JPS6129280B2 - - Google Patents
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- JPS6129280B2 JPS6129280B2 JP54163742A JP16374279A JPS6129280B2 JP S6129280 B2 JPS6129280 B2 JP S6129280B2 JP 54163742 A JP54163742 A JP 54163742A JP 16374279 A JP16374279 A JP 16374279A JP S6129280 B2 JPS6129280 B2 JP S6129280B2
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Landscapes
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感光面に対して光ビームを所定のパタ
ーンに沿つて自動的且つ相対的に、移動制御し、
前記感光面に所定のパターンを露光するための投
光自動製図装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention automatically and relatively moves a light beam along a predetermined pattern with respect to a photosensitive surface,
The present invention relates to a light projection automatic drawing device for exposing a predetermined pattern on the photosensitive surface.
此種の装置では特公昭43―2903号公報に示す如
く光ビームの断面積の変化及び光ビームの感光面
に対する相対的移動速度の変化に応じて、感光面
に照射される光ビームの強さを変化させ、濃淡む
らのない均一の線を感光面上に露光することが行
われている。この場合光点の大きさの変化に応じ
て光点の強さを制御する制御手段と光点の移動速
度に応じて光点の強さを制御する制御手段はそれ
ぞれ別個の構成となつている。これは此種の装置
の構造を複雑なものにしている。 In this type of device, as shown in Japanese Patent Publication No. 43-2903, the intensity of the light beam irradiated onto the photosensitive surface is adjusted according to changes in the cross-sectional area of the light beam and changes in the relative moving speed of the light beam to the photosensitive surface. It is practiced to expose a uniform line on the photosensitive surface with no unevenness in density by changing the light and shade. In this case, the control means for controlling the intensity of the light spot according to changes in the size of the light spot and the control means for controlling the intensity of the light spot according to the moving speed of the light spot are each configured separately. . This makes the structure of this type of device complicated.
本発明の主たる目的は、光点の大きさ及び光点
の移動速度に応じて、光点の強さを変化させる制
御手段を、単一の制御手段によつて構成し、本装
置の構造を簡単にすることである。 The main object of the present invention is to configure the control means for changing the intensity of the light spot according to the size of the light spot and the moving speed of the light spot by a single control means, and to improve the structure of the device. It's about making it easy.
以下に本発明の構成を添付図面に示す実施例に
付き詳細に説明する。 The configuration of the present invention will be described in detail below with reference to embodiments shown in the accompanying drawings.
１は本体２に、Ｘ座標軸方向に移動可能に支持
されたテーブルであり、該テーブルの送り手段
は、Ｘモータに連結している。３は、本体２に、
Ｙ座標軸方向に移動可能に支持された担体であ
り、該担体の送り手段はＹモータに連結してい
る。前記担体３には、光ビーム投光手段を備えた
ヘツド４が取付けられている。前記テーブル１の
移動量と担体３の移動量は、スケールと、その目
盛を電気的に感知する手段とから成るＡ―Ｄ変換
装置により、フイードバツクパルスとして計算機
５に入力される。前記テーブル１及び担体３の送
り手段はスクリユー軸とナツトとを構成要素とし
ている。 Reference numeral 1 denotes a table supported by the main body 2 so as to be movable in the direction of the X coordinate axis, and a feeding means for the table is connected to an X motor. 3 is in the main body 2,
It is a carrier supported movably in the direction of the Y coordinate axis, and a feeding means for the carrier is connected to a Y motor. A head 4 equipped with a light beam projecting means is attached to the carrier 3. The amount of movement of the table 1 and the amount of movement of the carrier 3 are input to the computer 5 as feedback pulses by an AD converter comprising a scale and means for electrically sensing the scale. The feeding means for the table 1 and carrier 3 consists of a screw shaft and a nut.
次に、ヘツド４の内部構造を主として第２図を
参照して説明する。 Next, the internal structure of the head 4 will be explained with reference mainly to FIG.
