JPS6130681B2 - - Google Patents
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- JPS6130681B2 JPS6130681B2 JP8193778A JP8193778A JPS6130681B2 JP S6130681 B2 JPS6130681 B2 JP S6130681B2 JP 8193778 A JP8193778 A JP 8193778A JP 8193778 A JP8193778 A JP 8193778A JP S6130681 B2 JPS6130681 B2 JP S6130681B2
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- Japan
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- measured
- center
- arc
- circle
- measuring
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、被測定物における円または円弧等
の測定において、測定機に取付けられた測定子と
被測定物との接点の本来あるべき位置からのずれ
を角度誤差として検出する方法である。
の測定において、測定機に取付けられた測定子と
被測定物との接点の本来あるべき位置からのずれ
を角度誤差として検出する方法である。
被測定物の円または円弧の測定機、例えば、第
１図に示されたような測定機は、回転案内となる
スピンドル１と、それに取付けられて回転案内を
基準として回転し、被測定物の円および円弧形状
の真円からのずれ量△riを検知する測微計２と、
測微計２の回転案内の中心軸に対する回転半径を
変える測微計半径方向スライド３と、測微計２の
回転角度位置θｉを検知する回転角度計（ロータ
リーエンコーダ）４と、被測定物を載せ回転案内
の中心に被測定物の円および円弧の中心を移動さ
せるXYテーブル５と、XYテーブル５を駆動する
パルスモーター６及び計算機システムから成り、
回転角度位置θｉに対する変位量△riをデイジタ
ル量として記憶し、被測定物の真の中心および形
状誤差、曲率半径等を計算することができる。
１図に示されたような測定機は、回転案内となる
スピンドル１と、それに取付けられて回転案内を
基準として回転し、被測定物の円および円弧形状
の真円からのずれ量△riを検知する測微計２と、
測微計２の回転案内の中心軸に対する回転半径を
変える測微計半径方向スライド３と、測微計２の
回転角度位置θｉを検知する回転角度計（ロータ
リーエンコーダ）４と、被測定物を載せ回転案内
の中心に被測定物の円および円弧の中心を移動さ
せるXYテーブル５と、XYテーブル５を駆動する
パルスモーター６及び計算機システムから成り、
回転角度位置θｉに対する変位量△riをデイジタ
ル量として記憶し、被測定物の真の中心および形
状誤差、曲率半径等を計算することができる。
いま第２図において、０′を被測定物の円弧の
中心、０は測定を行なつた時の回転案内の中心位
置、θｉを被測定点Piと０とを結ぶ線とＸ軸との
なす角、Ｒを基準の球または、円筒形ゲージに合
わせた基準値の半径、△ri（θｉ）を、被測定Pi
における測定された基準円からの離脱変位置とす
る。
中心、０は測定を行なつた時の回転案内の中心位
置、θｉを被測定点Piと０とを結ぶ線とＸ軸との
なす角、Ｒを基準の球または、円筒形ゲージに合
わせた基準値の半径、△ri（θｉ）を、被測定Pi
における測定された基準円からの離脱変位置とす
る。
上記の測定機においてロータリーエンコーダー
４の角度０゜の位置をＸ軸とし、スピンドル１を
回転させると、一定の角度毎のロータリーエンコ
ーダの値θｉと、その時の測微計２の値△ri（θ
ｉ）から多数点のデータ（△ri（θｉ），θｉ）
が得られる。このデータをもとに、計算機によつ
て、回転案内の中心０と、被測定の円または円弧
の中心との距離ｂとその方向γを計算により求
め、XYテーブル５をパルスモータ６によつて、
ｘ＝ｂ cos γ、ｙ＝ｂ sin γだけ移動する
ことにより、被測定物の円および円弧の中心と回
転案内の中心とが自動的に一致する。すなわち自
