JPS6142321A - Apparatus for treating silane gas - Google Patents
Apparatus for treating silane gasInfo
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- JPS6142321A JPS6142321A JP59164738A JP16473884A JPS6142321A JP S6142321 A JPS6142321 A JP S6142321A JP 59164738 A JP59164738 A JP 59164738A JP 16473884 A JP16473884 A JP 16473884A JP S6142321 A JPS6142321 A JP S6142321A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は大気または後続の処理装置に放出するに適し
た濃度にシラン系の排ガスを処理する装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention This invention relates to a device for treating silane-based exhaust gases to a concentration suitable for release to the atmosphere or subsequent treatment equipment.
（従来の技術）
半導体製造工業分野においては化学的気相成長プロセス
でシラン系ガスを使用している。例えば５ｉＨ４（モノ
シラン）ガスの使用量の増加率は、１年当り３０％とも
いわれており、半導体における重要材料の１つである。(Prior Art) In the semiconductor manufacturing industry, silane-based gases are used in chemical vapor deposition processes. For example, the rate of increase in the usage of 5iH4 (monosilane) gas is said to be 30% per year, and it is one of the important materials in semiconductors.
ＳｉＨ４ガスの物性数値は、ガス比重は１．１１（空気
Ｂ 、液密度０．６８ 、温点−１１２℃、融点−１
８５°Ｃ１蒸気圧４８ａｔ＋ｗ （−３５°Ｃ）テ、
その大きな特徴は空気中で酸素と反応し、自然発火する
ことである。例えば、この発火の限界濃度は、Ｈ２（水
素）ベースＳｉＨ４では、そのＳｉＨ４濃度約０．５％
で自然発火する。一方、Ｎ２ （窒素）ベースＳｉＨ
４では約４ｚで自然発火する。従って安全に使用し、ｎ
つ一部未反応な５ｔＨ４を含んだ排ガスを安全に処理す
る事は、工場災害を防１にするという観点より極めて重
要である。The physical properties of SiH4 gas are as follows: gas specific gravity is 1.11 (air B, liquid density 0.68, temperature point -112℃, melting point -1
85°C1 vapor pressure 48at+w (-35°C)te,
Its main characteristic is that it reacts with oxygen in the air and ignites spontaneously. For example, the critical concentration for ignition is approximately 0.5% for H2 (hydrogen)-based SiH4.
spontaneously combusts. On the other hand, N2 (nitrogen) based SiH
4 spontaneously ignites at about 4z. Therefore, use it safely and n
Safe treatment of exhaust gas containing partially unreacted 5tH4 is extremely important from the perspective of preventing factory disasters.
一般に可燃性ガスＳｉＨ４の処理方法には、酸化吸着と
アルカリ洗浄の併用法、燃焼法および加水分解法がある
。Generally, methods for treating combustible gas SiH4 include a combined method of oxidation adsorption and alkaline cleaning, a combustion method, and a hydrolysis method.
才ず、併用法は現在の処理装置の主流をなしているもの
である。但し、実際の半導体工業レベルで使用されてい
る大量のＳｉＨ４の排ガスの処理を行なうには、処理装
置が大規模で高価なものになり、まだ十分に使用されて
いないのが実状である。However, the combination method is the mainstream of current processing equipment. However, in order to treat the large amount of SiH4 exhaust gas used in the actual semiconductor industry, processing equipment is large-scale and expensive, and the reality is that it is not yet fully used.
次に、燃焼法は処理方法としては効果的なものであるが
コスト高、安全性、操作性、酸化物の粉末によるつまり
等があり、実用化には難しい点がある。Next, although the combustion method is effective as a treatment method, it is difficult to put into practical use due to high cost, safety, ease of operation, clogging due to oxide powder, etc.
最後に、加水分解法は水による加水分解を利用した処理
であり、Ｓ ｉ Ｈ４＋ ２ Ｈ２Ｃ）＋ Ｓ ｉ ０
２＋４Ｈ２と反応させる。この反応が容易に起こるかど
うかについては議論の分かれどころであるが、我々の実
験によればＳｉＨ４が空気と酸化して生成される５ｉ０
２の反応が現われ、５ｉ０２の粉末が発生する。しかし
十分な加水分解効果は生じない。Finally, the hydrolysis method is a process that utilizes hydrolysis with water, and S i H4+ 2 H2C) + S i 0
React with 2+4H2. Whether this reaction easily occurs is a matter of debate, but our experiments show that 5i0, which is produced when SiH4 oxidizes with air,
A reaction of 2 appears and a powder of 5i02 is generated. However, sufficient hydrolysis effect does not occur.
