JPS6137884A - 電界発光素子 - Google Patents

電界発光素子

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JPS6137884A
JPS6137884A JP15882784A JP15882784A JPS6137884A JP S6137884 A JPS6137884 A JP S6137884A JP 15882784 A JP15882784 A JP 15882784A JP 15882784 A JP15882784 A JP 15882784A JP S6137884 A JPS6137884 A JP S6137884A
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JP15882784A
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Takeshi Eguchi
健 江口
Harunori Kawada
河田 春紀
Yukio Nishimura
征生 西村
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、電界発光を行なう電界発光素子[エレクトロ
ルミネッセンス(E L)素子]に関し、〈わしくは、
独立した2つの発光層を有し、これらのそれぞれを個々
に制御することにより、発光の色調や強度等を自由に制
御することができ、しかも、十分な輝度を有するEL素
子に関する。
〔従来技術〕
EL素子は、一般にEL機能を有する材料、すなわち電
界内に置かれた際に光を発する機能を有する材料を含む
発光層を2つの電極間に配置した構造を有し、これら電
極間に電圧を印加することにより電界を発生させて電気
エネルギーを直接光に変換して光を発生する発光素子で
あり、例えば白熱電球のようにフィラメントを白熱させ
て発光させる、あるいは蛍光灯のように電気的に励起し
た気体が蛍光体にエネルギーを付与して発光させるなど
の従来の発光方式とは異なり、薄型のパネル状、ベルト
状、円筒状等の種々の形状の例えば、ランプや線、図、
画像等の表示に用いる表示媒体の構成部材として、ある
いは大面積のパネルランプ等の発光体を実現化できる可
能性を有するものとして注目されている。
EL素子に用いられるEL機能を有する材料としては、
従来、Mn、CuまたはReF3 (Reは希土類を表
わす)等を賦活剤として含むZnS等のsja金属材料
が主に使用されてきており、また、最近では、特開昭5
8−172891公報により、アントラセン、ピレン若
しくはペリレンまたはこれらの誘導体を発光層用材料と
して用いたEL素子が知られているように、種々の薄膜
形成法により精度良い薄膜の形成が可能である有機化合
物材料がEL素子用の材料として注目されている。
このようなEL素子の発する光の色は、主に、発光層に
使用する材料を適宜選択して組合わせたり、電界の強度
を変化させたりして制御することが可能である。
しかしながら、現在知られているEL素子の発光層を形
成することのできる材料を用いてEL素子を形成した場
合、発光の色や強度がある程度限られてしまい、しかも
1つのEL素子に於いて、発光色を大きく変化させたり
、色調を微妙に調節したり、発光の強弱を自由に制御す
ることはほぼ困難であった。
一方、上記のZnSを主体とする無機金属材料を用いて
蒸着法等の薄膜形成法により薄膜の発光層を形成し、い
わゆる薄膜型のEL素子を製造した場合、製造コストが
非常に高くなってしまうという問題があり、また大面積
の均一な薄膜からなる発光層の形成が非常に困難である
ため、品質の良い大面積のEL素子を量産性良く製造す
ることはできなかった。
これに対して、量産性に富み、コスト的に有利であるE
L素子として、上記のZnSを主体とするEL無機材料
を有機バインダー中に分散して発光層を形成した真性E
L方式の有機粉末型EL素子が知られている。
ところが、この粉末型のEL素子に於いては、層厚を薄
く形成すると、その発光層にピンホール等の欠陥が生じ
易く、発光特性を十分に高めるために、発光層の層厚を
一定以上薄くするには構造上の限界があり、十分な発光
、特に高い輝度を得ることができず、また層厚が比較的
厚くなるので、より強い電界を発生させるために、電力
消費が多くなるなどの問題点を有していた。この粉末型
のEL素子の有する発光層内に、より強い電界を発生さ
せるためにフッ化ビニリデン系重合体からなる中間誘電
体層を設けた改良型の粉末型EL素子が、特開昭58−
172H1公報によって知られているが、輝度、電力消
費等に於いて満足のいく性能が得られていないのが現状
である。
前記のアントラセン等の有機材料を用いた、このEL素
子に於いても、発光層が精度良い薄膜として形成されて
はいるものの、キャリアーである電子あるいはホールの
密度が非常に小さく、キャリアーの移動や再結合等によ
る機能分子の励起確率が低く、効率の良い発光が得られ
ず、特に電力消費や輝度の点で満足できるものとなって