動求心が行なわれる。
４の角度０゜の位置をＸ軸とし、スピンドル１を
回転させると、一定の角度毎のロータリーエンコ
ーダの値θｉと、その時の測微計２の値△ri（θ
ｉ）から多数点のデータ（△ri（θｉ），θｉ）
が得られる。このデータをもとに、計算機によつ
て、回転案内の中心０と、被測定の円または円弧
の中心との距離ｂとその方向γを計算により求
め、XYテーブル５をパルスモータ６によつて、
ｘ＝ｂ cos γ、ｙ＝ｂ sin γだけ移動する
ことにより、被測定物の円および円弧の中心と回
転案内の中心とが自動的に一致する。すなわち自
動求心が行なわれる。
第１図に示されたように、回転軸を含みＸ軸に
平行な平面をＡ面とするとロータリーエンコーダ
ー４の０゜位置をＡ面に合わせた時、被測定物と
測定子２１との接点がＡ面内にあれば、ロータリ
ーエンコーダー４がθｉのとき、被測定物と測定
子２１の接点はθｉ方向にあり、計算機への入力
はPi（△ri（θｉ），θｉ）となり問題ない。と
ころが測微計２の測定子２１先端の位置は、第３
図に示されたように測定子の加工精度による測定
子そのものの曲り、および第４図に示されたよう
な測定子の測微計への取付誤差あるいは測微計の
半径方向スライドとロータリーエンコーダーの零
方向の平行度における誤差（第５図参照）測微計
の取付位置の誤差（第６図参照）などによりＡ面
内に入れることが困難であり、従つて測定子と被
測定物との接点をＡ面内に位置させることが難し
い。被測定物と測定子の接点がＡ面内にないと、
第７図に示す様に、エンコーダーの回転角度位置
がθｉのとき、計算機への入力は、Pi（△ri（θ
ｉ），θｉ）ではなく、Pi（△ri′（θｉ＋△θ），
θｉ）となり、△θだけ角度がずれたものをもと
にして、円および円弧等の中心を計算してしま
う。したがつて計算された中心ｂ，γのγは△θ
の誤差を含むことになり、XYテーブルがｘ＝ｂ
cos γ、ｙ＝ｂ sin γ移動しても、被測定
物の円および円弧の中心と回転案内面の中心とが
一致せず、自動求心精度が悪くなる。たとえば偏
心量が100μで△θ10゜の場合、２×100sin（10
゜／２）＝17.4〔μ〕の求心誤差が出る。
平行な平面をＡ面とするとロータリーエンコーダ
ー４の０゜位置をＡ面に合わせた時、被測定物と
測定子２１との接点がＡ面内にあれば、ロータリ
ーエンコーダー４がθｉのとき、被測定物と測定
子２１の接点はθｉ方向にあり、計算機への入力
はPi（△ri（θｉ），θｉ）となり問題ない。と
ころが測微計２の測定子２１先端の位置は、第３
図に示されたように測定子の加工精度による測定
子そのものの曲り、および第４図に示されたよう
な測定子の測微計への取付誤差あるいは測微計の
半径方向スライドとロータリーエンコーダーの零
方向の平行度における誤差（第５図参照）測微計
の取付位置の誤差（第６図参照）などによりＡ面
内に入れることが困難であり、従つて測定子と被
測定物との接点をＡ面内に位置させることが難し
い。被測定物と測定子の接点がＡ面内にないと、
第７図に示す様に、エンコーダーの回転角度位置
がθｉのとき、計算機への入力は、Pi（△ri（θ
ｉ），θｉ）ではなく、Pi（△ri′（θｉ＋△θ），
θｉ）となり、△θだけ角度がずれたものをもと
にして、円および円弧等の中心を計算してしま
う。したがつて計算された中心ｂ，γのγは△θ
の誤差を含むことになり、XYテーブルがｘ＝ｂ
cos γ、ｙ＝ｂ sin γ移動しても、被測定
物の円および円弧の中心と回転案内面の中心とが
一致せず、自動求心精度が悪くなる。たとえば偏
心量が100μで△θ10゜の場合、２×100sin（10
゜／２）＝17.4〔μ〕の求心誤差が出る。
また、第８図に示すように、円弧形状の場合に
は、被測定物の指定した角度範囲（P1からPn）
を測定しても、実際は、P1′からPn′を測定し、被
測定物から測微計がはずれ、必要な情報が得られ
ない場合もある。特に、被測定物の曲率半径が小
さくなると、この可能性があり、たとえば被測定
物の曲率半径が１mmで′が．３mm（この程度
の誤差は十分考えられる）なら△θ≒17゜にな
る。
は、被測定物の指定した角度範囲（P1からPn）
を測定しても、実際は、P1′からPn′を測定し、被
測定物から測微計がはずれ、必要な情報が得られ
