JPS6144864U - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPS6144864U JPS6144864U JP1984131018U JP13101884U JPS6144864U JP S6144864 U JPS6144864 U JP S6144864U JP 1984131018 U JP1984131018 U JP 1984131018U JP 13101884 U JP13101884 U JP 13101884U JP S6144864 U JPS6144864 U JP S6144864U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic sensor
- magnetoresistive element
- film magnetoresistive
- resin layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の磁気センサの実施例を示す断面図、第
２図は絶縁基板上に扉膜磁気抵抗効果素子及び電極層を
形成した状態を示す平面図、第３図乃至第５図はそれぞ
れ第１図に示す磁気センサの製造工程を示す断面図であ
る。 １・・・・・・絶縁基板、２・・・・・・薄膜磁気抵抗
効果素子、３・・・・・・電極層、４・・・・・・端子
、５・・・・・・リード線、６′・・・・・・リード接
続部、７・・・・・・有機感光性被膜、８・・・・・ツ
リコン樹脂層、９・・・・・・エポキシ樹脂層、１０・
・・・・・多層コーティング層。
２図は絶縁基板上に扉膜磁気抵抗効果素子及び電極層を
形成した状態を示す平面図、第３図乃至第５図はそれぞ
れ第１図に示す磁気センサの製造工程を示す断面図であ
る。 １・・・・・・絶縁基板、２・・・・・・薄膜磁気抵抗
効果素子、３・・・・・・電極層、４・・・・・・端子
、５・・・・・・リード線、６′・・・・・・リード接
続部、７・・・・・・有機感光性被膜、８・・・・・ツ
リコン樹脂層、９・・・・・・エポキシ樹脂層、１０・
・・・・・多層コーティング層。
Claims (1)
- 絶縁基板上に薄膜磁気抵抗効果素子の薄膜を形成し、こ
の薄膜磁気抵抗効果素子の磁気抵抗の変−化を利用して
磁界を検出する磁気センサにおいて、薄膜磁気抵抗効果
素子のリード接続部にシリコン樹脂層とエポキシ樹脂層
との積層構造からなる多層コーティング層が形成されて
いることを特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984131018U JPS6144864U (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984131018U JPS6144864U (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6144864U true JPS6144864U (ja) | 1986-03-25 |
Family
ID=30689610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984131018U Pending JPS6144864U (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6144864U (ja) |
-
1984
- 1984-08-28 JP JP1984131018U patent/JPS6144864U/ja active Pending
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