いないのが現状である。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、1つのEL素子に於いて発光色を大き
く変化させたり、色調を微妙に調節したり、発光の強弱
を自由に制御することが可能な構造を有する新規なEL
素子を提供することにある。
本発明の他の目的は、EL素子用の種々の材料を適宜選
択し、その材料に最適な薄膜形成法を組合わせて形成す
ることができ、発光効率が良好であり、低電圧駆動でも
十分な輝度が得られ、安価でかつ製造容易な構造を有す
る新規なEL素子を提供することにある。
〔発明の構成〕
すなわち、本発明の電界発光素子は、少なくとも一方が
透明である2つの電極層と、これら2つの電極層間に設
けられた、2つの発光層と、これら2つの発光層間に設
けられた透明または半透明な電極層とを有してなるもの
であり、一対の電極層間に設けられた2つの独立した発
光層が積層された構造を有し、それぞれの発光層を個々
に制御して発光の色や強度を所望に応じて変化させるこ
とが可能であり、また十分な輝度を有する発光を行なう
ことのできるものである。
以下、図面を用いて本発明のEL素子の一例を詳細に説
明する。
第1図は、本発明のEL素子の模式的断面図である。
1.2及び3は電圧が印加されることによって電界を発
生させるための電極層であり、■は発光層4と発光層5
とで発生した光が合成されて取り出される透明な電極層
である。4及び5は、EL機能を有する発光層であり、
発光層4は、電極層lと3によって発生した電界により
発光し、発光層5は電極層2と3によって発生した電界
により発光する。従って、電極層3は発光層4と5とに
対して共通電極となっており、発光層5で発生した光を
発光層4側へ透過させる機能を有し、透明でも、主に発
光層4側へのみ光を透過させるような半透明な層でも良
い。
なお、第1図に示した本発明のEL素子の一例に於いて
は、電極層l及び電極層2のうち電極層1が透明電極と
して設けられているが、電極層2のみが、あるいはこれ
ら両方が透明であっても良い。電極層2のみが透明であ
る場合には、電極層3は、少なくとも発光層4から発光
層5側へ光を透過させる機能を有するように設けられ、
また電極層l及び電極層2の両方が透明である場合には
、電極層3は発光層4から発光層5側へ光を透過させる
とともに、これと逆方向にも光を透過できるように設け
られる。
発光層4と発光層5は、それぞれが同様の機能を有する
ものであっても良く、例えば発光色や輝度が異なるよう
に、それぞれが異なる機能を有するものであっても良い
以下、本発明のEL素子の有する発光層4及び発光層5
の基本的構造について説明する。
発光層4.5は、主に相対的に電子受容性を示す有機化
合物を含む第1の層と、主に相対的に電子供与性を示す
有機化合物を含む第2の層と、電気絶縁性を有する第3
の層とを有し、これらの層が、前記83の層上に前記第
1の層、第2の層及び第3の層がこの順に2回以上繰り
返されて積層された構造を有するものである。
すなわち本発明のEL素子の有する発光層は、相対的に
電子受容性を示す有機化合物(以後EA化合物と略称す
る)と、相対的に電子供与性を示す有機化合物(以後E
D化合物と略称する)が互いに接触する位置に配置され
た構造を有し、これら化合物が電界中に置かれた時のこ
れら化合物間の電子の授受に伴なう励起錯体の形成に基
づく発光作用を主な発光源として有するものであり、し
かもこのような励起錯体が電界の発生とともに効率良く
形成されるのに好適な構造を有するものである。
このような構造の発光層の一例を第2図の模式的断面図
に示す。
25.26は電圧が印加されることによって電界を発生
させるための電極層であり、 20はEL機能を有する
発光層である。第2図に示された電極層のうち、電極層
25は、第1図に示した本発明のEL素子の電極層3に
、また電極層2Bは該EL素子の電極層1または2にそ
れぞれ相当する。
発光層20は、上下両端に積層された絶縁層として機能
する第3の層23−1.23−3の間に、第1の層21
−1.21−2、第2の層22−1.22−2及び第3
の層23−2が交互に繰返されて積層された多層構造と
なっている。
発光層の有する第1の層21−1は、第2の層22−1
に主に含まれる前述したED化合物に対してEA化合物
となり得る化合物を含み、この第1の層21−1に直接
接して積層された第2の層22−1は、第1の層21−
1に主に含まれたEA化合物に対してED化合物となり
得る化合物を含み、これら第1の層21−1と第2層2
2−1の界面24−1がEA化合物とED化合物との接
触面となっている。第1の層21−2と第2の層22−
2の関係もこれと同様であり、これらの層によって界面
24−2が独自に形成されている。
これらの界面24−1.24−2に於いて、電極l、2
に電圧が印加されて発光層3に電界がかけられたときに
、EA化合物とED化合物が励起状態にある錯体を形成
し、この励起錯体が基底状態に戻る際に、励起状態にあ
る錯体、EA化合物及び/またはED化合物から励起エ
