JPS61279190A - 光フアイバ付半導体発光装置 - Google Patents
光フアイバ付半導体発光装置Info
- Publication number
- JPS61279190A JPS61279190A JP12043685A JP12043685A JPS61279190A JP S61279190 A JPS61279190 A JP S61279190A JP 12043685 A JP12043685 A JP 12043685A JP 12043685 A JP12043685 A JP 12043685A JP S61279190 A JPS61279190 A JP S61279190A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- light emitting
- package
- semiconductor light
- optical
- Prior art date
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- Pending
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- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は光ファイバ付半導体発光装置、特に光通信など
に適用して好適な光ファイバ付半導体発光装置に関する
ものである。
に適用して好適な光ファイバ付半導体発光装置に関する
ものである。
光通信などに用いる光ファイバ付半導体発光装置は、パ
ッケージにレーザダイオードなどの半導体発光素子の出
射面と、光ファイバの先端である光結合端とが対面する
ように配設されている。そして光ファイバの光結合端は
半導体発光素子からの光を効率よく導入するために、予
め光球レンズ加工をしている。この構造で光結合させる
と、半導体発光素子と光ファイバの光結合端との相対位
置ずれにより光結合効率が変化する。
ッケージにレーザダイオードなどの半導体発光素子の出
射面と、光ファイバの先端である光結合端とが対面する
ように配設されている。そして光ファイバの光結合端は
半導体発光素子からの光を効率よく導入するために、予
め光球レンズ加工をしている。この構造で光結合させる
と、半導体発光素子と光ファイバの光結合端との相対位
置ずれにより光結合効率が変化する。
今、半導体素子として例えば、レーザダイオードを用い
て、光ファイバとしてコア径が5〜10μφのシングル
モードファイバを用い、このレーザダイオードと光ファ
イバの光結合端との相対位置の変化として光軸方向を2
方向、光軸方向に対して垂直方向をY方向、水平方向を
X方向とした場合、Y方向とZ方向の位置ずれ量に対す
る光結合効率の変化は、第5図及び第6図に示すように
なる。第5図及び第6図でわかるように、光結合効率は
、Z方向位置ずれ量に対しては許容範囲が比較的大きい
のに対し、Y方向(X方向についても同様)位置ずれ獣
に対しては許容範囲が小さく、位置ずれ量が±1μmに
対し効率が約15%低下する。この結果は、光ファイバ
としてシングルモードファイバ(コア径5〜10μmφ
)を使ったものであり、マルチモードファイバ(コア径
45〜62μmφ)に対しては、上記の許容範囲は幾分
大きくなる。従って、高い光結合効率を得るためには、
レーザダイオードと光ファイバとの組立であるいは使用
時、レーザダイオードと光ファイバ先端との位置ずれを
起こさない構造にすることが重要である。
て、光ファイバとしてコア径が5〜10μφのシングル
モードファイバを用い、このレーザダイオードと光ファ
イバの光結合端との相対位置の変化として光軸方向を2
方向、光軸方向に対して垂直方向をY方向、水平方向を
X方向とした場合、Y方向とZ方向の位置ずれ量に対す
る光結合効率の変化は、第5図及び第6図に示すように
なる。第5図及び第6図でわかるように、光結合効率は
、Z方向位置ずれ量に対しては許容範囲が比較的大きい
のに対し、Y方向(X方向についても同様)位置ずれ獣
に対しては許容範囲が小さく、位置ずれ量が±1μmに
対し効率が約15%低下する。この結果は、光ファイバ
としてシングルモードファイバ(コア径5〜10μmφ
)を使ったものであり、マルチモードファイバ(コア径
45〜62μmφ)に対しては、上記の許容範囲は幾分
大きくなる。従って、高い光結合効率を得るためには、
レーザダイオードと光ファイバとの組立であるいは使用
時、レーザダイオードと光ファイバ先端との位置ずれを
起こさない構造にすることが重要である。
そこで、従来の構造は、特開昭60−43889号公報
に記載されているように、レーザダイオードは、パッケ
ージ中央部にサブマウントを介して接合固定されており
、−力先ファイバの先端側は支持部材を介して接合固定
された構造となっている。したがって、パッケージに加
わる外力に対しレーザダイオードと光ファイバとの相対
位置ずれを起こすごとはなく、また、万一位置ずれを起
こした場合ファイバ先端側の支持部材を変形させること
により、光結合効率を回復させる構造となっている。
に記載されているように、レーザダイオードは、パッケ
ージ中央部にサブマウントを介して接合固定されており