なお、前記併用法および加水分解法ではガス処理にスク
ラバーを用いる。スクラバーは装置が大型〒あり、ガス
処理に多量の水を必要とする。このようにスクラバーは
多量の水を使うので一般に洗浄水を循環して使用する。Note that in the combination method and hydrolysis method, a scrubber is used for gas treatment. Scrubbers have large equipment and require a large amount of water for gas treatment. Since scrubbers use a large amount of water, the cleaning water is generally circulated.
したがって、前記反応により５ｉ０２が洗浄水に蓄積す
る。また、シランガスが５ｉＨ２Ｃ１２ガスを含む場合
、加水分解によりＨＣＩが発生し、洗浄水の循環使用に
よってＨＣＩの濃度が高くなる。したがって、洗浄水の
足期的な処理が必要となり、手間がかかる。Therefore, 5i02 accumulates in the wash water due to the reaction. Further, when the silane gas contains 5iH2C12 gas, HCI is generated by hydrolysis, and the concentration of HCI increases by circulating the cleaning water. Therefore, periodic treatment of the cleaning water is required, which is time-consuming.
（発明が解決しようとする問題点）
上記のように、各シランガス処理方法は安全性の点でま
だ不十分であり、また設備費あるいは処理費が高額であ
るという問題もある。(Problems to be Solved by the Invention) As described above, each silane gas treatment method is still insufficient in terms of safety, and also has the problem of high equipment costs or high processing costs.
そこで、この発明は安全に、かつ多大な費用を要せずに
シランガスを処理することができる装置を提供しようと
するものである。Therefore, it is an object of the present invention to provide an apparatus that can process silane gas safely and without requiring a large amount of cost.
（問題点を解決するための手段）
この発明のシランガス処理装置は主としてケーシング、
ケーシング内の温度検出装置、羽根車、羽根車を回転駆
動する装置、ガス導入管、ガス導入管入側の圧力検出装
置、前記ガス導入管に連通ずるガスバイパス管、ガスバ
イパス管に設けられた開閉装置、洗浄水導入管および空
気導入管、洗浄水流量を検出する装置、ならびにノズル
からなっている。(Means for solving the problem) The silane gas treatment device of the present invention mainly includes a casing,
A temperature detection device in the casing, an impeller, a device for rotationally driving the impeller, a gas introduction pipe, a pressure detection device on the inlet side of the gas introduction pipe, a gas bypass pipe communicating with the gas introduction pipe, and a gas bypass pipe provided in the gas introduction pipe. It consists of an opening/closing device, a wash water inlet pipe, an air inlet pipe, a device for detecting the wash water flow rate, and a nozzle.
ケーシングはガス排出口を備えている。ケーシング内へ
のガスの導入は下記のガス導入管による。The casing is equipped with a gas outlet. Gas is introduced into the casing using the gas introduction pipe shown below.
羽根車は相対する側板の間に円筒状フィルターが固着さ
れている０円筒状フィルターの周囲には放射状に複数の
羽根が取り付けられており、前記側板の一つにガス導入
穴が設けられている。このように構成された羽根車は前
記ケーシング内に回転自在に取り付けられている。The impeller has a cylindrical filter fixed between opposing side plates. A plurality of blades are attached radially around the cylindrical filter, and one of the side plates is provided with a gas introduction hole. The impeller configured in this manner is rotatably mounted within the casing.
上記ケーシング、羽根車およびモーターはファンを構成
している。The casing, impeller and motor constitute a fan.
ガス導入管は前記ケーシング内まで延びて先端が前記ガ
ス導入穴に向かって開口している。The gas introduction pipe extends into the casing and has a tip opening toward the gas introduction hole.
洗浄水導入管および空気導入管は前記円筒状フィルター
内まで延びており、これらの先端にはそれぞれ前記円筒
状フィルター内で半径方向に開口するノズルが設けられ
ている。The wash water inlet pipe and the air inlet pipe extend into the cylindrical filter, and each has a nozzle at its tip that opens in the radial direction within the cylindrical filter.
（作用）
処理するシランガスはガス導入管により羽根車の円筒状
フィルター内まで導かれる。羽根車は回転駆動装置で回
転されている。洗浄水源の水圧により洗浄水導入管のノ
ズルから円筒状フィルター内周面に向かって洗浄水が放
射状に散水される。(Function) The silane gas to be treated is guided into the cylindrical filter of the impeller through the gas introduction pipe. The impeller is rotated by a rotary drive. Washing water is sprayed radially from the nozzle of the washing water introduction pipe toward the inner peripheral surface of the cylindrical filter by the water pressure of the washing water source.