ネルギーが光として発生される。このように、本発明の
EL素子に於ける発光は、この界面24−1.24−2
に於ける発光を主な発光源とするものである。
本発明のEL素子の有する発光層を構成する第1の層2
1−1.21−2及び第2の層22−1.22−2は、
以下に示すような電界励起錯体の形成に直接関与する化
合物分子を、または該化合物分子の少なくとも1つを機
能性部分として有する化合物分子を含有している。
このような電界励起錯体の形成に直接関与する化合物分
子の発光層20内の配置としては、以下のような組み合
わせを代表的なものとして挙げることができる。
(a)第1の層21−1.21−2と第2の層22−1
.22−2のそれぞれに励起錯体形成に基づ<EL機能
を有する(主に発光を行なう)化合物分子が配置されて
いる。
(b)第1の層21−1.21−2に励起錯体形成に基
づ<EL機能を有する化合物分子が配置され、これら化
合物分子に対して電子供与体となり得る化合物(ED化
合物)分子がそれぞれ第2の層22−1.22−2に配
置されている。
(C)第2の層22−1.22−2に励起錯体形成に基
づ<EL機能を有する化合物分子が配置され、これら化
合物に対して電子受容体となり得る化合物(EA化合物
)分子がそれぞれ第1の層21−1.21−2に配置さ
れている。
上記の励起錯体形成に基づ<EL機能を有する化合物と
しては、高い発光量子効率を持ち、外部摂動を受は易い
π電子系を有し、容易に電界励起する有機化合物が好適
に用いられる。
このような化合物としては、例えば縮合多環芳香族炭化
水素、p−ターフェニル、2,5−ジフェニルオキサゾ
ール、1.4−bis−(2−メチルスチリル)−ベン
ゼン、キサンチン、クマリン、アクリジン、シアニン色
素、ベンゾフェノン、フタロシアニン、フタロシアこン
の金属錯体、ポルフィリン、ポルフィリンの金属錯体、
8−ヒドロキシキノリン、8−ヒドロキシキノリンの金
属錯体、ルテニウム錯体、稀土類錯体及びこれらの化合
物の誘導体、並びに上記以外の複素環式化合物及びその
誘導体、芳香族アミン、芳香族ポリアミン及びキノン構
造を有する化合物のなかで励起錯体形成に基づ<ELM
能を有する化合物を挙げることができ、これら化合物の
中から、相対的にEA化合物となり得るもの1種以上と
、ED化合物となり得るもの1種以上とを所望に応じて
選択して組み合わせ、蒸着法、CVD法   ゛   
 、金等の薄膜形成法を適宜適用して、前記し戸第1の
層と第2の層の構成(a)を有する発光層を形成するこ
とができる。
更に、上記の励起錯体形成に基づ<EL機能を有する化
合物に対して電子受容体または電子供与体となり得る化
合物としては、上記した化合物以外の複素環式化合物及
びその誘導体、芳香族アミン、芳香族ポリアミン、キノ
ン構造を有する化合物、テトラシアノキノジメタン並び
にテトラシアノエチレン等を挙げることができ、先に挙
げた化合物とこれら化合物とを適宜選択して組み合わせ
て、前記した第1の層と第2の層の構成(b)または(
c)を有する発光層を形成することができる。
更に、第1の層と第2の層の形成に使用することのでき
る上記化合物の誘導体としては、以下のような構造式の
化合物を挙げることができる。
なお、以下に示す構造式に於いて、X及びYは、先に挙
げたような親木基を表すが、1分子内にこれらが両方存
在する時は、どちらか一方が親木基であれば良く、その
ような場合は他の一方は水素となる。また、Wは先に挙
げたような疎水基を表し、Rは炭素数4〜30程度、好
ましくは10〜25程度の直鎖状若しくは側鎖を有する
アルキル基を表わす。
5.6゜ 6≦m+n 7.8゜ 9.10゜ ■3 15゜ 19・               20゜21、 
                 22゜(OH2)
nX 6≦n≦20 28゜ OH3 24゜ 0≦n≦2 25゜ 3r−26、 M=:H2、Ee 、Mg + G’a + Cd +
 5rAlC1,YbCl ”      M =Er 、 Sm、Eu 、Gd 
、Tb 、Dy 、Tm、YbR1,R2Ra= @人
トOF3.H。
憐−aH3,−t−Bu 34゜ M =E r + Sm + E u + Gd + 
T b HDy t Trn + YbM=Er、Sm
、Eu、Gd、Tb、Dy、Tm、YbR+ −H,−
CH3I −CF3 +((う36、        
37.          as。
4.1゜ 42゜ 43・                44゜6o、
                61゜62゜ RR (35,66゜ 69、               70゜OR 71、72゜ 73、              74゜77、  
              78゜84、     
         85゜88゜ R これらの化合物の中でAfL1〜f35の構造式の化合
物は、先に挙げた励起錯体の形成に直接関与することの
できる化合物のうち励起錯体の形成に基づ<EL機能を
有する化合物を疎水基及び/または親木基によって修飾
したものである。なお、正42〜A54及び正85〜.
