JPS61275107A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPS61275107A JPS61275107A JP60115411A JP11541185A JPS61275107A JP S61275107 A JPS61275107 A JP S61275107A JP 60115411 A JP60115411 A JP 60115411A JP 11541185 A JP11541185 A JP 11541185A JP S61275107 A JPS61275107 A JP S61275107A
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- Japan
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- ozone
- cooling water
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- C01—INORGANIC CHEMISTRY
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- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/14—Concentric/tubular dischargers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/20—Electrodes used for obtaining electrical discharge
- C01B2201/24—Composition of the electrodes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
- C01B2201/34—Composition of the dielectrics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/70—Cooling of the discharger; Means for making cooling unnecessary
- C01B2201/74—Cooling of the discharger; Means for making cooling unnecessary by liquid
- C01B2201/76—Water
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、オゾン発生装置の構造に関するものである。
従来の技術
周知のように、オゾンは強力な酸化力を持っているので
、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほか
、各種の水の殺菌、脱臭、脱色等にも広く利用され、又
、近年はファインケミカル用として用途が広くなってき
た。
、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほか
、各種の水の殺菌、脱臭、脱色等にも広く利用され、又
、近年はファインケミカル用として用途が広くなってき
た。
ところで、オゾン発生方法は、紫外線エネルギーを酸素
に照射する方法、水を電気分解する方法等もあるが、工
業用として多量のオゾンを連続的に発生するには、通常
無声放電による方法が多く採用されている。
に照射する方法、水を電気分解する方法等もあるが、工
業用として多量のオゾンを連続的に発生するには、通常
無声放電による方法が多く採用されている。
この方法は、第４図にその原理を示すように１対の電極
１と２の間に空隙３を形成すると共に誘電体４を介在さ
せ、両電極１と２の間に交流電圧を印加すると、誘電体
４を介して両電極間に無声放電が持続して発生する。そ
こで、この空隙３に乾燥した空気又は酸素ガスを流通さ
せてオゾンを発生させる方法である。なお、誘電体４は
、同図＜ａ ＞に示すように一方の電極２に密着させて
もよく、同図（ｂ）に示すように両方の電極１及び２に
密着させてもよい。
１と２の間に空隙３を形成すると共に誘電体４を介在さ
せ、両電極１と２の間に交流電圧を印加すると、誘電体
４を介して両電極間に無声放電が持続して発生する。そ
こで、この空隙３に乾燥した空気又は酸素ガスを流通さ
せてオゾンを発生させる方法である。なお、誘電体４は
、同図＜ａ ＞に示すように一方の電極２に密着させて
もよく、同図（ｂ）に示すように両方の電極１及び２に
密着させてもよい。
しかして、この方法においては、放電により多量の熱が
発生し、この熱が空隙３を流通する空気又は酸素ガスの
温度や電極１及び２、誘電体４等の温度を上昇させる。
発生し、この熱が空隙３を流通する空気又は酸素ガスの