６はＹ座標軸方向に配設されたＹレールであ
り、これに担体３が滑動自在に取付けられてい
る。前記担体３にはケーシング３５が支持されて
いる。前記ケーシング３５に透設された穴にホル
ダー４１が取付けられ、該ホルダー４１には、凹
面反射鏡４２及び光源ランプ４３が保持されてい
る。４４はフアン、４５はカバー、４６はコード
ネクター、４７はケーシング３５に透設された穴
に嵌着固定された筒体であり、これの中空部に第
一コンデンサーレンズ群４８が配設されている。
前記筒体４７に固定されたカバー部材の底部に
は、穴５０が透設され、該穴５０の直下にはシヤ
ツター５１が配置されている。前記シヤツター５
１は、第４図に示す如くロータリーソレノイド５
２の出力回転軸に固定されている。５３，５４
は、ケーシング３５に固定された板部材５５に固
定されたブラケツトであり、これに穴５６が形成
された支持部材５７が架設され、該支持部材５７
には、コロ受け部材５８，５９及び６０，６１が
固定されている。６２はフイルタホルダーであ
り、これにコロ受け部材６３，６４が固定され、
該コロ受け部材６３と前記コロ受け部材５８との
間、及び前記コロ受け部材６４と６０との間には
コロが配置されている。前記ホルダー６２には可
変濃度フイルター６５が支持されている。６６は
フイルターホルダーであり、これにコロ受け部材
６７，６８が固定され、該コロ受け部材６７と前
記コロ受け部材５９との間及び、前記コロ受け部
材６８と６１との間にはコロが配置されている。
前記ホルダー６６には、前記フイルター６５より
幅広の可変濃度フイルター６９が支持されてい
る。７０，７１はそれぞれ前記ホルダー６２，６
６に固定されたラツクギアである。前記板部材５
５に固定されたブラケツトにはボールベアリング
を介して、軸７２が回転自在に支持され、該軸７
２の一方には、歯車７３が固定され、該軸７２の
他端には、ピニオンギア７４が固定され、該ピニ
オンギア７４は、前記ラツクギア７０，７１に噛
合している。前記歯車７３は板部材５５に固定さ
れたサーボモータ７５の出力軸に連繋している。
７６は、前記ケーシング３５側に配設された投光
器であり、これに光検出器７７が対向し、該対向
間隙部には、前記フイルター６９の側部が位置し
ている。上記７６，７７は位置検出器９８を構成
している。前記フイルター６５，６９は、ガラス
（例えば石英ガラス、光学ガラス、ソーダーライ
ムガラス、パイレツクス即ち耐熱ガラスの一種
で、アメリカcorning社の製品の商品名であり、
ホウケイガラスに属し多量のケイ酸と酸化ホウ素
を含む。）を支持体として蒸着技術を用いて、順
次膜厚を変化させることにより、その濃度を変化
させたものである。蒸着物質にはインコーネル、
クロームを使用している。本実施例の場合には長
方形の基板を用いているが、第７図ロの如くドー
ナツ型の支持体の一定箇所を透過率100％とし、
円周に沿つて終局箇所の透過率０％に至るまで
を、正確な比例で膜厚を変化させた回転型フイル
ターを用いても良い。７８は、板部材５５の穴に
嵌着固定されたレンズホルダーであり、これの内
部に、第２コンデンサーレンズ７９が保持されて
いる。８０は、ケーシング基部２３の底部の穴に
嵌着固定された箇体であり、その下端は、テーブ
ル１の支持面に対向し、内部に投影レンズ８１が
配設されている。８２は前記ケーシング３５の底
部に固定された支軸であり、これに、ボールベア
リングを介して、鍔部８３ａを有する管体８３が
回転自在に嵌着保持され、前記鍔部８３ａの外周
には歯車８４が形成されている。前記鍔部８３ａ
に部材８５が固定され、該部材８５にピン挿入孔
８６が透設されている。８７は、前記管体８３の
外周面に摺動自在に嵌合するデイスクであり、こ
れの外周部に、所定間隔毎に複数穴が透設され、
該穴にはそれぞれリング部材８８が嵌着固定され
ている。前記リング部材８８には、ホルダー８９
が着脱可能に嵌着している。前記複数のホルダー
８９は、それぞれ、異つた光透過形状のシンボル
を有するシンボル形成部材９０を保持している。 Reference numeral 6 denotes a Y rail arranged in the direction of the Y coordinate axis, to which the carrier 3 is slidably attached. A casing 35 is supported on the carrier 3. A holder 41 is attached to a transparent hole in the casing 35, and a concave reflecting mirror 42 and a light source lamp 43 are held in the holder 41. 44 is a fan, 45 is a cover, 46 is a cord connector, and 47 is a cylindrical body that is fitted and fixed in a transparent hole in the casing 35, and a first condenser lens group 48 is disposed in the hollow part of this cylindrical body. There is.
A hole 50 is transparently provided in the bottom of the cover member fixed to the cylindrical body 47, and a shutter 51 is disposed directly below the hole 50. The shutter 5
1 is a rotary solenoid 5 as shown in FIG.
It is fixed to the output rotation shaft of No.2. 53, 54
is a bracket fixed to a plate member 55 fixed to the casing 35, and a support member 57 in which a hole 56 is formed is installed.
Roller receiving members 58, 59 and 60, 61 are fixed to. 62 is a filter holder, to which roller receiving members 63 and 64 are fixed;
Rollers are arranged between the roller receiving member 63 and the roller receiving member 58 and between the roller receiving members 64 and 60. A variable density filter 65 is supported on the holder 62 . Reference numeral 66 denotes a filter holder, to which roller receiving members 67 and 68 are fixed, and rollers are arranged between the roller receiving member 67 and the roller receiving member 59 and between the roller receiving members 68 and 61. has been done.
A variable density filter 69 wider than the filter 65 is supported by the holder 66 . 70 and 71 are the holders 62 and 6, respectively.
It is a rack gear fixed to 6. Said plate member 5
A shaft 72 is rotatably supported on a bracket fixed to the shaft 7 via a ball bearing.
A gear 73 is fixed to one end of the shaft 72, and a pinion gear 74 is fixed to the other end of the shaft 72, and the pinion gear 74 meshes with the rack gears 70 and 71. The gear 73 is connected to the output shaft of a servo motor 75 fixed to the plate member 55.
Reference numeral 76 denotes a light projector disposed on the side of the casing 35, and a photodetector 77 faces this, and a side portion of the filter 69 is located in the opposing gap. The above 76 and 77 constitute a position detector 98. The filters 65 and 69 are made of glass (for example, quartz glass, optical glass, soda lime glass, pyrex, which is a type of heat-resistant glass, and is a trade name of a product manufactured by American Corning Company),
It belongs to the borosilicate glass and contains large amounts of silicic acid and boron oxide. ) was used as a support using vapor deposition technology, and by sequentially changing the film thickness, the concentration was changed. The vapor deposition material is Inconel,
I'm using chrome. In the case of this example, a rectangular substrate is used, but as shown in FIG.