また、羽根車の回転により吸引された空気は空気導入管
のノズルから円筒状フィルター内周面に向かって放射状
に吹き出す。Furthermore, the air sucked in by the rotation of the impeller is blown out radially from the nozzle of the air introduction pipe toward the inner peripheral surface of the cylindrical filter.
円筒状フィルター内周面に一様にノズルから散水された
洗浄水は遠心効果によって円筒状フィルターに浸透し、
広いぬれ面積を形成する。同時に羽根車の回転によって
発生する負圧によって吸引されたシランガスは円筒状フ
ィルターを通過するときに上記広いぬれ接触面によって
洗浄水と接触して洗浄される。５ｉ０２の粉末が生じて
も水滴によって洗浄される。The cleaning water sprayed uniformly from the nozzle onto the inner surface of the cylindrical filter penetrates into the cylindrical filter due to the centrifugal effect.
Forms a large wetted area. At the same time, the silane gas sucked in by the negative pressure generated by the rotation of the impeller passes through the cylindrical filter and is cleaned by coming into contact with the cleaning water through the wide wet contact surface. Even if 5i02 powder is generated, it is washed away by water droplets.
また、導入されたシランガスは円筒状フィルター内で空
気により希釈される。このように処理されたガスは円筒
状フィルターを通って羽根車から流出し、さらに羽根車
から流出してケーシングの排出口から大気または後続の
処理装置に放出される。Furthermore, the introduced silane gas is diluted with air within the cylindrical filter. The gas thus treated exits the impeller through a cylindrical filter and exits the impeller through an outlet in the casing to the atmosphere or subsequent treatment equipment.
ケーシング内でシランガスが発火し、燃焼すると、ケー
シング内の温度が」二重し、前記温度検出装置はこれを
検知する。また、円筒状フィルターが目詰りすると、ガ
ス導入管入側の圧力が上貸し、前記圧力検出装置はこれ
を検出する。さらにまた、洗浄水の供給量が下限まで下
ると、流量検出装置がこれを検出する。このような場合
、自動的に、あるいは警報により手動でもって羽根車の
回転を停止するとともに、前記開閉装置を開いてシラン
ガスをガスバイパス管より逃がす。When the silane gas ignites and burns inside the casing, the temperature inside the casing doubles, and the temperature detection device detects this. Furthermore, when the cylindrical filter becomes clogged, the pressure on the inlet side of the gas introduction pipe increases, and the pressure detection device detects this. Furthermore, when the supply amount of cleaning water falls to the lower limit, the flow rate detection device detects this. In such a case, the rotation of the impeller is stopped automatically or manually by an alarm, and the opening/closing device is opened to release the silane gas from the gas bypass pipe.
（実施例）
第１図および第２図は、この発明のシランガス処理装置
の一例を示している。(Example) FIGS. 1 and 2 show an example of a silane gas treatment apparatus of the present invention.
これら図面に示すようにシランガス処理装置は主として
ケーシング３、ケーシング内の温度検出装置９、羽根車
１１、羽根車１１を回転駆動する装置２１、ガス導入管
２５、ガス導入管入側の圧力検出装置２８．前記ガス導
入管２５に連通ずるガスバイパス管２９、ガスバイパス
管２８に設けられた開閉装置３０、洗浄水導入管３１お
よび空気導入管３７、洗浄水流量の検出装置３４、なら
びにノズル４１．４３がらなっている。As shown in these drawings, the silane gas treatment device mainly includes a casing 3, a temperature detection device 9 in the casing, an impeller 11, a device 21 for rotationally driving the impeller 11, a gas introduction pipe 25, and a pressure detection device on the inlet side of the gas introduction pipe. 28. The gas bypass pipe 29 communicating with the gas introduction pipe 25, the opening/closing device 30 provided on the gas bypass pipe 28, the cleaning water introduction pipe 31 and the air introduction pipe 37, the cleaning water flow rate detection device 34, and the nozzles 41.43. It has become.
架台ｌの上に箱形のケーシング３が固定されている。ケ
ーシング３の頂部は開［１しており、ガス排出口６とな
っている。ケーシング３内の頂部寄りに二重フィルター
７が取り付けられており、底部寄りに排水管８が接続さ
れている。A box-shaped casing 3 is fixed on a pedestal l. The top of the casing 3 is open [1] and serves as a gas outlet 6. A double filter 7 is attached near the top inside the casing 3, and a drain pipe 8 is connected near the bottom.