温度や電極１及び２、誘電体４等の温度を上昇させる。
ところが、オゾンは温度が高くなると速に分解し酸素に
なるので、効率的にオゾンを発生するためには冷却する
ことが必要となる。
なるので、効率的にオゾンを発生するためには冷却する
ことが必要となる。
そこで、実用的には上記電極２にステンレス円筒を用い
、上記誘電体４にはこのステンレス円筒と同心的に配置
した硝子円筒を用い、このガラス円筒の内面に導電性被
膜を塗布して上記電極２とした構造のものが多く用いら
れている。
、上記誘電体４にはこのステンレス円筒と同心的に配置
した硝子円筒を用い、このガラス円筒の内面に導電性被
膜を塗布して上記電極２とした構造のものが多く用いら
れている。
この構造をさらに図面を参照して説明する。第５図およ
び第６図はこの構造の一例を示すものであるが、金属材
から形成された缶体５には、ステンレス円筒６が仕切板
７ａ及び７ｂによって水密に溶接されている。このステ
ンレス円筒６には、空隙３を形成するような直径としか
つ一端を封じた硝子円筒８がスペーサ９を介して略同心
状に取付けられている。ここで、空隙３は、通常１〜３
ｍｍの間隔としている。しかして、硝子円筒８の内面に
は導電性被膜１０が塗布又は蒸着により設けられ、この
導電性被膜１０にブラシ状の接触子１１が接。
び第６図はこの構造の一例を示すものであるが、金属材
から形成された缶体５には、ステンレス円筒６が仕切板
７ａ及び７ｂによって水密に溶接されている。このステ
ンレス円筒６には、空隙３を形成するような直径としか
つ一端を封じた硝子円筒８がスペーサ９を介して略同心
状に取付けられている。ここで、空隙３は、通常１〜３
ｍｍの間隔としている。しかして、硝子円筒８の内面に
は導電性被膜１０が塗布又は蒸着により設けられ、この
導電性被膜１０にブラシ状の接触子１１が接。
触している。この接触子１１には導線１２が接続され、
碍管１３を介して缶体５の端板５ａを貫通し、電源装置
１４に接続されている。又、缶体５には仕切板７ａ及び
７ｂによって中間部に冷却水室１５と、−側に空気又は
酸素ガス（以下原料ガスという）室１６及び他側に生成
したオゾンと原料ガスの混合した混合ガス室１７が形成
されている。しかして、冷却水室１５には供給口１５ａ
と排出口１５ｂがそれぞれ設けられ、原料ガス室１６に
は供給ロ１６ａ１混合ガス室１７には排出口１７ａがそ
れぞれ設けられている。
碍管１３を介して缶体５の端板５ａを貫通し、電源装置
１４に接続されている。又、缶体５には仕切板７ａ及び
７ｂによって中間部に冷却水室１５と、−側に空気又は
酸素ガス（以下原料ガスという）室１６及び他側に生成
したオゾンと原料ガスの混合した混合ガス室１７が形成
されている。しかして、冷却水室１５には供給口１５ａ
と排出口１５ｂがそれぞれ設けられ、原料ガス室１６に
は供給ロ１６ａ１混合ガス室１７には排出口１７ａがそ
れぞれ設けられている。
なお、スペーサ９は、第７図に示すようステンレス線を
巻回したコイルばねを輪状にしたもので、空隙３を原料
ガスやオゾンと原料ガスの混合ガスが流通するのに支障
を与えないように構成されている。又、缶体５は接地さ
れている。
巻回したコイルばねを輪状にしたもので、空隙３を原料
ガスやオゾンと原料ガスの混合ガスが流通するのに支障
を与えないように構成されている。又、缶体５は接地さ
れている。
以上のように構成された缶体５と導電性被膜１゜の間に
電流装置１４から高圧交流を印加すると、誘電体となる
硝子円筒８に電荷が蓄積されていき、これが空隙３の絶
縁が破壊されるレベルに達すると細かい放電柱が持続的
に発生するようになる。
電流装置１４から高圧交流を印加すると、誘電体となる
硝子円筒８に電荷が蓄積されていき、これが空隙３の絶
縁が破壊されるレベルに達すると細かい放電柱が持続的
に発生するようになる。
この放電柱は、印加電圧と周波数によって数が増減する
。放電している空隙３に原料ガスを供給口１６ａから原
料ガス室１６を介して供給すると、原料ガス中の酸素原
子の一部は電子と衝突し、活性化酸素が生成し、次いで
オゾンが生成する。
。放電している空隙３に原料ガスを供給口１６ａから原
料ガス室１６を介して供給すると、原料ガス中の酸素原
子の一部は電子と衝突し、活性化酸素が生成し、次いで
オゾンが生成する。
ところで、上記したように放電のエネルギーのうち、オ
ゾン生成に寄与する分は僅か１０％程度で残りの９０％
程度のエネルギーは熱となるから、放電により多聞の熱
が発生し、これが空隙３の温度を上昇させる。この温度
が上昇すると、オゾンが速に分解して元の酸素に戻るの
で、この熱エネルギーを除去するために冷却水室１５に
冷却水を供給して冷却する。
ゾン生成に寄与する分は僅か１０％程度で残りの９０％
程度のエネルギーは熱となるから、放電により多聞の熱
が発生し、これが空隙３の温度を上昇させる。この温度