、−力先ファイバの先端側は支持部材を介して接合固定
された構造となっている。したがって、パッケージに加
わる外力に対しレーザダイオードと光ファイバとの相対
位置ずれを起こすごとはなく、また、万一位置ずれを起
こした場合ファイバ先端側の支持部材を変形させること
により、光結合効率を回復させる構造となっている。
しかしながら、このような従来の構造は、パッケージを
高温中で長時間放置した場合、ファイバ、ステムなどの
線膨張係数が異なるため、ファイバ先端側の支持部に熱
ひずみが発生し、ファイバ固定部材が変形あるいは破壊
し、レーザダイオードと光ファイバとの相対位置ずれを
起こすことについては配慮されていなかった。
高温中で長時間放置した場合、ファイバ、ステムなどの
線膨張係数が異なるため、ファイバ先端側の支持部に熱
ひずみが発生し、ファイバ固定部材が変形あるいは破壊
し、レーザダイオードと光ファイバとの相対位置ずれを
起こすことについては配慮されていなかった。
本発明の目的は、パッケージを高温雰囲気中で長時間放
置した時、あるいは室温中で長期間放置した場合でも常
に安定した光結合効率が得られる光ファイバ付半導体発
光装置を提供することにある。
置した時、あるいは室温中で長期間放置した場合でも常
に安定した光結合効率が得られる光ファイバ付半導体発
光装置を提供することにある。
本発明の特徴はサブマウント及び半導体発光素子を取付
けるパッケージ底部の一部に外力を加えて変形可能ポス
ト形状の取付部を形成し、この取何部に光ファイバ先端
を前述の半導体発光素子の出射面と対向するように取付
けることにより、半導体発光素子と光ファイバ先端の光
結合端の位置合せを上記ポスト形状の発光素子取付部を
調整しながら最適位置に合せることができる構成にした
ものである。
けるパッケージ底部の一部に外力を加えて変形可能ポス
ト形状の取付部を形成し、この取何部に光ファイバ先端
を前述の半導体発光素子の出射面と対向するように取付
けることにより、半導体発光素子と光ファイバ先端の光
結合端の位置合せを上記ポスト形状の発光素子取付部を
調整しながら最適位置に合せることができる構成にした
ものである。
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。
レーザダイオード1はSiCなど材料で作られたサブマ
ウント2−Lにはんだなどの接合材を介して固定されて
いる。このサブマウント2はコバールなどの材料で作ら
れたパッケージ3の底部でポスト形状をした取付部3a
lに、はんだなどの接合材を介して固定されている。一
方、光ファイバ4は、パッケージ3に取付けたファイバ
ガイド5にレーザダイオード1からの出射光が効率よく
集光できるように出射面と対面するように位置し、先端
部4a及び中間部4bの所ではんだあるいは接着剤で固
定されている。このファイバガイド5は、管状のジャケ
ットガイド8に銀ろうなどの接合材で固定されている。
ウント2−Lにはんだなどの接合材を介して固定されて
いる。このサブマウント2はコバールなどの材料で作ら
れたパッケージ3の底部でポスト形状をした取付部3a
lに、はんだなどの接合材を介して固定されている。一
方、光ファイバ4は、パッケージ3に取付けたファイバ
ガイド5にレーザダイオード1からの出射光が効率よく
集光できるように出射面と対面するように位置し、先端
部4a及び中間部4bの所ではんだあるいは接着剤で固
定されている。このファイバガイド5は、管状のジャケ
ットガイド8に銀ろうなどの接合材で固定されている。
また、このジャケットガイド8は銀ろうなどの接合材に
より、パッケージ3の側面部に固定されている。なお、
この光ファイバ4は、石英ガラス材などの高い屈折率を
有するコア部と、このコア部を覆い、コア部より低い屈
折率を有するクラッド部と、これらを保護するために表
面を覆ったナイロンなどのジャケット部とから構成され
、コア部に入射した光が、屈折率の違いにより閉に込め
られ、コア部内で全反射を繰り返しながら伝ばしていく
。
より、パッケージ3の側面部に固定されている。なお、
この光ファイバ4は、石英ガラス材などの高い屈折率を
有するコア部と、このコア部を覆い、コア部より低い屈
折率を有するクラッド部と、これらを保護するために表
面を覆ったナイロンなどのジャケット部とから構成され
、コア部に入射した光が、屈折率の違いにより閉に込め
られ、コア部内で全反射を繰り返しながら伝ばしていく
。
レーザダイオード1からの出射光をモニタし常に一定の
光出力が得られるように受光素子6が設けである。7は
パッケージ3内に湿気などが流入するのを防ぎ気密を保
つためのキャップである。
光出力が得られるように受光素子6が設けである。7は
パッケージ3内に湿気などが流入するのを防ぎ気密を保
つためのキャップである。
このような構成において、レーザダイオード1と光ファ
イバ4の光結合端との位置合せを行うためには、まず、
光ファイバ4を確実に固定しておき、つぎに、パッケー
ジ3のポスト形状をした取付部3aを光結合効率が最大
となるよう変形させることにより調整する。このような
構成でパッケージ3を高温に長時間放置しても、光ファ
イバ4はファイバガイド5で固定されているため、光フ
ァイバ4の光結合端が突き出たり位置ずれを起こすこと
がない。一方パッケージ3のポス1へ形状をした取付部
