JPS61279147A - ウエハの位置決め装置 - Google Patents
ウエハの位置決め装置Info
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- JPS61279147A JPS61279147A JP12175285A JP12175285A JPS61279147A JP S61279147 A JPS61279147 A JP S61279147A JP 12175285 A JP12175285 A JP 12175285A JP 12175285 A JP12175285 A JP 12175285A JP S61279147 A JPS61279147 A JP S61279147A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の技術分野)
本発明は、ウェハのノツチを検出し、ノツチが所定の位
置にくるように位置決めを行なう位置決め装置に関する
。
置にくるように位置決めを行なう位置決め装置に関する
。
(発明の背景)
従来、半導体ウェハを位置決めするために、半導体ウェ
ハに形成したオリエンテーションフラットを光電的に検
出するものが知られており、例えば特開昭58−187
13号がある。
ハに形成したオリエンテーションフラットを光電的に検
出するものが知られており、例えば特開昭58−187
13号がある。
このものは、ウェハのほぼ中心を回転中心として回転す
る回転手段と、発光部と受光部とをウェハの周縁を挾む
ように対向して配設した光電センサーを有し、ウェハの
外形状に応じた検出信号を出力する検出手段と、検出信
号からウェハのオリエンチージョンフラットを検知して
検知信号を出力する検知手段と、回転手段の回転量に応
じた信号を発生する測定手段と、測定手段の信号の入力
に基づいて、検出信号を入力したときから回転手段を所
定量だけ回転させて停止する制御手段と、によってウェ
ハを所定の位置に位置決めしている。
る回転手段と、発光部と受光部とをウェハの周縁を挾む
ように対向して配設した光電センサーを有し、ウェハの
外形状に応じた検出信号を出力する検出手段と、検出信
号からウェハのオリエンチージョンフラットを検知して
検知信号を出力する検知手段と、回転手段の回転量に応
じた信号を発生する測定手段と、測定手段の信号の入力
に基づいて、検出信号を入力したときから回転手段を所
定量だけ回転させて停止する制御手段と、によってウェ
ハを所定の位置に位置決めしている。
ところで近年、ウェハにオリエンテーションフラットの
他にノツチと称する凹みを形成することが行なわれつつ
あシ、米国のSEMI規格にも取り上げられるように々
ってきた。そこで、このようなノツチに基づいてウェハ
を位置決めする必要が生じてきた。ところが、従来の装
置への対応等の理由によシノッチのみを形成されたウェ
ハはまれで、通常オリエンテーションフラットが共に形
成されている。
他にノツチと称する凹みを形成することが行なわれつつ
あシ、米国のSEMI規格にも取り上げられるように々
ってきた。そこで、このようなノツチに基づいてウェハ
を位置決めする必要が生じてきた。ところが、従来の装
置への対応等の理由によシノッチのみを形成されたウェ
ハはまれで、通常オリエンテーションフラットが共に形
成されている。
従って、光電センサーを用いてウェハの外形状に応じた
検出信号を非接触に求める利点を生かしつつ、オリエン
テーションフラットと識別してノツチのみを検出するこ
とが望まれるが、従来の技術をそのitノツチとオリエ
ンテーションフラットとを有するウェハに適用してもノ
ツチのみを検出することは困難であった。
検出信号を非接触に求める利点を生かしつつ、オリエン
テーションフラットと識別してノツチのみを検出するこ
とが望まれるが、従来の技術をそのitノツチとオリエ
ンテーションフラットとを有するウェハに適用してもノ
ツチのみを検出することは困難であった。
(発明の目的)
本発明け、ノツチとオリエンテーションフラットとを有
するウェハを、非接触にノツチを検出して位置決めする
ウェハの位置決め装置を提供することを目的とする。
するウェハを、非接触にノツチを検出して位置決めする
ウェハの位置決め装置を提供することを目的とする。
(発明の概要)
本発明は、ウェハの外形状に応じた検出1M号の微分信
号を求め、この微分信号を第1の閾値と比較することに
よって検出信号が大きく変化する時点を捉え、それによ
ってノツチとオリエンテーションフラットとを共に検出
し、検出信号が大きく変化した時点での検出信号を第2
の閾値とし、この第2の閾値を検出信号と比較し、検出