が上昇すると、オゾンが速に分解して元の酸素に戻るの
で、この熱エネルギーを除去するために冷却水室１５に
冷却水を供給して冷却する。
なお、以上の説明は、１組のオゾン発生装置について述
べたが、多数組の装置を並列にして大容量のオゾン発生
装置として用いることも従来がら行われている。
べたが、多数組の装置を並列にして大容量のオゾン発生
装置として用いることも従来がら行われている。
発明が解決しようとする問題点
上記のような構成を有するオゾン発生装置は、従来の用
途においては有効な装置である。
途においては有効な装置である。
しかしながら、近年ファインケミカル用として高純度の
オゾンが要求されるようになってきた。
オゾンが要求されるようになってきた。
例えば集積回路製造工場において、酸化剤として用いる
場合にオゾン化酸素中に極めて微量の不純物が含まれて
いると、集積回路に不純物の微粒子が付着し、その超微
細な回路構成に欠陥を生じる。
場合にオゾン化酸素中に極めて微量の不純物が含まれて
いると、集積回路に不純物の微粒子が付着し、その超微
細な回路構成に欠陥を生じる。
このため、集積回路工場ではクリーンルームを設置して
このような欠陥の減少に努めているが、上記した従来の
オゾン発生装置では、放電によりステンレス円筒６及び
スペーサ９の表面に電子が衝突するときに、ステンレス
金属の微粒子が電子で叩き出されてオゾン化酸素に混入
し、集積回路に付着する欠点があった。
このような欠陥の減少に努めているが、上記した従来の
オゾン発生装置では、放電によりステンレス円筒６及び
スペーサ９の表面に電子が衝突するときに、ステンレス
金属の微粒子が電子で叩き出されてオゾン化酸素に混入
し、集積回路に付着する欠点があった。
そこで、ステンレス円筒６に代えて、金属円筒の内側に
硝子やセラミックス等の誘電体をライニングすることに
より、直接電子が衝突しないようにした提案もなされて
いるが、金属と誘電体の熱膨張係数が相異するため、誘
電体に亀裂や気泡等が発生し、この発生した部分から短
絡して大電流が流れて誘電体や金属電橋の破壊を招く原
因となったり、ライニングした誘電体が金属に密着せず
に１間が形成され、その隙間で放電が発生してオゾンの
生成に何ら寄与しない電力が消費される。
硝子やセラミックス等の誘電体をライニングすることに
より、直接電子が衝突しないようにした提案もなされて
いるが、金属と誘電体の熱膨張係数が相異するため、誘
電体に亀裂や気泡等が発生し、この発生した部分から短
絡して大電流が流れて誘電体や金属電橋の破壊を招く原
因となったり、ライニングした誘電体が金属に密着せず
に１間が形成され、その隙間で放電が発生してオゾンの
生成に何ら寄与しない電力が消費される。
又、ステンレス円筒６に代えて硝子円筒を用い、冷却水
室１５内の冷却水の電気伝導を利用して冷却水と硝子円
筒８の内周面に設けた導電性被膜１０の間に高圧交流を
印加する方法も用いられている。
室１５内の冷却水の電気伝導を利用して冷却水と硝子円
筒８の内周面に設けた導電性被膜１０の間に高圧交流を
印加する方法も用いられている。
しかしながら、近年集積回路製造工場では、一般に冷却
水も高純度の水が用いられるので、水の電気伝導度が極
めて低く、オゾン発生に必要な放電が発生しない欠点も
ある。
水も高純度の水が用いられるので、水の電気伝導度が極
めて低く、オゾン発生に必要な放電が発生しない欠点も
ある。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するための手段を、実施例に対応
する第１図乃至第３図を用いて説明する。
する第１図乃至第３図を用いて説明する。
この発明は、冷却水の循環が可能とした缶体２１と、こ
の缶体２１の内部に装着されるオゾン発生部２４で構成
されている。
の缶体２１の内部に装着されるオゾン発生部２４で構成
されている。
このオゾン発生部２４は、空隙３をもって略同心状に配
置すると共に一側を封じ他側を開口するように石英材又
は硝子材で形成した外筒２５及び内筒２６と、この内筒
２６の内周面に設けられ電源装置の高圧側に接続される
導電性被膜２８と、外筒２５の外周面に設けられ接地さ
れる耐水性の導電性被膜２７と、外筒２５及び内ｌｌＩ
２６の封じた側に設けられ、空隙３に連通する原料ガス
の供給口２５ａと、外＠２５及び内筒２６の開口した側
の空隙を封止すると共にオゾン化ガスの排出口２５ｂを
備えるという技術手段を講じている。
置すると共に一側を封じ他側を開口するように石英材又
は硝子材で形成した外筒２５及び内筒２６と、この内筒
２６の内周面に設けられ電源装置の高圧側に接続される
導電性被膜２８と、外筒２５の外周面に設けられ接地さ
れる耐水性の導電性被膜２７と、外筒２５及び内ｌｌＩ
２６の封じた側に設けられ、空隙３に連通する原料ガス
の供給口２５ａと、外＠２５及び内筒２６の開口した側
の空隙を封止すると共にオゾン化ガスの排出口２５ｂを