ガス排出口６にはケーシング３内のガス温度を検出する
温度計９が取り付けらでいる。A thermometer 9 is attached to the gas outlet 6 to detect the temperature of the gas inside the casing 3.
羽根車１１は相対する円板状の側板１６．１８を備えて
おり、これの間に円筒状フィルター１２が固着されてい
る。円筒状フィルター１２は金網１３の内側にフィルタ
ー材１４が取り付けられている。フィルター材１４はフ
ェルトなどのよに繊維を高密度に圧縮したものが好まし
い。円筒状フィルター１２の周囲には放射状に複数の羽
根１８が取り付けられており、前記側板１θの一つにガ
ス導入穴１７が設けられている。このように構成された
羽根車１１は回転軸を水平にして前記ケーシング３内に
回転自在に取り付けられている。The impeller 11 is provided with opposing disc-shaped side plates 16,18, between which the cylindrical filter 12 is fixed. The cylindrical filter 12 has a filter material 14 attached to the inside of a wire mesh 13. The filter material 14 is preferably made of fibers compressed to a high density, such as felt. A plurality of blades 18 are attached radially around the cylindrical filter 12, and a gas introduction hole 17 is provided in one of the side plates 1θ. The impeller 11 configured in this manner is rotatably mounted within the casing 3 with its rotating shaft horizontal.
前記架台ｌ上にケーシング３に隣接してモーター２１が
配置されており、これの出力軸２２は前記ケーシング３
の後壁５を貫通して先端に羽根車１１が固着されている
。A motor 21 is arranged on the pedestal l adjacent to the casing 3, and its output shaft 22 is connected to the casing 3.
An impeller 11 is fixed to the tip of the impeller 11 through the rear wall 5.
ガス導入管２５は前記ケーシング３の前壁４に取り付け
られており、その先端はケーシング３内まで延びて前記
羽根車１１の側板１６に設けられたガス導入穴１７に向
かって開口している。ガス導入管２５の先端はガス導入
穴１７に近接しているので、導入されガスが羽根車ｌｌ
内に通らずに稀直接ケーシング３内に入ることはない。The gas introduction pipe 25 is attached to the front wall 4 of the casing 3, and its tip extends into the casing 3 and opens toward the gas introduction hole 17 provided in the side plate 16 of the impeller 11. Since the tip of the gas introduction pipe 25 is close to the gas introduction hole 17, the introduced gas flows through the impeller.
It rarely enters directly into the casing 3 without passing through the inside.
また、シランガスを取り扱う前段の装置（図示しない）
から延びてきたガス供給管２７がガス導入管２５の後端
に接続されている。In addition, equipment in the previous stage that handles silane gas (not shown)
A gas supply pipe 27 extending from the gas introduction pipe 25 is connected to the rear end of the gas introduction pipe 25.
上記ガス供給管２７にはガス導入管２５の入側の圧力、
すなわち羽根車１１による吸引力を検出する差圧計２８
が取り付けられている。The gas supply pipe 27 has a pressure on the inlet side of the gas introduction pipe 25;
That is, the differential pressure gauge 28 detects the suction force by the impeller 11.
is installed.
また、ガス供給管２７には上記ガス導入管２５とともに
ガスバイパス管２９が接続されている。Further, a gas bypass pipe 29 is connected to the gas supply pipe 27 together with the gas introduction pipe 25 .
上記ガスバイパス管２９にはダンパー３０が取り付けら
ている。A damper 30 is attached to the gas bypass pipe 29.
洗浄水導入管３１は」−記ガス導入管２５を同軸に貫通
して前記円筒状フィルター１２内まで延びており、これ
の後端は洗浄水供給管３２、電磁弁３３．流量計３４な
どを介して水道水源（図示しない）などに接続されてい
る。流量計３４は下限水量を検出する発信器を備えてい
る。The wash water introduction pipe 31 coaxially penetrates the gas introduction pipe 25 and extends into the cylindrical filter 12, and its rear end is connected to the wash water supply pipe 32, the electromagnetic valve 33. It is connected to a tap water source (not shown) or the like via a flow meter 34 or the like. The flow meter 34 includes a transmitter that detects the lower limit water amount.
空気導入管３７は２本よりなり、第３図に示すよに洗浄
水導入管３１と並行して上記ガス導入管２５を貫通し、
前記円筒状フィルター１２内まで延びている、空気導入
管３７の後端は大気に開放されている。The air introduction pipe 37 consists of two pieces, and as shown in FIG.