/1813の構造式の化合物は、励起錯体の形成に直接
関与する部分にアルキル鎖が直接結合した構造を有する
ものであるが、アルキル鎖の結合は、例えばエーテル結
合、カルボニル基を介した結合等によるものであっても
良い。
なお、これまで挙げた機能性部分を形成することのでき
る化合物は、励起錯体形成に基づかない発光を行なう機
能を備えた化合物であっても良く、本発明のEL素子に
於ける発光は、第1の層と第2の層の界面24−1.2
4−2に於ける発光のみに限定されるものではなく、第
1の層21−1.21−2及び/または第2の層22−
1.22−2内に於いて発光が行なわれる場合をも含む
ものであっても良い。
また、第1の層21−1.21−2にはEA化合物の他
に、該EA化合物との電気化学的相互作用によりEA化
合物の電界励起効率を高めたり、発光色等を制御したり
、あるいは第1の層の強度を高めたり、他の層との接着
性を向上させるなどのための他の成分を含有させても良
く、第2の層についてもこれと同様にED化合物以外の
化合物を含有したものであっても良い。これらのEA化
合物及びED化合物以外の化合物自身もまた、EL@能
を有するものであっても良い。
EA化合物あるいはED化合物との電気化学的相互作用
によりEA化合物の電界励起効率を高めることのできる
ものとしては、EA化合物に対して電子受容体または電
子供与体となり得る化合物、ED化合物に体して電子受
容体または電子供与体となり得る化合物等を挙げること
ができる。
このような、化合物としては前記した励起錯体の形成に
基づ<EL機能を有する(主に発光を行なう)化合物、
該化合物に対して電子供与体若しくは電子受容体となり
得る化合物、励起エネルギー移動により、発光体となり
得る化合物及びこれら化合物分子を機能性部分として少
なくとも1つ有する化合物等を挙げることができ、第1
の層 ・及び第2の層を形成する際には、これらの化合
物の1種以上を、第1の層及び第2の層の主成分として
用いられる化合物(EA化合物及びED化合物)に応じ
て適宜選択して用いることができる。
このような化合物を第1の層及び/または第2の層に含
有させる場合の混合量は、第1の層及び第2の層に用い
られる化合物に応じて異なり、−概には規定できないが
、通常、EA化合物に対して電子受容体または電子供与
体となり得る第1の層に含まれる化合物については、E
A化合物に対して、10モル%〜0.1モル%、またE
D化合物に対して電子受容体または電子供与体となり得
る第2の層に含まれる化合物については、10モル%〜
0.1モル%程度とされる。
本発明のEL素子の有する発光層のもう1つの層である
第3の層23−1.23−2.23−3は、絶縁性を有
する層であり、特に第3の層23−1.23−3は木発
明のEL素子のコンデンサー構造の絶縁性を高める機能
を有し、第3の層23−2は、電子の移動を必要最小限
の領域内に閉じ込め、効率良い電子の授受による発光を
行なわせる機能を有する。これら第3の層は、精度良い
均一な絶縁層を形成することのできる5i02等の無機
化合物、あるいは一般式; %式%) (上記式中に於いてnは、 lO≦n≦30であり、X
は −GODH,−CONH4、−GOOR,−N寸(
CH3)3  ・ Gl−。
等の基を表わす)で示される化合物等を挙げることがで
き、これらの材料の1種以上を用いて、蒸着法、CVD
法の薄膜形成法を用いて形成することができる。
なお、これまで第2図及び第3図を用いて第1の層と第
2の層によって形成された界面を2つ有する本発明のE
L素子について説明してきたが、本発明のEL素子の有
する発光層2oの界面の数は、これに限定されることな
く、3つ以上であっても良い。
以上のような構造の本発明のEL素子の発光層20を形
成する各層の層厚は、EL素子の有する界面の数や各層
自身の構成によっても各々異なるが、第1の層について
は、500A以下、好ましくは200A以下、第2の層
については、500 A以下、好ましくは200A以下
、第3の層については、500A以下、好ましくは20
0八以下、更に発光層全体の層厚としては、5oaoJ
L11以下、好ましくは3000八以下とするのが低電
圧駆動に於いても良好な発光状態を得るために望ましい
以上、第2図及び第3図を用いて説明した構造の発光層
20から、本発明EL素子が所望のEL機能を有するよ
