JPS6132802A - 色分離フイルタ - Google Patents
色分離フイルタInfo
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- JPS6132802A JPS6132802A JP15589684A JP15589684A JPS6132802A JP S6132802 A JPS6132802 A JP S6132802A JP 15589684 A JP15589684 A JP 15589684A JP 15589684 A JP15589684 A JP 15589684A JP S6132802 A JPS6132802 A JP S6132802A
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- cyan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分界〕
本発明は、光学フィルタに関し、さらに詳しくは、フル
カラー液晶表示装置、撮像管方式カラーカメラ、固体カ
ラーカメラ、カラーファクシミリなどに用いられる色分
離フィルタに関する。
カラー液晶表示装置、撮像管方式カラーカメラ、固体カ
ラーカメラ、カラーファクシミリなどに用いられる色分
離フィルタに関する。
〔発明の技術的背景およびその問題点〕複数の色パター
ン（たとえば、シアン色、黄色およびマゼンタ色）をス
トライプ状やモザイク状に形成してなる色分離フィルタ
としては、一般に、多層干渉膜などの無機フィルタおよ
び着色画像などの有機フィルタが代表的に用いられてき
た。このうち無機フィルタは、一般に無機物質から構成
されているため、耐熱性、耐光性、耐薬品性、耐洗浄性
に優れているという利点があるが、分光特性の選択に際
して自由度が小さく、しかも製造工程が複雑でコストが
高いという欠点があった。一方、有機フィルタ、たとえ
ば透明な感光性物質に光照射して得られる透明な樹脂を
有機染料などによって着色した着色画像は、分光特性の
選択に際して自由度が大きくしかも製造コストが低いと
いう利点があるが、耐熱性、耐光性、光透過性などの物
性面で劣るという欠点があった。
ン（たとえば、シアン色、黄色およびマゼンタ色）をス
トライプ状やモザイク状に形成してなる色分離フィルタ
としては、一般に、多層干渉膜などの無機フィルタおよ
び着色画像などの有機フィルタが代表的に用いられてき
た。このうち無機フィルタは、一般に無機物質から構成
されているため、耐熱性、耐光性、耐薬品性、耐洗浄性
に優れているという利点があるが、分光特性の選択に際
して自由度が小さく、しかも製造工程が複雑でコストが
高いという欠点があった。一方、有機フィルタ、たとえ
ば透明な感光性物質に光照射して得られる透明な樹脂を
有機染料などによって着色した着色画像は、分光特性の
選択に際して自由度が大きくしかも製造コストが低いと
いう利点があるが、耐熱性、耐光性、光透過性などの物
性面で劣るという欠点があった。
このため、多層干渉膜および前述の着色画像の両者を組
み合せて備えた色分離フィルタが提案されており、この
ような色分離フィルタにおいては、分光特性の選択に際
して自由度が大きく、しかも製造コストがあまり高くな
いという利点゛がある。
み合せて備えた色分離フィルタが提案されており、この
ような色分離フィルタにおいては、分光特性の選択に際
して自由度が大きく、しかも製造コストがあまり高くな
いという利点゛がある。
しかしながら、上記従来の色分離フィルタにおいては、
いまだ、製造工程、製造コスト面での有利性と分光特性
の向上との双方を充分満足させるものは得られていない
。
いまだ、製造工程、製造コスト面での有利性と分光特性
の向上との双方を充分満足させるものは得られていない
。
本発明は上述した点に鑑みてなされたものであり、光透
過性、色再現性などの分光特性が一層向上し、しかも高
品質で大量生産に適した色分離フィルタを提供すること
を目的とする。
過性、色再現性などの分光特性が一層向上し、しかも高
品質で大量生産に適した色分離フィルタを提供すること
を目的とする。
１なわち、本発明に係る色分離フィルタは、支持体上に
シアン色パターンおよびそのだの色パ、ターンが形成さ
れてなる色分離フィルタにおいて、シアン色パターンが
無機フィルタ素子からなり、シアン色以外の色パターン
が有機フィルタ素子からなることを特徴とするとしてい
る。
シアン色パターンおよびそのだの色パ、ターンが形成さ