信号が第2の閾値を越えている時間を計数することによ
って、検出信号の大きさが第2の閾値を越える時間、す
なわち第2の閾値を越える検出信号の幅を求め、検出信
号のノツチによるレベル変化とオリエンテーションフラ
ットによるレベル変化とによって検出信号が第2の閾値
を越える幅は、前者が後者よりも小であるから、両者の
間に定めた第3の閾値によってノツチによる検出信号、
す々わちノツチを検出し、それに基づいてウェノ・を所
定位置に位置決めしている。
号を求め、この微分信号を第1の閾値と比較することに
よって検出信号が大きく変化する時点を捉え、それによ
ってノツチとオリエンテーションフラットとを共に検出
し、検出信号が大きく変化した時点での検出信号を第2
の閾値とし、この第2の閾値を検出信号と比較し、検出
信号が第2の閾値を越えている時間を計数することによ
って、検出信号の大きさが第2の閾値を越える時間、す
なわち第2の閾値を越える検出信号の幅を求め、検出信
号のノツチによるレベル変化とオリエンテーションフラ
ットによるレベル変化とによって検出信号が第2の閾値
を越える幅は、前者が後者よりも小であるから、両者の
間に定めた第3の閾値によってノツチによる検出信号、
す々わちノツチを検出し、それに基づいてウェノ・を所
定位置に位置決めしている。
(実施例)
第1図は本発明の一実施例のブロック図であり、第2図
は本発明の対象とするウエノ・の例、第3図はウェハの
周縁を挾むように発光部と受光部を配設した光電センサ
ーの側面図、第4図は第1図の回路動作を説明するだめ
の波形図、である。
は本発明の対象とするウエノ・の例、第3図はウェハの
周縁を挾むように発光部と受光部を配設した光電センサ
ーの側面図、第4図は第1図の回路動作を説明するだめ
の波形図、である。
第2図に示したように、ウェハ1には周縁にノツチ2と
オリエンテーションフラット3が形成されている。この
ようなウェハ1は、特開昭58−18713号に示され
ている如き公知のセンタリング装置によって、第3図に
示したように、テーブル4の回転中心にウエノ・1の中
心が一致するようにセットされ、テーブル4に真空吸着
等で保持される。ウェハ1の周縁を挾むように発光ダイ
オードの如き光源を含む発光部5とフォトダイオ−ドの
如き光電変換素子を含む受光部6が配設されている。両
者の位置は、例えば、発光部5からの平行光束が、ウェ
ハ1の円形部分(ノツチ2とオリエンテーションフラッ
ト3以外の部分)にあるときに、発光部5からの平行光
束がわずかに受光部6に入射し、両者の間にノツチ2、
オリエンテーションフラット3がくると受光部6への入
射光量が増えるように定められる2、 テーブル4はモータ7によって不図示の伝達装置を介し
て回転される。
オリエンテーションフラット3が形成されている。この
ようなウェハ1は、特開昭58−18713号に示され
ている如き公知のセンタリング装置によって、第3図に
示したように、テーブル4の回転中心にウエノ・1の中
心が一致するようにセットされ、テーブル4に真空吸着
等で保持される。ウェハ1の周縁を挾むように発光ダイ
オードの如き光源を含む発光部5とフォトダイオ−ドの
如き光電変換素子を含む受光部6が配設されている。両
者の位置は、例えば、発光部5からの平行光束が、ウェ
ハ1の円形部分(ノツチ2とオリエンテーションフラッ
ト3以外の部分)にあるときに、発光部5からの平行光
束がわずかに受光部6に入射し、両者の間にノツチ2、
オリエンテーションフラット3がくると受光部6への入
射光量が増えるように定められる2、 テーブル4はモータ7によって不図示の伝達装置を介し
て回転される。
第1図に示1〜だように、受光部6から得られる光電変
換信号を増幅器で増幅する等してなるウェハ1の外形状
に応じた検出信号は、検出回路10から出力された後、
アナログ・デジタル変換回路(以下A/Dコンバータと
称す)11に入力されてデジタル信号となる。すなわち
、A/Dコンバータ11は、サンプリングパルス発生器
12からのサンプリングパルスに同期した検出信号をデ
ジタル信号に変換する。このようにしてA / Dコン
バータ11によってデジタル信号に変換された検出信号
は差分回路13に入力される。差分回路13は遅延回路
と引算回路とを有しており、入力された検出信号を2つ
に分岐し、一方を遅延回路に通した後、両分岐信号を引
算回路によって引き算をし、その結果、検出回路10で
出力される検出信号の微分信号に相当する信号をデジタ
ル的に得ている。従って、差分回路13の出力信号を微
分信号と称する。この微分信号は第1比較回路14によ
って閾値発生回路15からの閾値Th+と比較される。
換信号を増幅器で増幅する等してなるウェハ1の外形状
