JPS6142416U - 光電型エンコ−ダ - Google Patents

光電型エンコ−ダ

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Publication number
JPS6142416U
JPS6142416U JP10261685U JP10261685U JPS6142416U JP S6142416 U JPS6142416 U JP S6142416U JP 10261685 U JP10261685 U JP 10261685U JP 10261685 U JP10261685 U JP 10261685U JP S6142416 U JPS6142416 U JP S6142416U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical grating
optical
light
photoelectric encoder
semiconductor layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP10261685U
Other languages
English (en)
Inventor
芳比古 蒲谷
康之 宮井
Original Assignee
株式会社ミツトヨ
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Publication date
Application filed by 株式会社ミツトヨ filed Critical 株式会社ミツトヨ
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の光電型エンコーダの概略構成図、第２
図は、本考案に係る光電型エンコーダの第１実施例を示
す概略構成図、第３図は、本考案に係る第２光学格子の
一部省略平面図、第４図は、第２図の第２光学格子のＴ
Ｖ−ＩＶ断面図、第５図は、第１実施例装置の出力電圧
波形図、第６図は、第２光学格子の一例を示す説明図、
第７図は、第６図ｐ第２光学格子の等価回路図、第８図
は、第１実施例装置の第２光学格子の製造過程を説明す
る説明図、第９図は、本考案の好適な第２実施例を示す
構成説明図、第１０図は、本考案の好適な第３実施例を
示す概略構成図、である。 １０・・・第１光学格子、１２・・・第２光学格子、１
４・・・基板、１４ａ・・・光透過部、１８・・・発光
器、２訃・・半導体基体、３４・・・半導体層、３６・
・・集電層。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 相対移動する二対の光学格子を有し、一方の光学格子を
    透過又は反射し他方の光学格子眸達する明暗を利用して
    両光学格子の相対移動量を電気的に検出する光電型エン
    コーダにおいて、 基板に細帯状の光透過部又は光反射部が整列配置された
    第１の光学格子と、 半導体基体にこれと相反する導電型の細帯状の半導体層
    が一定ピッチで配列され第１の光学格子に対向配置され
    た第２の光学格子と、 前記第２の光学格子の半導体層のほぼ全表面に形成され
    た光透過性導電材から成る集電層と、を含むことを特徴
    とする光電型エンコーダ。
JP10261685U 1985-07-04 1985-07-04 光電型エンコ−ダ Pending JPS6142416U (ja)

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JP10261685U JPS6142416U (ja) 1985-07-04 1985-07-04 光電型エンコ−ダ

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JPS6142416U true JPS6142416U (ja) 1986-03-19

Family

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01180615U (ja) * 1988-02-22 1989-12-26

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4919867A (ja) * 1972-03-20 1974-02-21
JPS508883A (ja) * 1973-05-26 1975-01-29
JPS52131489A (en) * 1976-04-28 1977-11-04 Oki Electric Ind Co Ltd Photoelectric converter

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