ない場合もある。特に、被測定物の曲率半径が小
さくなると、この可能性があり、たとえば被測定
物の曲率半径が１mmで′が．３mm（この程度
の誤差は十分考えられる）なら△θ≒17゜にな
る。
さらに、第９図に示す様に、測定倍率にも不具
合点が生じる。即ち測微計の倍率をロータリーエ
ンコーダーの指示方向すなわちPO0方向に調整し
てあるとすると、前述の様に、測定子と品物の接
点は△θだけずれ、P′点にあるので実際の倍率は
１／cos△θを乗算した値になつてしまう。
合点が生じる。即ち測微計の倍率をロータリーエ
ンコーダーの指示方向すなわちPO0方向に調整し
てあるとすると、前述の様に、測定子と品物の接
点は△θだけずれ、P′点にあるので実際の倍率は
１／cos△θを乗算した値になつてしまう。
たとえば、△θ＝17゜とすると、倍率は4.6％
の誤差を含むことになる。この倍率の変化は、形
状誤差の値および円筒形ゲージとの比較測定によ
る曲率半径の値に影響する。
の誤差を含むことになる。この倍率の変化は、形
状誤差の値および円筒形ゲージとの比較測定によ
る曲率半径の値に影響する。
このことは、曲率半径の測定の場合、特に問題
になる。たとえば△θ＝17゜の時、円筒形ゲージ
の寸差が0.2mmなら被測定物の曲率半径の誤差は
９μになる。
になる。たとえば△θ＝17゜の時、円筒形ゲージ
の寸差が0.2mmなら被測定物の曲率半径の誤差は
９μになる。
以上不具合点は、曲率半径が小さくなればなる
ほど影響が大きくなる。
ほど影響が大きくなる。
この発明は上記の欠点を除去するためになされ
たもので、被測定物の円形または円弧形状等の測
定において、測定機に取付けられた測定子と被測
定物との接点が本来あるべき位置からどれだけず
れているかを角度誤差として検出する方法であ
る。
たもので、被測定物の円形または円弧形状等の測
定において、測定機に取付けられた測定子と被測
定物との接点が本来あるべき位置からどれだけず
れているかを角度誤差として検出する方法であ
る。
次にこの発明の一実施例を図を参照しながら説
明する。この実施例においては第１図に示された
測定機の場合について説明するが、この発明の検
出方法はこれ以外の円形または円弧形状等の測定
機にも勿論適用できる方法である。まず回転案内
の中心と、被測定物の円形または円弧形状の曲率
中心O0とを十分に一致させる。このためには例
えば次のような方法がある。第１０図において、
O0は被測定物の円弧の真の中心、Ｏは測定を行
なつた時の中心、ｒは基準の球又は円筒体の円形
ゲージにて合せた基準値の半径、θは被測定点Ｐ
とＯとを結ぶ線とＸ軸とのなす角、θ′はＰ点と
O0を結ぶ線とＸ軸とのなす角、実線は被測定
面、点線はO0を中心として半径ｒで円を描いた
時の軌跡、一点鎖線はＯを中心として半径ｒで円
を描いた時の軌跡を各々示す。
明する。この実施例においては第１図に示された
測定機の場合について説明するが、この発明の検
出方法はこれ以外の円形または円弧形状等の測定
機にも勿論適用できる方法である。まず回転案内
の中心と、被測定物の円形または円弧形状の曲率
中心O0とを十分に一致させる。このためには例
えば次のような方法がある。第１０図において、
O0は被測定物の円弧の真の中心、Ｏは測定を行
なつた時の中心、ｒは基準の球又は円筒体の円形
ゲージにて合せた基準値の半径、θは被測定点Ｐ
とＯとを結ぶ線とＸ軸とのなす角、θ′はＰ点と
O0を結ぶ線とＸ軸とのなす角、実線は被測定
面、点線はO0を中心として半径ｒで円を描いた
時の軌跡、一点鎖線はＯを中心として半径ｒで円
を描いた時の軌跡を各々示す。
△ｒは被測定点Ｐにおける測定された、基準円
からの離脱変位量、または△Ｒは真の中心O0に
基準円の中心を合せた時の基準円からの離脱変位
量をそれぞれ示す。
からの離脱変位量、または△Ｒは真の中心O0に
基準円の中心を合せた時の基準円からの離脱変位
量をそれぞれ示す。
従つて、ｂは測定を行なつた時の中心Ｏと真の
中心O0との距離、γはその方向を示すことにな
る。
中心O0との距離、γはその方向を示すことにな
る。
図の三角形PO′Oにおいて、△Ｒをθ、△ｒ、
ｂ、γで表わせば次のようになる。
ｂ、γで表わせば次のようになる。
図において
R2＝b2＋（ｒ＋△ｒ）２−2b（ｒ＋△ｒ）cos