に応じた検出信号は、検出回路10から出力された後、
アナログ・デジタル変換回路(以下A/Dコンバータと
称す)11に入力されてデジタル信号となる。すなわち
、A/Dコンバータ11は、サンプリングパルス発生器
12からのサンプリングパルスに同期した検出信号をデ
ジタル信号に変換する。このようにしてA / Dコン
バータ11によってデジタル信号に変換された検出信号
は差分回路13に入力される。差分回路13は遅延回路
と引算回路とを有しており、入力された検出信号を2つ
に分岐し、一方を遅延回路に通した後、両分岐信号を引
算回路によって引き算をし、その結果、検出回路10で
出力される検出信号の微分信号に相当する信号をデジタ
ル的に得ている。従って、差分回路13の出力信号を微
分信号と称する。この微分信号は第1比較回路14によ
って閾値発生回路15からの閾値Th+と比較される。
閾値T h +は、ノツチ2又はオリエンテーションフ
ラット3が発光部5と受光部6との間にくることによっ
て検出信号が大きく変化したことを捉えるために必要十
分な値に定められる。
ラット3が発光部5と受光部6との間にくることによっ
て検出信号が大きく変化したことを捉えるために必要十
分な値に定められる。
そして、微分信号が閾値’rhlより大きくなると第1
比較回路14はラッチ16にラッチ信号(論理1)を出
力する。ラッチ16にはA/Dコンバー〉11の出力信
号である検出信号も入力されており、その結果、ラッチ
16はランチ信号が入力されたときのA/Dコンバータ
11の出力信号を記憶する。ラッチ16に記憶されたA
/ Dコンバータ11からの検出信号は、第2比較回
路17の閾値’rhtと々る。第2比較回路17にはA
/ Dコンバータ11からの検出信号が入力されてお
り、第2比較回路17からは検出信号が閾値Thtより
大きいときに論理1、小さいときに論理0が出力される
。第2比較回路17の出力信号はカウンタ18の制御信
号になる。すなわち、カウンタ18はサンプリングパル
ス発生器12からのサンプリングパルスを、第2比較回
路17の出力が論理lのときにのみ計数する。また、第
2比較回路17の出力が論理1から論理0になると、ラ
ッチ16がクリアされると共に、カウンタ18も遅延回
路170による若干の時間遅れの後にクリアされる。
比較回路14はラッチ16にラッチ信号(論理1)を出
力する。ラッチ16にはA/Dコンバー〉11の出力信
号である検出信号も入力されており、その結果、ラッチ
16はランチ信号が入力されたときのA/Dコンバータ
11の出力信号を記憶する。ラッチ16に記憶されたA
/ Dコンバータ11からの検出信号は、第2比較回
路17の閾値’rhtと々る。第2比較回路17にはA
/ Dコンバータ11からの検出信号が入力されてお
り、第2比較回路17からは検出信号が閾値Thtより
大きいときに論理1、小さいときに論理0が出力される
。第2比較回路17の出力信号はカウンタ18の制御信
号になる。すなわち、カウンタ18はサンプリングパル
ス発生器12からのサンプリングパルスを、第2比較回
路17の出力が論理lのときにのみ計数する。また、第
2比較回路17の出力が論理1から論理0になると、ラ
ッチ16がクリアされると共に、カウンタ18も遅延回
路170による若干の時間遅れの後にクリアされる。
カウンタ18のw1数値は第3比較回路19に入力され
る。第3比較回路19には、閾値発生回路20.21か
ら閾値Thsと閾値Th、が入力されており、カウンタ
18の計数値が閾値T h sより小のときは端子22
にのみ論理1が、カウンタ18の計数値が:閾・値、
T h sと閾値Thaの間のときは端子23にのみ論
理1が、カウンタ18の計数値が閾値Th、より大きい
ときは端子24にのみ論理1が出力される。端子22,
23.24は判定回路25に接続されており、判定回路
25は、第2比較回路17の立下シに対応した判定同期
信号が入力されたときに端子23に論理1が出力されて
いることによってノツチを検出する。ノツチ2に対応す
るノツチ検出信号は、回転制御回路26に入力される。
る。第3比較回路19には、閾値発生回路20.21か
ら閾値Thsと閾値Th、が入力されており、カウンタ
18の計数値が閾値T h sより小のときは端子22
にのみ論理1が、カウンタ18の計数値が:閾・値、
T h sと閾値Thaの間のときは端子23にのみ論
理1が、カウンタ18の計数値が閾値Th、より大きい
ときは端子24にのみ論理1が出力される。端子22,
23.24は判定回路25に接続されており、判定回路
25は、第2比較回路17の立下シに対応した判定同期
信号が入力されたときに端子23に論理1が出力されて
いることによってノツチを検出する。ノツチ2に対応す