A rotary filter may be used in which the film thickness is changed in exact proportion along the circumference until the transmittance reaches 0% at the final point. Reference numeral 78 denotes a lens holder that is fitted and fixed into a hole in the plate member 55, and a second condenser lens 79 is held inside this. Reference numeral 80 denotes an item that is fitted and fixed in a hole at the bottom of the casing base 23. Its lower end faces the support surface of the table 1, and a projection lens 81 is disposed inside. Reference numeral 82 denotes a support shaft fixed to the bottom of the casing 35, on which a tube body 83 having a flange 83a is rotatably fitted and held via a ball bearing. A gear 84 is formed. Said collar part 83a
A member 85 is fixed to the member 85, and a pin insertion hole 86 is provided through the member 85. 87 is a disk that is slidably fitted onto the outer circumferential surface of the tube body 83, and a plurality of holes are transparently provided at predetermined intervals on the outer circumference of the disk;
A ring member 88 is fitted and fixed in each hole. A holder 89 is attached to the ring member 88.
is removably fitted. Each of the plurality of holders 89 holds a symbol forming member 90 having symbols of different light-transmitting shapes.
９１は、鍔部と環状の突部を有する部材であ
り、これに位置ぎめピン９２が貫通されている。
前記部材９１は、その突部が前記デイスク８７に
透設された穴に嵌挿された状態で該デイスク８７
に固定されている。１０４はデイスク８７を管体
８３に固定させるためのねじ杆である。９３は前
記ケーシング３５の底部に一端部が揺動自在に軸
９４支された揺動アームであり、コイルバネの弾
力によつて、第３図上、時針回転方向に付勢され
ている。９５は、前記揺動アーム９３に固定され
た係止杆であり、これの先端は、デイスク８７外
周面のインデツクス凹部に対応してテーパー状に
形成され、該係止杆９５の後端には、ケーシング
３５に固定されたロータリーソレノイド９６の出
力軸に固着されたアーム９７の一端に回転自在に
取付けられたコロが対向している。９８は、係止
杆９５の位置検出器である。９９は、タコジエネ
レータ、１００はサーボモータ、１０１はクラツ
チ、１０２はレゾルバーであり、前記ケーシング
３５に固定されている。前記クラツチ１０１の出
力軸に固着されたピニオンギア１０３は、中間歯
車を介して、前記歯車８４に噛合している。 Reference numeral 91 denotes a member having a flange and an annular protrusion, through which the positioning pin 92 passes.
The member 91 is inserted into the disc 87 with its protrusion inserted into a hole formed in the disc 87.
Fixed. 104 is a screw rod for fixing the disk 87 to the tube body 83. Reference numeral 93 designates a swinging arm whose one end is swingably supported by a shaft 94 at the bottom of the casing 35, and is biased in the direction of rotation of the hour hand in FIG. 3 by the elasticity of a coil spring. 95 is a locking rod fixed to the swing arm 93, the tip of which is tapered to correspond to the index recess on the outer peripheral surface of the disk 87, and the rear end of the locking rod 95 is , a roller rotatably attached to one end of an arm 97 fixed to the output shaft of a rotary solenoid 96 fixed to the casing 35 faces. 98 is a position detector for the locking rod 95. 99 is a tacho generator, 100 is a servo motor, 101 is a clutch, and 102 is a resolver, which are fixed to the casing 35. A pinion gear 103 fixed to the output shaft of the clutch 101 meshes with the gear 84 via an intermediate gear.
第８図は本装置の電子回路ブロツク図である。 FIG. 8 is a block diagram of the electronic circuit of this device.
図中、５は計算機（コントローラ）、１１０は
Ｘモータ、１１１はＹモータ、１１２はＸ速度感
知器、１１３はＹ速度感知器、１１４はベクトル
合成回路であり前記Ｘ速度感知器１１２の出力信
号とＹ速度感知器１１３の出力信号とをベクトル
合成して、ヘツド４の線速度信号を造出するため
のものである。１１５はシンボル指定回路、１１
６はフイルタ開き量設定回路であり、シンボル１
１７の大きさによつて可変濃度フイルタ６５，６
９の最大開き位置を決定しその開き位置に対応す
る信号を造出するためのものである。より詳しく
説明すれば、感光面上に照射される光点の強さ
を、シンボル１１７の大きさに逆比例するために
必要な制御信号を造出するための回路である。１
１８はフイルタ開き速度設定回路であり、ヘツド
４の線速度に応じてフイルタの開閉速度を決定
し、該速度に対応する信号を造出するためのもの
である。換言すれば、感光面上に照射される光点
の強さを、該光点の線速度に、比例させるために
必要な制御信号を造出するためのものである。１
１９はフイルタ制御回路であり、前記回路１１
６，１１８の二つの出力信号に基いて、単一の制
御信号を造出し、この単一の制御信号によつて感
光面上に照射される光点の強さが、光点の大きさ
に逆比例し光点の速度に比例して変化するよう
に、フイルタ駆動用のモータ７５を駆動するため
のものである。１２０は比較回路、１２１は差分
増幅回路、１２２はサーボアンプ、１２３はサー
ボアンプ、５２はソレノイド、１２４はシヤツタ
駆動回路、１００はモータ、１２５は増幅回路、
１２６はランプ電源回路である。 In the figure, 5 is a computer (controller), 110 is an X motor, 111 is a Y motor, 112 is an X speed sensor, 113 is a Y speed sensor, and 114 is a vector synthesis circuit, which is the output signal of the X speed sensor 112. and the output signal of the Y velocity sensor 113 are vector-combined to generate a linear velocity signal of the head 4. 115 is a symbol designation circuit; 11
6 is the filter opening amount setting circuit, symbol 1
Variable density filters 65, 6 depending on the size of 17
This is for determining the maximum opening position of the opening position 9 and generating a signal corresponding to the opening position. More specifically, it is a circuit for creating a control signal necessary to make the intensity of a light spot irradiated onto a photosensitive surface inversely proportional to the size of the symbol 117. 1
Reference numeral 18 denotes a filter opening speed setting circuit, which determines the opening/closing speed of the filter in accordance with the linear velocity of the head 4 and generates a signal corresponding to the determined speed. In other words, it is for creating a control signal necessary to make the intensity of the light spot irradiated onto the photosensitive surface proportional to the linear velocity of the light spot. 1
19 is a filter control circuit, and the circuit 11
A single control signal is generated based on the two output signals of 6 and 118, and the intensity of the light spot irradiated onto the photosensitive surface by this single control signal is determined by the size of the light spot. This is for driving the filter driving motor 75 so that the speed changes inversely proportional to the speed of the light spot. 120 is a comparison circuit, 121 is a differential amplifier circuit, 122 is a servo amplifier, 123 is a servo amplifier, 52 is a solenoid, 124 is a shutter drive circuit, 100 is a motor, 125 is an amplifier circuit,
126 is a lamp power supply circuit.
