JPS6141516A - トランスフア−成形機用スリ−ブ - Google Patents
トランスフア−成形機用スリ−ブInfo
- Publication number
- JPS6141516A JPS6141516A JP16278884A JP16278884A JPS6141516A JP S6141516 A JPS6141516 A JP S6141516A JP 16278884 A JP16278884 A JP 16278884A JP 16278884 A JP16278884 A JP 16278884A JP S6141516 A JPS6141516 A JP S6141516A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sleeve
- transfer molding
- liner
- plunger
- ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/46—Means for plasticising or homogenising the moulding material or forcing it into the mould
- B29C45/58—Details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は主として半導体の樹脂封着用トランスファー成
形機に使用されるスリーブに関するものである。
形機に使用されるスリーブに関するものである。
第3図はトランスファー成形機の使用状態を示す要部断
面図である。
面図である。
第3図において、スリーブ1は上金型6とこの上金型6
を加熱するための熱板5とに挿入され、その外周に突設
された7ランジ3によって位置決めして固定されている
。プランジャー2はスリーブ1内に摺動自在に嵌入して
おり、スリーブ1内に装入されて溶融した樹脂4を押し
出して下金型7側の樹脂流路8からキャビティ9に充填
し、キャビティ内に挿入してあった半導体の樹脂封着を
行なう。
を加熱するための熱板5とに挿入され、その外周に突設
された7ランジ3によって位置決めして固定されている
。プランジャー2はスリーブ1内に摺動自在に嵌入して
おり、スリーブ1内に装入されて溶融した樹脂4を押し
出して下金型7側の樹脂流路8からキャビティ9に充填
し、キャビティ内に挿入してあった半導体の樹脂封着を
行なう。
しかして、スリーブ1は樹脂2の押し出し作業を継続し
て行なうために、プランジャー2との摺動による摩耗が
激しい。このため、−従来からトランスファー成形槻用
スリーブには、主に冷間金型用鋼であるS、KD−11
を焼入れ、焼戻しをし、さらにその表面に硬質クロムメ
ッキを施したものが用いられている。
て行なうために、プランジャー2との摺動による摩耗が
激しい。このため、−従来からトランスファー成形槻用
スリーブには、主に冷間金型用鋼であるS、KD−11
を焼入れ、焼戻しをし、さらにその表面に硬質クロムメ
ッキを施したものが用いられている。
一般に、半導体の封着に使用される樹脂には、石英ガラ
ス粉末やアルミナ粉末などの無機フイラーが多量に添加
されているために、上記のように表面に硬質クロムメッ
キを施したスリーブであっても、プランジャーと摺動す
る内壁が着しく摩耗するのである。もちろん、プランジ
ャーも摩耗する。
ス粉末やアルミナ粉末などの無機フイラーが多量に添加
されているために、上記のように表面に硬質クロムメッ
キを施したスリーブであっても、プランジャーと摺動す
る内壁が着しく摩耗するのである。もちろん、プランジ
ャーも摩耗する。
そして、スリーブやプランジャーが摩耗すると、成形時
にスリーブとプランジャーとの間隙から樹脂が漏れて十
分な加圧ができなかったり、空気の巻慇込みを起こした
りして半導体封着部に気泡を巻き込むなどの製品不良発
生の原因となるものである。
にスリーブとプランジャーとの間隙から樹脂が漏れて十
分な加圧ができなかったり、空気の巻慇込みを起こした
りして半導体封着部に気泡を巻き込むなどの製品不良発
生の原因となるものである。
スリーブの耐摩耗性を向上させるには、Al2O、”Z
rO2やAl2O3、SiC,Si3N、などのセラミ
ックス製スリーブとするのが有効である。
rO2やAl2O3、SiC,Si3N、などのセラミ
ックス製スリーブとするのが有効である。
しかし、単体のセラミックス製スリーブは高価であるば
9でなく、セラミックスは靭性に劣るため、第3図に示
すように、スリーブ1を上金型6と熱板5とに挿入し、
上金型6を熱板5に締め付けて固定する際に、諦め付は
方が悪いとスリーブ1の外周に設けた7ランジ3が欠け
る1との芯出しが不充分な場合は成形作業中にプランジ
ャー2によってスリーブ1が押し割られるおそれもある
。
9でなく、セラミックスは靭性に劣るため、第3図に示
