JPS6138505A - 光学式計測装置 - Google Patents
光学式計測装置Info
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- JPS6138505A JPS6138505A JP15901284A JP15901284A JPS6138505A JP S6138505 A JPS6138505 A JP S6138505A JP 15901284 A JP15901284 A JP 15901284A JP 15901284 A JP15901284 A JP 15901284A JP S6138505 A JPS6138505 A JP S6138505A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/353—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
- G01D5/35303—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using a reference fibre, e.g. interferometric devices
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、各種の物理量を計測するための装置に関する
ものであり、特にマツハツエンダ干渉計を利用した光学
式計測装置に関するものである。
ものであり、特にマツハツエンダ干渉計を利用した光学
式計測装置に関するものである。
物理量の変化を精密に測定する方法の一つとして光学干
渉計を用いる方法が知られている。
渉計を用いる方法が知られている。
このような光学干渉計の中でもマツハツエンダ干渉計は
典型的なものであり、光路として空間伝搬光路はもとよ
り光学結晶や光ファイバを用いたものが数多く提案され
ている。
典型的なものであり、光路として空間伝搬光路はもとよ
り光学結晶や光ファイバを用いたものが数多く提案され
ている。
光ファイバを用いたマツハツエンダ干渉計を用いた計測
装置は、2つの光路のうちの一方の光路(センサ光路)
を測定部に位置せしめ、このセンサ光路と他方の光路(
リファレンス光路)とを通過するそれぞれの光束の出射
光を互いに干渉させるものであり、センサ光路周囲の物
理的条件(温度、圧力等)が変化すると、その変化に応
じてセンサ光路の伝搬特性が変化し、干渉の様子が変化
することを利用したものである。
装置は、2つの光路のうちの一方の光路(センサ光路)
を測定部に位置せしめ、このセンサ光路と他方の光路(
リファレンス光路)とを通過するそれぞれの光束の出射
光を互いに干渉させるものであり、センサ光路周囲の物
理的条件(温度、圧力等)が変化すると、その変化に応
じてセンサ光路の伝搬特性が変化し、干渉の様子が変化
することを利用したものである。
すなわち、2つの光路を通過するそれぞれの光束の出射
光を合致させて観測すると、センサ光路周囲の物理的条
件の変化により空間的に明暗の縞が移動するので、この
移動型を測定することにより測定対象である物理量の変
化を知ることが出来るものである。なお、明暗の縞の移
動を観測する代わりに一点における明暗の時間的変化を
観測しても同様に物理量の変化を測定できる。
光を合致させて観測すると、センサ光路周囲の物理的条
件の変化により空間的に明暗の縞が移動するので、この
移動型を測定することにより測定対象である物理量の変
化を知ることが出来るものである。なお、明暗の縞の移
動を観測する代わりに一点における明暗の時間的変化を
観測しても同様に物理量の変化を測定できる。
ところで、この種装置において、測定対象である物理量
の変化が干渉の様子を変化せしめるのは、物理量の変化
がセンサ光路である光ファイバの屈折率および光路長に
影響を与えセンサ光路の位相に関する伝搬特性の変化を
誘起させるからであるが、実際には、電磁界振動面の変
化、伝搬モードのモード変換およびこれ°らに基づく強
度変化等、他の伝搬特性の変化を伴うことが多い。
の変化が干渉の様子を変化せしめるのは、物理量の変化
がセンサ光路である光ファイバの屈折率および光路長に
影響を与えセンサ光路の位相に関する伝搬特性の変化を
誘起させるからであるが、実際には、電磁界振動面の変
化、伝搬モードのモード変換およびこれ°らに基づく強
度変化等、他の伝搬特性の変化を伴うことが多い。
この種装置において干渉以外の要因によって強度変化が