れてなる色分離フィルタにおいて、シアン色パターンが
無機フィルタ素子からなり、シアン色以外の色パターン
が有機フィルタ素子からなることを特徴とするとしてい
る。
以下、本発明を添付図面を参照しながら具体的態様に基
いて説明する。
いて説明する。
本発明に係る色分離フィルタのシアン色パターンを形成
する無機フィルタ素子としては、公知の無機材料製フィ
ルタ素子、たとえば、無機顔料を真空蒸着、あるいはス
パッタリングにより気相成膜したのちバターニングして
作製する無機顔料フィルタ、低屈折率物質と高屈折率物
質とを交互に複数層積層して作製する多層干渉膜フィル
タなどが用いられうる。
する無機フィルタ素子としては、公知の無機材料製フィ
ルタ素子、たとえば、無機顔料を真空蒸着、あるいはス
パッタリングにより気相成膜したのちバターニングして
作製する無機顔料フィルタ、低屈折率物質と高屈折率物
質とを交互に複数層積層して作製する多層干渉膜フィル
タなどが用いられうる。
一方、シアン色以外の色パターンを形成する有機フィル
タ素子としては、ポリビニルアルコール、ポリビニルア
ルコール、ポリビニルピロリドン、ゼラチン、カゼイン
、グリユーなどの親水性樹脂に重クロム酸塩、クロム酸
塩あるいはジアゾ化合物を添加した感光性樹脂層をバタ
ーニング後染色して形成する有機染色フィルタ、透明な
感光性樹脂に顔料あるいは染料を混合した感光性着色感
材を塗布後バターニングして形成する感光性着色感材フ
ィルタ、ポリエステル、アクリル等の樹脂膜に昇華性染
料を熱転移して作製する熱転写フィルタ、有機染料ある
いは顔料を真空蒸着等の方法で気相成膜したのちパター
ニングして作製する着色剤気相成膜フィルタ、顔料ある
いは染料を溶媒に分散させたのち電気泳動電着法により
電着させて着色層を形成する電気泳動電着フィルタなど
がある。
タ素子としては、ポリビニルアルコール、ポリビニルア
ルコール、ポリビニルピロリドン、ゼラチン、カゼイン
、グリユーなどの親水性樹脂に重クロム酸塩、クロム酸
塩あるいはジアゾ化合物を添加した感光性樹脂層をバタ
ーニング後染色して形成する有機染色フィルタ、透明な
感光性樹脂に顔料あるいは染料を混合した感光性着色感
材を塗布後バターニングして形成する感光性着色感材フ
ィルタ、ポリエステル、アクリル等の樹脂膜に昇華性染
料を熱転移して作製する熱転写フィルタ、有機染料ある
いは顔料を真空蒸着等の方法で気相成膜したのちパター
ニングして作製する着色剤気相成膜フィルタ、顔料ある
いは染料を溶媒に分散させたのち電気泳動電着法により
電着させて着色層を形成する電気泳動電着フィルタなど
がある。
以下、本発明の好ましい態様として、シアン色、黄色お
よびマゼンタ色パターンからなる撮像管方式カラーカメ
ラ用補色フィルタを例にとって説明づる。この例におい
ては、シアン色パターンが多層干渉膜からなる無機フィ
ルタ素子により形成され、マゼンタ色および黄色パター
ンが透明着色膜からなる有機ノイルタにより形成されて
いる。第１図は、その製造工程を示す断面図である。
よびマゼンタ色パターンからなる撮像管方式カラーカメ
ラ用補色フィルタを例にとって説明づる。この例におい
ては、シアン色パターンが多層干渉膜からなる無機フィ
ルタ素子により形成され、マゼンタ色および黄色パター
ンが透明着色膜からなる有機ノイルタにより形成されて
いる。第１図は、その製造工程を示す断面図である。
すなわち、まず、支持体１上にシアン色パターン２を構
成する多層干渉膜を形成する（第１図（ａ））。
成する多層干渉膜を形成する（第１図（ａ））。
支持体１としては、ソーダライムガラス、はう珪酸ガラ
ス、アルミナはう珪酸ガラス、石英ガラス、合成石英板
、光学用樹脂板、透明樹脂フィルタなどの透明基板ある
いはブラウン管基板、固体撮像素子などが用いられる。
ス、アルミナはう珪酸ガラス、石英ガラス、合成石英板
、光学用樹脂板、透明樹脂フィルタなどの透明基板ある
いはブラウン管基板、固体撮像素子などが用いられる。
支持体１上に積層される高屈折率物質層と低屈折率物質
層との合成積層数は、６層以上好ましくは８層以上であ
る。この合成層数が６層未満であると、透過領域と反射
領域との境界での光透過率特性の立上りがシャープでは
なくなり、しかも反射領域における透過率が無祝しつる
ほど小さくなくなるため好ましくない。また、積層数が
多くなれば、前記境界での光透過率特性の立上り、がシ
ャープになりかつ反射領域における透過率は小さくなる
が、積層工程が複雑になるため、実用上の見地から２０