うに、同一の機能を有するものを2つ、あるいは発光色
や輝度が異なるような、異なる機能を有するものを2つ
選択し、発光層4及び発光層5として、本発明のEL素
子を形成することができる。
本発明のEL素子の有する2つの電極層l、2は、前述
したように少なくともどちらか一方が、光を取り出すた
めに透明電極として設けられる。
透明電極として電極層を形成する場合には、PMMA、
ポリエステル等のフィルムまたはシート、あるいはガラ
ス板等の透明な基板上にInO2、Sr+02、インシ
ュウムティンオキサイド(1,7,0)等を蒸着法等に
よって積層して、あるいはこれらの材料を発光層に直接
積層して形成することができる。
電極層3は、透明電極として、あるいは電極層の厚さ方
向の一方向のみに光を透過する半透明電極として設けら
れる。電極層3が透明電極として設けられる場合には、
前記した透明電極形成用材料を用いて、形成され□た発
光層4または発光層5上に形成すれば良い。電極層3が
半透明電極として設けられる場合には、光の透過方向を
考慮して、1.T、G、InO2,5n02 、Au等
の材料を用いて、形成された発光層4または発光層5上
に形成すれば良い。
また、透明でない電極層は、十分な導電性を有する通常
の電極を形成することのできる材料からなる薄板や、適
当な基板上に若しくは形成された発光層上に直接AI 
、 Ag、 Au等を蒸着法等によって積層して形成す
ることができる。
これら電極層の厚さは、0.01gm〜0.3犀程度、
好ましくは0.05−〜0.2岬程度とされる。
なお、本発明のEL素子の形状及び大きさは、所望によ
り種々の形状とすることができ、例えば透明電極を形成
するときの基板を発光層形成用基板とし、この基板とし
て板状、ベルト状、円筒状のものを用いる等して所望の
形状及び大きさとすることができる。また、3つの電極
層1.2.3は、所望により、種々の形状にパターンニ
ングされたものであっても良い。
以上のような構成の本発明EL素子に於いては、例えば
、該EL素子の2つの電極1,3間及び電極2.3間に
、例えば発光層4.5のそれぞれにI X 10S〜3
 X 100程度の電界がかかるように、直流または交
流、あるいはパルス電圧を印加することにより、良好な
発光を透明電極1を通じて得ることが↑きる。また、発
光層4と発光層5に発光色や輝度の異なる2つの発光層
用いて、電極1.3間の電圧と電極2.3間の電圧をそ
れぞれ独自に制御して透明電極1からの光の色及び強度
を広範囲にわたって変化させることもできる。
以上のような構造の本発明のEL素子は、蒸着法等の薄
膜形成法を用いて例えば以下のようにして形成すること
ができる。
まず、前述したような透明電極層の設けられている基板
上に前記した第3の層形成用材料を用いて所望の構成の
らなる第3の層を形成させ、更に前記した第1の層、第
2の層を形成することのできる材料を用いて所望の構成
の第1の層、第2の層をこの順に先に形成した第3の層
上に積層する。つぎにこの第2の層上に第3の層を積層
し、所望とする第1の層と第2の層の界面の数に応じて
、この第1の層〜第3の層の形成操作を2回以上繰返し
て発光層4を形成する。
このように発光層4が形成されたところで、発光層4の
最上部に位置する第3の層上に、Au等の金属を蒸着法
等によって積層して、半透明の電極層3を形成する。
更に、電極層3上に、発光層4の形成と同様にして、発
光層4と同一の材料を、あるいは異なる材料を用いて発
光層5を形成し、最後に発光層5の有する第3の層上に
、A1、Ag、 Au等の金属を蒸着法等によって積層
して、本発明のEL素子を形成することができる。
なお、2つの電極がともに透明である場合には、発光層
4.5形成用の透明基板に上述の材料によって透明電極
層を形成し、発光層5の形成が終了した後に透明電極層
を積層すれば良い。
本発明のEL素子の発光層の有する複数の第1の層は、
それぞれが同一の構成を有するものでも良く、複数の第
1の層のうち1つ以上の第1の層の構成が他の第1の層
の構成と異なるものであっても良く、これは第2の層及
び第3の層についても同様である。また、本発明のEL
素子を構成する各層間には、各層の接着性を高めるため
に、接着層を設けることもできる。更に本発明のEL素
子には、空気中の湿気や酸素による影響から素子を保護