起こるということは、明暗の干渉縞のコントラストが変
化することを意味し、雑音として作用する。特に、一点
における明暗の時間的変化を観測する場合には、明暗の
変化が干渉の影響によるものか干渉以外の要因の影響に
よるものかの識別は困難であり、物理量変化の厳密な測
定をすることができるというこの種装置の特徴を十分に
生かすことができなかった。
起こるということは、明暗の干渉縞のコントラストが変
化することを意味し、雑音として作用する。特に、一点
における明暗の時間的変化を観測する場合には、明暗の
変化が干渉の影響によるものか干渉以外の要因の影響に
よるものかの識別は困難であり、物理量変化の厳密な測
定をすることができるというこの種装置の特徴を十分に
生かすことができなかった。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、光ファイバを光路とするマツハ
ツエンダ干渉計を利用した計測装置において、雑音とし
ての強度変化を除去して位相変化のみを抽出し、測定対
象である物理量の変化を正確に知ることができる装置を
提供することにある。
の目的とするところは、光ファイバを光路とするマツハ
ツエンダ干渉計を利用した計測装置において、雑音とし
ての強度変化を除去して位相変化のみを抽出し、測定対
象である物理量の変化を正確に知ることができる装置を
提供することにある。
かかる目的を達成するために本発明は、光ファイバを光
路とするマツハツエンダ干渉計において、センサ光路お
よびリファレンス光路を通過するそれぞれの光の強度を
それぞれ第1の強度信号および第2の強度信号として取
り出し、センサ光路およびリファレンス光路を通過する
光を互いに干渉させた光の強度を干渉信号として取り出
し、干渉信号と第1.第2の強度信号とに基づいて所定
の演算を行なうことにより干渉信号から干渉による強度
変化以外の強度変化要素を除去するものである。
路とするマツハツエンダ干渉計において、センサ光路お
よびリファレンス光路を通過するそれぞれの光の強度を
それぞれ第1の強度信号および第2の強度信号として取
り出し、センサ光路およびリファレンス光路を通過する
光を互いに干渉させた光の強度を干渉信号として取り出
し、干渉信号と第1.第2の強度信号とに基づいて所定
の演算を行なうことにより干渉信号から干渉による強度
変化以外の強度変化要素を除去するものである。
以下、実施例と共に本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
光源10はコヒーレント光を照射する。分岐手段12は
、光源10からのコヒーレント光を2つの光束に分岐し
、それぞれをセンサ光路14とリファレンス光路16に
振り分ける。
、光源10からのコヒーレント光を2つの光束に分岐し
、それぞれをセンサ光路14とリファレンス光路16に
振り分ける。
センサ光路14およびリファレンス光路16はいずれも
光ファイバにより構成されており、他方の端部はハーフ
ミラ−18および20と対向している。
光ファイバにより構成されており、他方の端部はハーフ
ミラ−18および20と対向している。
セ/ザ光路i4の中央部は、測定部22として被測定雰
囲気中に置かれ、測定対象である物理量の変化を光路の
伝搬特性の変化に変換する。
囲気中に置かれ、測定対象である物理量の変化を光路の
伝搬特性の変化に変換する。
一方、リファレンス光路16はセンサ光路14と同一の
光路長にされると共に安定した雰囲気の中に置かれてい
る。
光路長にされると共に安定した雰囲気の中に置かれてい
る。
ハーフミラ−18は、センサ光路14から射出された光
を受けて透過光と反射光に分割し、透過光を検出器24
に投光し、反射光を検出器26に投光する。
を受けて透過光と反射光に分割し、透過光を検出器24
に投光し、反射光を検出器26に投光する。
同様に、ハーフミラ−20は、リファレンス光路16か
ら射出された光を受けて透過光と反射光に分割し、透過
光を検出器28に投光し、反射光を検出器26に投光す
る。
ら射出された光を受けて透過光と反射光に分割し、透過
光を検出器28に投光し、反射光を検出器26に投光す
る。
検出器26では、ハーフミラ−18からの反射光とハー
フミラ−20からの反射光とが重ね合わせられ、検出器
26はこの重畳された光を二乗検波してこの光の強度を
検出し、干渉信号S1として出力する。ただし、この干
渉信号には、干渉に基づく強度変化すなわち2つの光束
の位相差に基づく強度変化だけでなく、測定部22での