層程度までであることが好ましい。
層との合成積層数は、６層以上好ましくは８層以上であ
る。この合成層数が６層未満であると、透過領域と反射
領域との境界での光透過率特性の立上りがシャープでは
なくなり、しかも反射領域における透過率が無祝しつる
ほど小さくなくなるため好ましくない。また、積層数が
多くなれば、前記境界での光透過率特性の立上り、がシ
ャープになりかつ反射領域における透過率は小さくなる
が、積層工程が複雑になるため、実用上の見地から２０
層程度までであることが好ましい。
積層される高屈折率物質層と低屈折率物質層は、所定波
長λの光に対する光学膜厚が１／４λであるようにして
積層される。なお、光学膜厚とは、膜を構成する物質の
屈折率がｎでありその膜厚がｄである場合に、ｎｄなる
値を意味する。
長λの光に対する光学膜厚が１／４λであるようにして
積層される。なお、光学膜厚とは、膜を構成する物質の
屈折率がｎでありその膜厚がｄである場合に、ｎｄなる
値を意味する。
場合によっては、透過領域において波長の変化とともに
その透過率が変化する現象（いわゆるリップル現象）を
小さくするため、高屈折率物質層４と低屈折率物質層の
光学膜厚を以下のように設定して積層することは好まし
い。
その透過率が変化する現象（いわゆるリップル現象）を
小さくするため、高屈折率物質層４と低屈折率物質層の
光学膜厚を以下のように設定して積層することは好まし
い。
１〉 基板上に、高屈折率物質層と低屈折率物質層とを
交互に６層以上積層してなる多線干渉膜型色分離フィル
タにおいて、 （ａ） 最も基板側に積層される高屈折率物質第１層
の所定波長λの光に対する光学膜厚を（ｂ） この低
屈折率物質第１層上に順次交互に積層される少なくとも
、合計２層の高屈折率物質層および低屈折率物質層の前
記光学膜厚をそれぞれ１／４λとし、 （Ｃ） 最も基板から離れた側の高屈折率物質層の前
記光学膜厚を とし、かつその上に積層される低屈折率物質層の前記光
学膜厚を とする。
交互に６層以上積層してなる多線干渉膜型色分離フィル
タにおいて、 （ａ） 最も基板側に積層される高屈折率物質第１層
の所定波長λの光に対する光学膜厚を（ｂ） この低
屈折率物質第１層上に順次交互に積層される少なくとも
、合計２層の高屈折率物質層および低屈折率物質層の前
記光学膜厚をそれぞれ１／４λとし、 （Ｃ） 最も基板から離れた側の高屈折率物質層の前
記光学膜厚を とし、かつその上に積層される低屈折率物質層の前記光
学膜厚を とする。
２） 基板上に、所定波長λの光に対する光学膜厚が１
／４λである高屈折率物質層と、該光学膜厚が１／４λ
である低屈折率物質層とを交互に２層以上積層してなる
積層体が設けられている多層干渉膜型色分離フィルタに
おいて、 （ａ） 基板と前記積層体との間に、の光学膜厚を有
する高屈折率物質層およびの光学膜厚を有する低屈折率
物質層を、この順序で基板上に設け、 （ｂ） 前記積層体の基板から最も離れている側の低
屈折率物質上に、１／４λの光学膜厚を有する高屈折率
物質層、 の光学膜厚を有する低屈折率物質層、およびの光学膜厚
を有する高屈折率物質層をこの順序で設ける。
／４λである高屈折率物質層と、該光学膜厚が１／４λ
である低屈折率物質層とを交互に２層以上積層してなる
積層体が設けられている多層干渉膜型色分離フィルタに
おいて、 （ａ） 基板と前記積層体との間に、の光学膜厚を有
する高屈折率物質層およびの光学膜厚を有する低屈折率
物質層を、この順序で基板上に設け、 （ｂ） 前記積層体の基板から最も離れている側の低
屈折率物質上に、１／４λの光学膜厚を有する高屈折率
物質層、 の光学膜厚を有する低屈折率物質層、およびの光学膜厚
を有する高屈折率物質層をこの順序で設ける。
３） 基板上に、所定波長λの光に対する光学膜厚が１
／４λである高屈折率物質層と、該光学膜厚が１／４λ
である低屈折率物質層とを交互に２層以上積層してなる
積層体が設けられている多層干渉膜型色分離フィルタに
おいて、 （ａ） 基板と前記積層体との間に、の光学膜厚を有
する高屈折率物質層およびの光学膜厚を有する低屈折率
物質層を、この順序で基板上に設け、 （ｂ） 前記積層体の基板から最も離れている側の低
屈折率物質層上に、 を有する高屈折率物質層および の光学膜厚を有する低屈折率物質層をこの順序で設ける
。
／４λである高屈折率物質層と、該光学膜厚が１／４λ
である低屈折率物質層とを交互に２層以上積層してなる