すように、スリーブ1を上金型6と熱板5とに挿入し、
上金型6を熱板5に締め付けて固定する際に、諦め付は
方が悪いとスリーブ1の外周に設けた7ランジ3が欠け
る1との芯出しが不充分な場合は成形作業中にプランジ
ャー2によってスリーブ1が押し割られるおそれもある
。
本発明は、内壁の耐摩耗性が優れるとともに、強靭性を
有するスリーブを提供し、製品歩留りの向上に寄与する
ことを目的とするものである。
有するスリーブを提供し、製品歩留りの向上に寄与する
ことを目的とするものである。
本発明のスリーブは第1図および第2図に示すように、
剛性を有する鋼製外殻筒11内に耐摩耗性の優れたセラ
ミックス製ライナー10を嵌着して複合一体化したもの
である。
剛性を有する鋼製外殻筒11内に耐摩耗性の優れたセラ
ミックス製ライナー10を嵌着して複合一体化したもの
である。
〔実施例1〕
第1図により第1実施例を説明する。
この実施例のスリーブは、冷間静水圧プレス(以下CI
Pという)で成形し、焼結後件径49mm、内径431
1長さ105mmに加工したAl2O、・ZrO2セラ
ミックスライナー10を、7ランシ3の外径65mm、
円筒部の外径60IIl1111内径49IIII1
1の焼入れ、焼戻ししたSCM−44・ −3− 〇製外殻筒11に焼去率1,8/100’Oで焼嵌めし
た鋼・セラミックス複合スリーブである。
Pという)で成形し、焼結後件径49mm、内径431
1長さ105mmに加工したAl2O、・ZrO2セラ
ミックスライナー10を、7ランシ3の外径65mm、
円筒部の外径60IIl1111内径49IIII1
1の焼入れ、焼戻ししたSCM−44・ −3− 〇製外殻筒11に焼去率1,8/100’Oで焼嵌めし
た鋼・セラミックス複合スリーブである。
なお、複合化径内面や端面ばダイヤモンド工具で最終仕
上げ加工されている。
上げ加工されている。
このライナーは上記の構成Cあるから、耐摩耗性に優れ
ると共に強靭である。
ると共に強靭である。
〔実施例2〕
第2図は本発明の第2実施例を示すものである。
この実施例のスリーブは、実施例1ど同様のセラミック
スライナー10を外径48mmに粗加工した後、その外
周面に 0.8%C鋼を溶射して溶tt′JJW12を
形成し、これをさらに外径49ωmに研磨加工し、この
ライナー10を実施例1と同aの鋼製外殻筒11に実施
例1と同様の焼嵌め率で焼嵌めした鋼・セラミックス複
合スリーブである。
スライナー10を外径48mmに粗加工した後、その外
周面に 0.8%C鋼を溶射して溶tt′JJW12を
形成し、これをさらに外径49ωmに研磨加工し、この
ライナー10を実施例1と同aの鋼製外殻筒11に実施
例1と同様の焼嵌め率で焼嵌めした鋼・セラミックス複
合スリーブである。
この場合の0.8%Caの溶射は焼ばめ而の加工を精度
よく容易に行なうためのものである。
よく容易に行なうためのものである。
すなわち、セラミックスは一般的に加工が困難・ −4
1 であるが、溶射層表面を焼ばめ面とすることによって、
焼ばめ面の加工を容易にしたものである。従って、溶射
層は 0.8%C鋼に限るものではなく、他の材質であ
ってもよい。なお、複合化後の内面や端面はダイヤモン
ド工具で最終仕上げ加工されている。
1 であるが、溶射層表面を焼ばめ面とすることによって、
焼ばめ面の加工を容易にしたものである。従って、溶射
層は 0.8%C鋼に限るものではなく、他の材質であ
ってもよい。なお、複合化後の内面や端面はダイヤモン
ド工具で最終仕上げ加工されている。
上記のように、セラミックスライナー10の外周面に溶
射層12を形成し、これを所定寸法に研磨加工すること
によって焼去面の寸法精度を向上し、焼嵌めを一層強固
にすることができる。
射層12を形成し、これを所定寸法に研磨加工すること
によって焼去面の寸法精度を向上し、焼嵌めを一層強固
にすることができる。
以上の各実施例は、セラミックス部分をAl2O3・Z
rO2セラミックスにしたものについで説明したが、A
l2O,、S 1CSS i、N 、などあらゆるセラ
ミックス材の適用が可能である。しかし、鋼製外殻筒と
の組立構造となることから、熱膨係数のなるべく大きな
セラミックス材の採用が好ましい。
rO2セラミックスにしたものについで説明したが、A
l2O,、S 1CSS i、N 、などあらゆるセラ
ミックス材の適用が可能である。しかし、鋼製外殻筒と
の組立構造となることから、熱膨係数のなるべく大きな
セラミックス材の採用が好ましい。
上述のように、本発明のスリーブは、鋼製の外殻筒にセ
ラミックスライナーを嵌着して複合一体化したものであ
るから、強靭性を有するとともに耐摩耗性に優れるもの
である。
ラミックスライナーを嵌着して複合一体化したものであ
るから、強靭性を有するとともに耐摩耗性に優れるもの
である。
従って、摩耗によって発生する製品不良をなくし、製品