するための保護構造を設けることが望ましい。
以上のような本発明のEL素子は、それぞれ独立して制
御可能な2つの発光層を有し、これら発光層を個々に制
御して、発光色を変化させたり、色調を微妙に調節した
り、発光の強弱を自由に制御することが可能となった。
更に、本発明のEL素子の有する発光層は、電気化学的
性質の異なる2つの層の界面で主に発光を行ない、しか
もそのような界面がEL素子の光の取り出し方向に対し
て複数設けられた構造を有し、光の取り出し面の単位あ
たりの発光量が従来のEL素子に比べて非常に増大した
ものとなった。
また、本発明のEL素子に於いては、主に発光を行なう
複数の界面について、該界面を構成する2つの層の構成
を界面ごとに変え、これらを組合わせて、発光色等を所
望に応じて制御することも可能となった。
これらに加えて、本発明のEL素子の有する発光層は、
主に有機化合物材料と、その材料に適した薄膜形成とが
組み合わせて形成され、上記のように発光を行なう界面
を複数有した多層構造となっているにもかかわらず、発
光層全体の層厚が薄く形成されており、低電圧駆動でも
効率良い発光状態が得られ、十分な輝度が得られるもの
となった。
更に、本発明のEL素子の発光層の各層は、主に種々の
有機化合物材料によって精度良い薄膜として簡易に形成
可能であり、本発明のEL素子を大面積のEL素子とし
て形成した場合でも、発光層が精度良く形成されたもの
となり、大面積のEL素子としても良好な機能を有し、
また本発明のEL素子は安価で量産性のあるEL素子と
なった。
以下、参考例及び実施例を用いて本発明のEL素子を更
に詳細に説明する。
参考例1 〔発光層遂lの形成〕 50II11角のガラス表面上にスパッタリング法によ
り膜厚1500Aの1.T、0層を形成して透明電極層
を有する発光層形成用の基板とし、更に該層上に膜厚1
(1(IOAの5i02膜をスパッタリング法により積
層し第3の層としての絶縁層とした。
この基板を抵抗加熱蒸着装置の蒸着槽内の所定の位置に
セットし、更に抵抗加熱ポート内にトリフ−ニルアミン
(+wp、 127℃)を入れ、該槽内をまず10’ 
Torrの真空度まで減圧した後、蒸着速度が2 A 
/seeとなるように抵抗加熱ポートに流れる電流を調
整し、200Aのトリフェニルアミンからなる蒸着層を
第1の層として、先に基板の透明電極層上に形成した第
3の層上に形成した。なお、蒸着時に於ける槽内の真空
度を9 X 104Torrに維持し、基板ホルダーの
温度は、20℃とした。
次に、トリフェニルアミンの代りに、アントラセン(I
IP、 218℃)を使用し、先の第1の層の形成と同
様にして300人のアントラセンからなる蒸着層を第2
の層として先に形成した第1の層上に形成した。
更に、アントラセンの代りに、ステアリン酸メチル(f
flP、 38℃)を使用し、先の第1の層の形成と同
様にして300 Aのステアリン酸メチルからなる蒸着
層を新たな第3の層として先に形成した第2の層上に形
成した。
以後、上記したトリフェニルアミンからなる第1の層か
らステアリン酸メチルからなる第3の層までの形成操作
をもう一度繰返し、第1の層と第2の層の界面を2つ有
する発光層遂1(層厚:約tsooA)を形成した。
参考例2 〔発光層成2の形成〕 参考例1に於いて用いたのと同様の基板の電極層上に、
参考例1と同様にして膜厚1000Aの5i02膜をス
パッタリング法により積層し第3の層としての絶縁層と
した。
このようにして第3の層を形成した後、電極基板を、そ
のまま蒸着槽内にセットしておき、更にアントラセン(
mp、 218℃)の入ったものとアントラキノン(m
p、 28℃3℃)の入ったものの2つの抵抗加熱ポー
トを蒸着槽内にセットし、該槽内をまず10′f′Ta
rtの真空度まで減圧した後、アントラキノンの蒸着速
度が0. I A /sec程度になるように抵抗加熱
ポートの電流を設定し、かつアントラセンとアントラキ
ノンの混合物からなる蒸着層全体の蒸着速度が2A/s
acとなるようにアントラセンの入った抵抗加熱ポート
に流れる電流を調整し、アントラセンとアントラキノン
の混合物からなる蒸着層を第1の層として先に形成した
第3の層としての絶縁層上に形成した。なお、蒸着時に
於ける槽内の真空度を9 X 104Torrに維持し
、基板ホルダーの温度は、20℃とした。