直接的な影響による強度変化も含まれている。
フミラ−20からの反射光とが重ね合わせられ、検出器
26はこの重畳された光を二乗検波してこの光の強度を
検出し、干渉信号S1として出力する。ただし、この干
渉信号には、干渉に基づく強度変化すなわち2つの光束
の位相差に基づく強度変化だけでなく、測定部22での
直接的な影響による強度変化も含まれている。
検出器24および28は、それぞれハーフミラ−1Bお
よび20からの透過光を受光して二乗検波し、その強度
を検出してそれぞれ強度信号52゜S3として出力する
。
よび20からの透過光を受光して二乗検波し、その強度
を検出してそれぞれ強度信号52゜S3として出力する
。
検出器24.26および28の出力信号線はいずれも演
算装置30に接続されており、演算装置30ではこれら
の検出器の出力信号に基づいて後述する所定の演算を行
ない、異なる光路を通過した2つの光束の位相差変化の
みを示す信号を出力する。
算装置30に接続されており、演算装置30ではこれら
の検出器の出力信号に基づいて後述する所定の演算を行
ない、異なる光路を通過した2つの光束の位相差変化の
みを示す信号を出力する。
つぎに、本実施例の動作を演算装置30における演算過
程を中心に説明する。
程を中心に説明する。
リファレンス光路16のハーフミラ−20側端部におけ
る光の複素振幅をAexp(jφ「)とすると、センサ
光路I4のハーフミラ−18側端部における光の複素振
幅は、測定部22を通過するため位相および強度の変化
を受けてKAexp(jφS)となる、ここで、Aは光
源により定まる定数、φrおよびφSは位相、には測定
部22における強度変化要素である。
る光の複素振幅をAexp(jφ「)とすると、センサ
光路I4のハーフミラ−18側端部における光の複素振
幅は、測定部22を通過するため位相および強度の変化
を受けてKAexp(jφS)となる、ここで、Aは光
源により定まる定数、φrおよびφSは位相、には測定
部22における強度変化要素である。
検出器26には、ハーフミラ−18および20双方から
の反射光が入射するため、ここでの入射光の複素振幅は (’A Aexp(jφr) + ’A K Aexp
(jφs))となる。
の反射光が入射するため、ここでの入射光の複素振幅は (’A Aexp(jφr) + ’A K Aexp
(jφs))となる。
複素振幅Δexp(jφ)なる光の強度を求めることは
、Aexp(jφ)とその複素共役Aexp(−jφ)
との積をとることにほかならない。
、Aexp(jφ)とその複素共役Aexp(−jφ)
との積をとることにほかならない。
したがって、複素振幅
(HAexp(jφr) + ’A K Aexp(j
φs))の強度■1は次のようになる。
φs))の強度■1は次のようになる。
1+= ((%Aexp(jφr) + ’A K A
exp(jφ5))X (’A Aexp(−jφr)
+ ’A K Aexp(−jφS))〕= (!4
A)”X−(exp(jφr) + Kexp(jφ5
))x (cxp(−jφr) + Kexp(−jφ
、))= (HA)”X (1+K” +K (exp
(j(φr−φS)+exp(−j (φr−φ5))
) =(〃AνX (1+K” + 2 Kcos(φr−
φs))・ ・ ・ ・(1) 一方、検出器24が入射する光の複素振幅は、’A K
Aexp(jφS)であるから、その強度I2は、I
z=1/4 A” −K” ・・・・(
2)となり、検出器28が入射する光の複素振幅は、%
Aexp(jφr)であるから、その強度■、は、I、
=174 Az ・ ・ ・
・(3)となる。
exp(jφ5))X (’A Aexp(−jφr)
+ ’A K Aexp(−jφS))〕= (!4
A)”X−(exp(jφr) + Kexp(jφ5
))x (cxp(−jφr) + Kexp(−jφ
、))= (HA)”X (1+K” +K (exp
(j(φr−φS)+exp(−j (φr−φ5))
) =(〃AνX (1+K” + 2 Kcos(φr−
φs))・ ・ ・ ・(1) 一方、検出器24が入射する光の複素振幅は、’A K
Aexp(jφS)であるから、その強度I2は、I
z=1/4 A” −K” ・・・・(
2)となり、検出器28が入射する光の複素振幅は、%
Aexp(jφr)であるから、その強度■、は、I、
=174 Az ・ ・ ・
・(3)となる。
演算装置30に人力される干渉信号St、強度信号S2