The rear end of the air introduction pipe 37 extending into the cylindrical filter 12 is open to the atmosphere.
これら洗浄水導入管３１および空気導入管３７の先端に
はそれぞれ前記円筒状フィルター１２内で半径方向に開
口するノズル４１．４３が設けられている。Nozzles 41 and 43 that open in the radial direction within the cylindrical filter 12 are provided at the tips of the cleaning water introduction pipe 31 and the air introduction pipe 37, respectively.
前記温度計９、差圧計２８および流量計３４からの信号
は架台１に取り付けられた警報器４１に送られる。Signals from the thermometer 9, differential pressure gauge 28 and flow meter 34 are sent to an alarm 41 attached to the pedestal 1.
以北のように構成された装置において、処理するシラン
ガスはこれを取り扱う前段の装置（図示しない）からガ
ス供給管２７を経てガス導入管２５により羽根車１１の
円筒状フィルター１２内まで導かれる。In the apparatus configured as described above, the silane gas to be treated is guided from the previous stage apparatus (not shown) that handles it through the gas supply pipe 27 and into the cylindrical filter 12 of the impeller 11 by the gas introduction pipe 25.
羽根車１１はモーター２１により高速で回転駆動されて
おり、円筒状フィルター１２より飛び出す水滴の速度は
、たとえば４０＋ｎ／ｓｅｅになる。円筒状フィルター
１２内では洗浄水導入管３１および空気導入管３７の先
端に設けられたノズル４１．４３から洗節水および空気
が放射状に流出する。The impeller 11 is driven to rotate at high speed by the motor 21, and the speed of water droplets flying out from the cylindrical filter 12 is, for example, 40+n/see. Inside the cylindrical filter 12, water and air flow out radially from nozzles 41, 43 provided at the tips of the cleaning water introduction pipe 31 and the air introduction pipe 37.
導入されたシランガスは円筒状フィルター１２内で洗浄
水と反応し、また空気により希釈される。The introduced silane gas reacts with cleaning water within the cylindrical filter 12 and is diluted with air.
このように処理されたガスは円筒状フィルター１２を通
って羽根車１１から流出し、さらに二重フィルター７を
通ってケーシング３の排出口６から大気または後続の処
理装置に放出される。The gas treated in this way exits the impeller 11 through a cylindrical filter 12 and is further discharged through a double filter 7 through an outlet 6 of the casing 3 to the atmosphere or to a subsequent treatment device.
シランガスのケーシングｌ内での燃焼、円筒状フィルタ
ー１２の目詰りあるいは洗浄水の供給量の低下が生じる
と、前記検出器９．２８あるいは３４からの信号により
警報器４１が作動する。これより、手動によりモーター
２１を停止）ニするとともに、ダンパー３０１ＦＩいて
、シランガスをガスバイパス管２９より逃がす。When combustion of silane gas occurs in the casing 1, clogging of the cylindrical filter 12, or a decrease in the amount of cleaning water supplied, the alarm 41 is activated by a signal from the detector 9.28 or 34. From this, the motor 21 is manually stopped (2), and the damper 301FI is activated to release the silane gas from the gas bypass pipe 29.
この発明は上記実施例に限られるものではない。たとえ
ば、洗浄水の供給において水圧が１分得られないならば
、ポンプを洗咋水供給管３２に接続してもよい、また、
空気導入ｖ３７からの空気の吸込み量が不十分ならば、
空気導入管３７にブロアーなどを接続し、円筒状フィル
ター１２に空気を押し込むようにしてもよい、さらにま
た、制御盤を設けて検出器９．２８あるいは３４からの
信号をこれに入力し、モーター２１の停止およびダンパ
ー３０の開放を自動的に行なうようにしてもよい。This invention is not limited to the above embodiments. For example, if water pressure is not obtained in the flush water supply for one minute, a pump may be connected to the flush water supply pipe 32;
If the amount of air sucked from the air introduction v37 is insufficient,
A blower or the like may be connected to the air introduction pipe 37 to force air into the cylindrical filter 12.Furthermore, a control panel may be provided and the signals from the detectors 9, 28 or 34 may be inputted thereto to control the motor. 21 and opening of the damper 30 may be performed automatically.
