JPS6145923A - 反射式ロ−タリ−エンコ−ダ−用回転デイスクの製作方法 - Google Patents
反射式ロ−タリ−エンコ−ダ−用回転デイスクの製作方法Info
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- JPS6145923A JPS6145923A JP16656584A JP16656584A JPS6145923A JP S6145923 A JPS6145923 A JP S6145923A JP 16656584 A JP16656584 A JP 16656584A JP 16656584 A JP16656584 A JP 16656584A JP S6145923 A JPS6145923 A JP S6145923A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は反射式ロータリーエンコーダー用回転ディスク
を製作する方法に関する。
を製作する方法に関する。
「従来の技術」
従来、エンコーダー用回転ディスクはエツチング加工、
プレ子加工等によりスリット全数いて形成させた光透壷
穴のものが主として利用されていたが、最近では種々の
利点から反射式のものが研究、開発され、今後はこれが
広く利用されていくのではないかと考えられている。そ
の−例として上記のようにしてスリットＩＯが抜かれた
回転ディスク１１に第２図に示すように反射率の高い金
属板１２ヲ貼り付けたものがある。
プレ子加工等によりスリット全数いて形成させた光透壷
穴のものが主として利用されていたが、最近では種々の
利点から反射式のものが研究、開発され、今後はこれが
広く利用されていくのではないかと考えられている。そ
の−例として上記のようにしてスリットＩＯが抜かれた
回転ディスク１１に第２図に示すように反射率の高い金
属板１２ヲ貼り付けたものがある。
「発明が解決しようとする問題点」
上記例の反射式のものは貼り合わせた互いの金属板の反
射率の差が少なく実用的なものとは成ｐ難く、かつ金属
板を貼り合わせるという繁雑な作業を要するものであっ
た。そこでこのような方法全敗らないで反射率の高い金
属板に例えば黒色塗料等全塗布することによって光を吸
収するパターン全直接形成する方法が考えられ、かつ試
作されているが、この場合この吸光パターンはきわめて
高い精度が要求されるものであるが、現状ではこの要求
を満たすことはきわめて困難で満足されるようなものは
未だないのが実情である。
射率の差が少なく実用的なものとは成ｐ難く、かつ金属
板を貼り合わせるという繁雑な作業を要するものであっ
た。そこでこのような方法全敗らないで反射率の高い金
属板に例えば黒色塗料等全塗布することによって光を吸
収するパターン全直接形成する方法が考えられ、かつ試
作されているが、この場合この吸光パターンはきわめて
高い精度が要求されるものであるが、現状ではこの要求
を満たすことはきわめて困難で満足されるようなものは
未だないのが実情である。
本発明は金属板に精密な吸光パターンケ比較的簡単な方
法で形成し、これにより精度の高い反射式ロータリーエ
ンコーダー用回転ディスクを得ることを課題とするもの
である。
法で形成し、これにより精度の高い反射式ロータリーエ
ンコーダー用回転ディスクを得ることを課題とするもの
である。
「問題点會解決するための手段」
本発明は反射率の高い金属板に光を吸収する黒色顔料を
混入した感光剤を塗布し、その後肢感光剤の塗布面に所
定のマスク全密着して露光し、現像し、感光しなかった
部分の感光剤を剥離剤により剥離すれば金属板上に所定
のパターンが形成される。
混入した感光剤を塗布し、その後肢感光剤の塗布面に所
定のマスク全密着して露光し、現像し、感光しなかった
部分の感光剤を剥離剤により剥離すれば金属板上に所定
のパターンが形成される。
「作用」
感光剤の本来の使用目的は塗布、露光、現像することに
より精密なパターン全皮膜状に作り、エツチング時にマ
スクとしての役目を果し、エツチング終了後は剥離して
取り除くものである。
より精密なパターン全皮膜状に作り、エツチング時にマ
スクとしての役目を果し、エツチング終了後は剥離して
取り除くものである。
本発明においては塗布、露光、現像までは上記のエツチ
ングの場合と同じで、これによって金属板上に精ｑｊ！
なパターンが形成されるが、同時に感光剤は露光した時
、Ｎ＆光剤に含まれている黒色顔料を金属板に接着させ
る役目金する。
ングの場合と同じで、これによって金属板上に精ｑｊ！
なパターンが形成されるが、同時に感光剤は露光した時
、Ｎ＆光剤に含まれている黒色顔料を金属板に接着させ
る役目金する。
「実施例」
本発明の実施例を第１図に従って説明する。
（１）まずアルミ板１の表面全鏡面仕上して反射率を高
くシ、その面に空気による酸化全防止するためにアルマ
イト処理して厚さ３μ程度のアルマイトＮｌ１ｚを形成
する（第１図（１））。
くシ、その面に空気による酸化全防止するためにアルマ
イト処理して厚さ３μ程度のアルマイトＮｌ１ｚを形成
する（第１図（１））。
（２）一方、ジアゾ系感光剤に黒色顔料を添加して混合
した顔料含有感光剤を上記アルマイト層２上に約２〜３
μの厚さにスピンナーで塗布して顔料含有感光剤１１３
’を形成する（第１図（２））。
した顔料含有感光剤を上記アルマイト層２上に約２〜３
μの厚さにスピンナーで塗布して顔料含有感光剤１１３
’を形成する（第１図（２））。
（３）次に上記顔料含有感光剤層３上に所定のマスク４
を密接した後、露光する（第１図（３））。
を密接した後、露光する（第１図（３））。
（４）続いてこれ全現像し剥離剤によって露光しなかっ
た部分の感光剤層３を剥離するとアルミ板１に黒色のパ
ターン５が形成される（第１図（４））。
た部分の感光剤層３を剥離するとアルミ板１に黒色のパ
ターン５が形成される（第１図（４））。
（５）、上記の黒色のパターン會保護するために低温焼
付ラッカー６を塗布し、乾燥炉で焼付ける（第１図（５
））。
付ラッカー６を塗布し、乾燥炉で焼付ける（第１図（５
））。
（６） 最後にプレス等により所定の寸法に内径、外
径を加工して終了する。
径を加工して終了する。
このようにして製作された回転ディスクは下記の性能を
得ることができた。
得ることができた。
アルミの反射率 ・・・８５％以上
黒色パターン部の反射率・・・５％以下使 用 元
・・・波長０．９４ミクロンメータの赤外線「