. S3は、それぞれ強度T、、 It、 13を示す
信号であるから ■S3を4倍してその平方根をとれば、Aを算出でき、 ■S2を33で除してその平方根をとれば、Kを算出で
き、 ■S1からS2およびS3を滅じた後、■■の結果を利
用して!4A”Kで除すればcos (φr−φS)を
算出できる。
. S3は、それぞれ強度T、、 It、 13を示す
信号であるから ■S3を4倍してその平方根をとれば、Aを算出でき、 ■S2を33で除してその平方根をとれば、Kを算出で
き、 ■S1からS2およびS3を滅じた後、■■の結果を利
用して!4A”Kで除すればcos (φr−φS)を
算出できる。
cos (φr−φS)は、センサ光路14とリファレ
ンス光路16を通った光の位1目差の余弦であり、この
値の変化から干渉による強度変化のみを知ることができ
、したがって、測定部22における物理量変化を正確に
検出することができる。
ンス光路16を通った光の位1目差の余弦であり、この
値の変化から干渉による強度変化のみを知ることができ
、したがって、測定部22における物理量変化を正確に
検出することができる。
第2図は本実施例装置を温度検出用として用いた場合の
概略構成図であり、第1図と同一部分に同一符号を何し
である。
概略構成図であり、第1図と同一部分に同一符号を何し
である。
センサ光路としての光ファイバ14をコイル状に巻いて
、測定部22に挿入している状態をしめしている。この
ようにセンサ光路をコイル状に巻くのは、被測定雰囲気
の中に置かれる光路長を長くするためであり、このよう
にすることによって、検出力を高めることができる。
、測定部22に挿入している状態をしめしている。この
ようにセンサ光路をコイル状に巻くのは、被測定雰囲気
の中に置かれる光路長を長くするためであり、このよう
にすることによって、検出力を高めることができる。
リファレンス光路としての光ファイバ16がコイル状に
巻かれているのは、センサ光路とその光路長を等しくす
るために他ならない。
巻かれているのは、センサ光路とその光路長を等しくす
るために他ならない。
第3図は本実施例装置を圧力検出用として用いた場合の
部分構成図である。
部分構成図である。
測定部22において、測定対象である圧力によリセンサ
光路である光ファイバ14にマイクロベントラ与え、マ
イクロベントによる伝搬特性の変化を検出すれば圧力変
化を計測することができる。
光路である光ファイバ14にマイクロベントラ与え、マ
イクロベントによる伝搬特性の変化を検出すれば圧力変
化を計測することができる。
第4図は本発明の他の実施例を示すブロック図である。
同図において、第1図と同一もしくは相当部分には同一
の符号をふしてその詳細な説明は省略する。
の符号をふしてその詳細な説明は省略する。
本実施(;iでは、センサ光路14およびリファレンス
光路16に光シャッタ40および42を設けると共に、
この光シャッタ40./12を切り換えて干渉信号St
および強度信号S2. S3を時分割に検出するもので
ある。
光路16に光シャッタ40および42を設けると共に、
この光シャッタ40./12を切り換えて干渉信号St
および強度信号S2. S3を時分割に検出するもので
ある。
制御演算部44はシャッタドライバ441.タイミング
制御手段442.バッファ443および演算装置444
を具備する。
制御手段442.バッファ443および演算装置444
を具備する。
シャッタドライバ441はタイミング制御手段442か
らの信号によって、光シャッタ40.42を駆動するわ
けであるが、まず、双方の光シャッタ40.42を開放
すると、検出器26で2光束が干渉し、検出器26は干
渉信号Stをバッファ443に対して出力する。
らの信号によって、光シャッタ40.42を駆動するわ
けであるが、まず、双方の光シャッタ40.42を開放
すると、検出器26で2光束が干渉し、検出器26は干
渉信号Stをバッファ443に対して出力する。
つぎに、光シャッタ40をそのまま開放しておき、光シ
ャッタ42のみを閉じる。すると、検出器26の受光部
にはセンサ光路14を通過した光だけが照射されるため
、検出器26の出力信号はセンサ光路14を通過した光
の強度信号S2としてバッファ443に入力される。
ャッタ42のみを閉じる。すると、検出器26の受光部
にはセンサ光路14を通過した光だけが照射されるため
、検出器26の出力信号はセンサ光路14を通過した光
の強度信号S2としてバッファ443に入力される。