るノツチ検出信号は、回転制御回路26に入力される。
回転制御回路26は、ノツチ検出信号を受け、モータ7
を停止、逆転させ、ノツチ2を発光部5と受光部6の間
にもってくる様に働く。
を停止、逆転させ、ノツチ2を発光部5と受光部6の間
にもってくる様に働く。
以下、第4図を用いて動作を詳述する。
第4図(、)の如き時刻t1で回転スタート信号が生ず
るとモータ7が回転しテーブル4も回転するから、ウェ
ハ1が回転する。ウェハ1の回転によって第4図(b)
の如き検出信号が発生する。第4図(b)は説明のため
にモータ7を連続して回転していった場合の波形図であ
って、ノツチ2が発光部5と受光部6との間にきた場合
の山形波形P+と、オリエンテーションフラット3が発
光部5と受光部6との間にきた場合の山形波形P!とを
示している。第4図価)の検出信号はA / Dコンバ
ータ11でデジタル信号に変換されて差分回路13に入
力されるのであるが、説明を容易にするためにアナログ
波形によって説明すると、差分回路13は、第4図(b
)の検出信号と、第4図(b)の検出信号をわずかに遅
延させた第4図(c)との差信号である第4図(d)の
信号に対応したデジタル信号を出力する。
るとモータ7が回転しテーブル4も回転するから、ウェ
ハ1が回転する。ウェハ1の回転によって第4図(b)
の如き検出信号が発生する。第4図(b)は説明のため
にモータ7を連続して回転していった場合の波形図であ
って、ノツチ2が発光部5と受光部6との間にきた場合
の山形波形P+と、オリエンテーションフラット3が発
光部5と受光部6との間にきた場合の山形波形P!とを
示している。第4図価)の検出信号はA / Dコンバ
ータ11でデジタル信号に変換されて差分回路13に入
力されるのであるが、説明を容易にするためにアナログ
波形によって説明すると、差分回路13は、第4図(b
)の検出信号と、第4図(b)の検出信号をわずかに遅
延させた第4図(c)との差信号である第4図(d)の
信号に対応したデジタル信号を出力する。
第4図(d)の信号は、第4図(b)の微分信号に近似
の信号である。第4図(d)の信号は第1比較回路14
によって閾値Th、と比較され、そのときの第4図(b
)の検出信号のレベルThtがラッチ15に閾値Th、
として記憶される。第2比較回路17は第4図(b)の
検出信号が閾値Th鵞と比較され、前者が後者より太き
いときに論理1となる第4図(e)の信号を出力する。
の信号である。第4図(d)の信号は第1比較回路14
によって閾値Th、と比較され、そのときの第4図(b
)の検出信号のレベルThtがラッチ15に閾値Th、
として記憶される。第2比較回路17は第4図(b)の
検出信号が閾値Th鵞と比較され、前者が後者より太き
いときに論理1となる第4図(e)の信号を出力する。
カウンタ18は第4図(e)で示された論理1の幅h+
、h*をサンプリングパルスの数として計数する。第3
比較回路19は、幅h1、htの中間の幅に相当したパ
ルスの数である閾値Th4と、幅り、に対応したパルス
の数よりも十分なパルスの数である閾値T)13 hを
入力し、カウンタ18の計数値と比較する。すなわち、
第4図(b)からも明らかなように、ノツチ2に対応し
た山形波形P1とオリエンテーションフラット3に対応
した山形波形P、とを比べてみると、同レベルThiの
ところでは、前者の方が後者よりも十分幅が狭いから、
この幅の違いに基づいてノツチ2とオリエンテーション
フラット3とを識別している。
、h*をサンプリングパルスの数として計数する。第3
比較回路19は、幅h1、htの中間の幅に相当したパ
ルスの数である閾値Th4と、幅り、に対応したパルス
の数よりも十分なパルスの数である閾値T)13 hを
入力し、カウンタ18の計数値と比較する。すなわち、
第4図(b)からも明らかなように、ノツチ2に対応し
た山形波形P1とオリエンテーションフラット3に対応
した山形波形P、とを比べてみると、同レベルThiの
ところでは、前者の方が後者よりも十分幅が狭いから、
この幅の違いに基づいてノツチ2とオリエンテーション
フラット3とを識別している。
カウンタ18の値が閾値ThsとTh、の間にあると、
判定回路25は第4図(f)の如きノツチ検出信号を出
力する。
判定回路25は第4図(f)の如きノツチ検出信号を出
力する。
回転制御回路26は、パルスモータ−又は、ロータリエ
ンコーダーなど回転角度検出器を併用したモータ7を制
御する。ノツチ検出信号(第4図の(f))の立上りに
おける回転角度位置を検出し、あらかじめ設定されてい
るノツチの巾の1/2に相当する角度だけ逆転すること
にょシ、ノツチ2が発光部5と受光部6との間に位置さ