3 aの部分を調整のため変形させると、弾性余効現象
を起こして短時間のうちにもどることがある。たとえば
、第2図のようなポスト形状をした取付部3dを■7.
変形させた後の弾性余効によるもどり量■4□は、第7
3図に示される。第3図において横軸は時間をとってお
り縦軸はもどり祉■4□をとっている。また図中各点の
幅は初期変形鼠り、の幅を示している。この図からもオ
)かるように初期変形斌r、、の大きさにかかわらず、
■、2は比較的短時間のうちに一定の値となりそれ以後
は変形なく安定している。したがって、レーザダイオー
ド1の位置を調整後、その状態で短時間放置した後、再
度位置合せを行なうとレーザダイオード1と光ファイバ
4との位置は安定することがわかる。
イバ4の光結合端との位置合せを行うためには、まず、
光ファイバ4を確実に固定しておき、つぎに、パッケー
ジ3のポスト形状をした取付部3aを光結合効率が最大
となるよう変形させることにより調整する。このような
構成でパッケージ3を高温に長時間放置しても、光ファ
イバ4はファイバガイド5で固定されているため、光フ
ァイバ4の光結合端が突き出たり位置ずれを起こすこと
がない。一方パッケージ3のポス1へ形状をした取付部
3 aの部分を調整のため変形させると、弾性余効現象
を起こして短時間のうちにもどることがある。たとえば
、第2図のようなポスト形状をした取付部3dを■7.
変形させた後の弾性余効によるもどり量■4□は、第7
3図に示される。第3図において横軸は時間をとってお
り縦軸はもどり祉■4□をとっている。また図中各点の
幅は初期変形鼠り、の幅を示している。この図からもオ
)かるように初期変形斌r、、の大きさにかかわらず、
■、2は比較的短時間のうちに一定の値となりそれ以後
は変形なく安定している。したがって、レーザダイオー
ド1の位置を調整後、その状態で短時間放置した後、再
度位置合せを行なうとレーザダイオード1と光ファイバ
4との位置は安定することがわかる。
前述のポスト形状をした取付部3aは、その根元部に切
り欠き溝をつけてもよく、また、円柱の他に角柱あるい
は逆円すい状でもよい。さらに、レーザダイオード1と
受光素子6を同一の取付部に配置することにより、レー
ザダイオード1と受光素子6との間の位置調整をなくす
構造も考えられる。
り欠き溝をつけてもよく、また、円柱の他に角柱あるい
は逆円すい状でもよい。さらに、レーザダイオード1と
受光素子6を同一の取付部に配置することにより、レー
ザダイオード1と受光素子6との間の位置調整をなくす
構造も考えられる。
取付部3aの形状が、円柱などのスl−レートなものの
他に複雑な形、たとえば、第4図のようなものがある。
他に複雑な形、たとえば、第4図のようなものがある。
このようにr、字形にすると横方向(X方向)の位置合
せとたて方向(Y方向)の位置合せを分離して行うこと
ができ、さらに精度よく位置合せができる効果がある。
せとたて方向(Y方向)の位置合せを分離して行うこと
ができ、さらに精度よく位置合せができる効果がある。
本発明によれば、レーザダイオードと光ファイバとの位
置合せをレーザダイオード部の変形によって行うことに
より、その後の温度変化に対し、安定した光結合を有す
る光ファイバ付半導体発光装置を得ることができる。
置合せをレーザダイオード部の変形によって行うことに
より、その後の温度変化に対し、安定した光結合を有す
る光ファイバ付半導体発光装置を得ることができる。
第1図は光ファイバ付半〜3光装置の一実施例の縦断面
図、第2図は第1図における発光素子取付部を示す図、
第3図は第2図に示す取付部の弾性面 余効を説明す秋第4図は本発明における発光素子取付部
の他の実施例を示す斜視図、第5Mはレーザダイオード
と光ファイバとのY方向位置ずれ量と光結合効率を示す
図、第6図はレーザダイオードと光ファイバとのY方向
位置ずれ量と光結合効゛率を示す図である。 1・・・レーザダイオード、2・・・サブマウント、3
・・・パッケージ、3a・・・取付部、4・・・光ファ
イバ、5・・・ファイバガイド、6・・・受光素子、7
・・・キャラ第1図 メ2図 砲 へ (V、)+a寸をX (幻秦Q+賢V
図、第2図は第1図における発光素子取付部を示す図、
第3図は第2図に示す取付部の弾性面 余効を説明す秋第4図は本発明における発光素子取付部
の他の実施例を示す斜視図、第5Mはレーザダイオード
と光ファイバとのY方向位置ずれ量と光結合効率を示す
図、第6図はレーザダイオードと光ファイバとのY方向
位置ずれ量と光結合効゛率を示す図である。 1・・・レーザダイオード、2・・・サブマウント、3
・・・パッケージ、3a・・・取付部、4・・・光ファ
イバ、5・・・ファイバガイド、6・・・受光素子、7
・・・キャラ第1図 メ2図 砲 へ (V、)+a寸をX (幻秦Q+賢V
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、パッケージの底面部上にサブマウントを介して接合
した発光素子と、該発光素子の近傍に出射光を導入でき
るように光ファイバを固定してなる光ファイバ付半導体
発光装置において、前記発光素子及びサブマウントを変
形が容易なパッケージ底面部の取付部に接合固定し、こ
の取付部を変形させることにより発光素子端面からの出
