JPS6132945U - 半導体装置の試験装置 - Google Patents
半導体装置の試験装置Info
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- JPS6132945U JPS6132945U JP11730984U JP11730984U JPS6132945U JP S6132945 U JPS6132945 U JP S6132945U JP 11730984 U JP11730984 U JP 11730984U JP 11730984 U JP11730984 U JP 11730984U JP S6132945 U JPS6132945 U JP S6132945U
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- JP
- Japan
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- semiconductor device
- device testing
- testing equipment
- gross leakage
- bubbles
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- Pending
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例を示す構成図である。
3・・・・・・半導体装置、5・・・・・・光源(検出
装置)、7・・・・・・受光装置(検出装置)。
装置)、7・・・・・・受光装置(検出装置)。
Claims (1)
- 気密封止型半導体装置の容器のグ冶スリークを検出する
試験装置において、前記半導体装置のグロスリーク部か
ら発生する気泡を、該気泡を透過する光の量の変化によ
り検出する検出器を備えたことを特徴とする半導体装置
の試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11730984U JPS6132945U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 半導体装置の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11730984U JPS6132945U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 半導体装置の試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6132945U true JPS6132945U (ja) | 1986-02-27 |
Family
ID=30676223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11730984U Pending JPS6132945U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 半導体装置の試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6132945U (ja) |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP11730984U patent/JPS6132945U/ja active Pending
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