せることができる。
ンコーダーなど回転角度検出器を併用したモータ7を制
御する。ノツチ検出信号(第4図の(f))の立上りに
おける回転角度位置を検出し、あらかじめ設定されてい
るノツチの巾の1/2に相当する角度だけ逆転すること
にょシ、ノツチ2が発光部5と受光部6との間に位置さ
せることができる。
一方、回転制御回路26は、回転角度検出器をもたない
モータ7でも制御することができる。この場合、ノツチ
検出信号(第4図の(f))にて、モータ7を停止させ
、検出信号(第4図の(b))が最初のピーク位置にな
る様逆転させることにより、同様に、ノツチ2が発光部
5と受光部6との間に位置させることができる。
モータ7でも制御することができる。この場合、ノツチ
検出信号(第4図の(f))にて、モータ7を停止させ
、検出信号(第4図の(b))が最初のピーク位置にな
る様逆転させることにより、同様に、ノツチ2が発光部
5と受光部6との間に位置させることができる。
以上の説明は、オリエンテーションフラット3より先に
ノツチ2が発光部5と受光s6″との間にきた場合であ
ったが、ノツチ2よ)も先にオリエンテーションフラッ
ト3が先に発光部5と受光部6との間にきた場合には、
第2比較回路17の出力信号が論理1から論理0になる
ときの第3比較回路19の出力信号は、端子24にのみ
論理1が生ずるから、判定回路25はノツチ信号を出力
せず、回転制御回路26はモータ7を回転し続ける。そ
して、発光部5と受光部6との間にノツチ2がくると、
既に述べたと全く同様にノツチ2が検出され、モータ7
が停止し、引き続いて発光部5と受光部6との間にノツ
チ2がきてモータ7は停止する。
ノツチ2が発光部5と受光s6″との間にきた場合であ
ったが、ノツチ2よ)も先にオリエンテーションフラッ
ト3が先に発光部5と受光部6との間にきた場合には、
第2比較回路17の出力信号が論理1から論理0になる
ときの第3比較回路19の出力信号は、端子24にのみ
論理1が生ずるから、判定回路25はノツチ信号を出力
せず、回転制御回路26はモータ7を回転し続ける。そ
して、発光部5と受光部6との間にノツチ2がくると、
既に述べたと全く同様にノツチ2が検出され、モータ7
が停止し、引き続いて発光部5と受光部6との間にノツ
チ2がきてモータ7は停止する。
なお、以上の第1図は種々の変形が可能であって、差分
回路13をA/Dコンバータ11の前で検出回路10の
検出信号を微分する微分回路によって置き換えることが
できるし、また、ブロック11ないしブロック26をマ
イクワコンピュータ等に置き換え、ソフト的に処理を行
なわせるようになすことも容易に行なえる。
回路13をA/Dコンバータ11の前で検出回路10の
検出信号を微分する微分回路によって置き換えることが
できるし、また、ブロック11ないしブロック26をマ
イクワコンピュータ等に置き換え、ソフト的に処理を行
なわせるようになすことも容易に行なえる。
さらに、第1図ではノツチを検出した後位置決めを行な
うために、モータ7を逆転していたが、特開昭58−1
8713号に示されている如く、モータ7を正回転のみ
で位置決めをしても良いことは言うまでもない。
うために、モータ7を逆転していたが、特開昭58−1
8713号に示されている如く、モータ7を正回転のみ
で位置決めをしても良いことは言うまでもない。
また以上の実施例では、発光部と受光部とをウェハの周
縁を挾むように対向して配設したいわゆる透過型の検出
器を構成したが、発光部5からの光がウェハの表面で反
射して受光部6に入射するように配設したいわゆる反射
型の検出器を構成しても良いことは言うまでもない。こ
の場合には、ノツチ2、オリエンテーションフラット3
が発光部5と受光部6の反射光路中にくると、検出信号
4色 のレベルは底下するので第4図(b)とは信号のレベル
関係が逆転するが、その処理に関しては全く同様に考え
ることができる。
縁を挾むように対向して配設したいわゆる透過型の検出
器を構成したが、発光部5からの光がウェハの表面で反
射して受光部6に入射するように配設したいわゆる反射
型の検出器を構成しても良いことは言うまでもない。こ
の場合には、ノツチ2、オリエンテーションフラット3
が発光部5と受光部6の反射光路中にくると、検出信号
4色 のレベルは底下するので第4図(b)とは信号のレベル
関係が逆転するが、その処理に関しては全く同様に考え
ることができる。
第1図は本発明の一実施例のブロック図、第2図は本発
明の対象とするウェハの例、第3図はウェハの周縁を挾
むように発光部と受光部を配設した光電センサーの側面
図、第4図は第1図の回路動作を説明するための波形図
、である。 (主要部分の符号の説明) 1・・・ウェハ、 2・・・ノツチ、3・・・オリエ