つぎに、光シャッタ40を閉じξ光シャッタ42を開く
と検出器26の出力信号はリファレンス光路16を通過
した光の強度信号S3としてバッファ443に人力され
る。
と検出器26の出力信号はリファレンス光路16を通過
した光の強度信号S3としてバッファ443に人力され
る。
以上で、1サイクル−の光検出動作が終了し、バッファ
443から干渉信号S12強度信号S2. S3が演算
装置444に入力されて上述した第1実施例の演算装置
30における演算と同様の演算を行なうことにより、c
os(φr−φS)の値を算出することができる。ただ
し、本実施例における干渉信号SL、強度信号S2.
S3は前述の第1実施例における干渉信号S1.強度信
号S2.33のそれぞれ22倍すなわち4倍となってい
る。
443から干渉信号S12強度信号S2. S3が演算
装置444に入力されて上述した第1実施例の演算装置
30における演算と同様の演算を行なうことにより、c
os(φr−φS)の値を算出することができる。ただ
し、本実施例における干渉信号SL、強度信号S2.
S3は前述の第1実施例における干渉信号S1.強度信
号S2.33のそれぞれ22倍すなわち4倍となってい
る。
この値から測定部22における物理量変化を知ることが
できることは第1実施例と同様である。
できることは第1実施例と同様である。
なお、光シャフタにメカニカルシャッタを用いれば数m
sのスイッチングは容易にでき、通常の物理量変化を知
るには十分であるが、さらに高速な減少を測定するには
光シャックに光スイフチまたは光変調器等を用いればよ
く、たとえば音響光学変調器によれば1μs程度のスイ
ッチングが可能ある。
sのスイッチングは容易にでき、通常の物理量変化を知
るには十分であるが、さらに高速な減少を測定するには
光シャックに光スイフチまたは光変調器等を用いればよ
く、たとえば音響光学変調器によれば1μs程度のスイ
ッチングが可能ある。
以上説明したように、本発明の光学式計測装置によれば
、センサ光路およびリファレンス光路を通過するそれぞ
れの光の強度を強度信号として取り出し、センサ光路お
よびリファレンス光路を通過する光を互いに干渉させた
光の強度を干渉信号として取り出し、干渉信号と強度信
号とに基づいて所定の演算を行なうことに−より干渉信
号から干渉による強度変化以外の強度変化要素を除去す
るので、センサ光路を通過する光とリファレンス光路を
通過する光の位相差の余弦を抽出することができ、種々
の物理量変化を極めて正確に検出することができる。
、センサ光路およびリファレンス光路を通過するそれぞ
れの光の強度を強度信号として取り出し、センサ光路お
よびリファレンス光路を通過する光を互いに干渉させた
光の強度を干渉信号として取り出し、干渉信号と強度信
号とに基づいて所定の演算を行なうことに−より干渉信
号から干渉による強度変化以外の強度変化要素を除去す
るので、センサ光路を通過する光とリファレンス光路を
通過する光の位相差の余弦を抽出することができ、種々
の物理量変化を極めて正確に検出することができる。
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
本実施例装置を温度検出用として用いた場合の概略構成
図、第3図は本実施例装置を圧力−検出用として用いた
場合の部分構成図、第4図は本発明の他の実施例を示す
プロ、り図である。 10・・・光源、12・・・分岐手段、14・・・セン
サ光路、16・・・リファレンス光路、18.20・・
・ハーフミラ−122・・・測定部、24,26.28
・・・検出器、30,444・・・演算装置、40.4
2・・・光シャッタ。
本実施例装置を温度検出用として用いた場合の概略構成
図、第3図は本実施例装置を圧力−検出用として用いた
場合の部分構成図、第4図は本発明の他の実施例を示す
プロ、り図である。 10・・・光源、12・・・分岐手段、14・・・セン
サ光路、16・・・リファレンス光路、18.20・・
・ハーフミラ−122・・・測定部、24,26.28
・・・検出器、30,444・・・演算装置、40.4
2・・・光シャッタ。
Claims (2)
- (1)光ファイバを光路とするマッハツェンダ干渉計に
おいて、センサ光路およびリファレンス光路を通過する
それぞれの光の強度をそれぞれ第1の強度信号および第
2の強度信号として取り出し、センサ光路およびリファ
レンス光路を通過する光を互いに干渉させた光の強度を
干渉信号として取り出し、干渉信号と第1、第2の強度