次に本実施例の作用について説明する。 Next, the operation of this embodiment will be explained.
まず、テーブル１面上に感光部材を位置決めす
る。次にコントローラ５の指令によつてＸ，Ｙモ
ータ１１０，１１１を駆動するとテーブル１はＸ
座標軸方向に、担体３はＹ座標軸方向に移動制御
される。テーブル１及び担体３の移動量はデイジ
タル信号に変換されて、前記コントローラ５にフ
イードバツクされ、設定値と比較される。上記ク
ローズドループ数値制御方式によつてヘツド４
は、テーブル１面上の感光面に対して、所定のパ
ターンに沿つて相対的に移動する。一方コントロ
ーラ５の指令によつてランプ電源回路１２６がタ
ーンオンし、ランプ４３が点灯し、このランプ４
３の光は第１コンデンサーレンズ群４８、フイル
ター６５，６９、第二コンデンサーレンズ７９、
選択されたシンボル１１７、及び投影レンズ８１
を経て、感光面上にスポツトされる。更に、コン
トローラ５からロータリソレノイド（モータでも
良い）５２に与えられる指令によつてシヤツター
５１の開閉制御が行われて、感光面上には所定の
パターンが露光される。ヘツド４の移動運動は通
常第５図イに示す如く最初は低速から徐々に速度
をあげて、所定時間t1経過後トツプスピードレベ
ルA′に達する。始動時からトツプスピードレベ
ルA′に達するまでの間は、等加速状態に設定さ
れている。また、フイルター６５，６９の濃度分
布特性は、一定方向に向けて徐々に濃度が変化
し、その変化は直線的である。即ち、フイルター
６５の図面上、左端が一番濃度が低く、右端が一
番濃度が高く設定されている。光点の強さを光点
の大きさに逆比例させるには、光点の大きさを決
定するシンボルの径に応じて、フイルタ６５，６
９の濃度即ち開き量を決定しなければならない。
そして、フイルタ６５，６９の最大開き量は、光
点のトツプスピードレベルにも開係している。従
つて、例えば大きなシンボル１１７ａが選択さ
れ、このシンボル径に逆比例して、フイルタ６
５，６９の開き量（光の透過率）が例えば50％
に、即ち濃度が濃い位置が選択されたとする。こ
のフイルタ６５，６９の開き量50％は、上述した
如く光点のトツプスピードレベルに対応してい
る。しかるに光点は初速状態からt1時間までの間
直線的に加速される。即ち速度が変化する。従つ
て、この光点の加速時においても、光点の強さを
制御しなくてはならない。本実施例では、この問
題をフイルタ６５，６９の開き速度をコントロー
ルすることによつて解決している。即ち、フイル
タ６５，６９は、光点が初速状態からトツプスピ
ードレベルに達するt1時間中、一定のスピードで
開き量がゼロ％から50％に変化するように、その
開き速度が設定される。即ち、光点が移動開始か
らt1時間経過する間に第５図の直線Ａに示す如
く、直線的に開き量を変化させつつ移動して50％
の位置E2に達する。具体的には、フイルタの光
点のトツプレベルに対応する開き量は、パルス数
によつて決定され、フイルタの開き速度は、パル
スの周波数によつて決定される。そして、このパ
ルス数及びパルスの周波数に対応した電圧信号が
フイルタ制御回路１１９から出力される。また上
記シンボル１１７ａに比し小さなシンボル１１７
が選択され、このシンボル１１７に対応するフイ
ルタの最大開き量が例えば100％と選択される
と、フイルタ６５，６９は、光点が移動開始から
t1時間経過する間に第５図の直線Ｂに示す如く直
線的に開き量を変化させつつ移動して、100％位
置E1に達する。上記フイルタ６５，６９の開き
量50％、及び100％は、光点の大きさに逆比例
し、上記フイルタ６５，６９の開き速度は、光点
の速度の変化に比例している。上記の原理は光点
の移動が停止するときも同様に考えることができ
る。 First, a photosensitive member is positioned on one surface of the table. Next, when the X and Y motors 110 and 111 are driven by the command from the controller 5, the table 1 is
In the direction of the coordinate axis, the carrier 3 is controlled to move in the direction of the Y coordinate axis. The amounts of movement of the table 1 and the carrier 3 are converted into digital signals, fed back to the controller 5, and compared with set values. Head 4 is controlled by the above closed loop numerical control method.
moves relative to the photosensitive surface on the table 1 along a predetermined pattern. On the other hand, the lamp power supply circuit 126 is turned on in response to a command from the controller 5, and the lamp 43 is lit.