積層体が設けられている多層干渉膜型色分離フィルタに
おいて、 （ａ） 基板と前記積層体との間に、の光学膜厚を有
する高屈折率物質層およびの光学膜厚を有する低屈折率
物質層を、この順序で基板上に設け、 （ｂ） 前記積層体の基板から最も離れている側の低
屈折率物質層上に、 を有する高屈折率物質層および の光学膜厚を有する低屈折率物質層をこの順序で設ける
。
高屈折率物質としては、Ｔｉ０２（屈折率ｎ＝２．２）
、５ｂｚＯ３（ｎ＝２．０４）、Ｃｅ０２（ｎ＝２．４
２）、ＺｒＯ２（ｎ−２，１０）、ＺｎＳ （ｎ＝２．
３５）などが用いられる。また、低屈折率物質としては
、ＳｉＯ（ｎ＝１．４６）、ＣａＦ２ （ｎ＝１．２３
＞、ＭｇＦ、、（ｎ＝１．３８）などが用いられる。こ
のうち、高屈折率物質としてのＴｉＯ２と、低屈折率物
質としての５ｈｏ２との組合せが、多層積層する場合に
層間の応力緩和の面から好ましい。
、５ｂｚＯ３（ｎ＝２．０４）、Ｃｅ０２（ｎ＝２．４
２）、ＺｒＯ２（ｎ−２，１０）、ＺｎＳ （ｎ＝２．
３５）などが用いられる。また、低屈折率物質としては
、ＳｉＯ（ｎ＝１．４６）、ＣａＦ２ （ｎ＝１．２３
＞、ＭｇＦ、、（ｎ＝１．３８）などが用いられる。こ
のうち、高屈折率物質としてのＴｉＯ２と、低屈折率物
質としての５ｈｏ２との組合せが、多層積層する場合に
層間の応力緩和の面から好ましい。
高屈折率物質層および低屈折率物質層は、蒸着法あるい
はスパッタリング法などの気相成膜法によって積層形成
される。これらの物質層の光学膜厚は、光電式膜厚計な
どの膜厚監視装置により制御される。
はスパッタリング法などの気相成膜法によって積層形成
される。これらの物質層の光学膜厚は、光電式膜厚計な
どの膜厚監視装置により制御される。
このようにしてシアン色パターン２を形成したのち、透
明着色膜からなるマゼンタ色パターン３を形成する（第
１図（ｂ））。
明着色膜からなるマゼンタ色パターン３を形成する（第
１図（ｂ））。
このマゼンタ色パターンは、まず透明な感光性樹脂を基
板上に設け、これをパターン状に露光したのち現像し、
これを所望の染料によってマゼンタ色に染色するか、あ
るいは、マゼンタ色顔料が分散された透明感光性樹脂を
支持体上に設け、これをパターン状に露光したのち現像
すれば得られる。
板上に設け、これをパターン状に露光したのち現像し、
これを所望の染料によってマゼンタ色に染色するか、あ
るいは、マゼンタ色顔料が分散された透明感光性樹脂を
支持体上に設け、これをパターン状に露光したのち現像
すれば得られる。
ここで述べる具体例の場合、シアン色パターン２とマゼ
ンタ色パターン３とは、互いに平行なストライプ状に形
成されている。このように、シアン色パターン２とマゼ
ンタ色パターン３の表面がレベリングされた状態にパタ
ーン形成を行なってパターン表面の段差が生じないよう
にすることにより、段差に起因する問題点、たとえば光
の直進性が著しく阻害され分光特性が低下するなどの問
題を解消し、これにより分光特性の一層の向上を図るこ
とができる。
ンタ色パターン３とは、互いに平行なストライプ状に形
成されている。このように、シアン色パターン２とマゼ
ンタ色パターン３の表面がレベリングされた状態にパタ
ーン形成を行なってパターン表面の段差が生じないよう
にすることにより、段差に起因する問題点、たとえば光
の直進性が著しく阻害され分光特性が低下するなどの問
題を解消し、これにより分光特性の一層の向上を図るこ
とができる。
シアン色パターン２およびマゼンタ色パターン３を形成
したのち、これらのストライプ状パターンに直交するよ
うにしてストライプ状の黄色パターン４を設ける（第１
図（Ｃ））。なお、必要に応じて、黄色パターン４を儲
ける前に、あらかじめ、既に形成されたシアン色パター
ン表面上に、染料の移行を防止するために、疎水性樹脂
からなる透明な防染用樹脂膜（図示せず）を形成しても
よい。
したのち、これらのストライプ状パターンに直交するよ
うにしてストライプ状の黄色パターン４を設ける（第１
図（Ｃ））。なお、必要に応じて、黄色パターン４を儲
ける前に、あらかじめ、既に形成されたシアン色パター
ン表面上に、染料の移行を防止するために、疎水性樹脂
からなる透明な防染用樹脂膜（図示せず）を形成しても
よい。
さらに必要に応じて、支持体上のフィルタ素子を保護す
るために、最上層に透明樹脂からなる保護層５を形成す
ることもできる。。
るために、最上層に透明樹脂からなる保護層５を形成す
ることもできる。。
第２図は、上記のようにして作成された色分離フィルタ