更に抵抗加熱ポートの1つをトリフェニルアミン(mp
、 245℃)の入ったものと交換し、他の1つもイン
ダゾール(+np、 145℃)の入ったものと交換し
、該槽内をまず10″8Torrの真空度まで減圧した
後、インダゾールの蒸着速度が0.I A /sec程
度になるように抵抗加熱ポートの電流を設定し、かつト
リフェニルアミンとインダゾールの混合物からなる蒸着
層全体の蒸着速度が21/seeとなるようにトリフェ
ニルアミンの入ったポートに流れる電流を調整し、20
0人のトリフェニルアミンとインダゾールの混合物から
なる蒸着層を第2の層として先に形成した第1の層  
     上に形成した。なお、蒸着時に於ける槽内の
真空度を8 X 10’ Torrに維持し、この場合
の基板ホルダーの温度も20℃とした。
引続き基板を蒸着槽内にセットしておき、更に抵抗加熱
ポート内にステアリン酸メチル(mp、 38℃)を入
れ、該槽内を10’ Torrの真空度まで減圧した後
、蒸着速度が2A/sacとなるように抵抗加熱ポート
に流れる電流を調整し、200 Aのステアリン酸メチ
ル層からなる蒸着層を第3の層として、先に形成した第
2の層上に形成した。なお、蒸着時に於ける槽内の真空
度を9 X 10’ Torrに維持し、この場合の基
板ホルダーの温度も20℃とした。
以後、上記した第1の層から第3の層までの形成操作を
4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ有する発
光層成2(層厚;約2400A)を形成した。
参考例3 〔発光層!3の形成〕 参考例1に於いて用いたのと同様の基板の電極層上に、
参考例1と同様にして膜厚1000Aの5i02膜をス
パッタリング法により積層し第3の層としての絶縁層と
した。
このようにして第3の層を形成した後、電極基板を、抵
抗加熱蒸着装置の蒸着槽内にセットし、更にトリフェニ
ルアミン(mp、 127℃)の入ったものと、アント
ラキノン(Ilp、 288℃)の入ったものの2つの
抵抗加熱ポートを蒸着槽内にセットし、該槽内をまず1
0’ Torrの真空度まで減圧した後、アントラキノ
ンの蒸着速度が0.1 A/sec程度になるようにア
ントラキノンの入ったポートに流れる電流を一定とし、
かつトリフェニルアミンとアントラキノンの混合物から
なる蒸着層全体の蒸着速度が2 A /secとなるよ
うにトリフェニルアミンの入ったポートに流れる電流を
調整し、20OAのトリフェニルアミンとアントラキノ
ンの混合物からなる蒸着層を第1の層として先に形成し
た第3の層としての絶縁層上に形成した。なお、蒸着時
に於ける槽内の真空度を9 X 10’ Torrに維
持し、基板ホルダーの温度は、20℃とした。
更に抵抗加熱ポートの1つをアントラセン(mp、 2
18℃)の入ったものと交換し、他の1つもインダゾー
ル(mp、 145 、′c)の入ったものと交換し、
該槽内をまず10’ Torrの真空度まで減圧した後
、インダゾールの蒸着速度が0.1人/sec程度にな
るようにインダゾールの入った抵抗加熱ポートに流れる
電流を一定とし、かつアントラセンとインダゾールの混
合物からなる蒸着層全体の蒸着速度が2A/seeとな
るようにアントラセンの入ったポートに流れる電流を調
整し、200人のアントラセンとインダゾールの混合物
からなる蒸着層を第2の層として先に形成した第ヱの層
尋七1岬→Hト1上に形成した。なお、この場合も、蒸
着時に於ける槽内の真空度を9 X 10′GTorr
に維持し、基板ホルダーの温度も20℃とした。
引続き基板を蒸着槽内にセットしておき、更に抵抗加熱
ポート内にステアリン酸メチル(mp、 38’0)を
入れ、該槽内を10’ Torrの真空度まで減圧した
後、蒸着速度が・2A /secとなるように抵抗加熱
ポートに流れる電流を調整し、20OAのステアリン醜
メチル層からなる蒸着層を第3の層として、先に形成し
た第2の層上に形成した。なお、この場合も、蒸着時に
於ける槽内の真空度を8×10’ Torrに維持し、
基板ホルダーの温度も20℃とした。
以後、上記した第1の層から第3の層までの形成操作を
4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ有する発
光層成3(層厚:約240OA)を形成した。
実施例 第1図に示した構造の本発明のEL素子の形成を以下の