The light of No. 3 is transmitted through the first condenser lens group 48, filters 65, 69, second condenser lens 79,
Selected symbol 117 and projection lens 81
After that, it is spotted on the photosensitive surface. Further, the opening and closing of the shutter 51 is controlled by commands given from the controller 5 to a rotary solenoid (or a motor) 52, and a predetermined pattern is exposed on the photosensitive surface. As shown in FIG. 5A, the movement of the head 4 normally starts at a low speed and gradually increases its speed, and reaches the top speed level A' after a predetermined time t1 has elapsed. From the time of startup until the top speed level A' is reached, a constant acceleration state is set. Further, the density distribution characteristics of the filters 65 and 69 are such that the density gradually changes in a certain direction, and the change is linear. That is, in the drawing of the filter 65, the left end has the lowest density, and the right end has the highest density. In order to make the intensity of the light spot inversely proportional to the size of the light spot, filters 65 and 6 are used depending on the diameter of the symbol that determines the size of the light spot.
The concentration of 9, that is, the amount of opening must be determined.
The maximum opening amount of the filters 65 and 69 also depends on the top speed level of the light spot. Therefore, for example, a large symbol 117a is selected, and the filter 6 is applied in inverse proportion to the symbol diameter.
For example, the opening amount (light transmittance) of 5,69 is 50%
, that is, a position with a high density is selected. The 50% opening amount of the filters 65 and 69 corresponds to the top speed level of the light spot, as described above. However, the light spot is linearly accelerated from the initial velocity state until time t1. That is, the speed changes. Therefore, even when the light spot is accelerated, the intensity of the light spot must be controlled. In this embodiment, this problem is solved by controlling the opening speed of the filters 65 and 69. That is, the opening speeds of the filters 65 and 69 are set so that the opening amount changes from 0% to 50% at a constant speed during time t1 when the light spot reaches the top speed level from the initial speed state. In other words, while the light spot has elapsed for t1 time from the start of the movement, as shown by straight line A in Figure 5, the light spot moves linearly while changing the opening amount by 50%.
reaches position E2. Specifically, the opening amount corresponding to the top level of the light spot of the filter is determined by the number of pulses, and the opening speed of the filter is determined by the frequency of the pulses. Then, a voltage signal corresponding to the number of pulses and the frequency of the pulses is output from the filter control circuit 119. Also, the symbol 117 is smaller than the symbol 117a above.
is selected, and the maximum opening amount of the filter corresponding to this symbol 117 is selected as, for example, 100%, the filters 65 and 69
During the elapse of time t1, the opening amount moves linearly as shown by straight line B in FIG. 5, and reaches the 100% position E1. The opening amounts of 50% and 100% of the filters 65 and 69 are inversely proportional to the size of the light spot, and the opening speed of the filters 65 and 69 is proportional to the change in the speed of the light spot. The above principle can be similarly considered when the movement of the light spot stops.
次に上記の光点の強さの制御動作を実施例につ
いて説明する。 Next, the control operation of the intensity of the light spot will be described with reference to an embodiment.
コントローラ５からシンボル選択指令がシンボ
ル指定回路１１５に出される。回路１１５は上記
シンボル選択指令に基いてクラツチ１０１を掛け
るとともにサーボアンプ１２３を経て駆動信号を
モータ１００に入力する。モータ１００が駆動さ
れると、ピニオンギア１０３、歯車８４が回転
し、デイスク８７が回転する。所望のシンボル１
１７が光路上に位置したところで、シンボル指定
回路１１５からの指令でクラツチ１０１が外され
るとともにモータ１００への通電が遮断される一
方、ロータリーソレノイド９６が駆動し、アーム
９７が第３図上反時針回転方向に揺動して、係止
杆９５がデイスク８７のインデツクス凹部９２に
嵌入して、デイスク８７は所定の回転角度で位置
決めされる。 A symbol selection command is issued from the controller 5 to the symbol designation circuit 115. The circuit 115 applies the clutch 101 based on the symbol selection command and inputs a drive signal to the motor 100 via the servo amplifier 123. When the motor 100 is driven, the pinion gear 103 and the gear 84 rotate, and the disk 87 rotates. desired symbol 1
17 is located on the optical path, the clutch 101 is released in response to a command from the symbol designation circuit 115, and the power to the motor 100 is cut off, while the rotary solenoid 96 is driven and the arm 97 is rotated upward in FIG. As the hour hand rotates, the locking rod 95 fits into the index recess 92 of the disk 87, and the disk 87 is positioned at a predetermined rotational angle.
尚、ロータリーソレノイド９６への通電が遮断
されると、係止杆９５はコイルばねの弾力によつ
てデイスク８７のインデツクス凹部９２から離反
する。 Note that when the power to the rotary solenoid 96 is cut off, the locking rod 95 is separated from the index recess 92 of the disk 87 by the elasticity of the coil spring.