の正面図であり、第３図は、第２図に示す各部分、すな
わち、Ａ（シアン色フィルタ素子部）、Ｂ（マゼンタ色
フィルタ素子部）、Ｃ（マゼンタ色と黄色フィルタ素子
との合成部）およびＤ（シアン色と黄色フィルタ素子と
の合成部）における分光透過特性を示すグラフである。
の正面図であり、第３図は、第２図に示す各部分、すな
わち、Ａ（シアン色フィルタ素子部）、Ｂ（マゼンタ色
フィルタ素子部）、Ｃ（マゼンタ色と黄色フィルタ素子
との合成部）およびＤ（シアン色と黄色フィルタ素子と
の合成部）における分光透過特性を示すグラフである。
第３図に示ぎれるように、シアン色パターンを無機フィ
ルタ素子で形成することにより、特に青色光の透過率特
性が改善され、全体としての分光特性ならびに色再現性
を向上させることができる。
ルタ素子で形成することにより、特に青色光の透過率特
性が改善され、全体としての分光特性ならびに色再現性
を向上させることができる。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれ
らの実施例に限定されるものではない。
らの実施例に限定されるものではない。
１胤■
光学式膜厚計が配置された真空蒸着装置の基板ホルダ一
部にパイレックスガラスによる透明支持体をセットし、
ｌＸ１Ｏ−６Ｔｏｒｒまで排気したのち基板温度を３５
０℃とした。そして、真空蒸着時に積層された”Ｔ’ｉ
０２がＴｉＯあるいはＴｉに還元されることを防止する
目的で、０２ガスを２Ｘ１０’ＴＯｒｒまで導入し、次
に所定ハースにセットされたＴ ｉ ０２ベレツト試料
（メルク社製）を電子ビーム加熱により充分プレヒート
したのち、シャッターを開いて基板上にＴｉＯ２を１／
４λの光学膜厚に蒸着させた。この蒸着は、電子中の電
流値を２５０ｍＡに設定して行なった一０積層されるＴ
ｉＯ２の膜厚は、光電式膜厚計により、投光器からの光
を前もってセットしておいたモ立ターガラスにあってモ
ニター波長（λ）を６４０ｎｍとし、その反射光を受光
器で受け、反射率を監視することにより光学膜厚（ｎ
ｄ ）、が１／４λになるように制御した。
部にパイレックスガラスによる透明支持体をセットし、
ｌＸ１Ｏ−６Ｔｏｒｒまで排気したのち基板温度を３５
０℃とした。そして、真空蒸着時に積層された”Ｔ’ｉ
０２がＴｉＯあるいはＴｉに還元されることを防止する
目的で、０２ガスを２Ｘ１０’ＴＯｒｒまで導入し、次
に所定ハースにセットされたＴ ｉ ０２ベレツト試料
（メルク社製）を電子ビーム加熱により充分プレヒート
したのち、シャッターを開いて基板上にＴｉＯ２を１／
４λの光学膜厚に蒸着させた。この蒸着は、電子中の電
流値を２５０ｍＡに設定して行なった一０積層されるＴ
ｉＯ２の膜厚は、光電式膜厚計により、投光器からの光
を前もってセットしておいたモ立ターガラスにあってモ
ニター波長（λ）を６４０ｎｍとし、その反射光を受光
器で受け、反射率を監視することにより光学膜厚（ｎ
ｄ ）、が１／４λになるように制御した。
次いで０２の導入を停止したのち所定ハースにセットさ
れた５ｉ０２試料（オプトロン製）を電子ビームで加熱
し、充分プレヒートしたのち、シャッターを開いてＳｉ
ＯｍをＴｉＯ２膜上に１／４λの光学膜厚に蒸着させた
。ＳｉＯ２膜の光学膜厚はＴｉＯ２膜と同様に光電式膜
厚計を用いて制御した。同様の操作を繰り返すことによ
りＴｉＯ膜と５ｉｎ２膜を交互にそれぞれ７層ずつ合計
１４層積層した。その後、基板温度が２００℃になるま
で除冷したのち大気中に取り出した。次に、ポジレジス
トである０ＦＲＰ−８００（東京応化製）を２μｍの膜
厚に塗布したのち所定形状のマスクにより電光現像し、
１２０℃３Ｑｍ ｉ ｎの条件でボストベークを行ない
、マスキングレジスト層を形成し、次いでＣＦ４／３％
０２ガスにより反応性イオンエツチングにより多層干渉
膜フィルタ層をドライエツチングした。
れた５ｉ０２試料（オプトロン製）を電子ビームで加熱
し、充分プレヒートしたのち、シャッターを開いてＳｉ
ＯｍをＴｉＯ２膜上に１／４λの光学膜厚に蒸着させた
。ＳｉＯ２膜の光学膜厚はＴｉＯ２膜と同様に光電式膜
厚計を用いて制御した。同様の操作を繰り返すことによ
りＴｉＯ膜と５ｉｎ２膜を交互にそれぞれ７層ずつ合計
１４層積層した。その後、基板温度が２００℃になるま
で除冷したのち大気中に取り出した。次に、ポジレジス
トである０ＦＲＰ−８００（東京応化製）を２μｍの膜
厚に塗布したのち所定形状のマスクにより電光現像し、