（γ−θ） Ｒ＝ｒ＋△Ｒであり 上式を展開すると △Ｒ＝△ｒ−bcos（γ−θ）＋ｂ２ｓｉｎ２（γ−θ）／２｛ｒ＋△ｒ−ｂ ｃｏｓ（γ−θ）｝ …………(1) (1)式において、第３項以降を省略すると、 △Ｒ≒△ｒ−bcos（γ−θ） …………(2) と表わすことができる。この場合の省略による誤
差はb2／２×ｒを計算することにより、その最大
値が得られる。
（γ−θ） Ｒ＝ｒ＋△Ｒであり 上式を展開すると △Ｒ＝△ｒ−bcos（γ−θ）＋ｂ２ｓｉｎ２（γ−θ）／２｛ｒ＋△ｒ−ｂ ｃｏｓ（γ−θ）｝ …………(1) (1)式において、第３項以降を省略すると、 △Ｒ≒△ｒ−bcos（γ−θ） …………(2) と表わすことができる。この場合の省略による誤
差はb2／２×ｒを計算することにより、その最大
値が得られる。
すなわち、円又は円弧の真の中心O0と、測定
に用いる回転基準面の中心Ｏとの間の距離ｂが、
曲率半径ｒに比べ充分に小さければ、(1)式の代り
に(2)式を用いることができる。
に用いる回転基準面の中心Ｏとの間の距離ｂが、
曲率半径ｒに比べ充分に小さければ、(1)式の代り
に(2)式を用いることができる。
したがつて被測定物に対して、このような多数
の三角形を考えれば、不連続なデイジタル量で表
わすことができるからｉ番目の△Ｒ（θｉ）は、 △Ｒ（θｉ）≒△ｒ（θｉ）−bcos（γ−θｉ） …………(3) となる。すなわち図の△Ｒは関数△Ｒ＝（θ、
△ｒ、ｂ、γ）として表わされる。
の三角形を考えれば、不連続なデイジタル量で表
わすことができるからｉ番目の△Ｒ（θｉ）は、 △Ｒ（θｉ）≒△ｒ（θｉ）−bcos（γ−θｉ） …………(3) となる。すなわち図の△Ｒは関数△Ｒ＝（θ、
△ｒ、ｂ、γ）として表わされる。
さて(2)式により△Ｒは基準円形状からの離脱変
位量を表わすので、測定された多数点のデータ
（△ｒ（θｉ），θｉ）をもとに考慮すべき範囲の
ｂとγの値を探索すると、△Rmax−△Rminが
最小となるｂとγのが求まる。これは最小領域法
における円の定義となり、ｂとγとから真の中心
O0が求まる。
位量を表わすので、測定された多数点のデータ
（△ｒ（θｉ），θｉ）をもとに考慮すべき範囲の
ｂとγの値を探索すると、△Rmax−△Rminが
最小となるｂとγのが求まる。これは最小領域法
における円の定義となり、ｂとγとから真の中心
O0が求まる。
この結果に基づき、XYテーブルを移動させ、
回転案内の中心と被測定物の円または円弧の曲率
中心を一致させる。またこの芯出し作業は、別の
計算方法あるいは手動によつて行つてもよい。
回転案内の中心と被測定物の円または円弧の曲率
中心を一致させる。またこの芯出し作業は、別の
計算方法あるいは手動によつて行つてもよい。
次にXYテーブルを例えば第１１図のようにＹ
軸方向に、測微計の検知範囲を超えない程度に一
定量0 1移動して、XYテーブル上の被測定物の
曲率中心をO1まで移動させ、スピンドルの回転
中心はO0の位置で、A0から移動後の被測定面A1
を測定し、A1の曲率中心の位置をロータリーエ
ンコーダの出力θｉと測微計の出力△riから例え
ば前記の方法で計算する。こゝで測定子接点角度
誤差△θがなければ、計算上O1の位置は極座標
表示で（0 1、90゜）になるが、実際には第１
１図X′Y′座標を基準として点O1を見ることにな
るので（0 1、90゜−△θ）となる。
軸方向に、測微計の検知範囲を超えない程度に一
定量0 1移動して、XYテーブル上の被測定物の
曲率中心をO1まで移動させ、スピンドルの回転
中心はO0の位置で、A0から移動後の被測定面A1
を測定し、A1の曲率中心の位置をロータリーエ
ンコーダの出力θｉと測微計の出力△riから例え
ば前記の方法で計算する。こゝで測定子接点角度
誤差△θがなければ、計算上O1の位置は極座標
表示で（0 1、90゜）になるが、実際には第１
１図X′Y′座標を基準として点O1を見ることにな
るので（0 1、90゜−△θ）となる。
従つてこの実際の角度から、動かした方向即ち
90゜を差引けば、角度誤差△θを求めることがで
きる。
90゜を差引けば、角度誤差△θを求めることがで
きる。
上記の場合において、始めの回転案内の中心
と、被測定物の中心との芯出しは、角度誤差△θ
があつても、数回芯出しを行えば、充分な芯出し
