JPS6142416U - 光電型エンコ−ダ - Google Patents
光電型エンコ−ダInfo
- Publication number
- JPS6142416U JPS6142416U JP10261685U JP10261685U JPS6142416U JP S6142416 U JPS6142416 U JP S6142416U JP 10261685 U JP10261685 U JP 10261685U JP 10261685 U JP10261685 U JP 10261685U JP S6142416 U JPS6142416 U JP S6142416U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical grating
- optical
- light
- photoelectric encoder
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、従来の光電型エンコーダの概略構成図、第2
図は、本考案に係る光電型エンコーダの第1実施例を示
す概略構成図、第3図は、本考案に係る第2光学格子の
一部省略平面図、第4図は、第2図の第2光学格子のT
V−IV断面図、第5図は、第1実施例装置の出力電圧
波形図、第6図は、第2光学格子の一例を示す説明図、
第7図は、第6図p第2光学格子の等価回路図、第8図
は、第1実施例装置の第2光学格子の製造過程を説明す
る説明図、第9図は、本考案の好適な第2実施例を示す
構成説明図、第10図は、本考案の好適な第3実施例を
示す概略構成図、である。 10・・・第1光学格子、12・・・第2光学格子、1
4・・・基板、14a・・・光透過部、18・・・発光
器、2訃・・半導体基体、34・・・半導体層、36・
・・集電層。
図は、本考案に係る光電型エンコーダの第1実施例を示
す概略構成図、第3図は、本考案に係る第2光学格子の
一部省略平面図、第4図は、第2図の第2光学格子のT
V−IV断面図、第5図は、第1実施例装置の出力電圧
波形図、第6図は、第2光学格子の一例を示す説明図、
第7図は、第6図p第2光学格子の等価回路図、第8図
は、第1実施例装置の第2光学格子の製造過程を説明す
る説明図、第9図は、本考案の好適な第2実施例を示す
構成説明図、第10図は、本考案の好適な第3実施例を
示す概略構成図、である。 10・・・第1光学格子、12・・・第2光学格子、1
4・・・基板、14a・・・光透過部、18・・・発光
器、2訃・・半導体基体、34・・・半導体層、36・
・・集電層。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 相対移動する二対の光学格子を有し、一方の光学格子を
透過又は反射し他方の光学格子眸達する明暗を利用して
両光学格子の相対移動量を電気的に検出する光電型エン
コーダにおいて、 基板に細帯状の光透過部又は光反射部が整列配置された
第1の光学格子と、 半導体基体にこれと相反する導電型の細帯状の半導体層
が一定ピッチで配列され第1の光学格子に対向配置され
た第2の光学格子と、 前記第2の光学格子の半導体層のほぼ全表面に形成され
た光透過性導電材から成る集電層と、を含むことを特徴
とする光電型エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10261685U JPS6142416U (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 光電型エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10261685U JPS6142416U (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 光電型エンコ−ダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6142416U true JPS6142416U (ja) | 1986-03-19 |
Family
ID=30662014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10261685U Pending JPS6142416U (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 光電型エンコ−ダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6142416U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01180615U (ja) * | 1988-02-22 | 1989-12-26 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4919867A (ja) * | 1972-03-20 | 1974-02-21 | ||
JPS508883A (ja) * | 1973-05-26 | 1975-01-29 | ||
JPS52131489A (en) * | 1976-04-28 | 1977-11-04 | Oki Electric Ind Co Ltd | Photoelectric converter |
-
1985
- 1985-07-04 JP JP10261685U patent/JPS6142416U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4919867A (ja) * | 1972-03-20 | 1974-02-21 | ||
JPS508883A (ja) * | 1973-05-26 | 1975-01-29 | ||
JPS52131489A (en) * | 1976-04-28 | 1977-11-04 | Oki Electric Ind Co Ltd | Photoelectric converter |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01180615U (ja) * | 1988-02-22 | 1989-12-26 |
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