１２０℃３Ｑｍ ｉ ｎの条件でボストベークを行ない
、マスキングレジスト層を形成し、次いでＣＦ４／３％
０２ガスにより反応性イオンエツチングにより多層干渉
膜フィルタ層をドライエツチングした。
次に０ＦＰＲ−８００レジスｉ一層を剥離してシアン色
光光通シアン素子を形成した。
光光通シアン素子を形成した。
次いで、Ｈｉ −Ｐｕｒｅ Ｉｉミラタンノーランド社
製）と重クロム酸アンモニウムからなる水溶性感光膜と
を１μｍの膜厚に塗布したのち、所定形状のマスクによ
り電光、現像した。次いで、Ｑ １ａｃｉｄ Ｆａｓｔ
３ Ｂ Ｌ （三菱化成工業製）の酸性染料と酢酸及
び水を重量比で１：３：１０割合で混合した溶液に浸漬
してマゼンタ色光透過フィルタ素子を形成した。防染処
理を行・なったのち、Ｈ＋ −ｐｕｒｅゼラチンと重ク
ロム酸アンモニウムからなる水溶性感光液を０．８μｍ
の膜厚に塗布したのち所定形状のマスクにより電光現像
し、次いでアミニールイエローＥ−５ＧＮ （住友化学
製）の染料と酢酸及び水を重量比で１：１：１０の割合
で混合した溶液に浸漬してイエロー色光透過フィルタ素
子を形成した。最後に透明有機樹脂を塗布して本発明の
色分離フィルタを作製した。
製）と重クロム酸アンモニウムからなる水溶性感光膜と
を１μｍの膜厚に塗布したのち、所定形状のマスクによ
り電光、現像した。次いで、Ｑ １ａｃｉｄ Ｆａｓｔ
３ Ｂ Ｌ （三菱化成工業製）の酸性染料と酢酸及
び水を重量比で１：３：１０割合で混合した溶液に浸漬
してマゼンタ色光透過フィルタ素子を形成した。防染処
理を行・なったのち、Ｈ＋ −ｐｕｒｅゼラチンと重ク
ロム酸アンモニウムからなる水溶性感光液を０．８μｍ
の膜厚に塗布したのち所定形状のマスクにより電光現像
し、次いでアミニールイエローＥ−５ＧＮ （住友化学
製）の染料と酢酸及び水を重量比で１：１：１０の割合
で混合した溶液に浸漬してイエロー色光透過フィルタ素
子を形成した。最後に透明有機樹脂を塗布して本発明の
色分離フィルタを作製した。
このようにして得られたフィ、ルタを撮像管用色分離フ
ィルタに適用したところ色再現性及び感度のすぐれたカ
ラーカメラを作製することができた。
ィルタに適用したところ色再現性及び感度のすぐれたカ
ラーカメラを作製することができた。
本発明に係る好ましい態様の色分離フィルタは、シアン
色パターンを多層干渉膜で構成し、その他の色パターン
を透明着色膜で形成するようにしたので、分光特性を効
果的に向上させることができ、しかも、複数の色パター
ンのうちの一色のみを比較的複雑な工程を要する多層干
渉膜で構成するようにしたので製造工程も簡略化するこ
とができ大量生産性の点でも有利である。
色パターンを多層干渉膜で構成し、その他の色パターン
を透明着色膜で形成するようにしたので、分光特性を効
果的に向上させることができ、しかも、複数の色パター
ンのうちの一色のみを比較的複雑な工程を要する多層干
渉膜で構成するようにしたので製造工程も簡略化するこ
とができ大量生産性の点でも有利である。
第１図は本発明の具体例に係る色分離フィルタの製造工
程を示す断面図であり、第２図はその正面図であり、第
３図は分光透過特性を示すグラフである。 １・・・支持体、２・・・シアン色パターン、３・・・
マゼンタ色パターン、４・・・黄色パターン、５・・・
保護層。 出願人代理人 猪 股 清 １ 図 ＠咽１ｚ
程を示す断面図であり、第２図はその正面図であり、第
３図は分光透過特性を示すグラフである。 １・・・支持体、２・・・シアン色パターン、３・・・
マゼンタ色パターン、４・・・黄色パターン、５・・・
保護層。 出願人代理人 猪 股 清 １ 図 ＠咽１ｚ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、支持体上にシアン色パターンおよびその他の色パタ
ーンが形成されてなる色分離フィルタにおいて、シアン
色パターンが無機フィルタ素子からなり、シアン色以外
の色パターンが有機フィルタ素子からなることを特徴と
する、色分離フィルタ。 ２、前記無機フィルタ素子が高屈折率物質と低屈折率物
質とを交互に複数層積層されてなる多層干渉膜であり、
前記有機フィルタ素子が透明着色膜である、特許請求の