ンテーションフラット、4・・・テーブル、 10・
・検出回路、13・差分回路、 14・・・第1比較回
路、17・・・第2比較回路、 18・・・カウンタ
、19・・第3比較回路、 25・・・判定回路。
明の対象とするウェハの例、第3図はウェハの周縁を挾
むように発光部と受光部を配設した光電センサーの側面
図、第4図は第1図の回路動作を説明するための波形図
、である。 (主要部分の符号の説明) 1・・・ウェハ、 2・・・ノツチ、3・・・オリエ
ンテーションフラット、4・・・テーブル、 10・
・検出回路、13・差分回路、 14・・・第1比較回
路、17・・・第2比較回路、 18・・・カウンタ
、19・・第3比較回路、 25・・・判定回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ノッチとオリエンテーションフラットとを有するウェハ
を、前記ノッチを検出することによって位置決めするウ
ェハの位置決め装置において、前記ウェハのほぼ中心を
回転中心として前記ウェハを回転する回転手段と、 発光部と受光部とを前記ウェハの周縁形状を読み取るよ
うに配設し、前記ウェハの周縁形状に応じた検出信号を
出力する検出手段と、 前記検出信号の微分信号を出力する微分信号出力手段と
、 前記微分信号を第1の閾値と比較する第1比較手段と、 前記微分信号が前記第1の閾値を越えたときの前記検出
信号を第2の閾値として前記検出信号と比較する第2比
較手段と、 前記検出信号が前記第2の閾値を越えている間隔を計数
する計数手段と、 前記計数手段の計数値が第3の閾値よりも小のときノッ
チを検出する判定手段と、 を有することを特徴とするウェハの位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12175285A JPS61279147A (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 | ウエハの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12175285A JPS61279147A (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 | ウエハの位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61279147A true JPS61279147A (ja) | 1986-12-09 |
Family
ID=14819008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12175285A Pending JPS61279147A (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 | ウエハの位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61279147A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62206847A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-11 | Mimasu Handotai Kogyo Kk | 半導体ウエハ−の位置決め方法及び装置 |
JPH0228310A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-30 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハ |
-
1985
- 1985-06-05 JP JP12175285A patent/JPS61279147A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62206847A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-11 | Mimasu Handotai Kogyo Kk | 半導体ウエハ−の位置決め方法及び装置 |
JPH0228310A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-30 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハ |
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