備えるという技術手段を講じている。
作 用
外ＷＩ２５の導電性被膜２１を直接又は缶体５を介して
接地し、内筒２６の導電性被膜２８に電源装置１４から
交流の高電圧を印加すると、空隙３内に無声放電が発生
する。そこで、供給口２５ａから例えば純酸素のような
原料ガスを供給すると、空隙３内でオゾンが生成し、排
出口２５ｂからオゾンと酸素の混合ガスが取り出される
。又、無声放電発生時の熱は、純度の高い冷却水で冷却
しても、外筒２５の導電性液［１２７が直接接地されて
いるから、効率よく放電を発生させることができる。
接地し、内筒２６の導電性被膜２８に電源装置１４から
交流の高電圧を印加すると、空隙３内に無声放電が発生
する。そこで、供給口２５ａから例えば純酸素のような
原料ガスを供給すると、空隙３内でオゾンが生成し、排
出口２５ｂからオゾンと酸素の混合ガスが取り出される
。又、無声放電発生時の熱は、純度の高い冷却水で冷却
しても、外筒２５の導電性液［１２７が直接接地されて
いるから、効率よく放電を発生させることができる。
本発明の目的は、上記したような従来の欠点を除去した
オゾン発生装置を提供することにある。
オゾン発生装置を提供することにある。
実施例
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。な
お、第５図乃至第７図と同一部分には同符号を付して重
複した説明は省略する。第１図及び第２図において、缶
体２１は、金属材で水密に形成され、冷却水（高純度の
水）の供給口２１ａ及び排出口２１ｂと、−側の端板２
１Ｃに開口部２２及び他側の端板２１ｄに開口部２３が
それぞれ設けられている。オゾン発生部２４は、透明石
英材で円筒状に形成され、空隙３を形成するようにそれ
ぞれ直径を選択されて略同心状に配置され、かつ一端を
封じ他端を開口した外筒２５及び内筒２６と、この外筒
２５の外周面に設けた例えばアルミニウムの蒸着膜のよ
うな耐水性を有する導電性被膜２７と、内筒２６の内周
面に設けた導電性液１１２Ｂと、外筒２５の封じた端部
に接続され空隙３に連通する原料ガスの供給口２５ａと
、外筒２５と内筒２６の開口した端部の空隙３を透明石
英材の端板２６で封止すると共にオゾン化ガスを排出す
る排出口２５ｂで構成されている。
お、第５図乃至第７図と同一部分には同符号を付して重
複した説明は省略する。第１図及び第２図において、缶
体２１は、金属材で水密に形成され、冷却水（高純度の
水）の供給口２１ａ及び排出口２１ｂと、−側の端板２
１Ｃに開口部２２及び他側の端板２１ｄに開口部２３が
それぞれ設けられている。オゾン発生部２４は、透明石
英材で円筒状に形成され、空隙３を形成するようにそれ
ぞれ直径を選択されて略同心状に配置され、かつ一端を
封じ他端を開口した外筒２５及び内筒２６と、この外筒
２５の外周面に設けた例えばアルミニウムの蒸着膜のよ
うな耐水性を有する導電性被膜２７と、内筒２６の内周
面に設けた導電性液１１２Ｂと、外筒２５の封じた端部
に接続され空隙３に連通する原料ガスの供給口２５ａと
、外筒２５と内筒２６の開口した端部の空隙３を透明石
英材の端板２６で封止すると共にオゾン化ガスを排出す
る排出口２５ｂで構成されている。
ここで、外［２５と内筒２６を略同心状に配置するため
に、開口側は端板２６で封止す゛るのでこの端板２６に
より位置決めされ、封じた側は第３図に示すように外商
２５の内周面から支持脚２９を内筒２６の外周面に当接
するように突出して設ける。なお、この支持脚２９は、
外筒２５と内筒２６の両方に一体となるように設けても
よく、又、予め透明石英材で別体に製作したものを両者
に接着させるようにしてもよい。
に、開口側は端板２６で封止す゛るのでこの端板２６に
より位置決めされ、封じた側は第３図に示すように外商
２５の内周面から支持脚２９を内筒２６の外周面に当接
するように突出して設ける。なお、この支持脚２９は、
外筒２５と内筒２６の両方に一体となるように設けても
よく、又、予め透明石英材で別体に製作したものを両者
に接着させるようにしてもよい。
このように構成されたオゾン発生部２４は、−側（封じ
た側）を缶体２１の端板２１ｃに設けた開口部２２に原
料ガスの供給口２５ａに挿入し、押え板３０によりバッ
キング３１を介して缶体２１に水密に支持され、他側（
開口した側）を缶体２１の端板２１ｄに設けた開口部２
３に挿入し、押え板３２によりバッ゛キング３３を介し
て缶体２１に水密に支持される。
た側）を缶体２１の端板２１ｃに設けた開口部２２に原
料ガスの供給口２５ａに挿入し、押え板３０によりバッ
キング３１を介して缶体２１に水密に支持され、他側（
開口した側）を缶体２１の端板２１ｄに設けた開口部２
３に挿入し、押え板３２によりバッ゛キング３３を介し
て缶体２１に水密に支持される。
又、オゾン発生部２４は、内筒２６の内周面に設けた導
電性被膜２６に接触する接触子１１に導体１２を電源装