コントローラ５からの指令によつて駆動される
XYモータ１１０，１１１の回転速度は、それぞ
れXY速度感知器１１２，１１３によつて感知さ
れ、該感知器１１２，１１３の速度信号は、ベク
トル合成回路１１４に入力されてここで光ビーム
の感光面に対する相対的線速度に関する合成信号
に変換される。フイルタ開き速度設定回路１１８
は上記ベクトル合成回路１１４からの信号に基い
て、ヘツド４の移動速度に応じたフイルタの開閉
速度を決定し、その信号をフイルタ制御回路１１
９に入力する。一方、フイルタ開き量設定回路１
１６は、選択したシンボル１１７の大きさによつ
てフイルタ６５，６９の最大開き位置を決定し、
その信号をフイルタ制御回路１１９に入力する。
フイルタ制御回路１１９は、上記回路１１６，１
１８からの信号を受けて、フイルタ最大開き量と
開き速度の二つの信号成分を有するモータ駆動用
の単一信号を作成し、この信号を比較回路１２０
に入力する。一方、位置検出器９８によつて検出
されたフイルタ６９の濃度信号は、増幅回路１２
５を経て比較回路１２０に入力される。比較回路
１２０では、フイルタ６９の濃度信号と、フイル
タ制御回路１１９の出力信号とを比較し、その差
出力を差分増幅回路１２１、サーボアンプ１２２
を介してサーボモータ７５に入力する。サーボモ
ータ７５が比較回路１２０の差出力によつて駆動
すると、ピニオンギア７４が回転し、ラツクギア
７０，７１は互いに反対方向に、第２図上、紙面
に対して垂直方向に移動し、これと連動して、フ
イルタ６５，６９が移動する。このフイルタ６
５，６９の移動によつて感光面にスポツトされる
ビームの光の強さが光ビームの断面積の大きさに
逆比例し且つ光ビームの線速度の変化に比例して
変化する。これによつて感光面上に、均一の露出
で濃淡ムラのない正確に画成された線が描かれる
ことになる。フイルタ６５，６９は光ビームの通
路に対して対称に、互いに対向することによつて
ビームのスポツトに濃度のムラが生じるのを防止
している。 Driven by commands from controller 5
The rotational speeds of the XY motors 110 and 111 are sensed by XY speed sensors 112 and 113, respectively, and the speed signals of the sensors 112 and 113 are input to a vector synthesis circuit 114 where the photosensitive surface of the light beam is is converted into a composite signal in terms of relative linear velocity to . Filter opening speed setting circuit 118
determines the opening/closing speed of the filter according to the moving speed of the head 4 based on the signal from the vector synthesis circuit 114, and sends the signal to the filter control circuit 11.
Enter 9. On the other hand, filter opening amount setting circuit 1
16 determines the maximum open position of the filters 65 and 69 according to the size of the selected symbol 117,
The signal is input to filter control circuit 119.
The filter control circuit 119 is connected to the circuits 116 and 1 described above.
In response to the signal from the comparison circuit 120, a single signal for driving the motor having two signal components of the maximum opening amount and the opening speed of the filter is created, and this signal is sent to the comparison circuit 120.
Enter. On the other hand, the concentration signal of the filter 69 detected by the position detector 98 is transmitted to the amplifier circuit 12.
5 and is input to the comparison circuit 120. The comparison circuit 120 compares the density signal of the filter 69 and the output signal of the filter control circuit 119, and the difference output is sent to the differential amplifier circuit 121 and the servo amplifier 122.
The signal is input to the servo motor 75 via the servo motor 75. When the servo motor 75 is driven by the differential output of the comparator circuit 120, the pinion gear 74 rotates, and the rack gears 70 and 71 move in opposite directions to each other, perpendicular to the plane of the paper in FIG. Interlockingly, the filters 65 and 69 move. This filter 6
The intensity of the light beam spotted on the photosensitive surface by the movement of the light beams 5 and 69 changes in inverse proportion to the size of the cross-sectional area of the light beam and in proportion to changes in the linear velocity of the light beam. As a result, accurately defined lines with uniform exposure and no unevenness in density are drawn on the photosensitive surface. The filters 65 and 69 are symmetrically opposed to each other with respect to the path of the light beam, thereby preventing uneven density from occurring at the beam spot.
次に他の実施例を第９図を参照して説明する。
１３０は可変装置であり、差分増幅回路１３１の
出力信号によつて抵抗値が変化し、該抵抗値変化
によつてランプ電源回路１３２の電流値がコント
ロールされるように設定されている。１３３は光
ビームの光路の近傍に配置された検出器であり、
光ビームの光の強さを検出するためのものであ
る。１３４はヘツド速度対応電流値設定回路、１
３５はシンボル対応電流値設定回路、１３６はシ
ンボル対応電流信号と、ヘツド速度対応電流信号
とを合成し、ランプ電流を適値にコントロールす
るためのランプ制御回路である。本実施例では、
フイルタの構成が存しない。本実施例はフイルタ
による光ビームのコントロール動作を、ランプへ
の電流値制御によつて行うものである。他の構成
は第一の実施例に示すものと同じなのでその説明
を省略する。 Next, another embodiment will be described with reference to FIG.
Reference numeral 130 denotes a variable device whose resistance value changes according to the output signal of the differential amplifier circuit 131, and is set so that the current value of the lamp power supply circuit 132 is controlled by the resistance value change. 133 is a detector placed near the optical path of the light beam;
It is used to detect the intensity of the light beam. 134 is a current value setting circuit corresponding to head speed; 1
35 is a symbol-corresponding current value setting circuit, and 136 is a lamp control circuit for synthesizing the symbol-corresponding current signal and the head speed-corresponding current signal to control the lamp current to an appropriate value. In this example,
No filter configuration exists. In this embodiment, the light beam control operation by the filter is performed by controlling the current value to the lamp. The other configurations are the same as those shown in the first embodiment, so their explanation will be omitted.