発明の効果」 本発明は反射率の高い金属板に光を吸収する黒色顔料を
混入した感光剤を塗布し、露光、現像全行なって金属板
上にパターンを形成させるようにしたものであり、感光
剤のもっている優れた解像力とシャープなエツジ形成力
を利用しているので上記のパターンはきわめて精密に形
成することができると共に従来のエツチング設備をその
′！ま利用して製作できる利点もあり、従って量産も比
較的容易にでき、コストも低減化させる効果もある。
・・・波長０．９４ミクロンメータの赤外線「
発明の効果」 本発明は反射率の高い金属板に光を吸収する黒色顔料を
混入した感光剤を塗布し、露光、現像全行なって金属板
上にパターンを形成させるようにしたものであり、感光
剤のもっている優れた解像力とシャープなエツジ形成力
を利用しているので上記のパターンはきわめて精密に形
成することができると共に従来のエツチング設備をその
′！ま利用して製作できる利点もあり、従って量産も比
較的容易にでき、コストも低減化させる効果もある。
第１図は本発明の実施例を示す説明図、第２図ハ従来の
エンコーター−用回転ディスクの例を示す断面図である
。 第１図 第２図
エンコーター−用回転ディスクの例を示す断面図である
。 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、反射率の高い金属板に光を吸収する顔料を混入した
感光剤を塗布した後、該感光剤の塗布面に所定のマスク
を密着させて露光し、現像し、その後感光しなかった部
分の感光剤を剥離剤により剥離してなる反射式ロータリ
ーエンコーダー用回転ディスクの製作方法。 ２、上記感光剤はジアゾ系感光剤である特許請求の範囲
第１項記載の反射式ロータリーエンコーダー用回転ディ
スクの製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16656584A JPS6145923A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 反射式ロ−タリ−エンコ−ダ−用回転デイスクの製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16656584A JPS6145923A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 反射式ロ−タリ−エンコ−ダ−用回転デイスクの製作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6145923A true JPS6145923A (ja) | 1986-03-06 |
Family
ID=15833619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16656584A Pending JPS6145923A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 反射式ロ−タリ−エンコ−ダ−用回転デイスクの製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6145923A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03202319A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-04 | Nippon Shokubai Kagaku Kogyo Co Ltd | レジンコンクリート層を有する複合管の遠心成形法 |
| KR980003872A (ko) * | 1996-06-24 | 1998-03-30 | 김주용 | 3층 감광막 패선 형성방법 |
| EP1132719A1 (de) * | 2000-03-10 | 2001-09-12 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Reflexions-Messteilung und Verfahren zur Herstellung derselben |
| JP2005241248A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-08 | Aronshiya:Kk | 光学式エンコーダに用いられる反射板及びその製造方法 |
| JP2009008457A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Nikon Corp | 反射型エンコーダ及びモータ |
| WO2009031608A1 (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Nikon Corporation | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
| EP2551646A3 (en) * | 2011-07-26 | 2013-06-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Scale and manufacturing method thereof, and absolute encoder |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US8854601B2 (en) | 2005-05-12 | 2014-10-07 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
1984
- 1984-08-10 JP JP16656584A patent/JPS6145923A/ja active Pending
Cited By (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03202319A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-04 | Nippon Shokubai Kagaku Kogyo Co Ltd | レジンコンクリート層を有する複合管の遠心成形法 |
| KR980003872A (ko) * | 1996-06-24 | 1998-03-30 | 김주용 | 3층 감광막 패선 형성방법 |