精度が得られ、問題はない。またこの実施例では
テーブルをＹ軸方向に移動させたが、これは任意
の方向で差支えなく、またテーブルを移動させず
に測微計の回転案内を移動させてもかまわない。
と、被測定物の中心との芯出しは、角度誤差△θ
があつても、数回芯出しを行えば、充分な芯出し
精度が得られ、問題はない。またこの実施例では
テーブルをＹ軸方向に移動させたが、これは任意
の方向で差支えなく、またテーブルを移動させず
に測微計の回転案内を移動させてもかまわない。
なお上記の実施例においては、測定子側に回転
案内の中心があり、被測定物は静止し、測定子が
円弧状の軌跡を画いて運動する場合における検出
方法を説明したが、測定子は静止し、被測定物を
載置したテーブルが円弧運動する形式の円または
円弧測定機においては、測定子の案内中心は相対
的にテーブルの回転中心と同一として接点角度誤
差を検出することができる。
案内の中心があり、被測定物は静止し、測定子が
円弧状の軌跡を画いて運動する場合における検出
方法を説明したが、測定子は静止し、被測定物を
載置したテーブルが円弧運動する形式の円または
円弧測定機においては、測定子の案内中心は相対
的にテーブルの回転中心と同一として接点角度誤
差を検出することができる。
この発明の方法により、接点角度誤差△θを検
知できるので、この角度誤差△θだけ測定子と被
測定物との接点の位置を補正したり、あるいは測
定中に△θだけ測定値を補正しながら、円または
円弧等を正確に計測することが可能となる。
知できるので、この角度誤差△θだけ測定子と被
測定物との接点の位置を補正したり、あるいは測
定中に△θだけ測定値を補正しながら、円または
円弧等を正確に計測することが可能となる。
第１図は円または円弧等を計測する測定機を示
す斜視図、第２図は第１図に示された測定機の自
動求心原理を説明するための概略図、第３図ない
し第６図は測定子と被測定物の接点が、正規の位
置からずれる原因を示すための斜視図、第７図は
接点角度誤差の説明用図、第８図は接点角度誤差
による測定範囲のずれを示す説明図、第９図は接
点角度誤差による測定倍率の変化を示す説明図、
第１０図および第１１図はこの発明の一実施例を
示すもので、第１０図は測定子の回転中心と、被
測定物の曲率中心とを一致させるための説明図、
第１１図は接点角度誤差を求める方法を示す説明
図である。 符号の説明、１はスピンドル、２は測微計、３
は半径方向スライド、４はロータリーエンコー
ダ、５はXYテーブル、６はパルスモータ、A1お
よびA0は円弧形状測定面、O0は円弧形状の曲率
中心、O1は移動後の円弧形状の曲率中心。
す斜視図、第２図は第１図に示された測定機の自
動求心原理を説明するための概略図、第３図ない
し第６図は測定子と被測定物の接点が、正規の位
置からずれる原因を示すための斜視図、第７図は
接点角度誤差の説明用図、第８図は接点角度誤差
による測定範囲のずれを示す説明図、第９図は接
点角度誤差による測定倍率の変化を示す説明図、
第１０図および第１１図はこの発明の一実施例を
示すもので、第１０図は測定子の回転中心と、被
測定物の曲率中心とを一致させるための説明図、
第１１図は接点角度誤差を求める方法を示す説明
図である。 符号の説明、１はスピンドル、２は測微計、３
は半径方向スライド、４はロータリーエンコー
ダ、５はXYテーブル、６はパルスモータ、A1お
よびA0は円弧形状測定面、O0は円弧形状の曲率
中心、O1は移動後の円弧形状の曲率中心。
Claims (1)
- １ 円または円弧等の測定機による被測定物の円
または円弧等の測定において、測定器の測定子の
案内中心を、上記測定機のテーブルに載置された
被測定物の被測定円または被測定円弧等の中心に
合わせ、次に測定器の測定子の案内中心、テーブ
ルの中、いずれか一方を任意の方向に測定器の検
知範囲を超えない程度に一定量移動して、移動後
の被測定円または被測定円弧等を測定し、移動後
の被測定円または被測定円弧等の中心位置を計算
によつて求め、測定器の測定子の案内中心または
テーブルの移動方向と、移動後の計算による被測
定円または被測定円弧等の中心位置の方向との角
度のずれを求めることにより、上記の測定子と被
測定円または、被測定円弧等との接点の、案内中