射光方向を調整できるようにしたことを特徴とすると光
ファイバ付半導体発光装置。 2、パッケージ底面部の発光素子取付部の形状は角柱、
円柱、逆円すいあるいは逆L字形状としたことを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ付半導体発
光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12043685A JPS61279190A (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 | 光フアイバ付半導体発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12043685A JPS61279190A (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 | 光フアイバ付半導体発光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61279190A true JPS61279190A (ja) | 1986-12-09 |
Family
ID=14786160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12043685A Pending JPS61279190A (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 | 光フアイバ付半導体発光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61279190A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03157606A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-07-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光半導体モジュールの光半導体素子と二種類以上の光ファイバとの結合方法 |
EP0908984A1 (en) * | 1997-10-10 | 1999-04-14 | Lucent Technologies Inc. | Soldering an optical component to a substrate |
WO2006035633A1 (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Nec Corporation | 光信号入出力機構を有する半導体装置 |
EP0990186B1 (en) * | 1997-06-18 | 2007-05-02 | Telefonaktiebolaget LM Ericsson (publ) | Alignment of optical building elements |
-
1985
- 1985-06-05 JP JP12043685A patent/JPS61279190A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03157606A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-07-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光半導体モジュールの光半導体素子と二種類以上の光ファイバとの結合方法 |
EP0990186B1 (en) * | 1997-06-18 | 2007-05-02 | Telefonaktiebolaget LM Ericsson (publ) | Alignment of optical building elements |
EP0908984A1 (en) * | 1997-10-10 | 1999-04-14 | Lucent Technologies Inc. | Soldering an optical component to a substrate |
WO2006035633A1 (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Nec Corporation | 光信号入出力機構を有する半導体装置 |
US7561762B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-07-14 | Nec Corporation | Semiconductor device having optical signal input-output mechanism |
US7783143B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-08-24 | Nec Corporation | Semiconductor device having optical signal input-output mechanism |
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