次に本実施例の作用について説明する。 Next, the operation of this embodiment will be explained.
ヘツド速度対応電流値設定回路１３４は、ヘツ
ドの線速度信号に基いてヘツドの移動速度に応じ
たランプ電流値を決定し、その信号をランプ制御
回路１３６に入力する。一方、シンボル対応電流
値設定回路１３５は、シンボルの大きさによつて
ランプ電流値を決定し、その信号をランプ制御回
路１３６に入力する。ランプ制御回路１３６は、
上記回路１３４，１３５からの信号を受けてシン
ボル対応電流信号と、光点移動スピード対応電流
信号とを合成し、ランプ電流の最適値を決定す
る。そして、この合成信号を比較回路１２０に入
力する。一方、光検出器１３３によつて検出され
た光ビームの強さを示す信号は増幅回路１２５を
経て比較回路１２０に入力される。比較回路１２
０では光ビームの強さと、ランプ制御回路１３６
の出力信号とを比較し、その差出力を差分増幅回
路１３１を介して可変装置１３０のコントロール
部に入力し可変装置１３０の抵抗値を変化させ
る。この抵抗値変化によつて、ランプ４３の光の
強さは、光点の大きさに逆比例し、且つ光点の線
速度の変化に比例して変化する。これによつて感
光面上に、均一の露出で、濃淡ムラのない正確に
画成された線が描かれることになる。 The head speed corresponding current value setting circuit 134 determines a lamp current value corresponding to the moving speed of the head based on the linear velocity signal of the head, and inputs the signal to the lamp control circuit 136. On the other hand, the symbol corresponding current value setting circuit 135 determines the lamp current value according to the size of the symbol, and inputs the signal to the lamp control circuit 136. The lamp control circuit 136 is
Upon receiving the signals from the circuits 134 and 135, the current signal corresponding to the symbol and the current signal corresponding to the light spot movement speed are combined to determine the optimum value of the lamp current. This composite signal is then input to the comparison circuit 120. On the other hand, a signal indicating the intensity of the light beam detected by the photodetector 133 is input to the comparison circuit 120 via the amplifier circuit 125. Comparison circuit 12
At 0, the intensity of the light beam and the lamp control circuit 136
The difference output is inputted to the control unit of the variable device 130 via the differential amplifier circuit 131 to change the resistance value of the variable device 130. Due to this change in resistance value, the intensity of the light from the lamp 43 changes in inverse proportion to the size of the light spot and in proportion to the change in the linear velocity of the light spot. As a result, precisely defined lines with uniform exposure and no unevenness in density are drawn on the photosensitive surface.
尚、上記した説明から明らかな如く、複数のシ
ンボル１１７、デイスク８７、サーボモータ１０
０は光のビームの支持面に照射される光点の大き
さを変化させる手段を構成し、シンボル指定回路
１１５、フイルタ開き量設定回路１１６は、光点
の大きさの変化に応じて光点の強さを設定する手
段を構成しベクトル合成回路１１４、シンボル指
定回路１１５は光点の支持面に対する相対的移動
速度の変化に応じて光点の強さを設定する手段を
構成し、フイルタ制御回路１１９は、上記両設定
手段の信号を単一の信号に設定する手段を構成
し、モータ７５、フイルタ６５，６９は前記単一
の信号により光点の強さを光点の速度の変化及び
光点の大きさに応じて自動的に変えるための単一
の制御手段を構成している。尚、上記手段は特に
実施例に示すものに限定されるものではない。 Incidentally, as is clear from the above description, the plurality of symbols 117, the disk 87, and the servo motor 10
0 constitutes means for changing the size of the light spot irradiated onto the supporting surface of the light beam, and the symbol designating circuit 115 and the filter opening amount setting circuit 116 change the light spot according to the change in the size of the light spot. The vector synthesis circuit 114 and the symbol designation circuit 115 constitute means for setting the intensity of the light spot according to changes in the relative moving speed of the light spot with respect to the support surface, and the filter control The circuit 119 constitutes means for setting the signals of both of the setting means to a single signal, and the motor 75 and filters 65 and 69 use the single signal to control the intensity of the light spot and the change in the speed of the light spot. It constitutes a single control means for automatically changing the size of the light spot. Note that the above means are not particularly limited to those shown in the examples.
本発明は上述したごとく、単一の制御手段によ
つて、光点の強さを、光点の大きさ及び光点のス
ピード変化に応じて適値にコントロールするよう
にしたので構成を極めて簡単にすることができる
効果が存する。 As described above, the present invention uses a single control means to control the intensity of the light spot to an appropriate value according to the size of the light spot and the speed change of the light spot, so the configuration is extremely simple. There are effects that can be achieved.