歩留りの向上に寄与すること大である。
歩留りの向上に寄与すること大である。
第1図、第2図はそれぞれ本発明の実施例を示す縦断面
図、第3図はトランスファー成形機の使用状態を示す要
部断面図である。 1 ニスリーブ、 2 ニブランジャー、 3 ニスリ
ーブの7ランジ、10 ニライナー、 11:外殻筒、
12 :溶射層 代理人 弁理士 本 間 崇・ −7&− (へ \ 手続補正書(自発) 昭和上7年と月30日
図、第3図はトランスファー成形機の使用状態を示す要
部断面図である。 1 ニスリーブ、 2 ニブランジャー、 3 ニスリ
ーブの7ランジ、10 ニライナー、 11:外殻筒、
12 :溶射層 代理人 弁理士 本 間 崇・ −7&− (へ \ 手続補正書(自発) 昭和上7年と月30日
Claims (2)
- (1)内面にプランジャーを摺動自在に嵌挿したトラン
スファー成形機用スリーブにおいて、鋼製の外殻筒内に
セラミックスよりなるライナーを嵌着し、複合一体化し
たことを特徴とするトランスファー成形機用スリーブ。 - (2)外周に金属の溶射層を形成したセラミックスより
なるライナーを嵌着したことを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載のトランス ファー成形機用スリーブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16278884A JPS6141516A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | トランスフア−成形機用スリ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16278884A JPS6141516A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | トランスフア−成形機用スリ−ブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6141516A true JPS6141516A (ja) | 1986-02-27 |
Family
ID=15761217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16278884A Pending JPS6141516A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | トランスフア−成形機用スリ−ブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6141516A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1008565C2 (nl) * | 1998-03-12 | 1999-09-14 | 3P Licensing Bv | Matrijs, in het bijzonder bestemd voor het omhullen van elektrische componenten en daarvoor bestemde verdringingsruimte. |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4922466A (ja) * | 1972-06-21 | 1974-02-27 | ||
JPS5933128A (ja) * | 1982-08-19 | 1984-02-22 | Hitachi Metals Ltd | 射出・押出成形機用シリンダ |
-
1984
- 1984-08-03 JP JP16278884A patent/JPS6141516A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4922466A (ja) * | 1972-06-21 | 1974-02-27 | ||
JPS5933128A (ja) * | 1982-08-19 | 1984-02-22 | Hitachi Metals Ltd | 射出・押出成形機用シリンダ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1008565C2 (nl) * | 1998-03-12 | 1999-09-14 | 3P Licensing Bv | Matrijs, in het bijzonder bestemd voor het omhullen van elektrische componenten en daarvoor bestemde verdringingsruimte. |
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