置１４の高圧側（非接地側）に接続し、外筒２５の外周
面に設けた導電性被膜２７に接続した導体３４を介して
接地する。
電性被膜２６に接触する接触子１１に導体１２を電源装
置１４の高圧側（非接地側）に接続し、外筒２５の外周
面に設けた導電性被膜２７に接続した導体３４を介して
接地する。
以上の実施例では、外筒２５及び内筒２６を透明石英材
の円筒で形成したが、硝子材で形成してもよく、又、形
状を角筒もしくは楕円筒としてもよく、さらに、支持脚
２９も透明石英材の代りに硝子材で形成してもよい。
の円筒で形成したが、硝子材で形成してもよく、又、形
状を角筒もしくは楕円筒としてもよく、さらに、支持脚
２９も透明石英材の代りに硝子材で形成してもよい。
発明の効果
本発明は、以上のように構成されているから、オゾン生
成部となる放電部分に金属部材や有機物が全くなく、金
属やその他の微粒子が電子によって叩き出されず、オゾ
ン化ガスを使用して製造する製品に欠陥を生じることが
ない。又、冷却水に純度の高い水を用いても効率よくオ
ゾン化ガスを生成することができる。
成部となる放電部分に金属部材や有機物が全くなく、金
属やその他の微粒子が電子によって叩き出されず、オゾ
ン化ガスを使用して製造する製品に欠陥を生じることが
ない。又、冷却水に純度の高い水を用いても効率よくオ
ゾン化ガスを生成することができる。
第１図は本発明のオゾン発生装置の一実施例を示す断面
図、第２図は第１図のＡ部の拡大図、第３図は第２図の
Ａ−Ａ線に沿って切断し矢印方向に見た断面図、第４図
はオゾン生成の原理を示す説明図、第５図は従来のオゾ
ン発生装置を示す断面図、第６図は第５図のＡ−Ａ線に
沿って切断し矢印方向に見た断面図、第７図は従来のオ
ゾン発生装置のスペーサを示す正面図である。 １１・・・接触子、１４・・・電源装置２１・・・缶体
、２４・・・オゾン発生部２５・・・内筒、２６・・・
内筒 ２７、２８・・・導電性被膜 （８７３３）代理人 弁理士 猪 股 祥 晃（ほか１
名） 第 １ 因 す 第 ２ 図 δ 第 ３ 図 ｃｏ−）
（ＩＩ）ン第４図
図、第２図は第１図のＡ部の拡大図、第３図は第２図の
Ａ−Ａ線に沿って切断し矢印方向に見た断面図、第４図
はオゾン生成の原理を示す説明図、第５図は従来のオゾ
ン発生装置を示す断面図、第６図は第５図のＡ−Ａ線に
沿って切断し矢印方向に見た断面図、第７図は従来のオ
ゾン発生装置のスペーサを示す正面図である。 １１・・・接触子、１４・・・電源装置２１・・・缶体
、２４・・・オゾン発生部２５・・・内筒、２６・・・
内筒 ２７、２８・・・導電性被膜 （８７３３）代理人 弁理士 猪 股 祥 晃（ほか１
名） 第 １ 因 す 第 ２ 図 δ 第 ３ 図 ｃｏ−）
（ＩＩ）ン第４図
Claims (1)
- 冷却水の循環を可能とした缶体と、この缶体の内部に装
着され、空隙をもって略同心状に配置すると共に一側を
封じ、他側を開口するように石英材又は硝子材で形成し
た外筒及び内筒と、この内筒の内周面に設けられ電源装
置の高圧側に接続される導電性被膜と、前記外筒の外周
面に設けられ接地される耐水性の導電性被膜と、前記外
筒及び内筒の封じた側に設けられ、前記空隙に連通する
原料ガスの供給口と、前記外筒及び内筒の開口した側の
空隙を封止する部分に設けられたオゾン化ガスの排出口
で構成したオゾン発生装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60115411A JPS61275107A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | オゾン発生装置 |
| US06/868,328 US4725412A (en) | 1985-05-30 | 1986-05-27 | Ozone generator |
| KR1019860004179A KR890003654B1 (ko) | 1985-05-30 | 1986-05-28 | 오존 발생장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60115411A JPS61275107A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61275107A true JPS61275107A (ja) | 1986-12-05 |
Family
ID=14661902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60115411A Pending JPS61275107A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | オゾン発生装置 |
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