図は本発明の好適な実施例を示し、第１図は全
体斜視図、第２図はヘツドの断面側面図、第３図
はシンボル選択機構の平面図、第４図はヘツドの
断面正面図、第５図は説明図、第６図はシンボル
の説明図、第７図はフイルタの平面図、第８図は
本装置の電子回路ブロツク図、第９図は、他の実
施例を示す電子回路ブロツク図である。
１…テーブル、２…本体、３…担体、４…ヘツ
ド、５…計算機、６…Ｙレール、３５…ケーシン
グ、４１…ホルダー、４３…光源ランプ、４４…
フアン、４５…カバー、４６…コードネクター、
４７…筒体、４８…第一コンデンサーレンズ、５
０…穴、５２…ロータリーソレノイド、６２…フ
イルタホルダー、６５…可変濃度フイルター、６
６…フイルタホルダー、６９…可変濃度フイルタ
ー、７５…サーボモータ、７６…投光器、７７…
光検出器、７８…レンズホルダー、７９…第２コ
ンデンサーレンズ、８１…投影レンズ、８７…デ
イスク、８９…ホルダー、９０…シンボル形成部
材、９６…ロータリーソレノイド、９８…位置検
出器、９９…タコジエネレータ、１００…サーボ
モータ、１０１…クラツチ、１０２…レゾルバ、
１０３…ピニオンギア、１１０…Ｘモータ、１１
１…Ｙモータ、１１２…Ｘ速度感知器、１１３…
Ｙ速度感知器、１１４…ベクトル合成回路、１１
５…シンボル指定回路、１１６…フイルタ開き量
設定回路、１１７…シンボル、１１８…フイルタ
開き速度設定回路、１１９…フイルタ制御回路、
１２０…比較回路、１２１…差分増幅回路、１２
２…サーボアンプ、１２３…サーボアンプ、１２
４…シヤツター駆動回路、１２５…増幅回路、１
２６…ランプ電源回路。
The drawings show a preferred embodiment of the present invention, in which Fig. 1 is an overall perspective view, Fig. 2 is a sectional side view of the head, Fig. 3 is a plan view of the symbol selection mechanism, and Fig. 4 is a sectional front view of the head. , FIG. 5 is an explanatory diagram, FIG. 6 is an explanatory diagram of symbols, FIG. 7 is a plan view of the filter, FIG. 8 is an electronic circuit block diagram of this device, and FIG. 9 is an electronic circuit diagram showing another embodiment. FIG. 3 is a circuit block diagram. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Table, 2...Main body, 3...Carrier, 4...Head, 5...Calculator, 6...Y rail, 35...Casing, 41...Holder, 43...Light source lamp, 44...
Juan, 45...Cover, 46...Code Nectar,
47...Cylinder body, 48...First condenser lens, 5
0... Hole, 52... Rotary solenoid, 62... Filter holder, 65... Variable density filter, 6
6... Filter holder, 69... Variable density filter, 75... Servo motor, 76... Floodlight, 77...
Photodetector, 78... Lens holder, 79... Second condenser lens, 81... Projection lens, 87... Disk, 89... Holder, 90... Symbol forming member, 96... Rotary solenoid, 98... Position detector, 99... Tachozi generator, 100... Servo motor, 101... Clutch, 102... Resolver,
103...Pinion gear, 110...X motor, 11
1...Y motor, 112...X speed sensor, 113...
Y speed sensor, 114... Vector synthesis circuit, 11
5...Symbol designation circuit, 116...Filter opening amount setting circuit, 117...Symbol, 118...Filter opening speed setting circuit, 119...Filter control circuit,
120... Comparison circuit, 121... Differential amplifier circuit, 12
2... Servo amplifier, 123... Servo amplifier, 12
4...Shutter drive circuit, 125...Amplification circuit, 1
26...Lamp power supply circuit.
Claims (1)
ームを前記支持面に照射するための投光手段を備
えたヘツドと、該ヘツドを前記支持面に対して一
定の距離を保ちつつ、該支持面に対して相対的に
所定方向に移動させるための送り手段と、前記光
のビームの前記支持面に照射される光点の大きさ
を変化させる手段とから成る装置において、光点
の大きさの変化に応じて光点の強さを設定する手
段と、光点の前記支持面に対する相対的移動速度
の変化に応じて光点の強さを設定する手段と、上
記両設定手段の信号を単一の信号に設定する手段
と、前記単一の信号により光点の強さを、光点の
速度の変化及び光点の大きさに応じて自動的に変
えるための単一の制御手段とより成る投光自動製
図装置。1. A head equipped with a support surface for supporting a photosensitive material, a light projection means for irradiating a beam of light onto the support surface, and a head that is provided with a light beam while maintaining a constant distance from the support surface. A device comprising a sending means for moving the light beam in a predetermined direction relative to the support surface, and a means for changing the size of the light spot irradiated on the support surface with the beam of light. means for setting the intensity of the light spot according to a change in the speed of the light spot, means for setting the intensity of the light spot according to a change in the relative moving speed of the light spot with respect to the support surface, and a signal for both of the setting means. a single control means for automatically varying the intensity of the light spot according to the change in the speed of the light spot and the size of the light spot by means of the single signal; A floodlight automatic drafting device consisting of.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16374279A JPS5686800A (en) | 1979-12-17 | 1979-12-17 | Light projecting automatic drawing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16374279A JPS5686800A (en) | 1979-12-17 | 1979-12-17 | Light projecting automatic drawing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5686800A JPS5686800A (en) | 1981-07-14 |
| JPS6129280B2 true JPS6129280B2 (en) | 1986-07-05 |
Family
ID=15779808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16374279A Granted JPS5686800A (en) | 1979-12-17 | 1979-12-17 | Light projecting automatic drawing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5686800A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6310367U (en) * | 1986-07-07 | 1988-01-23 |
-
1979
- 1979-12-17 JP JP16374279A patent/JPS5686800A/en active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6310367U (en) * | 1986-07-07 | 1988-01-23 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5686800A (en) | 1981-07-14 |
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