信号とに基づいて所定の演算を行なうことにより干渉信
号から干渉による強度変化以外の強度変化要素を除去す
ることを特徴とする光学式計測装置。 - (2)干渉信号と第1、第2の強度信号とを同一の検出
器により時分割に取り出す特許請求の範囲第1項記載の
光学式計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15901284A JPS6138505A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 光学式計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15901284A JPS6138505A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 光学式計測装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6138505A true JPS6138505A (ja) | 1986-02-24 |
Family
ID=15684312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15901284A Pending JPS6138505A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 光学式計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6138505A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01272905A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-31 | Agency Of Ind Science & Technol | 強度補正型干渉計 |
JPH06160045A (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-07 | Egawa:Kk | 電磁波干渉縞の不要光除去方法および電磁波干渉縞を用いた測定方法 |
JPH0726802B2 (ja) * | 1988-02-24 | 1995-03-29 | ヒューズ・エアクラフト・カンパニー | 櫛形フィルタを用いる圧力/温度検出システム |
US6081335A (en) * | 1997-06-25 | 2000-06-27 | Nec Corporation | Phase difference measuring device with visible light source for providing easy alignment of optical axes and method therefor |
EP1065539A2 (en) * | 1999-06-23 | 2001-01-03 | Thomas & Betts International, Inc. | Optical fiber mach-zehnder interferometer employing miniature bends |
CN105424219A (zh) * | 2015-12-08 | 2016-03-23 | 北京无线电计量测试研究所 | 一种基于马赫曾德尔干涉仪的光纤锥传感器及其制备方法 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15901284A patent/JPS6138505A/ja active Pending
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EP1065539A3 (en) * | 1999-06-23 | 2004-02-25 | Thomas & Betts International, Inc. | Optical fiber mach-zehnder interferometer employing miniature bends |
CN105424219A (zh) * | 2015-12-08 | 2016-03-23 | 北京无线电计量测试研究所 | 一种基于马赫曾德尔干涉仪的光纤锥传感器及其制备方法 |
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