リンクの変位にし
たがって自由な方向に追従しつつ回転力を伝達できる。
したがって、本発明によるときには研摩面のうねりに対
する被加工物の追従性がよく円滑に被加工物を研摩でき
、また支持部及び半球体の球面の加工を必要とせず、容
易に製作できる効果を有するものである。
する被加工物の追従性がよく円滑に被加工物を研摩でき
、また支持部及び半球体の球面の加工を必要とせず、容
易に製作できる効果を有するものである。
第1図は本発明の第1の実施例を示す縦断面図、第2図
は第1図に示す実施例のフランジよシ上の部分を取除い
た状態を示す平面図、第3図は本発明の第2の実施例を
示す縦断面図、第4図は第3図の平面図、第5図は本発
明の第3の実施例を示す縦断面図、第6図は第5図に示
す実施例のフランジより上の部分を取除いた状態を示す
平面図、第7図は本発明の第4の実施例を示す縦断面図
、第8図は従来装置を示す縦断面図である。 1 円盤、31 スプライン軸、34・・・抑圧板(
保持部)、20・・・素材、32 フランジ(支持部
)、33・リンク、41,51・・・オルダム継手、6
0 、61 ベローズ(継手) 第2図 第3図 第6図 第7図
は第1図に示す実施例のフランジよシ上の部分を取除い
た状態を示す平面図、第3図は本発明の第2の実施例を
示す縦断面図、第4図は第3図の平面図、第5図は本発
明の第3の実施例を示す縦断面図、第6図は第5図に示
す実施例のフランジより上の部分を取除いた状態を示す
平面図、第7図は本発明の第4の実施例を示す縦断面図
、第8図は従来装置を示す縦断面図である。 1 円盤、31 スプライン軸、34・・・抑圧板(
保持部)、20・・・素材、32 フランジ(支持部
)、33・リンク、41,51・・・オルダム継手、6
0 、61 ベローズ(継手) 第2図 第3図 第6図 第7図
Claims (1)
- (1)平面研摩装置の研摩面上の被加工物を保持する保
持部と、姿勢を一定に保つて設けられた支持部と、一端
が前記支持部に傾動可能に連結され他端が前記保持部に
傾動可能に連結され軸心延長部が前記被加工物の被加工
面上の一点を通り、かつ一平面上に位置しないように設
けられた3本のリンクと、前記保持部との間を軸方向並
びに軸と直交する方向の相対変位を許容して前記支持部
と回転方向に両者を一体に結合する継手とを有すること
を特徴とする平面研摩装置の被加工物保持機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59124743A JPS614662A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 平面研摩装置の被加工物保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59124743A JPS614662A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 平面研摩装置の被加工物保持機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS614662A true JPS614662A (ja) | 1986-01-10 |
Family
ID=14893009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59124743A Pending JPS614662A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 平面研摩装置の被加工物保持機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS614662A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0199563U (ja) * | 1987-12-22 | 1989-07-04 | ||
JP2000015569A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-18 | Mitsubishi Materials Corp | ウェーハ研磨ヘッド |
US6027401A (en) * | 1996-10-25 | 2000-02-22 | Toshiba Machine Co., Ltd. | Headstock of a polishing machine |
JP2002355757A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-12-10 | Seiko Instruments Inc | 両面同時平面研磨装置 |
CN112454116A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-09 | 嘉善翔宇旅游用品有限公司 | 一种箱包构件磨削装置 |
-
1984
- 1984-06-18 JP JP59124743A patent/JPS614662A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0199563U (ja) * | 1987-12-22 | 1989-07-04 | ||
JPH0511959Y2 (ja) * | 1987-12-22 | 1993-03-25 | ||
US6027401A (en) * | 1996-10-25 | 2000-02-22 | Toshiba Machine Co., Ltd. | Headstock of a polishing machine |
JP2000015569A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-18 | Mitsubishi Materials Corp | ウェーハ研磨ヘッド |
JP2002355757A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-12-10 | Seiko Instruments Inc | 両面同時平面研磨装置 |
CN112454116A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-09 | 嘉善翔宇旅游用品有限公司 | 一种箱包构件磨削装置 |
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