心に対する本来あるべき位置との角度誤差△θの
検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8193778A JPS559132A (en) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | Method of detecting angular error at measuring needle point in measuring circle or arc, etc. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8193778A JPS559132A (en) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | Method of detecting angular error at measuring needle point in measuring circle or arc, etc. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS559132A JPS559132A (en) | 1980-01-23 |
| JPS6130681B2 true JPS6130681B2 (ja) | 1986-07-15 |
Family
ID=13760392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8193778A Granted JPS559132A (en) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | Method of detecting angular error at measuring needle point in measuring circle or arc, etc. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS559132A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60142201A (ja) * | 1983-12-29 | 1985-07-27 | Koyo Seiko Co Ltd | 薄肉円環の直径測定装置 |
| JPS61219812A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-09-30 | Agency Of Ind Science & Technol | 真円度計測プロ−ブを有する計測装置 |
| JPS62222115A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Seiki Co Ltd | 真円度図形解析装置 |
| JP4968600B1 (ja) | 2011-01-13 | 2012-07-04 | 株式会社東京精密 | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 |
| JP5489017B2 (ja) * | 2012-04-06 | 2014-05-14 | 株式会社東京精密 | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 |
| JP5982194B2 (ja) * | 2012-06-26 | 2016-08-31 | 株式会社アルバック | 起点座標補正方法 |
| JP5652631B2 (ja) * | 2014-02-18 | 2015-01-14 | 株式会社東京精密 | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 |
-
1978
- 1978-07-07 JP JP8193778A patent/JPS559132A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS559132A (en) | 1980-01-23 |
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