ようにして実施した。
50II11角のガラス表面上にスパッタリング法によ
り膜厚1500Aの1.T−0層を蒸着して透明電極層
lを形成した。
次に、この透明電極層1上に参考例1〜3に於いて形六
“した発光層(正1−43)のいずれか1つを発光N4
として炒成した後、この発光層4の形成された基板を、
真空蒸着装置の蒸着槽内の所定の位置にセットし、該槽
内を一度IX 104Torrの真空度まで減圧した後
、該槽内の真空度を8×10″fi丁ar−rに調整し
、蒸着速度5J/secで5OAの膜厚のAu層を発光
層4の最上部に位置する第3の層上に形成し、半透明電
極層3とした。
更に、半透明電極層3上にに参考例1〜3に於、いて形
飯した発光層(遂1−43)のいずれか1つを単分子膜
または単分子累積膜を有する発光層5として形成した後
、この発光層5の形成された基板を、真空蒸着装置の蒸
着槽内の所定の位置に再びセットし、該槽内を一度IX
 10′@Torrの真空度まで減圧した後、今回は該
槽内の真空度を 1×10’ Torrに調整し、蒸着
速度20 A / see テ150OAの膜厚のA1
層を発光層5の最上部に位置する第3の層上に形成し、
透明でない背面電極層2として表1に示すような構造の
本発明のEL素子を計9個(試料逅1−1〜3−3)形
成した。
これらの本発明のEL素子のそれぞれを第り図に示すよ
うに、シールガラス51でシールした後、常法に従って
精製、脱気及び脱水処理されたシリコンオイル52をシ
ール中に注入して、ELセル50を形成した。
このようなELセルのそれぞれについて、電極層l、3
間及び電極層2.3間に交流電圧(40V、400H2
)を印加して、発光させ、発光に於ける輝度及び電流密
度を測定したところ、0.08〜0゜表   2
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のEL素子の模式的断面図、第2図は本
発明のEL素子の有する発光層の一例の模式的断面図、
第3図は本発明EL素子の組み込まれたELセルの模式
的断面図である。 1:透明電極層 3:透明または半透明な電極層 2:電極層 4.5二発光層 21−1.21−2:第1の層 22−1.22−2:第2の層 23−1.23−2.23−3:第3の層24−1.2
4−2 :界面 30:EL素子 31ニガラスシール 32:シリコンオイJし 33:EL  セル

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)少なくとも一方が透明である2つの電極層と、これ
    ら2つの電極層間に設けられた、2つの発光層と、これ
    ら2つの発光層間に設けられた透明または半透明な電極
    層とを有してなる電界発光素子。 2)前記2つの発光層が、同一の機能を有するものであ
    る特許請求の範囲第1項記載の電界発光素子。 3)前記2つの発光層が、異なる機能を有するものであ
    る特許請求の範囲第1項記載の電界発光素子。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0265714A (ja) * 1988-08-31 1990-03-06 Iseki & Co Ltd 移植機の苗供給装置
EP1209951A1 (en) * 2000-11-24 2002-05-29 Nokia Corporation Method for illumination and a portable electronic device
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0265714A (ja) * 1988-08-31 1990-03-06 Iseki & Co Ltd 移植機の苗供給装置
JP2560441B2 (ja) * 1988-08-31 1996-12-04 井関農機株式会社 移植機の苗供給装置
EP1209951A1 (en) * 2000-11-24 2002-05-29 Nokia Corporation Method for illumination and a portable electronic device
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