（発明の効果）
この発明の装置は、シランガスのケーシング内での燃焼
、円筒状フィルターの目詰りあるいは洗浄水の飴水擾の
低下を検出するよにしているので、安全にシランガスを
処理することができる。(Effects of the Invention) The device of the present invention is designed to detect combustion of silane gas within the casing, clogging of the cylindrical filter, or decrease in the aqueous content of the cleaning water, so silane gas can be safely processed. I can do it.
また、吸引ファンとフィルターが一体となているので、
装とはコンパクトかつ廉価となる。In addition, since the suction fan and filter are integrated,
The design is compact and inexpensive.
ｌ−記のように装置が小型ですむことから、装置内を処
理ガスは高速で流れ、ケーシング、羽根車などの内側に
停留することはない。また、処理ガスは円筒状フィルタ
ー内に直接導入されて希釈。Since the apparatus is small as described in item 1, the processing gas flows inside the apparatus at high speed and does not remain inside the casing, impeller, etc. Additionally, the process gas is directly introduced into the cylindrical filter and diluted.
加水分解される。したがって、外気と接触して発火する
ことはなく、これによってもシランガスを安全に処理す
ることができる。Hydrolyzed. Therefore, silane gas cannot be ignited upon contact with outside air, and silane gas can be safely processed.
さらに、前述のように処理ガスと洗浄水との接触がよい
。循環させずに常に新鮮な洗浄水を円筒状フィルターに
供給するので、シランガスと洗浄水とは効率よく反応す
る。したがって、処理に使用される水量は従来のスクラ
バーに比べ著しく少なくて、たとえば！／１０ですむ、
また、水量が少いので、そのまま廃棄することができス
クラバーのように廃水処理を必要としない。Furthermore, as mentioned above, the contact between the processing gas and the cleaning water is good. Since fresh cleaning water is constantly supplied to the cylindrical filter without circulation, the silane gas and cleaning water react efficiently. Therefore, the amount of water used for treatment is significantly less than with traditional scrubbers, for example! /10 is enough.
In addition, since the amount of water is small, it can be disposed of as is, and unlike scrubbers, wastewater treatment is not required.
第１図および第２図はこの発明のシランガス処理装置の
一例を示すもので、それぞれ第１図は一部を断面で示す
側面図および第２図は正面図、ならびに第３図は第１図
の■−■線に沿う断面図である。1 and 2 show an example of the silane gas treatment apparatus of the present invention, in which FIG. 1 is a side view partially shown in cross section, FIG. 2 is a front view, and FIG. 3 is a view similar to the one shown in FIG. FIG.
Claims (1)
検出する装置、相対する側板の間に配置された円筒状フ
ィルターの周囲に複数の羽根が放射状に固着され、前記
側板の一つにガス導入穴が設けられ、前記ケーシング内
に回転自在に取り付けられた羽根車、羽根車を回転駆動
する装置、前記ケーシング内まで延びて先端が前記ガス
導入穴に向かって開口するガス導入管、ガス導入管入側
の圧力を検出する装置、前記ガス導入管に連通するガス
バイパス管、ガスバイパス管に設けられた開閉装置、前
記円筒状フィルター内まで延びる洗浄水導入管および空
気導入管、洗浄水流量を検出する装置、ならびに洗浄水
導入管および空気導入管の先端にそれぞれ設けられ、前
記円筒状フィルター内で半径方向に開口するノズルから
なることを特徴とするシランガス処理装置。A casing equipped with a gas outlet, a device for detecting the temperature inside the casing, a plurality of blades fixed radially around a cylindrical filter placed between opposing side plates, and a gas introduction hole in one of the side plates. an impeller rotatably mounted in the casing, a device for rotationally driving the impeller, a gas introduction pipe extending into the casing and having a tip opening toward the gas introduction hole, and an inlet side of the gas introduction pipe. a gas bypass pipe communicating with the gas introduction pipe, a switching device provided on the gas bypass pipe, a cleaning water introduction pipe and an air introduction pipe extending into the cylindrical filter, and a cleaning water flow rate detection device. 1. A silane gas treatment device comprising: a silane gas processing device; and a nozzle that is provided at the tips of a cleaning water introduction pipe and an air introduction pipe, respectively, and opens in the radial direction within the cylindrical filter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164738A JPS6142321A (en) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | Apparatus for treating silane gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164738A JPS6142321A (en) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | Apparatus for treating silane gas |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142321A true JPS6142321A (en) | 1986-02-28 |
| JPH0331085B2 JPH0331085B2 (en) | 1991-05-02 |
Family
ID=15798962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59164738A Granted JPS6142321A (en) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | Apparatus for treating silane gas |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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