範囲第１項に記載の色分離フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15589684A JPS6132802A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 色分離フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15589684A JPS6132802A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 色分離フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6132802A true JPS6132802A (ja) | 1986-02-15 |
Family
ID=15615873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15589684A Pending JPS6132802A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 色分離フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6132802A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002314058A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-25 | Sony Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
| JP2003075623A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタおよびその製造方法 |
| JP2006078766A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Toppan Printing Co Ltd | カラー固体撮像素子及びそのカラーフィルター |
| WO2010116718A1 (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-14 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
| JP2011061134A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Zycube:Kk | 半導体イメージセンサ |
| JP2012095316A (ja) * | 2011-12-01 | 2012-05-17 | Sony Corp | 固体撮像装置および撮像装置 |
-
1984
- 1984-07-26 JP JP15589684A patent/JPS6132802A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2010116718A1 (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-14 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
| CN102369788A (zh) * | 2009-04-09 | 2012-03-07 | 松下电器产业株式会社 | 有机电致发光显示装置 |
| JP5306451B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2013-10-02 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
| US8564196B2 (en) | 2009-04-09 | 2013-10-22 | Panasonic Corporation | Organic electroluminescent display device containing filter to provide high contrast |
| JP2011061134A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Zycube:Kk | 半導体イメージセンサ |
| JP2012095316A (ja) * | 2011-12-01 | 2012-05-17 | Sony Corp | 固体撮像装置および撮像装置 |
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