| EP1132719A1 (de) * | 2000-03-10 | 2001-09-12 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Reflexions-Messteilung und Verfahren zur Herstellung derselben |
| US6671092B2 (en) | 2000-03-10 | 2003-12-30 | Johannes Heidenhain Gmbh | Reflective measuring scale graduation and method for its manufacture |
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9885959B2 (en) | 2003-04-09 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having deflecting member, lens, polarization member to set polarization in circumference direction, and optical integrator |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9760014B2 (en) | 2003-10-28 | 2017-09-12 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US10281632B2 (en) | 2003-11-20 | 2019-05-07 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction |
| JP2005241248A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-08 | Aronshiya:Kk | 光学式エンコーダに用いられる反射板及びその製造方法 |
| US10007194B2 (en) | 2004-02-06 | 2018-06-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10234770B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-19 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10241417B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US9310696B2 (en) | 2005-05-12 | 2016-04-12 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US9360763B2 (en) | 2005-05-12 | 2016-06-07 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US9429851B2 (en) | 2005-05-12 | 2016-08-30 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US8854601B2 (en) | 2005-05-12 | 2014-10-07 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| JP2009008457A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Nikon Corp | 反射型エンコーダ及びモータ |
| JP5240198B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2013-07-17 | 株式会社ニコン | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
| US8368004B2 (en) | 2007-09-05 | 2013-02-05 | Nikon Corporation | Reflection plate for optical encoder and manufacturing method thereof, and optical encoder |
| EP2187177A4 (en) * | 2007-09-05 | 2012-12-26 | Nikon Corp | REFLECTOR PLATE FOR AN OPTICAL CODING DEVICE, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, AND OPTICAL CODING DEVICE |
| EP2187177A1 (en) * | 2007-09-05 | 2010-05-19 | Nikon Corporation | Reflector plate for optical encoder, method for producing the same, and optical encoder |
| WO2009031608A1 (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Nikon Corporation | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9857599B2 (en) | 2007-10-24 | 2018-01-02 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| EP2551646A3 (en) * | 2011-07-26 | 2013-06-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Scale and manufacturing method thereof, and absolute encoder |
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